JP2008544499A - 電極面積比を調整可能な閉じ込めプラズマ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2A
Description
302において、内部および外部閉じ込めリングの組の位置(上昇位置または下降位置)を選択する。内部および外部閉じ込めリングの組は、拡張接地部上部の領域に延伸して上昇または下降可能である。内部閉じ込めリングの組は、第2の閉じ込めリング組が上昇するとき下降するよう構成してもよいし、その逆であってもよい。304において、下降した閉じ込めリングの組(内部、外部、もしくはいずれでもない)の各閉じ込めリング間のギャップを調節してもよい。閉じ込めリングの組のいずれも、図2Cおよび2Dに示すように、同時に上昇または下降してもよい。
Claims (31)
- チャンバと、
前記チャンバ内に封入された下部電極および上部電極と、
前記下部電極および前記上部電極にほぼ平行であり、前記下部電極および前記上部電極の間の第1の体積を囲む第1の閉じ込めリングの組と、
前記下部電極および前記上部電極にほぼ平行であり、前記下部電極および前記上部電極の間の、前記第1の体積より大きい第2の体積を囲む第2の閉じ込めリングの組と、
前記下部電極に隣接し、前記下部電極を囲む拡張接地部と、を備え、
前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組が独立して、前記拡張接地部の上方の領域に延伸して、上昇または下降可能である、プラズマリアクタ。 - 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに下降するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに上昇するように構成される、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに上昇するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに下降するように構成される、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組が吊り下げ型である、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1の閉じ込めリングの組が、各閉じ込めリングの間に調整可能なギャップを有する、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第2の閉じ込めリングの組が、各閉じ込めリングの間に調整可能なギャップを有する、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第1の体積のプラズマの断面積を前記下部電極により支持されるワークピースの面積によって除して画定する電極有効面積比がほぼ1となるように前記上部電極に隣接する、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記第2の閉じ込めリングの組が、前記第2の体積のプラズマの断面積を前記下部電極により支持されるワークピースの面積によって除して画定する電極有効面積がほぼ1より大きくなるように位置する、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記下部電極に連結したパワーソースを備え、前記下部電極はワークピースを受けるように構成された、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 前記パワーソースは、前記下部電極に複数の周波数を生成する、請求項9記載のプラズマリアクタ。
- 前記上部電極が接地された、請求項9記載のプラズマリアクタ。
- さらに、前記下部電極に隣接した拡張接地部を備え、
前記拡張接地部は、前記上部電極と電気的に接続し、プラズマの断面を前記下部電極により支持されるワークピースの面積で除して画定される電極有効面積比に含まれる、請求項1記載のプラズマリアクタ。 - さらに、前記下部電極に隣接し、前記下部電極を囲む誘電体リングを備える、請求項1記載のプラズマリアクタ。
- 上部電極と、下部電極と、第1の直径を有する第1の閉じ込めリングの組と、前記第1の直径より大きい第2の直径を有する第2の閉じ込めリングの組と、前記下部電極に隣接し、前記下部電極を囲む拡張接地部と、を含むチャンバを備えたプラズマリアクタの使用方法であって、該方法が、
前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組の位置を選択するステップを含み、
前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組が独立して、前記拡張接地部の上方の領域に延伸して上昇または下降可能である、方法。 - 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに下降するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに上昇するように構成される、請求項14記載の方法。
- 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに上昇するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに下降するように構成される、請求項14記載の方法。
- さらに、前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組を吊り下げるステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、前記第1の閉じ込めリングの組の各閉じ込めリングの間のギャップを調整するステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、前記第2の閉じ込めリングの組の各閉じ込めリングの間のギャップを調整するステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、前記第1の閉じ込めリングの組を、前記第1の閉じ込めリングの組、前記上部電極、および前記下部電極内の体積のプラズマの断面積を前記下部電極により支持されるワークピースの面積によって除して画定する電極有効面積比がほぼ1となるように前記上部電極に隣接して配置するステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、前記下部電極に電源を投入するステップを含み、
前記下部電極がワークピースを受けるように構成された、請求項14記載の方法。 - さらに、前記下部電極に複数の周波数を生成するステップを含む、請求項21記載の方法。
- さらに、 前記上部電極を接地するステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、前記下部電極に平行に隣接する誘電体リングをもって、前記下部電極を囲むステップを含む、請求項14記載の方法。
- さらに、拡張接地部をもって前記誘電体リングを囲むステップを含む、請求項24記載の方法。
- チャンバと、
前記チャンバ内に封入された下部電極および上部電極と、
前記下部電極および前記上部電極にほぼ平行であり、第1の直径を有する第1の閉じ込めリングの組と、
前記下部電極および前記上部電極にほぼ平行であり、前記第1の直径より大きい第2の直径を有する第2の閉じ込めリングの組と、
前記下部電極に隣接し、前記下部電極を囲む拡張接地部と、を備え、
前記第1の閉じ込めリングの組と前記第2の閉じ込めリングの組が、前記拡張接地部の上方の領域に延伸して、上昇または下降可能である、プラズマリアクタ。 - 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに下降するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに上昇するように構成される、請求項26記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに上昇するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに下降するように構成される、請求項26記載のプラズマリアクタ。
- チャンバと、
前記チャンバ内に封入された下部電極および上部電極と、
前記下部電極に隣接し、前記下部電極を囲む拡張接地部と、
少なくとも二つの同心円状の閉じ込めリングの組と、を備え、
各閉じ込めリングの組が独立して、前記拡張接地部の上方の領域に延伸して上昇または下降するように構成された、プラズマリアクタ。 - 第1の閉じ込めリングの組が、第2の閉じ込めリングの組が上昇するときに下降するように構成され、前記第1の閉じ込めリングの組が、前記第2の閉じ込めリングの組が下降するときに上昇するように構成される、請求項29記載のプラズマリアクタ。
- 前記少なくとも二つの同心円状の閉じ込めリングの組が、ともに上昇または下降するように構成された、請求項26記載のプラズマリアクタ。
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