JP2006253463A - カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006253463A JP2006253463A JP2005069144A JP2005069144A JP2006253463A JP 2006253463 A JP2006253463 A JP 2006253463A JP 2005069144 A JP2005069144 A JP 2005069144A JP 2005069144 A JP2005069144 A JP 2005069144A JP 2006253463 A JP2006253463 A JP 2006253463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- color
- color filter
- pattern
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明は、基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成する。
【選択図】 図1
Description
また、カラーフィルタのパターンを形成するレチクルを作成際には、レチクルは、そのレチクルパターンが設計通りに形成されず、レチクル検査工程での検査エラー発生の原因となっていた。例えば、図7に示すようなカラーフィルタ1のパターンを形成するレチクルでは、平面視において略四角形を有する各カラーフィルタ2,3,4の四隅同士を高い精度で点接触させることが困難であり、僅かにずれることで、レチクルとして欠陥として検出されてしまう。このため、レチクルパターンを良好に再現することが困難である点で改善の余地があった。
図1は、本発明にかかるカラーフィルタの製造方法によって形成されるカラーフィルタを平面視した状態を示す図である。図2は、図1のX−X線方向矢視図である。
図1及び図2に示すように、基板S上には、G(緑)のカラーフィルタ11がパターン形成されている。なお、カラーフィルタ11のカラーはGに限定されない。
図3及び図4に示すように、本実施形態では、上記実施形態で形成した第1のカラーフィルタパターンに、更に、別のカラーフィルタ12,13を形成するものである。
11a フィルタ部
11b 接続部
S 基板
Claims (3)
- 基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、前記複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記基板において、前記フィルタ部及び前記接続部を除く領域に、フィルタ部を形成するフィルタ部形成領域を有するレチクルを用いて露光を行うことで、第2のカラーフィルタパターンを形成することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 上記請求項1又は2に記載のカラーフィルタ製造方法によって、カラーフィルタが形成された固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005069144A JP2006253463A (ja) | 2005-03-11 | 2005-03-11 | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005069144A JP2006253463A (ja) | 2005-03-11 | 2005-03-11 | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006253463A true JP2006253463A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=37093612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005069144A Pending JP2006253463A (ja) | 2005-03-11 | 2005-03-11 | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006253463A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009003329A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Toppan Printing Co Ltd | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 |
KR100885807B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2009-02-26 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP2010004018A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-01-07 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP2010263228A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-11-18 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
-
2005
- 2005-03-11 JP JP2005069144A patent/JP2006253463A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009003329A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Toppan Printing Co Ltd | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 |
KR100885807B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2009-02-26 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP2010004018A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-01-07 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP2010263228A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-11-18 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
US8373786B2 (en) | 2008-05-22 | 2013-02-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, manufacturing method thereof, and electronic device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005294647A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
US20210231840A1 (en) | Method for forming micro-lens array and photomask therefor | |
JP2013033870A (ja) | 半導体デバイスおよびその製造方法 | |
TWI493246B (zh) | 液晶顯示裝置 | |
JP4109944B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP2006253463A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 | |
JP2006066430A (ja) | 固体撮像装置とその製造方法 | |
US20070134565A1 (en) | Color filter mask layout | |
JP5677076B2 (ja) | フォトマスクデータの生成方法、その作製方法、そのためのプログラム、固体撮像装置の製造方法、および、マイクロレンズアレイの製造方法 | |
US7884435B2 (en) | Pattern mask for forming microlens, image sensor and fabricating method thereof | |
JP2006163316A (ja) | カラーフィルタアレイ製造方法 | |
JP2006173314A (ja) | 固体撮像装置およびマスク描画方法 | |
JP4976210B2 (ja) | 露光方法およびイメージセンサの製造方法 | |
JP2006196634A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
JP2010141093A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2004012722A (ja) | フォトマスク及びパターン作製方法及び半導体装置 | |
JP2012114270A (ja) | 半導体チップの製造方法 | |
JP2005175270A (ja) | 位置ずれ検出用マーク | |
JP2006135334A (ja) | 非対称パターンを形成するためのフォト工程の実行方法及びそれを用いた半導体装置の形成方法 | |
US20230361150A1 (en) | Manufacturing method of image sensor | |
CN101211825A (zh) | 图像传感器的制造方法 | |
JP5521742B2 (ja) | リニアセンサ用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2009003329A (ja) | オンチップカラーフィルタ用フォトマスク及びそれを用いたオンチップカラーフィルタの製造方法 | |
JP4941221B2 (ja) | 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 | |
JPH10209420A (ja) | 固体撮像素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070305 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071108 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071115 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100601 |