JP2009011970A - 吐出検査装置、描画システム、ずれ量表示方法およびそのプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】オペレータが、機能液滴の実際の着弾位置と、理想値とのずれ量を客観的に把握できる吐出検査装置等を提供すること。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド（Ｈ０１〜Ｈ１２）に設けられた各ノズル列から吐出された機能液滴の実際の着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフＧＸで表示する吐出検査装置であって、各ノズル列を構成する複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量の最大値と最小値とを、棒グラフＧＸの両端として表示するものである。
【選択図】図１７

Description

機能液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列から吐出された機能液滴の実際の着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフで表示する吐出検査装置、描画システム、ずれ量表示方法およびそのプログラムに関するものである。

吐出検査の前工程としてサブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドを組み込むヘッドユニットの組立装置が、従来から知られており、この組立装置は、サブキャリッジの位置および複数の機能液滴吐出ヘッドの位置をそれぞれマーキングしたアライメントマスクを用い、サブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドを精度良く組み込むようにしている（例えば、特許文献１参照）。

この組立装置は、ヘッドユニットとアライメントマスクとを交換セットするセットテーブルを設けたユニット移動装置と、セットしたヘッドユニットに臨み、各ヘッド保持部材を介して各機能液滴吐出ヘッドの位置を物理的に補正するヘッド補正装置と、補正後の機能液滴吐出ヘッドに臨み、各ヘッド保持部材を介して各機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに接着する（接着剤注入）仮固定装置と、を備えている。

この組立装置では、始めにユニット移動装置に、アライメントマスクが導入され、目標となるサブキャリッジの位置（マーク）および複数の機能液滴吐出ヘッドの位置（マーク）が画像認識される。次に、ユニット移動装置に、ヘッド保持部材を介してサブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドを仮置きした状態のヘッドユニットが導入される。ここで、画像認識の結果に基づいて、サブキャリッジの位置補正の後、ヘッド補正装置によりサブキャリッジに対する各機能液滴吐出ヘッドの位置決めが行われる。そして最後に、位置決め状態の各機能液滴吐出ヘッド（ヘッド保持部材）に、仮固定装置による接着剤の滴下が行われ、サブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドが仮固定される。
特開２００３−１２７３９２号公報

ところで、このような組立装置により組み立てられたヘッドユニットを、そのまま描画装置に組み込むと、１つの機能液滴吐出ヘッドの１の吐出ノズルに吐出不良等の吐出性能に問題があると、全体としてヘッドユニットを交換する必要が生じてしまう。そこで、描画装置に導入する前に、ヘッドユニット単位で各機能液滴吐出ヘッドの吐出検査を行ってヘッドユニットを選別することが好ましい。かかる場合の吐出検査装置は、描画装置と同様の基本構造が要求されると共に、検査シートと、当該検査シート上における機能液滴の着弾位置を画像認識するための画像認識装置と、が必要となる。

この種の画像認識装置では、一般的に、検査シートの撮像結果と、理想的な着弾位置である理想値を示すデータとを重ね合わせて比較することにより、各吐出ノズルの良否を判定している。また、その比較結果をオペレータが確認できるように画面上に表示することもできる。しかしながら、実際の着弾位置と理想値とにずれが生じるのは、吐出ノズルそのものの性能だけでなく、ヘッドユニットの取り付け方、機能液滴の供給系、各吐出ノズルの駆動源（駆動電圧）などの原因も考えられる。そこで、これらの原因究明のため、画像認識装置の判定だけに頼るのではなく、オペレータが客観的に機能液滴の実際の着弾位置と、理想値とのずれ量を把握する必要があった。

本発明は、上記の問題点に鑑み、オペレータが、機能液滴の実際の着弾位置と、理想値とのずれ量を客観的に把握できる吐出検査装置、描画システム、ずれ量表示方法およびそのプログラムを提供することを課題とする。

本発明の吐出検査装置は、機能液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列から吐出された機能液滴の着弾位置を測定する着弾位置測定手段と、測定した着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフで表示する棒グラフ表示手段と、を備え、棒グラフ表示手段は、ノズル列を構成する複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量の最大値と最小値とを、棒グラフの両端として表示することを特徴とする。

本発明のずれ量表示方法は、コンピュータが、機能液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列から吐出された機能液滴の着弾位置を測定する着弾位置測定ステップと、測定した着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフで表示する棒グラフ表示ステップと、を実行し、棒グラフ表示ステップでは、ノズル列を構成する複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量の最大値と最小値とを、棒グラフの両端として表示することを特徴とする。

これらの構成によれば、ノズル列単位で、複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量（理想的な着弾位置−実際の着弾位置）の最大値と最小値との差（ずれ量の幅）を、棒グラフの長さによって把握することができる。これにより、機能液滴の実際の着弾位置の撮像結果と理想値とのずれ量を表示する場合と比較して、客観的にずれ量を把握することができると共に、ずれの原因（例えば、ヘッドユニットの取り付け方、機能液滴の供給系、各吐出ノズルの駆動源（駆動電圧）など）の推定に役立てることができる。
なお、ずれ量は、正方向／負方向が区別されることが好ましい。すなわち、「理想的な着弾位置−実際の着弾位置」の算出結果のプラス・マイナスを考慮して最大値と最小値とが特定される（ずれ量０よりも−Ｘのずれ量が小さいと看做す）ことが好ましい。この構成によれば、正方向のずれ量と負方向へのずれ量が区別できるため、ずれの原因推定に役立つ。

上記に記載の吐出検査装置において、棒グラフ表示手段は、複数のずれ量のヒストグラムを、棒グラフ上に濃淡表示することが好ましい。

この構成によれば、棒グラフの長さだけでなく濃淡によって、複数のずれ量の分布を把握することができる。例えば、通常は棒グラフの中心付近が濃くなることが予想されるが、棒グラフの端付近が濃い場合には、ずれの原因としてヘッドユニットの取り付け位置等を疑うことができる。

上記に記載の吐出検査装置において、Ｎ列（但し、ＮはＮ≧１となる整数）のノズル列が機能液滴吐出ヘッドに設けられると共に、Ｍ個（但し、ＭはＮ≧２となる整数）の機能液滴吐出ヘッドがサブキャリッジを介して１つのヘッドユニットに組み込まれている場合、棒グラフ表示手段は、同一のヘッドユニットに設けられているＮ＊Ｍ個のノズル列に対応するＮ＊Ｍ個の棒グラフを、各棒グラフの基準位置が直線上に並ぶように並列表示することが好ましい。

この構成によれば、ヘッドユニット単位で、棒グラフの長さや位置を把握することができる。これにより、全体的なずれ量の傾向を確認できるため、ずれの原因がヘッドユニットの傾きであるのか機能液滴吐出ヘッドの傾きであるのか等を判断することができる。

上記に記載の吐出検査装置において、棒グラフ表示手段は、棒グラフの長手方向において、各棒グラフの長さが所定長さを超えた場合、該当する棒グラフに、エラーを示す着色帯を重畳表示することが好ましい。

この構成によれば、ずれ量の最大値と最小値間の長さ（棒グラフの長さ）によって表されるずれ量のレンジが所定長さを超えた場合に、不良ノズル列であると判定できる。また、その不良ノズル列にエラーを示す着色帯を重畳表示するため、オペレータに対し判定結果を示すことができる。これにより、オペレータは、客観的にずれ量を把握しつつ、不良ノズル列であることを確認することができる。
なお、この構成は、ヘッドユニットの主走査方向におけるずれ量の判定に用いられることが好ましい。

上記に記載の吐出検査装置において、棒グラフ表示手段は、棒グラフの長手方向において、各棒グラフの両端の少なくとも一方が所定の範囲であるずれ許容範囲に含まれない場合、該当する棒グラフに、エラーを示す着色帯を重畳表示することが好ましい。

この構成によれば、ずれ量の最大値と最小値のいずれかが、ずれ許容範囲を超えた場合に、不良ノズル列であると判定できる。また、その不良ノズル列にエラーを示す着色帯を重畳表示するため、オペレータに対し判定結果を示すことができる。これにより、オペレータは、客観的にずれ量を把握しつつ、不良ノズル列であることを確認することができる。
なお、この構成は、ヘッドユニットの副走査方向におけるずれ量の判定に用いられることが好ましい。

上記に記載の吐出検査装置において、棒グラフ上に、ずれ許容範囲を表示するずれ許容範囲表示手段と、ずれ許容範囲の棒グラフの長手方向における中央位置を設定するずれ許容範囲設定手段と、を備え、ずれ許容範囲表示手段は、設定されたずれ許容範囲の中央位置の値を数値表示することが好ましい。

この構成によれば、ずれ許容範囲を表示するため、ずれ量の最大値および／または最小値がどの程度ずれ許容範囲を超えているのかを把握することができる。また、ずれ許容範囲設定手段により、不良ノズル列（不良ヘッド）が少なくなるように（より多くの棒グラフがずれ許容範囲内に収まるように）、ずれ許容範囲の位置（中央位置）を設定することができる。さらに、ずれ許容範囲の中央位置の値を数値表示するため、ヘッドユニットを描画装置のメインキャリッジに組み込むときの補正値としてこの値を用いることができる。

上記に記載の吐出検査装置において、ずれ許容範囲設定手段は、ずれ許容範囲を超える不良ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドである不良ヘッドの数ＨＸ（但し、ＨＸはＨＸ≦Ｍとなる整数）が少なくなるように、且つ当該不良ヘッド以外の機能液滴吐出ヘッドである良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＸ）＊Ｎ個のノズル列のずれ量の最大値と最小値との差である全体レンジが小さくなるように、中央位置を設定することが好ましい。

この構成によれば、ずれ許容範囲の中央位置が自動設定されるため、オペレータの手間を軽減できると共にオペレータの個人差による設定値のばらつきをなくすことができる。また、不良ヘッドの数が少なくなるように（良品数が多くなるように）、且つ良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＸ）＊Ｎ個のノズル列のずれ量の最大値と最小値との差であるずれ量の全体レンジが小さくなるように設定されるため、不良ヘッド数および吐出誤差を少なくすることができる。

上記に記載の吐出検査装置において、各機能液滴吐出ヘッドの吐出面と機能液滴の吐出対象物との間のギャップを測定し、その測定結果から各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別するギャップ判別手段と、各ノズル列から吐出される機能液滴の重量を測定し、その測定結果から各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別する重量判別手段と、をさらに備え、ずれ許容範囲設定手段は、ギャップ判別手段または重量判別手段の判別結果から不良品であると判別された機能液滴吐出ヘッドを除外して、中央位置を設定することが好ましい。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出面と機能液滴の吐出対象物との間のギャップ（ヘッド高さ）、および機能液滴の重量の測定結果に基づく、機能液滴吐出ヘッドの良否の判別結果を、ずれ許容範囲の位置の自動設定に用いることができる。つまり、ずれ許容範囲は不良ヘッドの数が少なくなるように設定されるが、これらの測定結果に基づいて不良品と判別された機能液滴吐出ヘッドをその対象から外すため、残りの機能液滴吐出ヘッドの中から良品数が多くなるように（すなわち、より適切な位置に）、ずれ許容範囲を設定することができる。

上記に記載の吐出検査装置において、ギャップ判別手段は、各機能液滴吐出ヘッドの四隅および中央位置におけるギャップの最大値と最小値との少なくとも一方が所定の範囲であるギャップ許容範囲を超える不良ヘッドの数ＨＺ（但し、ＨＺはＨＺ≦Ｍとなる整数）が少なくなるように、且つ当該不良ヘッド以外の機能液滴吐出ヘッドである良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＺ）個の機能液滴吐出ヘッドのギャップの最大値と最小値との差である全体レンジが小さくなるように、ギャップ許容範囲の最下位置を設定して、各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別することが好ましい。

この構成によれば、ギャップ許容範囲の最下位置が自動設定されるため、オペレータがヘッド高さを指定する手間を軽減できると共にオペレータの個人差による設定値のばらつきをなくすことができる。また、不良ヘッドの数が少なくなるように、且つ良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＺ）個の機能液滴吐出ヘッドのギャップの最大値と最小値との差であるギャップの全体レンジが小さくなるように設定されるため、不良ヘッド数およびヘッド高さのばらつきを少なくすることができる。

上記に記載の吐出検査装置において、ずれ許容範囲設定手段により設定されたずれ許容範囲の中央位置に基づくずれ量補正値と、ギャップ判別手段の判別結果から得られるギャップ許容範囲の最下位置の値であるギャップ補正値とを、ヘッドユニットを取り付けて描画を行う描画装置に出力する補正値出力手段をさらに備えたことが好ましい。

この構成によれば、ずれ量補正値とギャップ補正値とを出力するため、描画装置において、ヘッドユニットをメインキャリッジに組み込む際に利用することができ、描画装置の吐出精度を高めることができる。

本発明の描画システムは、上記に記載の吐出検査装置と、描画装置とがネットワーク接続されていることを特徴とする。

この構成によれば、オペレータが、機能液滴の実際の着弾位置と、理想値とのずれ量を客観的に把握できるため、着弾位置のずれの原因究明ができると共に、描画精度の高い描画システムを構築することができる。

本発明のプログラムは、コンピュータに、上記に記載のずれ量表示方法における各ステップを実行させるためのものであることを特徴とする。

このプログラムを用いることにより、オペレータが、機能液滴の実際の着弾位置と、理想値とのずれ量を客観的に把握できるずれ量表示方法を実行することができる。

以下、添付した図面を参照して、本実施形態に係る吐出検査装置、描画システム、ずれ量表示方法およびそのプログラムについて説明する。本発明の吐出検査装置は、１２個の機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を単一のサブキャリッジに組み込んだヘッドユニットの吐出性能を検査するものである。また、その検査結果を解析してヘッドユニットの良否を判定すると共に、オペレータに対して解析結果を分かり易く示すべく、ＧＵＩ表示することを特徴とするものである。

図１は、本発明の吐出検査装置５５を適用した描画システムＳＹの簡易構成図である。同図に示すように、描画システムＳＹは、吐出検査装置５５と、当該吐出検査装置５５の解析によって良品と判定されたヘッドユニット１を導入して描画を行う描画装置４００と、により構成されている。

吐出検査装置５５は、後述する描画検査装置５８、メンテナンス装置５９および給材装置６２（いずれも図６参照）を含む装置本体２００と、装置本体２００を制御する制御系３００と、から成る。また、制御系３００は、４台の制御コンピュータ６５，６６，６７ａ，６７ｂと、これら４台の制御コンピュータをＬＡＮ接続するためのハブ３１０と、を備えている。

４台の制御コンピュータ６５，６６，６７ａ，６７ｂは、吐出検査装置５５の全体制御を行う装置制御コンピュータ６５と、吐出検査装置５５の解析結果の表示および画像処理を行うためのＧＵＩ＆画像処理コンピュータ６６と、１ＣＯＭ用のヘッドユニット１ａを駆動制御する１ＣＯＭ用ヘッド駆動コンピュータ６７ａと、ＩＦＳ用のヘッドユニット１ｂを駆動制御するＩＦＳ用ヘッド駆動コンピュータ６７ｂと、から成り、１ＣＯＭ用ヘッド駆動コンピュータ６７ａとＩＦＳ用ヘッド駆動コンピュータ６７ｂとは、排他的に用いられる。

装置制御コンピュータ６５は、装置制御アプリケーションが組み込まれており、当該装置制御アプリケーションに基づいて、モーター、シリンダーおよびセンサー等の各種制御機器２９１を制御することにより、吐出検査装置５５を統括制御する。

ＧＵＩ＆画像処理コンピュータ６６は、吐出検査装置５５の解析およびその解析結果をディスプレイ３２０（図５参照）上に表示するためのＧＵＩアプリケーションと、ヘッドユニット１の吐出結果（機能液滴の着弾結果）を撮像して画像処理を行うための画像処理アプリケーションと、が組み込まれている。ＧＵＩアプリケーションは、後述するＧＵＩ画面Ｄ１〜Ｄ１０（図１４〜図２１）の表示を行うと共に、吐出検査装置５５内部に設けられた温度計２９２の検出結果を取得して不図示のＧＵＩ画面に表示する。なお、温度計２９２の検出結果は、吐出検査装置５５を収容するチャンバ装置６４（図５参照）の温度管理に用いられる。

一方、画像処理アプリケーションは、後述するカメラユニット７５の撮像結果を取得して、画像処理（機能液滴の着弾点の輪郭抽出など）を行う。なお、ＧＵＩアプリケーションは、画像処理アプリケーションによる画像処理結果を用いて機能液滴の着弾径を求めたり、着弾位置の実測値と理想値とを比較して機能液滴の飛行曲がりを検出したり等の処理も行う。

１ＣＯＭ用ヘッド駆動コンピュータ６７ａおよびＩＦＳ用ヘッド駆動コンピュータ６７ｂは、機能液滴の吐出／非吐出を定めた吐出パターンデータと、機能液吐出の駆動源となる駆動電圧を定めた駆動波形データと、に基づいて、それぞれのヘッドユニット１ａ，１ｂの駆動制御を行う。１ＣＯＭ用ヘッドユニット１ａは、ヘッドユニット１ａに組み込まれた１２個の機能液滴吐出ヘッド４（図４参照）に対しノズル列毎に駆動電圧を印加する方式のものである。また、ＩＦＳ用ヘッドユニット１は、各ノズルから吐出される機能液滴の重量を均一化するため、各ノズルの吐出性能に応じて１のノズル列を複数グループに分割し、グループ毎に複数種類の駆動電圧を印加する方式のものである。ＩＦＳ用ヘッドユニット１ｂは、この方式により歩留まりの向上が期待でき、１ＣＯＭ用ヘッドユニット１ａは、制御負荷が小さいといった利点がある。本実施形態の吐出検査装置５５は、この両方の方式に対応しており、吐出検査を行う場合はいずれか一方のヘッドユニット１が組み込まれるようになっている。なお、以下の説明においては、主に１ＣＯＭ用ヘッドユニット１ａについて述べる。

描画装置４００は、社内ＬＡＮ３２０を介して吐出検査装置５５と接続されており、基本構造は吐出検査装置５５と同様である。但し、１ＣＯＭ用ヘッドユニット１ａとＩＦＳ用ヘッドユニット１ｂとのいずれか一方のみに対応している点、ヘッドユニット１が複数台搭載されることに伴ってヘッド駆動コンピュータの組み込み数が多くなっている点、ＧＵＩアプリケーションが存在しない点において、吐出検査装置５５と異なる。なお、描画装置４００は、吐出検査装置５５の解析結果から得られる補正値（具体的には、主走査方向における着弾位置のずれを補正するためのＹ方向補正値、副走査方向における着弾位置のずれを補正するためのＸ方向補正値（ずれ量補正値）、およびヘッド高を補正するためのギャップ補正値）を取得すべく吐出検査装置５５とＬＡＮ接続されているが、補正値の取得後は、ＬＡＮ接続を切断し、単体で描画処理を行うことが可能である。また、補正値の取得は、ＬＡＮ接続に代えて、メモリカード等の記憶媒体を介して取得する構成としても良いし、インターネット等の通信回線を介して取得する構成としても良い。なお、上記のとおり、描画装置４００は、吐出検査装置５５と略同一の構造を有するため、以下詳細な説明を省略する。

次に、吐出検査装置５５の説明に先立ち、吐出検査装置５５の検査対象となるヘッドユニット１の構造について説明する。図２および図３に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、ヘッド保持部材３を介してサブキャリッジ２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド４と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド４は、６個ずつ左右に二分されている。各６個の機能液滴吐出ヘッド４は、それぞれＲ色、Ｇ色およびＢ色の３種類の機能液滴（インク液滴）を吐出するものであり、３種類の機能液滴吐出ヘッド４を１組とし、これを２組組み合わせて、副走査方向に対し平行に配設されると共に、相互に階段状に位置ずれして配設されている。このとき、６個の機能液滴吐出ヘッド４の内、同色の機能液滴を吐出する２つの機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において連続するよう配置されており、また、左右二分した各機能液滴吐出ヘッド群における同色の機能液滴を吐出する２つ機能液滴吐出ヘッド４は、副走査方向において機能液滴吐出ヘッド４、２個分の間隙を存して配置されている（図３（ａ）参照）。

サブキャリッジ２は、長方体状に構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４が取り付けられる略方形の本体プレート１０と、本体プレート１０の下面に突設した左右一対の基準ピン１１と、本体プレート１０の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材１２と、一対のプレート支持部材１２の上端部に掛け渡され、後述する吐出検査装置５５のメインキャリッジ７２に取り付けられるヘッド取付プレート９と、を有している。また、本体プレート１０上には、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の両側に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド４に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ１３が設けられ、各配管接続アッセンブリ１３は、吐出検査装置５５のインク供給系に配管接続される。なお、図示では省略したが、サブキャリッジには、機能液滴吐出ヘッドに接続される配線接続アッセンブリが設けられ、各配線接続アッセンブリは、吐出検査装置５５の制御系３００に配線接続される。

本体プレート１０は、ステンレス等の厚板で構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド４を取り付けるための１２個の装着開口２０が形成されている。また、本体プレート１０の４つの隅部には、後述する吐出検査装置５５の吸引装置６０および給材装置６２に位置決めして着座するための４つのセット孔２２が形成されており、セット孔２２は本体プレート１０を貫通して、各プレート支持部材１２内部まで延びている。

左右一対の基準ピン１１は、ヘッドユニット１を、後述する吐出検査装置５５のアライメントマスク１０６に対し、位置決めするための基準となるものであり、本体プレート１０の裏面に突出するように取り付けられている（図３（ｂ）参照）。図示は省略するが、基準ピン１１は、円柱状に構成され、その先端面は鏡面加工されると共に、その中央部には、凹状に形成した基準マークが設けられている。

一対の配管接続アッセンブリ１３は、各機能液滴吐出ヘッド４の両側に配設されており、各配管接続アッセンブリ１３は、各プレート支持部材１２に内側に向けて水平に取り付けた２枚の固定プレート２５と、各固定プレート２５上に立設した３つのバルブ取付プレート２６と、計６つのバルブ取付プレート２６に取り付けた６組の自己封止バルブ２７と、各自己封止バルブ２７の一端に配管接続された６つのタンク側接続カプラ２８と、で構成されている。６組の自己封止バルブ２７は、一方を２分岐継手２９および２本の配管チューブを介して機能液滴吐出ヘッド４に接続されると共に、他方をタンク側接続カプラ２８を介してインク供給系に接続される。

次に、図４を参照して、機能液滴吐出ヘッド４について説明する。この機能液滴吐出ヘッド４は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針を有し上記した２本の配管チューブが接続される機能液導入部４５と、機能液導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板３９と、機能液導入部４５の下方に連なる２連のポンプ部４６と、ポンプ部４６に連なるノズルプレート４７と、を備えている。また、このポンプ部４６とノズルプレート４７とにより、サブキャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッド本体５０が構成されている。

ノズルプレート４７のノズル面５１には、２列のノズル列が相互に平行に列設されており、各ノズル列は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル５２で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル５２のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル５２は、無効ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。

このように構成された機能液滴吐出ヘッド４は、そのヘッド本体５０を、本体プレート１０に形成した装着開口２０から、本体プレート１０の裏面側に突出させ、装着開口２０の縁部にあてがったヘッド保持部材３にネジ止め固定され、また、ヘッド保持部材３は、本体プレート１０に接着固定される。すなわち、本実施形態の検査の前工程として、ヘッドユニット１の組立が行われ、その際、サブキャリッジ２と１２個の機能液滴吐出ヘッド４とは、アライメントされた状態で組み立てられる。

次に、図５および図６を参照して、上記したヘッドユニット１の吐出性能を検査する吐出検査装置５５について説明する。吐出検査装置５５は、機台５６と、機台５６上に設けた石定盤５７と、石定盤５７上の全域に広く載置され、ヘッドユニット１を搭載した描画検査装置５８と、吸引装置６０およびワイピング装置６１を有するメンテナンス装置５９と、ヘッドユニット１を描画検査装置５８に供給する給材装置６２と、メンテナンス装置５９および給材装置６２を支持する共通架台６３と、を備えており、吐出検査装置５５はチャンバ装置６４内に収容されている。吐出検査装置５５は、給材装置６２により給材されたヘッドユニット１を、描画検査装置５８に搭載（セット）すると共に、搭載したヘッドユニット１を検査すべく、メンテナンス装置５９により機能液滴吐出ヘッド４の機能維持・回復を行いながら、描画検査装置５８により検査シートＳ上に機能液滴を吐出すると共に、吐出した機能液滴の着弾位置を検査する。また、チャンバ装置６４は、温度計２９２（図１参照）の検出結果に基づいて内部雰囲気が温度管理されると共に、クリーンルームを構成している。また、吐出検査装置５５には、装置全体を統括制御する制御系３００（４台の制御コンピュータ６５，６６，６７ａ，６７ｂ（図１参照）が組み込まれており、チャンバ装置６４の外に配置されている。

描画検査装置５８は、石定盤５７上に載置されると共に主走査方向に移動するＹ軸テーブル７０と、Ｙ軸テーブル７０を跨いで設置され、副走査方向に移動するＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１上を副走査方向にスライド自在に移動すると共に、ヘッドユニット１を着脱自在に垂設するメインキャリッジ７２と、メインキャリッジ７２の上側に搭載され、ヘッドユニット１に機能液を供給する機能液供給ユニット７３と、石定盤５７上に載置され、Ｙ軸テーブル７０に隣接配置したフラッシングユニット７４と、Ｘ軸テーブル７１上をメインキャリッジ７２とは別に副走査方向にスライド自在に移動するカメラユニット７５と、を備えている。この描画検査装置５８において、Ｘ軸テーブル７１とＹ軸テーブル７０とが交わる領域が処理エリアとなっており、処理エリアは、ヘッドユニット１により機能液滴を吐出する吐出エリアと、カメラユニット７５により着弾した機能液滴を撮像する撮像エリアとを兼ねている。

図７に示すように、Ｙ軸テーブル７０は、下Ｙ軸テーブル８０と、下Ｙ軸テーブル８０上に配設された上Ｙ軸テーブル８１と、を有しており、これらで２段階にスライド移動するよう構成されている。

下Ｙ軸テーブル８０は、Ｙ軸方向（主走査方向）に延在するよう石定盤５７上に直接支持された左右一対のテーブル台８５と、一対のテーブル台８５上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第１ガイドレール８６と、一方のテーブル台８５上に設けられたＹ軸リニアモータ（ロッドモータ）８７と、他方のテーブル台８５上に設けられたケーブル担持体８８と、Ｙ軸リニアモータ８７により第１ガイドレール８６上をスライド自在に移動する第１スライダ８９と、を備えており、下Ｙ軸テーブル８０は、微小な移動の調整を行うことが可能となっている。また、一対のテーブル台８５の間の石定盤５７上には、センターに位置してＹ軸方向に離間するよう（上記の一対の基準ピン１１に対応する寸法離れて）、２台のアンダーカメラ９１が配設されており、この２台のアンダーカメラ９１は、ヘッドユニット１と後述するアライメントマスク１０６とを位置合わせする際に用いられる。このため、第１スライダ８９には、各アンダーカメラ９１が臨む位置に、カメラ穴が形成されている。

さらに、一方のテーブル台８５には、ヘッドユニット１の高さレベルを測定するヘッド高測定器９５が設置されており、ヘッド高さの測定に基づいて、後述するアライメントテーブル１０５とヘッドユニット１との間、および吸着テーブル１０７とヘッドユニット１との間のワークギャップを、後述するメインキャリッジ７２のＺ軸テーブル１６６により調整する（図１１参照）。

一方、上Ｙ軸テーブル８１は、第１スライダ８９上に設けられ、Ｙ軸方向に延びる一対の第２ガイドレール１００と、一対の第２ガイドレール１００の外側に設けられたＹ軸ロッドレスシリンダ１０１と、Ｙ軸ロッドレスシリンダ１０１により第２ガイドレール１００上をスライド自在に移動する板状の第２スライダ（セットステージ）１０２と、を備えている。また、第２スライダ１０２上には、ヘッドユニット１から吐出される機能液滴の着弾位置における検査基準位置となるアライメントマスク１０６を保持したアライメントテーブル１０５と、吐出される機能液滴の着弾対象となる検査シートＳを吸着する吸着テーブル１０７と、がＹ軸方向に隣接して配置されており、アライメントマスク１０６の表面と検査シートＳの表面とは、面一になるよう調整されている。このため、第２スライダ１０２上には、吸着テーブル１０７とアライメントテーブル１０５とを位置決め固定する固定部がそれぞれ設けられている。また、第２スライダ１０２は、下方に臨む上記の２台のアンダーカメラ９１によりアライメントマスク１０６を画像認識すべく、各アンダーカメラ９１が臨む位置に、カメラ穴が形成されている。

ここで、上記の吸着テーブル１０７上の検査シートＳおよびアライメントテーブル１０５のアライメントマスク１０６は、メインキャリッジ７２に搭載されたカメラユニット７５の撮像対象となっており、上Ｙ軸テーブル８１は、撮像エリアに臨むアライメントテーブル１０５と吸着テーブル１０７との撮像位置を相互に入れ替えるために用いられている。カメラユニット７５は、Ｘ軸方向に隣接する２台の撮像カメラ（図示省略）を有しおり、アライメントマスク１０６の基準着弾位置に対し、検査シートＳ上に吐出した機能液滴の実着弾位置が、位置ズレしているか否かを検査すべく、上記のアライメントマスク１０６および２枚の検査シートＳを撮像する。加えて、検査シート上に着弾した機能液滴の直径を画像認識して、機能液滴の直径から吐出ノズル５２の液滴吐出量が適切か否か（駆動電圧が適切か否か）、また、全ての吐出ノズル５２から機能液滴が吐出されているか否かを検査する。なお、検査シートＳには、後述するアライメントマスク１０６の５組のマスクパターンに応じて、１２個の機能液滴吐出ヘッド４から吐出される機能液滴を５回受けることができるよう構成されている。つまり、ヘッドユニットから吐出される機能液滴の吐出検査を５回行う毎に、２枚の検査シートＳを取り替える。

Ｙ軸テーブル７０は、撮像エリアに臨んだアライメントテーブル１０５から吸着テーブル１０７に、または、吸着テーブル１０７からアライメントテーブル１０５に位置を入れ替える際は、上Ｙ軸テーブル８１により相互の位置を入れ替えた後、下Ｙ軸テーブル８０により、Ｙ軸方向において位置を微調整する。これにより、下Ｙ軸テーブル８０の移動を極力抑えることができるため、下Ｙ軸テーブル８０の絶対位置決め精度を維持することが可能となる。また、下Ｙ軸テーブル８０は、吸着テーブル１０７を、検査シートＳをセットするシートセットエリアＳＡと、上記の処理エリアとの相互間で適宜移動させる。

次に、図８および図９を参照して、アライメントテーブル１０５について説明する。アライメントテーブル１０５は、アライメントマスク１０６と、これを保持するマスク保持ステージ１３５と、を備えており、マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を保持した状態で、第２スライダ１０２に設けられた固定部に位置決めされて取り付けられる。

図９に示すように、アライメントマスク１０６は、石英ガラスで板状に構成され、その表面上には、各種マークがマーキングされると共に、その上面四周縁部は、外方に下り斜面の傾斜面１３６ａに形成されている。各種マークは、ヘッドユニット１の位置を補正するための上下一対のヘッド基準マーク１４０と、ヘッドユニット１から吐出された機能液滴を検査するための基準着弾位置となる複数の着弾基準マーク１４１と、を有しており、これら各基準マークのマスクパターンを１組として、計５組Ｙ軸方向に相互に位置ズレした状態でアライメントマスク１０６にマーキングされている。

また、各種マークは、２台のアンダーカメラ９１およびカメラユニット７５の２台の撮像カメラを補正するための３つのキャリブレーションマーク群１４２を有しており、３つのキャリブレーションマーク群１４２は、アライメントマスク１０６の図示下側に形成された１つが、各アンダーカメラ９１の位置を補正するものであり、アライメントマスク１０６の図示中央の左右両側に形成された２つが、カメラユニット７５の位置を補正するものである。

マスク保持ステージ１３５は、アライメントマスク１０６を載置するマスクプレート１４５と、マスクプレート１４５上に設けられ、載置されたアライメントマスク１０６の位置決めを行うマスク位置決め手段１４６と、位置決めされたアライメントマスク１０６をマスクプレート１４５に押さえ込む８つのマスク押え部材１４７と、第２スライダ１０２上に載置するアライメントテーブル１０５の高さを調整する４つの第２高さ調整ネジ１４８と、を有している。

マスクプレート１４５は、アライメントマスク１０６よりも一回り大きく形成され、その中央にアライメントマスク１０６を載置している。また、マスクプレート１４５には、下方に臨む２台のアンダーカメラ９１によるヘッド基準マーク１４０およびキャリブレーションマーク群１４２の撮像を許容すべく、対応する位置に一対のカメラ孔１４３が形成されている。また、マスクプレート１４５の上面四隅には、上記した４つの第２高さ調整ネジ１４８が設けられており、これを回動させることで第２スライダ１０２に載置する高さを調整している。

ここで、図１０を参照し、カメラユニット７５がアライメントマスク１０６および検査シートＳを撮像する処理について説明する。１組のマスクパターンを例にすると、先ず、各カメラユニット７５は、図示下側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の上側のノズル列（Ｂ列）にあたる着弾位置を、図示左側から図示右側へ移動して撮像する（実際には、着弾ドット数個単位）。図示右側まで移動しきった後、図示下側へ移動し、下側のノズル列（Ａ列）にあたる着弾位置を図示右側から図示左側へ移動して撮像する。１の機能液滴吐出ヘッド４の撮像が終了すると、今度は、その上側に位置した機能液滴吐出ヘッド４の着弾位置を撮像し、これを６回繰り返すことで、カメラユニット７５により、アライメントマスク１０６の全ての着弾基準マーク１４１を撮像する。また、全く同じ手順で、カメラユニット７５は、検査シートＳに着弾した全ての機能液滴の実着弾位置（着弾パターン）を撮像する。すなわち、アライメントマスク１０６の撮像手順と、検査シートＳの撮像手順とを全く同一とし、手順の相違に基づく誤差を生じないよう配慮されている。さらに、カメラユニット７５の２台の撮像カメラは、吐出検査毎に異なる組のマスクパターンを撮像しており、各組のマスクパターンおよび各組の着弾パターンの撮像手順を、上記と全く同じ手順とし、この場合も、手順の相違に基づく誤差を生じないよう配慮されている。なお、これらの移動は、相対的なものであり、Ｘ軸テーブル７１と、下Ｙ軸テーブル８０とで行われている。また、実際の動作では、アライメントマスク１０６の撮像、機能液滴吐出ヘッド４による検査吐出、検査シートＳの撮像の手順となる。そして、検査吐出は、ヘッドユニット１を停止させた状態で行われる。すなわち、アライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１の配置パターンと、実着弾位置の配置パターンとは、同一となる。

次に、図６を参照して、Ｘ軸テーブル７１について説明する。Ｘ軸テーブル７１は、一対の走行レール上を走査するＸ軸リニアモータ（ロッドモータ）１６０を有しており、これに上記のメインキャリッジ７２およびカメラユニット７５を個別に移動自在に搭載している。Ｘ軸テーブル７１は、石定盤５７上に立設した４本の柱１６１に支持されており、Ｙ軸テーブル７０を跨いでメンテナンス装置５９の上方に臨む位置まで延在している。Ｘ軸テーブル７１は、メインキャリッジ７２に搭載したヘッドユニット１を、メンテナンス装置５９の直上部に位置するメンテナンスエリアと、フラッシングユニット７４の直上部に位置するフラッシングエリアと、上記の処理エリアとの相互間で、適宜移動させる。また、Ｘ軸テーブル７１は、カメラユニット７５を処理エリアと、待機エリアとの相互間で、適宜移動させる。

ここで、図１１を参照して、Ｘ軸テーブル７１上を移動するメインキャリッジ７２について説明する。メインキャリッジ７２は、一対の走行レールに掛け渡されたキャリッジフレーム１６５と、キャリッジフレーム１６５に取り付けられ、ヘッドユニット１を昇降自在に移動させるＺ軸テーブル１６６と、Ｚ軸テーブル１６６に垂設され、ヘッドユニット１をθ方向に回転させるθテーブル１６７と、θテーブル１６７に垂設され、ヘッドユニット１を着脱自在に保持するヘッドユニットホルダ１６８と、を有している。また、メインキャリッジ７２には、機能液滴吐出ヘッド４を駆動するための駆動ドライバを収容した駆動ボックス１６９が搭載されている（図６参照）。また、当該駆動ボックス１６９は、ヘッド駆動コンピュータ６７ａ，６７ｂ（図１参照）によって制御される。

キャリッジフレーム１６５は、キャリッジフレーム１６５の内部には、Ｚ軸テーブル１６６の上端部が固定され、キャリッジフレーム１６５の一方の側板には、上記の機能液供給ユニット７３が取り付けられている。Ｚ軸テーブル１６６は、下Ｙ軸テーブル８０に設けられたヘッド高測定器９５の測定結果に基づいて、ヘッドユニット１を昇降させてワークギャップを調整したり、また、後述するヘッドユニット１の除給材における除給材動作において、待機位置と除給材位置との間で適宜ヘッドユニット１を昇降させる。θテーブル１６７は、アライメントマスク１０６を基準としてヘッドユニット１の位置決めを行う際に用いられる。

図示は省略するが、ヘッドユニットホルダ１６８の下端面には、ヘッドユニット１を保持するための複数のばか穴が形成されると共に、ヘッドユニット１の上端面にも、上記の複数のばか穴に対応する位置に、複数のばか穴１７３が形成されており（図２参照）、これらを相互に重ね合わせてボルト止めすることにより、メインキャリッジ７２にヘッドユニット１が着脱自在に取り付けられている。

次に、図１２を参照して、フラッシングユニット７４について説明する。フラッシングユニット７４は、各機能液滴吐出ヘッド４から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、ヘッドユニット１が、定期的にフラッシングを行うことで、機能液滴の吐出状態を安定させ、この状態で、ヘッドユニット１の吐出検査を行うよう構成されている。また、このフラッシングユニット７４では、機能液滴吐出ヘッド４から吐出される機能液の重量をノズル列毎に測定する重量測定機能を有している。

フラッシングユニット７４は、１つの機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受ける容器２４０および容器２４０内の機能液の重量を測定する電子天秤２４１から成る重量測定ユニット２４２と、容器２４０の周囲に配設され、容器２４０への吐出の際に他の機能液滴吐出ヘッド４から吐出された機能液滴を受けると共に、いわゆる定期フラッシングを受けるフラッシングボックス２４３と、これらを支持する支持フレーム２４４と、支持フレーム２４４を昇降自在に載置する昇降テーブル２４５と、昇降テーブル２４５をＹ軸方向に移動させる移動テーブル２４６と、を有している。また、フラッシングユニット７４は、フラッシングボックス２４３内に吐出された機能液を吸引する機能を有しており、吸引された機能液は、メンテナンス装置５９に設けたフラッシング廃液タンク（図示省略）に排出される。

移動テーブル２４６は、Ｙ軸テーブル７０とメンテナンス装置５９との間の石定盤５７上に配設されており、重量測定ユニット２４２とフラッシングボックス２４３とをＹ軸方向に移動させる。つまり、移動テーブル２４６とＸ軸テーブル７１との協働により、ヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド４における任意のノズル列に、容器２４０を臨ませる構成となっている。なお、定期フラッシングの場合には、各機能液滴吐出ヘッド４は容器２４０から外れてフラッシングボックス２４３上に臨む。また、昇降テーブル２４５は、上記のヘッド高測定器９５により設定されたヘッドユニット１の高さに合わせて、重量測定ユニット２４２およびフラッシングボックス２４３の高さを調整するものである。

支持フレーム２４４は、昇降テーブル２４５上に固定された下支持プレート２５０と、下支持プレート２５０の四隅から立設した４本の支持部材２５２と、４本の支持部材２５２の上端部に固定された上支持プレート２５１と、で長方体状に構成されている。下支持プレート２５０上には、上記の電子天秤２４１が配設されており、一方、上支持プレート２５１上には、フラッシングボックス２４３が配設されている。

容器２４０は、電子天秤２４１上に配設され、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の機能液をそれぞれ受ける３つ機能液受け部２７８が形成されている。この各機能液受け部２７８は、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面５１に対応する大きさを有し、直上部に臨んだ機能液滴吐出ヘッド４からは、ノズル列単位で機能液滴が吐出される。電子天秤２４１は、上記の容器２４０に吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、振動の影響を受けないよう防振パッド上に設置されている。

以下、機能液滴の重量測定を行う一連の動作について説明する。移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４の一方のノズル列を、液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませる。この後、機能液滴吐出ヘッド４からノズル列単位で機能液滴を吐出（数万発）し、電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する（電子天秤２４１は、測定数値が安定するまで時間がかかる）。このとき、１の機能液滴吐出ヘッド４における隣接したノズル列には、いわゆる微振動波形が印加され、メニスカスが維持される。また、測定していない他の機能液滴吐出ヘッド４からも機能液滴を吐出させ、フラッシングを行っている。次に、他方のノズル列を液色に対応した容器２４０の機能液受け部２７８に臨ませ、上記と同様に電子天秤２４１により機能液滴の重量を測定する。そして、他の機能液滴吐出ヘッド４の機能液滴の重量測定を行う場合は、移動テーブル２４６およびＸ軸テーブル７１により、所望の機能液滴吐出ヘッド４を容器に臨ませる。なお、フラッシングのみを行う場合は、第２容器収容孔２７０を挟む一対の吸収材２６５に機能液滴を吐出する。その際、移動テーブル２４６はホーム位置に臨んでいる。

次に、図１３のフローチャートを参照し、吐出検査装置５５における一連の自動測定動作について説明する。先ず、ヘッドユニット１がセットされた給材装置６２およびメインキャリッジ７２をメンテナンスエリア上に臨ませ、この後、作業者はメインキャリッジ７２にヘッドユニット１を取り付ける（Ｓ０１）。次に、メインキャリッジ７２をヘッド高測定器９５が設置されている場所まで移動させて、ヘッド高測定器９５によりヘッドユニット１の高さ（各機能液滴吐出ヘッド４の高さ）を測定すると共に、測定した高さに基づいてメインキャリッジ７２のＺ軸テーブル１６６により、ヘッドユニット１の高さ調整を行う（Ｓ０２）。なお、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の高さ（ワークギャップ）のばらつきが大きい場合は、不良ヘッドが存在すると判定し（ギャップ判別手段）、この時点で測定動作を中止する。

ヘッドユニット１の高さ調整後、メインキャリッジ７２を再びメンテナンスエリアに臨ませると共に、吸引装置６０もメンテナンスエリアに臨ませる。そして、吸引装置６０により機能液滴吐出ヘッド４をキャッピングして吸引を行い、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる（Ｓ０３）。このとき、ヘッドユニット１内に機能液を充填させる際は、先ず、強い吸引を行って、ヘッド内流路に機能液を充填させ、この後、弱い吸引を行って、ヘッド内流路に生じた気泡を排除するよう構成されている。機能液の充填後、今度は、メンテナンスエリアにワイピング装置６１を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド４のノズル面を拭き取る。

次に、ヘッドユニット１をフラッシングエリアに臨ませて、ノズル列毎に吐出される機能液滴の重量を測定し、各ノズル列に印加する駆動電圧（ＶＨ）が適切な範囲に収まるか否かを判別する（Ｓ０４，重量判別手段）。ここで、不良ノズル列（不良ヘッド）が検出された場合は、測定動作を中止する。

ＶＨ測定後、再びヘッドユニット１をメンテナンスエリアに臨ませる。この後、カメラユニット７５およびアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませ、カメラユニット７５によりアライメントマスク１０６の着弾基準マーク１４１を、カメラユニット７５により取り込む。次に、カメラユニット７５を退避させ、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、Ｙ軸テーブル７０によりアライメントマスク１０６を処理エリアに臨ませる。そして、２台のアンダーカメラ９１の撮像結果に基づいて、ヘッドユニット１の基準マークとアライメントマスク１０６のヘッド基準マーク１４０とを、θテーブル１６７、Ｘ軸テーブル７１およびＹ軸テーブル７０の協働により位置合わせを行う（Ｓ０５）。位置合わせが終了すると、ヘッドユニット１を一旦フラッシングエリアに臨ませてフラッシングを行い、この後、ヘッドユニット１を処理エリアに臨ませると共に、アライメントマスク１０６に代えて２枚の検査シートＳを処理エリアに臨ませ、この検査シートＳ上に機能液滴を吐出する。

吐出後、ヘッドユニット１はメンテナンスエリアに臨み、吸引装置６０によりキャッピングされる。この後、カメラユニット７５により検査シートＳに着弾した機能液滴の着弾位置を撮像し（着弾位置測定手段）、ＧＵＩ＆画像処理コンピュータ６６（図１参照）により、着弾基準マーク１４１の配置パターンと実際に着弾した機能液滴の実着弾位置の配置パターンとを比較して、着弾ズレが生じていないかを解析する（着弾位置測定手段）と同時に、着弾した機能液滴の直径を画像認識し、機能液滴の直径から吐出ノズル５２の液滴吐出量が適切か否かを解析する（Ｓ０６）。

検査終了後、作業者が、再度ヘッドユニット１の検査を行う必要があると判断した場合は、同様の上記の検査を繰り返し行い、必要が無いと判断した場合は、キャップユニット３０９を待機位置に移動させて、メインキャリッジ７２からヘッドユニット１を取り外して除材を行う（Ｓ０７）。

次に、図１４ないし図２１を参照し、ＧＵＩ＆画像処理コンピュータ６６のディスプレイ３２０（図５参照）上に表示されるＧＵＩ画面Ｄ１〜Ｄ１０について説明する。これらのＧＵＩ画面Ｄ１〜Ｄ１０は、ＧＵＩアプリケーション（図１参照）によって表示されるものであり、オペレータに対し、上記の自動測定動作の測定結果およびその解析結果を分かり易く且つ客観的に示すためのものである。

ＧＵＩアプリケーションを起動すると、吐出検査装置５５で動作させるための「実機モード」と、解析を行うための「パソコンモード」とのいずれかを選択するためのタイトル画面（図示省略）が表示されるが、図１４は、そのタイトル画面において「パソコンモード」が選択された場合に遷移するパソコンモードメイン画面Ｄ１を示している。

パソコンモードメイン画面Ｄ１は、上記の自動測定動作の測定結果ファイル（測定データ）の保存先をフォルダ構造で示すフォルダ表示領域Ｅ１と、測定結果ファイルのファイル情報を示すファイル情報表示領域Ｅ２と、測定結果および解析結果を項目別に表示するためのボタン群を有する項目表示領域Ｅ３と、を備えている。

上記の自動測定動作の測定結果ファイルは、装置制御コンピュータ６５またはＧＵＩ＆画像処理コンピュータ６６のハードディスク（図示省略）内に保存されており、ユーザがフォルダ表示領域Ｅ１において、解析対象となる測定結果ファイルを指定し、矢印ボタン５０６を押下することで、測定データの解析を行う。なお、矢印ボタン５０６の押下に代えて、フォルダ表示領域Ｅ１からファイル情報表示領域Ｅ２に、測定結果ファイルをドラッグ＆ドロップしても良い。

項目表示領域Ｅ３は、高さ測定ボタン５０１、ＶＨ測定ボタン５０２、着弾＆総合ボタン５０３、ビュアーボタン５０４および環境設定ボタン５０５を有している。高さ測定ボタン５０１は、各機能液滴吐出ヘッド４の吐出面と吸着テーブル１０７（機能液滴の吐出対象物）との間のワークギャップ（ヘッド高さ）の測定結果を表示させるためのボタンであり、押下されると高さ測定結果画面Ｄ２（図１５参照）に遷移する。また、ＶＨ測定ボタン５０２は、機能液滴の重量測定結果と、当該測定結果から得られる適正駆動電圧を表示させるためのボタンであり、押下されるとＶＨ測定結果画面Ｄ３（図１６参照）に遷移する。また、着弾＆総合ボタン５０３は、着弾位置および着弾径の測定結果と、当該測定結果から得られるずれ量補正値、並びに全項目の総合判定結果を表示させるための総合判定画面Ｄ４〜Ｄ７（図１７〜図２０参照）に遷移する。なお、これら総合判定画面Ｄ４〜Ｄ７は、１つの画面上で表示可能となっており、設定によって上記の高さ測定結果画面Ｄ２の一部、およびＶＨ測定結果画面Ｄ３の一部を総合判定画面の一部として表示させることが可能となっている。

また、ビュアーボタン５０４は、実際に着弾した位置を把握するためのビュアー画面（図示省略）を表示させるためのボタンである。当該ビュアー画面では、ノズル単位で、実際の着弾結果と理想値（設計値）とを視覚的に把握することができると共に、画像処理アプリケーション（図１参照）による画像処理結果（カメラユニット７５の撮像結果を画像処理したもの）を確認することができるようになっている。また、環境設定ボタン５０５は、ＧＵＩアプリケーションの動作に必要な情報を設定するための環境設定画面（図示省略）を表示させるためのボタンである。当該環境設定画面では、ネットワークの設定や各種フォルダの設定が可能となっている。

次に、図１５を参照し、高さ測定結果画面Ｄ２について説明する。高さ測定結果画面Ｄ２は、１回目の高さ測定であるプリ高さ測定結果を数値表示するプリ高さ数値結果表示領域Ｅ５と、当該プリ高さ測定結果をグラフ表示するプリ高さグラフ表示領域Ｅ６と、２回目の高さ測定である本高さ測定結果を数値表示する本高さ数値結果表示領域Ｅ７と、当該本高さ測定結果をグラフ表示する本高さグラフ表示領域Ｅ８と、を備えている。

このように、高さ測定は２回に分けて実行され、実際の解析に用いるのは２回目の本高さ測定結果である。１回目のプリ高さ測定は、ワークギャップが大きい状態での測定であり、本高さ測定を実行可能であるか否かの判定に用いられる（このとき、測定したワークギャップが所定値以下となる機能液滴吐出ヘッド４が存在する場合はエラー判定となる）。つまり、プリ高さ測定によって得られるワークギャップの最小値によって、本高さ測定時の設計上のワークギャップを決定する。

プリ高さグラフ表示領域Ｅ６および本高さグラフ表示領域Ｅ８に示すように、高さ測定は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４と、機能液滴吐出ヘッド４が取り付けられる本体プレート１０の下面に突設した左右一対の基準ピン１１（図３（ｂ）参照）と、を測定する。２つの基準ピン１１（マスターピン（ＭＰ）およびスレーブピン（ＳＰ））の測定結果からは、サブキャリッジ２の傾きを確認することができる。

また、各機能液滴吐出ヘッド４は、ノズルプレート４７（ノズル面５１，図４参照）の４つの角部と、ノズルプレート４７の中心位置と、の計５箇所を測定し、ヘッド毎の棒グラフＧＺ（幅を持った帯）で表示する。この場合、同一のヘッドユニット１に設けられている機能液滴吐出ヘッド１２個分のノズル列に対応する１２個の棒グラフＧＺを、各棒グラフＧＺの基準位置が直線上に並ぶように並列表示する。各棒グラフＧＺは、５箇所の測定結果のうち最小値と最大値とが両端となるように表示されており、最小値と最大値以外の３つの測定結果も、棒グラフＧＺ上に小さな横線（黒色）で表示される。また、５箇所の測定結果のうちノズルプレート４７の中心位置を示すものは、上記の横線よりも若干長めの赤線で表示される。この表示により、オペレータは、例えばプリ高さグラフ表示領域Ｅ６の測定結果から、Ｈ０１ヘッドが一番下に取り付けられていること（ＧＺ０１）、Ｈ１１ヘッドが一番上に取り付けられていること（ＧＺ１１）、Ｈ０５ヘッドが一番傾いていること（ＧＺ０５）を確認することができる。

さらに、プリ高さグラフ表示領域Ｅ６および本高さグラフ表示領域Ｅ８では、１２個の機能液滴吐出ヘッド４の全測定結果（１２＊５＝６０箇所の測定結果）のうち、最小値となる値５１３を数値表示し、当該最小値＋１００μｍとなる上限ラインＬ２と、当該最小値−５０μｍとなる下限ラインＬ３と、を表示する。また、下限ラインＬ３については、その値５１４も数値表示する。

一方、プリ高さ数値結果表示領域Ｅ５および本高さ数値結果表示領域Ｅ７では、全測定結果の最小値（値５１３）、良品と判定されたヘッド数および全測定結果のレンジを数値表示する。良品ヘッドであるか否かの判定は、対応する棒グラフＧＺの最小値から最大値が、全測定結果の最小値から＋１００μｍ（ギャップ許容範囲）以内であるか（Ｌ１〜Ｌ２の範囲に収まるか）否かに基づく。

高さ測定では、全測定結果の最小値（値５１３）を狙い値に近づけるべく、メインキャリッジ７２のＺ軸テーブル１６６を上下させながら測定を繰り返す。その結果、最大値が全測定結果の最小値から＋１００μｍ以内に収まらなかったものを不良ヘッドと判定する。この場合、本実施形態のＧＵＩアプリケーションは、不良ヘッドがなるべく少なくなるように、且つ良品ヘッドのレンジ（全体レンジ）が小さくなるように最小値（値５１３）を求める。つまり、図２２（ａ）に示すように、最小値５１３（図示の例の場合、＋０．４１７ｍｍ）から＋１００μｍ以内に収まらないＨ０９ヘッド（ＧＺ０９）を、単純に不良ヘッドと判定するのではなく、同図（ｂ）に示すように、最小値５１３を変更することで（図示の例の場合、＋０．４５９ｍｍ）、Ｈ０６ヘッド（ＧＺ０６）を不良ヘッドと判定する。これにより、全体レンジが小さくなるためヘッド高さのばらつきが小さくなり、良好な描画結果を得ることができる。なお、上記のアルゴリズムに従って得られた最小値５１３（ギャップ補正値）は、ヘッドユニット１を特定する情報と共に装置制御コンピュータ６５に送信されて（補正値出力手段）、不図示の記憶領域に保存される。当該記憶領域は、描画装置４００により描画処理前に参照されて、描画装置４００にヘッドユニット１を組み込む際の補正値として用いられる。

なお、自動的に最小値５１３を設定するのではなく、オペレータによる最小値の指定（本高さグラフ表示領域Ｅ８上における最小値の移動操作）に基づいて最小値５１３を設定するようにしても良い。また、不良ヘッドと判定されたヘッドに対応する棒グラフ（図２２（ａ）の場合ＧＺ０９，図２２（ｂ）の場合ＧＺ０６）は、その旨を示すべく、カラー表示されることが好ましい。

次に、図１６を参照し、ＶＨ測定結果画面Ｄ３について説明する。ＶＨ測定結果画面Ｄ３は、機能液滴の重量測定結果および適正駆動電圧の算出結果を数値表示する数値結果表示領域Ｅ１１と、当該機能液滴の重量測定結果および適正駆動電圧の算出結果をグラフ表示するグラフ表示領域Ｅ１２と、を備えている。

機能液滴の重量測定は、ノズル列毎に２回ずつ行われ、その測定結果に基づいて、各ノズル列の適正駆動電圧（ＶＨ）を求める。したがって、測定は１２＊２列（Ａ列／Ｂ列）の２４回実行される。数値結果表示領域Ｅ１１では、１回目の測定結果（駆動電圧Ｖ１を印加したときの測定結果）をＩＷ１、２回目の測定結果（駆動電圧Ｖ２を印加したときの測定結果）をＩＷ２として数値表示する（但し、Ｖ１＜Ｖ２）。また、図２３に示すように、これらの測定結果を、１次関数ｙ＝ａｘ＋ｂに導入して定数ａおよびｂの値を求めた後、ｙの値が狙い値（設計上の狙い重量）となるようなｘの値を求める。すなわち、このｘの値が、適正駆動電圧（ＶＨ）となる。なお、数値結果表示領域Ｅ１１では、この適正駆動電圧が所定範囲（＋１０ｖ〜＋３０ｖ）内であるか否かに応じて判定された良品／不良品の判定結果も「状態」として表示する。

一方、グラフ表示領域Ｅ１２では、算出された適正駆動電圧（ＶＨ）を、図示左側からヘッド番号順且つノズル列毎に（左からＡ列，Ｂ列の順で）棒グラフＧＨで表示すると共に、当該棒グラフＧＨに重畳して２回の重量測定結果（ＩＷ１，ＩＷ２）を細い棒グラフＧＷａ，ＧＷｂで表示する。この２つの棒グラフは、図示左側が１回目の重量測定結果（ＩＷ１）を示す棒グラフＧＷａで、図示右側が２回目の重量測定結果（ＩＷ２）を示す棒グラフＧＷｂである。

なお、同図の例では、ＶＨ測定結果として、全てのノズル列が良品と判定されているが、２列のノズル列のうち、いずれか一方が不良品の場合、そのノズル列を有する機能液滴吐出ヘッド４は不良ヘッドと判定され、その判定結果は装置制御コンピュータ６５に送信される。また、図１３に示した自動測定動作では、不良ヘッドを検出された時点で測定を中止する。

次に、図１７を参照し、総合判定画面の一つであるＸ方向着弾ずれ表示画面Ｄ４について説明する。Ｘ方向着弾ずれ表示画面Ｄ４では、図示下側からヘッド番号順且つＡ列，Ｂ列の順で、ノズル列毎のＸ方向における着弾ずれの分布を示す棒グラフＧＸを表示する（棒グラフ表示手段，棒グラフ表示ステップ）。この場合、同一のヘッドユニット１に設けられている機能液滴吐出ヘッド１２個＊ノズル列２列（Ａ列／Ｂ列）の２４列分のノズル列に対応する２４個の棒グラフＧＸを、各棒グラフＧＸの基準位置（例えば、ずれ量０．０μｍ）が直線上に並ぶように並列表示する。

各棒グラフＧＸは、１８０個のノズルからの機能液滴吐出によるＸ方向（副走査方向）の着弾ずれ量の最大値と最小値とが、その両端となるように表示される。例えば、Ｈ０１ヘッドのＡ列の場合、棒グラフＧＸ０１Ａに示すように、１８０個の着弾ずれ量の最大値は略１５μｍであり最小値は略８μｍである。さらに、各棒グラフＧＸは、図１７（ｂ）に示すように、１８０個の着弾ずれ量のヒストグラムが濃淡表示される。同図に示す棒グラフＧＸ０１Ａの場合、端部付近よりも中央付近が濃く、これによりオペレータは設計上好ましいノズル列であると判断できる。

また、Ｘ方向の着弾ずれの解析では、２４列分の着弾ずれのレンジが、所定範囲（ずれ許容範囲）に収まることが良品判定の条件であり、所定範囲の中央位置をラインＬ２１、所定範囲の下限位置をラインＬ２２、所定範囲の上限位置をラインＬ２３でそれぞれ示している（ずれ許容範囲表示手段）。この所定範囲は、棒グラフＧＸの長手方向に移動可能であり、適切な位置に自動設定される（ずれ許容範囲設定手段）。適切な位置とは、上記の高さ測定の場合と同様に、不良ヘッドがなるべく少なくなるように、且つ良品ヘッドのレンジ（全体レンジ）が小さくなるような位置を指す。但し、所定範囲の移動は、下限リミット（−２０μｍ）および上限リミット（＋２０μｍ）によって規制される（ラインＬ２４およびラインＬ２５参照）。また、ここでは、設定された所定範囲の中央位置（値５２１）に基づいて、Ｘ方向におけるずれ量補正値を求める。このように、不良ヘッドがなるべく少なくなるように所定範囲を設定するため、歩留まりを向上させることができる。また、良品ヘッドの全体レンジが小さくなるように所定範囲を設定するため、着弾ずれの幅が小さくなり、良好な描画結果を得ることができる。

なお、上記のアルゴリズムに従って得られた所定範囲の中央位置に基づいて、Ｘ方向におけるずれ量補正値を算出し（詳細については後述する）、当該ずれ量補正値は、上記のギャップ補正値と共に装置制御コンピュータ６５に送信されて（補正値出力手段）、不図示の記憶領域に保存される。描画装置４００は、このＸ方向におけるずれ量補正値に基づいて、メインキャリッジへのヘッドユニット１の取り付け位置を補正したり、Ｘ軸リニアモータ１６０の移動量を補正したり等の補正処理を行う。

一方、１８０個の着弾ずれ量の最大値または最小値の少なくとも一方が所定範囲（Ｌ２２〜Ｌ２３の範囲）に含まれないことにより、不良と判定されたノズル列に対応する棒グラフ（同図の場合、ＧＸ０１Ｂ）は、エラーを示す着色帯が重畳表示される。図示の例では、着弾ずれ量の最小値が、所定範囲に含まれないことにより不良ノズル列と判定している。さらに、図示の例では、Ｈ１２ヘッドのＡ列に対応する棒グラフＧＸ１２Ａにも、エラーを示す着色帯が重畳表示されている（但し、上記の棒グラフＧＸ０１Ｂとは異なる表示形態である）。この着色帯は、Ｘ方向着弾ずれ表示画面Ｄ４を仕切るように画面Ｄ４の横方向いっぱいに表示されており、そのノズル列が不良品と判定されていることを示す。詳細については後述するが、Ｈ１２ヘッドのＡ列は、吐出不良によって不良品と判断されている（図２１参照）。

なお、上記の例では、不良ヘッドが少なくなるように、且つ良品ヘッドの全体レンジが小さくなるように、所定範囲の中央位置が設定されるものとしたが、他の項目において不良品と判定されたノズル列、およびそのノズル列を含む機能液滴吐出ヘッド４はその対象から除外することが好ましい。すなわち、上記の例の場合、棒グラフＧＸ１２Ａ以外の２３個の棒グラフＧＸの中において、不良ヘッドがなるべく少なくなるように、且つ良品ヘッドの全体レンジが小さくなるように、所定範囲が設定されることが好ましい。上記の例では、吐出不良によって不良品と判定されているが、高さ測定結果およびＶＨ測定結果によって不良と判定された機能液滴吐出ヘッド４（ノズル列）についても同様である。

また、所定範囲は、自動的にその中央位置５２１を設定するのではなく、オペレータによる最小値の指定（Ｘ方向着弾ずれ表示画面Ｄ４上における所定範囲の移動操作）に基づいて中央位置５２１を設定するようにしても良い。

次に、図１８を参照し、総合判定画面の一つであるＹ方向着弾ずれ表示画面Ｄ５について説明する。Ｙ方向着弾ずれ表示画面Ｄ５では、図示左側からヘッド番号順且つＡ列，Ｂ列の順で、ノズル列毎のＹ方向における着弾ずれの分布を示す棒グラフＧＹを表示する。この場合、同一のヘッドユニット１に設けられている機能液滴吐出ヘッド１２個＊ノズル列２列（Ａ列／Ｂ列）の２４列分のノズル列に対応する２４個の棒グラフＧＹを、各棒グラフＧＹの基準位置（例えば、ずれ量０．０μｍ）が直線上に並ぶように並列表示する。

各棒グラフＧＹは、１８０個のノズルからの機能液滴吐出によるＹ方向（主走査方向）の着弾ずれ量の最大値と最小値とが、その両端となるように表示される。例えば、Ｈ０１ヘッドのＡ列の場合、棒グラフＧＹ０１Ａに示すように、１８０個の着弾ずれ量の最大値は略−３μｍであり最小値は略−７μｍである。さらに、各棒グラフＧＹは、Ｘ方向のずれ量と同様に、１８０個の着弾ずれ量のヒストグラムが濃淡表示される。

Ｙ方向の着弾ずれの解析は、１８０個の着弾ずれ量が、上限リミット（＋２０μｍ）以下であって下限リミット（−２０μｍ）以上であること、且つ各ノズル列の棒グラフＧＹの長さ（最大値から最小値の幅）が１４μｍ以内に収まること、が良品判定の条件となっている。上限リミットおよび下限リミットは、ラインＬ３１およびラインＬ３２によって表示される。また、各ノズル列の棒グラフＧＹの長さの規制は、上限位置５３１および下限位置５３２によって表示され、これら上限位置５３１および下限位置５３２は、棒グラフＧＹの中心位置から＋７μｍおよび−７μｍの位置となっている。

ここで、棒グラフＧＹの長さが１４μｍ以内に収まらないもの、および着弾ずれ量が制限範囲（＋２０μｍ〜−２０μｍ）を超えるものについては、棒グラフＧＹ０１Ｂに示すように、エラーを示す着色帯が重畳表示される。図示の例では、着弾ずれ量の幅が、１４μｍ以内に収まらないことと、制限範囲を超えることの両方の原因で不良ノズル列と判定している。さらに、Ｙ方向着弾ずれ表示画面Ｄ５においても、Ｘ方向のずれ量表示と同様に、Ｈ１２ヘッドのＡ列に対応する棒グラフＧＹ１２Ａには、上記（棒グラフＧＹ０１Ｂ）とは異なる形態の着色帯が重畳表示されている。

なお、上記のアルゴリズムに従って得られた各棒グラフＧＹの中央位置に基づいて、Ｙ方向におけるずれ量補正値を算出し（詳細については後述する）、当該ずれ量補正値は、上記のギャップ補正値およびＸ方向ずれ量補正値と共に装置制御コンピュータ６５に送信されて、不図示の記憶領域に保存される。描画装置４００は、このＹ方向におけるずれ量補正値に基づいて、吐出タイミングを補正したり、下Ｙ軸テーブル８０の移動量を補正したり等の補正処理を行う。

次に、図１９を参照し、総合判定画面の一つである着弾径表示画面Ｄ６について説明する。着弾径表示画面Ｄ６では、図示左側からヘッド番号順且つＡ列，Ｂ列の順で、ノズル列毎の着弾径（ドット径）の分布を示す棒グラフＧＤを表示する。この場合、同一のヘッドユニット１に設けられている機能液滴吐出ヘッド１２個＊ノズル列２列（Ａ列／Ｂ列）の２４列分のノズル列に対応する２４個の棒グラフＧＤを、各棒グラフＧＤの基準位置（例えば、着弾径４３．０μｍ）が直線上に並ぶように並列表示する。

各棒グラフＧＤは、１８０個のノズルからの機能液滴吐出による着弾径の最大値と最小値とが、その両端となるように表示される。例えば、Ｈ０１ヘッドのＡ列の場合、棒グラフＧＤ０１Ａに示すように、１８０個の着弾径の最大値は略４３．５μｍであり最小値は略３９．８μｍである。さらに、各棒グラフＧＤは、上記の着弾ずれ量の表示と同様に、１８０個の着弾径のヒストグラムが濃淡表示される。これにより、例えばＨ０４ヘッドのＢ列は、着弾径が略４２．０μｍのものが多いが、比較的着弾径の大きいもの（４７．０μｍ）も存在していることが分かる。

着弾径の解析は、１８０個の着弾径が、基準値４３．０μｍから±５０％以内であることが良品判定の条件となっている。同図の例の場合、着弾径の判定では全て良品と判定されているが、不良品であると判定された場合は、上記の着弾ずれ量の表示と同様に、対応する棒グラフＧＤにエラーを示す着色帯が重畳表示される。また、着弾径表示画面Ｄ６においても、Ｈ１２ヘッドのＡ列に対応する棒グラフＧＤ１２Ａには、上記（棒グラフＧＤ０４Ｂ）とは異なる形態の着色帯が重畳表示されている。

なお、２列のノズル列のうち、いずれか一方が不良品の場合、そのノズル列を有する機能液滴吐出ヘッド４は不良ヘッドと判定され、その判定結果は装置制御コンピュータ６５に送信される。

次に、図２０を参照し、総合判定画面の一つである総合判定一覧画面Ｄ７について説明する。総合判定一覧画面Ｄ７は、総合判定結果を集計して表示する集計表示領域Ｅ２１と、機能液滴吐出ヘッド４毎に良否の判定結果を表示するヘッド別判定結果表示領域Ｅ２２と、を備えている。

集計表示領域Ｅ２１は、機種名と、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向におけるデータ補正量（ずれ量補正値）と、吐出不良ノズル数と、を表示する。データ補正量は、Ｘ方向における所定範囲の中央位置の値５２１（図１７参照）、Ｙ方向における各棒グラフＧＹの中央位置の値（図１８参照）から、所定のアルゴリズムに従って算出される。なお、θ方向におけるデータ補正量は、描画装置４００において、ヘッドユニット１をθ方向に回転させるθテーブルの補正に用いられる。

また、吐出不良ノズル数は、各機能液滴吐出ヘッド４に設けられる１８０個の吐出ノズル５２のうち、両端のダミーノズル（各１０個）を除く有効ノズルを対象としてカウントされる。各ノズル列の吐出不良は、図２１に示す着弾分布表示画面Ｄ８〜Ｄ１０によって確認することができ、当該着弾分布表示画面Ｄ８〜Ｄ１０へは、総合判定一覧画面Ｄ７の画面左下に設けられたタブ５５５が押下されることによって遷移する。なお、着弾分布表示画面Ｄ８〜Ｄ１０へは、上記の総合判定画面Ｄ４〜Ｄ６の画面上で右クリックメニューを表示させることによっても、エラー表示の詳細確認のために、対応する着弾分布表示画面Ｄ８〜Ｄ１０に遷移させることができるようになっている。

一方、ヘッド別判定結果表示領域Ｅ２２は、サブキャリッジ２上における１２個の機能液滴吐出ヘッド４の配置（図３（ａ）参照）に倣って、各ヘッドの判定結果（ＭＨ０１〜ＭＨ１２）を模式的に表示している。各ヘッドの判定模式図ＭＨ０１〜ＭＨ１２は、左右一対のカラー表示部５４１、ヘッド番号表示部５４２、吐出判定表示部５４３、Ｘ方向判定表示部５４４、Ｙ方向判定表示部５４５、着弾径判定表示部５４６、ヘッド高さ判定表示部５４７およびＶＨ判定表示部５４８を有している。各判定表示部５４３〜５４８は、それぞれの項目において不良と判定された場合、エラー表示（赤色）表示される。また、不良と判定された項目がある機能液滴吐出ヘッド４の判定模式図ＭＨは、ヘッド番号表示部５４２もエラー表示（赤色）表示される。また、カラー表示部５４１は、その機能液滴吐出ヘッド４がＲ色、Ｇ色およびＢ色のいずれのカラーを吐出するものであるかをカラー表示しており、例えばエラー表示がカラーによって偏りがある場合、インク供給系に何らかの問題があると推定できる。

同図の例の場合、判定模式図から、Ｈ０１ヘッドに、Ｘ方向およびＹ方向の着弾位置についての問題があること（ＭＨ０１参照）、Ｈ１２ヘッドに、吐出不良があること（ＭＨ１２参照）を示している。

次に、図２１を参照し、着弾分布表示画面Ｄ８〜Ｄ１０について説明する。同図（ａ）は、Ｘ方向における着弾位置分布を示すＸ方向着弾分布画面Ｄ８である。Ｘ方向着弾分布画面Ｄ８は、画面上部に、搭載された機能液滴吐出ヘッド４のヘッド番号および平均ずれ量等のノズル列情報５５２を表示すると共に、ノズル毎にＸ方向（副走査方向）における着弾ずれを表示している（５５１参照）。これにより、有効ノズル１６０個の着弾位置をより詳細に把握できるようになっている。なお、Ｘ方向着弾分布画面Ｄ８では、縦方向にノズル番号、横方向にずれ量を示している。また、吐出不良と判定されたノズル番号に対応する行には、エラーを示す赤色の着色帯を表示する。

同図（ｂ）は、Ｙ方向における着弾位置分布を示すＹ方向着弾分布画面Ｄ９である。Ｙ方向着弾分布画面Ｄ９は、画面上部に、ヘッド番号および平均ずれ量等のノズル列情報５６２を表示すると共に、ノズル毎にＹ方向（主走査方向）における着弾ずれを表示している（５６１参照）。なお、Ｙ方向着弾分布画面Ｄ９では、横方向にノズル番号、縦方向にずれ量を示している。また、吐出不良と判定されたノズル番号に対応する列には、エラーを示す赤色の着色帯を表示する。

同図（ｃ）は、着弾径の分布を示す着弾径分布画面Ｄ１０である。着弾径分布画面Ｄ１０は、画面上部に、ヘッド番号および平均着弾径等のノズル列情報５７２を表示すると共に、ノズル毎に着弾径を表示している（５７１参照）。なお、着弾径分布画面Ｄ１０では、横方向にノズル番号、縦方向に着弾径を示している。また、同図（ｂ）と同様に、吐出不良と判定されたノズル番号に対応する列には、エラーを示す赤色の着色帯を表示する。

以上説明したとおり、本実施形態によれば、ノズル列単位で、複数の吐出ノズル５２からの吐出による複数のずれ量（理想的な着弾位置−実際の着弾位置）の最大値と最小値との差（ずれ量の幅）を、棒グラフＧＸ、ＧＹの長さによって把握することができる。これにより、機能液滴の実際の着弾位置の撮像結果と理想値とのずれ量を表示する場合と比較して、客観的にずれ量を把握することができると共に、ずれの原因（例えば、ヘッドユニット１の取り付け方、機能液滴の供給系、各吐出ノズルの駆動源（駆動電圧）など）の推定に役立てることができる。

また、各棒グラフＧＸ，ＧＹ，ＧＤ（図１７，図１８，図１９参照）には、着弾ずれ量および着弾径の分布を示すヒストグラムが表示されるため、当該ヒストグラムの濃淡によって、一目で着弾ずれ量および着弾径の分布を把握することができる。

また、高さ測定結果画面Ｄ２，ＶＨ測定結果画面Ｄ３，総合判定画面Ｄ４〜Ｄ７（図１５〜図２０参照）は、いずれもヘッドユニット１単位で表示するため、総合的に確認することができ、ヘッドの傾向等を把握することができる。

また、高さ測定およびＸ方向（副走査方向）においては、良品判定の基準となる所定範囲を、測定結果に応じて移動させることができるため、歩留まりを上げることができる。また、良品ヘッドの全体レンジが小さくなるように、所定範囲（ずれ許容範囲，ギャップ許容範囲）の位置を設定するため、吐出誤差を少なくすることができ、良好な描画結果を得ることができる。さらに、所定範囲の位置の自動設定には、他の項目における良品判定結果を用いる（不良ヘッドを除外して所定範囲の位置を設定する）ため、より適切な位置に所定範囲を設定することができ、ひいては最適な補正値を算出することができる。

また、算出された各項目の補正値は、吐出検査装置５５において良品と判定されたヘッドユニット１を取り付けて描画を行う描画装置４００に出力するため、描画装置４００において、ヘッドユニット１をメインキャリッジに組み込む際などに利用することができ、吐出精度を高めることができる。

なお、上記の実施形態では、吐出検査装置５５の解析結果を描画装置４００に出力する描画システムＳＹを例示したが、吐出検査装置５５において、ディスプレイ３２０上に着弾位置のずれ量のみを表示するだけでも良い。この場合、オペレータが、表示内容から、ずれの原因を特定して機能液滴吐出ヘッド４を取り付け直したり、表示された各棒グラフＧＸ、ＧＹの位置等に基づいてデータ補正値を算出したりすることができると共に、吐出検査装置５５の装置構成を簡素化することができる。

また、上記の実施形態に示した、吐出検査装置５５の各構成要素、および各制御コンピュータ６５，６６，６７ａ，６７ｂ（図１参照）に組み込まれたアプリケーションをプログラムとして提供することが可能である。また、そのプログラムを各種記録媒体（ＣＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリ等）に格納して提供することも可能である。すなわち、コンピュータを、吐出検査装置５５の各手段として機能させるためのプログラム、およびそれを記録した記録媒体も、本発明の権利範囲に含まれるものである。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。

描画システムの簡易構成図である。 ヘッドユニットの外観斜視図である。 ヘッドユニットの上面図および側面図である。 液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 吐出検査装置を内部に収容したチャンバ装置の外観斜視図である。 吐出検査装置の外観斜視図である。 Ｙ軸テーブルの外観斜視図である。 アライメントテーブルの上面図および側面図である。 アライメントマスクの上面模式図である。 カメラユニットによるアライメントマスクの読み取り順を示す説明図である。 ヘッドユニットを搭載したキャリッジの正面図および側面図である。 フラッシングユニットの上面図および側面図である。 吐出検査装置における一連の自動測定動作を示すフローチャートである。 ＧＵＩ画面の一つであるパソコンモードメイン画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つである高さ測定結果画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つであるＶＨ測定結果画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つであるＸ方向着弾ずれ表示画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つであるＹ方向着弾ずれ表示画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つである着弾径表示画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つである総合判定一覧画面の一例を示す図である。 ＧＵＩ画面の一つである着弾分布表示画面の一例を示す図である。 本高さ数値結果表示領域の一例を示す図である。 適正駆動電圧を求めるための一次関数を示す図である。

符号の説明

１…ヘッドユニット ２…サブキャリッジ ４…機能液滴吐出ヘッド ５２…吐出ノズル ５５…吐出検査装置 ６５…装置制御コンピュータ ６６…ＧＵＩ＆画像処理コンピュータ ６７ａ…１ＣＯＭ用ヘッド駆動コンピュータ ６７ｂ…ＩＦＳ用ヘッド駆動コンピュータ ７０…Ｙ軸テーブル ７１…Ｘ軸テーブル ７２…メインキャリッジ ７４…フラッシングユニット ７５…カメラユニット １０５…アライメントテーブル １０６…アライメントマスク ４００…描画装置 Ｄ１…パソコンモードメイン画面 Ｄ２…高さ測定結果画面 Ｄ３…ＶＨ測定結果画面 Ｄ４…Ｘ方向着弾ずれ表示画面 Ｄ５…Ｙ方向着弾ずれ表示画面 Ｄ６…着弾径表示画面 Ｄ７…総合判定一覧画面 Ｄ８〜Ｄ１０…着弾分布表示画面 Ｓ…検査シート ＳＹ…描画システム

Claims (13)

1. 機能液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列から吐出された機能液滴の着弾位置を測定する着弾位置測定手段と、
   測定した前記着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフで表示する棒グラフ表示手段と、を備え、
   前記棒グラフ表示手段は、前記ノズル列を構成する複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量の最大値と最小値とを、前記棒グラフの両端として表示することを特徴とする吐出検査装置。
2. 前記棒グラフ表示手段は、前記複数のずれ量のヒストグラムを、前記棒グラフ上に濃淡表示することを特徴とする請求項１に記載の吐出検査装置。
3. Ｎ列（但し、ＮはＮ≧１となる整数）の前記ノズル列が前記機能液滴吐出ヘッドに設けられると共に、Ｍ個（但し、ＭはＮ≧２となる整数）の前記機能液滴吐出ヘッドがサブキャリッジを介して１つのヘッドユニットに組み込まれている場合、
   前記棒グラフ表示手段は、同一の前記ヘッドユニットに設けられているＮ＊Ｍ個の前記ノズル列に対応するＮ＊Ｍ個の前記棒グラフを、各棒グラフの基準位置が直線上に並ぶように並列表示することを特徴とする請求項１または２に記載の吐出検査装置。
4. 前記棒グラフ表示手段は、前記棒グラフの長手方向において、前記各棒グラフの長さが所定長さを超えた場合、該当する棒グラフに、エラーを示す着色帯を重畳表示することを特徴とする請求項３に記載の吐出検査装置。
5. 前記棒グラフ表示手段は、前記棒グラフの長手方向において、前記各棒グラフの両端の少なくとも一方が所定の範囲であるずれ許容範囲に含まれない場合、該当する棒グラフに、エラーを示す着色帯を重畳表示することを特徴とする請求項３に記載の吐出検査装置。
6. 前記棒グラフ上に、前記ずれ許容範囲を表示するずれ許容範囲表示手段と、
   前記ずれ許容範囲の前記棒グラフの長手方向における中央位置を設定するずれ許容範囲設定手段と、を備え、
   前記ずれ許容範囲表示手段は、設定された前記ずれ許容範囲の中央位置の値を数値表示することを特徴とする請求項５に記載の吐出検査装置。
7. 前記ずれ許容範囲設定手段は、前記ずれ許容範囲を超える不良ノズル列を有する前記機能液滴吐出ヘッドである不良ヘッドの数ＨＸ（但し、ＨＸはＨＸ≦Ｍとなる整数）が少なくなるように、且つ当該不良ヘッド以外の前記機能液滴吐出ヘッドである良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＸ）＊Ｎ個の前記ノズル列のずれ量の最大値と最小値との差である全体レンジが小さくなるように、前記中央位置を設定することを特徴とする請求項６に記載の吐出検査装置。
8. 前記各機能液滴吐出ヘッドの吐出面と前記機能液滴の吐出対象物との間のギャップを測定し、その測定結果から前記各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別するギャップ判別手段と、
   前記各ノズル列から吐出される前記機能液滴の重量を測定し、その測定結果から前記各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別する重量判別手段と、をさらに備え、
   前記ずれ許容範囲設定手段は、前記ギャップ判別手段または前記重量判別手段の判別結果から不良品であると判別された前記機能液滴吐出ヘッドを除外して、前記中央位置を設定することを特徴とする請求項７に記載の吐出検査装置。
9. 前記ギャップ判別手段は、前記各機能液滴吐出ヘッドの四隅および中央位置における前記ギャップの最大値と最小値との少なくとも一方が所定の範囲であるギャップ許容範囲を超える不良ヘッドの数ＨＺ（但し、ＨＺはＨＺ≦Ｍとなる整数）が少なくなるように、且つ当該不良ヘッド以外の前記機能液滴吐出ヘッドである良品ヘッドに設けられた（Ｍ−ＨＺ）個の前記機能液滴吐出ヘッドのギャップの最大値と最小値との差である全体レンジが小さくなるように、前記ギャップ許容範囲の最下位置を設定して、前記各機能液滴吐出ヘッドの良否を判別することを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置。
10. 前記ずれ許容範囲設定手段により設定された前記ずれ許容範囲の中央位置の値に基づくずれ量補正値と、前記ギャップ判別手段の判別結果から得られる前記ギャップ許容範囲の最下位置の値であるギャップ補正値とを、前記ヘッドユニットを取り付けて描画を行う描画装置に出力する補正値出力手段をさらに備えたことを特徴とする請求項９に記載の吐出検査装置。
11. 請求項１０に記載の吐出検査装置と、前記描画装置とがネットワーク接続されていることを特徴とする描画システム。
12. コンピュータが、
    機能液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列から吐出された機能液滴の着弾位置を測定する着弾位置測定ステップと、
    測定した前記着弾位置と、理想的な着弾位置とのずれ量を棒グラフで表示する棒グラフ表示ステップと、を実行し、
    前記棒グラフ表示ステップでは、前記ノズル列を構成する複数の吐出ノズルからの吐出による複数のずれ量の最大値と最小値とを、前記棒グラフの両端として表示することを特徴とするずれ量表示方法。
13. コンピュータに、請求項１２に記載のずれ量表示方法における各ステップを実行させるためのプログラム。

Images