JP2009008483A - 被測定面の測定方法 - Google Patents
被測定面の測定方法Info
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Abstract
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第1の2次元角度センサにより前記第1の測定点の面法線角度を2次元で測定し、前記第2の2次元角度センサにより前記第2の測定点の面法線角度を2次元で測定し、前記第1の2次元角度センサの測定値に基づいて、前記第2の2次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。
【選択図】図3
Description
前記被測定面の回転軸線上の第1の測定点を測定可能な位置に、第1の2次元角度センサを配置するステップと、
前記回転軸線から所定の半径Rをおいた前記被測定面上の第2の測定点を測定可能な位置に、前記第1の2次元角度センサに対して直線ピッチング角の検出に関するゼロ点が校正された第2の2次元角度センサとを配置するステップと、
前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第1の2次元角度センサにより前記第1の測定点の面法線角度を2次元で測定し、前記第2の2次元角度センサにより前記第2の測定点の面法線角度を2次元で測定するステップと、
前記第1の2次元角度センサと前記第2の2次元角度センサとを同じ円周上に配置して直線ローリング角の検出に関するゼロ点を校正するステップと、
前記第1の2次元角度センサの測定値に基づいて、前記第2の2次元角度センサの測定値から、直線ピッチング誤差および直線ローリング誤差を排除するステップと、
前記第1の2次元角度センサと前記第2の2次元角度センサの間隔を変えて、前記回転軸線上の点と前記半径Rの円周上の点の間の面法線角度についてを内挿するステップを有することを特徴とする。
前記第1の2次元角度センサと前記第2の2次元角度センサの間隔を初期のRよりも縮小してR/N(ただし、N>1)とし、前記2個の2次元角度センサを、前記被測定面の回転軸線上の第1の測定点を含む一つの半径上の任意の測定可能な位置に配置するステップと、
前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記2個の2次元角度センサにより測定される半径の異なる2つの円周上の面法線角度を2次元で測定し、前記半径の異なる2つの円周上の面法線角度の差を、前記被測定面の回転に伴う面の振れの影響を受けないで、2次元で測定するステップと、
前記2つの円周上の面法線角度の差を前記一つの半径上の複数の点で得てから、その半径方向の積分によって評価される、前期被測定面の回転軸線上の第1の測定点と前記半径Rの第2の測定点における面法線角度の差と、前期センサ間隔Rで最初に測定して既知となっている前期被測定面の回転軸線上の第1の測定点と前記半径Rの第2の測定点における面法線角度の差を比較して、前記2つの2次元角度センサの間隔を変える際に生じたゼロの狂いを校正して、前記2つのセンサの間隔R/Nで得た面法線角度の差のデータを補正することを特徴とする。
なお、前記2つの2次元角度センサの間隔R/Nを選ぶときに、N=10などの整数にして、前記第1の2次元角度センサの位置をR・K/N(ただし、K=0,1,2、N,N+1,..)するとゼロの狂いを校正するときの精度が高まることが多いので、前記センサの間隔には、Nを整数とする場合を含めることが好ましい。
AX 回転軸線
CP 被測定面
HL 保持具
IM1 干渉計
IM2 干渉計
L レンズ
OS 光源
PS1 プリズム
PS2 プリズム
PS3 プリズム
RT 回転テーブル
SA 第1の2次元角度センサ
SB 第2の2次元角度センサ
PSD4分割フォトダイオード
TP 試験片
Claims (1)
- 被測定面を備えた部材を、回転可能に支持するステップと、
前記被測定面の回転軸線上の第1の測定点を測定可能な位置に、第1の2次元角度センサを配置するステップと、
前記回転軸線から所定の半径Rをおいた前記被測定面上の第2の測定点を測定可能な位置に、前記第1の2次元角度センサに対して直線ピッチング角の検出に関するゼロ点が校正された第2の2次元角度センサとを配置するステップと、
前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第1の2次元角度センサにより前記第1の測定点の面法線角度を2次元で測定し、前記第2の2次元角度センサにより前記第2の測定点の面法線角度を2次元で測定するステップと、
前記第1の2次元角度センサと前記第2の2次元角度センサとを同じ円周上に配置して直線ローリング角の検出に関するゼロ点を校正するステップと、
前記第1の2次元角度センサの測定値に基づいて、前記第2の2次元角度センサの測定値から、直線ピッチング誤差および直線ローリング誤差を排除するステップと、
前記第1の2次元角度センサと第2の2次元角度センサの間隔を変えて、前記第1の測定点と前記第2の測定点について測定された面法線角度の関係を基準にして、前記第1の測定点と前記第2の間にある点の面法線角度を内挿するステップとを有することを特徴とする被測定面の測定方法。
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