JP2009003329A - オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009003329A JP2009003329A JP2007166072A JP2007166072A JP2009003329A JP 2009003329 A JP2009003329 A JP 2009003329A JP 2007166072 A JP2007166072 A JP 2007166072A JP 2007166072 A JP2007166072 A JP 2007166072A JP 2009003329 A JP2009003329 A JP 2009003329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- color filter
- photomask
- color
- green
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31と、第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31の四隅の連結部に透過率制御領域32と、遮光パターン33とで構成されたオンチップカラーフィルタ用フォトマスクを用いて緑色フィルタを作製する。
【選択図】図1
Description
ここに示すカラーフィルタは、カラー固体撮像素子等に用いられるカラーフィルタの構成事例で、個々の着色フィルタ間にブラックマトリクスを設けない場合の事例である。
さらに、所定のフォトマスクを使ってパターン露光し、現像、ポストベーク等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ24Gを形成する(図13(b)参照)。
ここで、上記オンチップカラーフィルタの平面視でのカラーフィルタ配列の一例を図4に示す。
このカラーフィルタ配列では、例えば、四角形状の青色フィルタBの4辺に接するように市松模様状に四角形状の緑色フィルタGが、四角形状の赤色フィルタRの4辺に接するように市松模様状に四角形状の緑色フィルタGが配置さている。
四角形状の青色フィルタBの4辺に接するように市松模様状に四角形状の緑色フィルタGが配列されており、青色フィルタBの対角に赤色フィルタRが配列されている。
この隙間が発生したカラー固体撮像素子では、この隙間から白色光が入り込んで、Al電極に反射してノイズとなり、カラー固体撮像素子の色再現性に支障をきたす。
緑色フィルタ用フォトマスクは、緑色フィルタ用パターンGPの四隅をd1幅のブリッジで連結したものである。なお、図中の白抜け部が光透過部であり網点部は遮光部である。このブリッジの幅d1は、通常0.05〜0.3μmである。
緑色フィルタ用パターンGPの四隅をd1幅のブリッジで連結した緑色フィルタ用フォトマスクを用いて、緑色フィルタ24Gを作製し、青色フィルタ25B、赤色フィルタ26Rを作製したオンチップカラーフィルタの一例を図12に示す。
このように、青色フィルタ25B及び赤色フィルタ26Rの四隅のコーナー部は緑色フィルタ24Gの四隅のブリッジ部で埋められた形になり、隙間は発生しない。
このようにカラー画素の四隅をブリッジ状に繋げた構造とすることにより、剥がれに強いカラーフィルタを得ることができるが、カラーフィルタ間の隙間を埋める効果も有する。
前記フォトマスクは、第2色、もしくは第3色フィルタの4辺に接するように市松模様状に配置された第1色フィルタを作製するための第1色フィルタ用フォトマスクであって、
前記第1色フィルタに対応するように配置された四角形状の第1色フィルタ用パターンの4隅が接する連結部に透過率制御領域を設けたことを特徴とするオンチップカラーフィルタ用フォトマスクとしたものである。
図1は、本発明のオンチップカラーフィルタ用フォトマスクの一実施例を示す部分模式平面図である。
本発明のオンチップカラーフィルタ用フォトマスク30は、第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31と、第1色(例えば、緑色)カラーフィルタ形成用の透過パターン31の四隅の連結部に透過率制御領域32と、遮光パターン33とで構成されており、カラーフィルタ形成用の着色レジストとしてネガタイプのレジストを使用した場合の事例である。
図3は、第1色(例えば、緑色)の緑色レジストを用いて緑色感光層を形成し、透過率を変化させたマスクを用いてパターン露光し、現像処理を行って形成された緑色フィルタの残膜率特性を示す説明図である。
透過率制御領域32の透過率を光透過部の20〜70%にすることにより、開口率の高いフィルタ形成が可能となる。
透過率制御領域32の透過率が20%以下では、第1色(例えば、緑色)パターンが形成できず、第1色(例えば、緑色)パターンの四角がつながらないため、ムラ及び感度バラツキが発生する。
透過率制御領域32の透過率が70%以上では、図3に示すように、第1色(例えば、緑色)パターンの残膜率が90%を超えてしまい、第1色(例えば、緑色)パターンのコーナー部が第2色(例えば、青色)、第3色(例えば、赤色)のコーナーと重なってしまい、段差が発生し、感度バラツキが発生する。
状のパターンで形成されている。
透過率制御領域32の透過率は、光を遮光するパターンの膜厚を変えて遮光部よりも光を透過させるようにしても良い。または、コーナー部の単位領域中で遮光部と光透過部とが占める比率を変えることで単位領域の透過率を変化させ、遮光部、光透過部とは異なった階調を持たせても良い。
すなわち、単位領域中で遮光部と光透過部とが占める比率を変えることで単位領域の透過率を変化させて階調を持たせる技術は網点マスク(または、濃度分布マスク)と呼称して用いられている技術を用いてもよい。遮光部の膜厚を変えて透過率を変化させるマスクは膜厚の制御が難しく製造に手間が掛かるが、単位領域中で遮光部と光透過部とが占める比率を変えることで単位領域の透過率を変化させて階調を持たせるマスクは製造が容易といえる。
図2は、透過率制御領域32を網点構造に分割して、透過率50%の透過率制御領域32を実現した事例である。
図5(a)〜(f)は、本発明のオンチップカラーフィルタ用フォトマスクを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法の一実施例を示す模式構成断面図である。
ここで、緑色フィルタG、青色フィルタB及び赤色フィルタGのカラーフィルタ配列は図4に示す配列とする。
ここで、緑色フィルタ21Gの連結部21cは、透過率が20〜70%の透過率制御領域32でパターン露光されるため、緑色フィルタ21Gの連結部21cの膜厚は、緑色フィルタ21Gの中央部の膜厚の10〜90%になるように設定される。
ここで、青色フィルタ22Bのコーナー部は、緑色フィルタ21Gの四隅に設けられた連結部21cとオーバーラップされた状態で形成されるので、緑色フィルタ21Gと青色フィルタ22Bとの間で隙間が発生しない。
ここで、赤色フィルタ23Rのコーナー部は、緑色フィルタ21Gの四隅に設けられた連結部21cとオーバーラップされた状態で形成されるので、緑色フィルタ21Gと赤色フィルタ23Rとの間で隙間が発生しない。
21、24……緑色感光層
21c……連結部
21G、24G、G……緑色フィルタ
22、25……青色感光層
22B、25B、B……青色フィルタ
23、26……赤色感光層
33R、26R、R……赤色フィルタ
30……緑色フィルタ用フォトマスク
31……透過パターン
32……透過率制御領域
33……遮光パターン
d……透過率制御領域の幅
d1……ブリッジ幅
GP……緑色フィルタ用パターン
Claims (4)
- 固体撮像素子の光電変換素子に対応した各々平面視四角形状の着色フィルタをフォトリソグラフィー法にて作製するために使用するフォトマスクであって、
前記フォトマスクは、第2色、もしくは第3色フィルタの4辺に接するように市松模様状に配置された第1色フィルタを作製するための第1色フィルタ用フォトマスクであって、前記第1色フィルタに対応するように配置された四角形状の第1色フィルタ用パターンの4隅が接する連結部に透過率制御領域を設けたことを特徴とするオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。 - 前記透過率制御領域の透過率が、光透過部の20〜70%であることを特徴とする請求項1に記載のオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
- 請求項1または2に記載のオンチップカラーフィルタ用フォトマスクを用いて作製したことを特徴とするオンチップカラーフィルタの製造方法。
- 前記固体撮像素子カラーフィルタの第1色フィルタの4隅の連結部の膜厚が、第1色フィルタ中央部の膜厚の10%〜90%であることを特徴とする請求項3記載のオンチップカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166072A JP5162976B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166072A JP5162976B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009003329A true JP2009003329A (ja) | 2009-01-08 |
JP5162976B2 JP5162976B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=40319744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007166072A Expired - Fee Related JP5162976B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5162976B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009192574A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Toppan Printing Co Ltd | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びオンチップカラーフィルタの製造方法 |
CN102683365A (zh) * | 2011-03-14 | 2012-09-19 | 索尼公司 | 固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及电子设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02187758A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-23 | Sony Corp | パターン形成方法 |
JP2001021715A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Sony Corp | カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2005340299A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法並びにカメラ |
JP2006163316A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Sanyo Electric Co Ltd | カラーフィルタアレイ製造方法 |
JP2006253463A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
-
2007
- 2007-06-25 JP JP2007166072A patent/JP5162976B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02187758A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-23 | Sony Corp | パターン形成方法 |
JP2001021715A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Sony Corp | カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2005340299A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法並びにカメラ |
JP2006163316A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Sanyo Electric Co Ltd | カラーフィルタアレイ製造方法 |
JP2006253463A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009192574A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Toppan Printing Co Ltd | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びオンチップカラーフィルタの製造方法 |
CN102683365A (zh) * | 2011-03-14 | 2012-09-19 | 索尼公司 | 固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及电子设备 |
JP2012191136A (ja) * | 2011-03-14 | 2012-10-04 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5162976B2 (ja) | 2013-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4473253B2 (ja) | カラーフィルタ基板及びその製造方法 | |
US20100003623A1 (en) | Method of patterning multiple photosensitive layers | |
JP4710693B2 (ja) | カラー撮像素子及びカラー撮像素子製造方法 | |
US7535043B2 (en) | Solid-state image sensor, method of manufacturing the same, and camera | |
WO2014166155A1 (zh) | 一种用于封框胶固化遮挡的掩模板的制造方法 | |
JP2007316153A (ja) | カラー撮像素子のマイクロレンズ製造方法及びカラー撮像素子のマイクロレンズアレイ | |
JP2011171328A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP5162976B2 (ja) | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 | |
JP2006163316A (ja) | カラーフィルタアレイ製造方法 | |
JP2017040678A (ja) | カラーフィルタ | |
JP5446098B2 (ja) | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク | |
JP2019120872A (ja) | 固体撮像素子とその製造方法 | |
KR20080023779A (ko) | 씨모스 이미지 센서의 마이크로렌즈용 사진 마스크 | |
JP4821415B2 (ja) | カラー撮像素子製造方法 | |
JP3147863B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP2011123111A (ja) | カラーフィルター形成方法およびそれを用いた固体撮像装置の製造方法 | |
JP2020183995A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2008153331A (ja) | カラー固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP2008130732A (ja) | カラー固体撮像素子の製造方法 | |
JP6657755B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及びフォトマスクセット | |
JP4984719B2 (ja) | カラー固体撮像素子の製造方法 | |
JP6413700B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2005134878A (ja) | バンク構造の製造方法 | |
TWI260431B (en) | Color filter substrate and fabricating method thereof | |
JP2009168874A (ja) | カラーフィルタ製造用のフォトマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121203 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5162976 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |