JP2008540990A5 - - Google Patents

Claims (26)

1. 処理チャンバから、少なくともアンモニア及び水素の様々な量を含有する排気ガスを燃焼チャンバに接続した燃焼ノズルまで運ぶ段階と、
   前記燃焼チャンバ内に燃焼火炎を形成するために燃焼ガスを前記燃焼チャンバに供給する段階と、
   前記排気ガスがアンモニアを含有する時に、前記燃焼火炎によって燃焼される前記排気ガスが少なくとも所定の量の水素を含むように、前記処理チャンバから排気されるアンモニア及び水素の相対量に応じて水素を前記排気ガスに選択的に加える段階と、
   を含むことを特徴とする、アンモニアを燃焼させる方法。
2. 前記排気ガスに加えるための前記水素は、前記燃焼ノズルまで運ばれることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記排気ガスに加えるための前記水素は、前記燃焼ノズルの周りに延びる複数の開口から前記燃焼チャンバ内に注入されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の方法。
4. 前記排気ガスに加えるための前記水素は、前記燃焼チャンバの上流で前記排気ガスに加えられることを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. 前記排気ガスに加えられる水素の量は、前記処理チャンバから排気される前記排気ガスの化学的性質の変化を示すデータの受信に応答して調節されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
6. 前記排気ガスは、前記排気ガスの化学的性質の変化を示す前記データを供給している処理ツールの処理チャンバから排気されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 前記燃焼火炎によって燃焼されるアンモニアに対する水素の体積比率が少なくとも１：１になるように、水素が前記排気ガスに加えられることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
8. 前記燃焼ガスは、燃料と酸化剤の混合物を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
9. 前記燃料は、炭化水素を含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
10. 前記酸化剤は、空気を含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
11. 前記燃焼ガス内の燃料と酸化剤の体積比は、１：８と１：１２の間であることを特徴とする請求項８に記載の方法。
12. 前記燃焼ガスは、前記排気ガスと同軸的に前記燃焼チャンバに供給されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
13. 前記排気ガスは、更に、窒素を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
14. 燃焼チャンバと、
    前記燃焼チャンバ内に燃焼火炎を形成するための燃焼ガスを前記燃焼チャンバに供給するための手段と、
    前記燃焼チャンバに接続した燃焼ノズルと、
    少なくともアンモニア及び水素の様々な量を含有する排気ガスを処理チャンバから前記燃焼ノズルまで運ぶための手段と、
    前記処理チャンバから排気されるアンモニア及び水素の相対量に応じて、水素を前記排気ガスに選択的に加えるための手段と、
    を含むことを特徴とする、排気ガスを燃焼させるための装置。
15. 前記水素を加えるための手段は、前記排気ガスに加えるための水素を前記燃焼ノズルまで運ぶように構成されていることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
16. 前記水素を加えるための手段は、前記排気ガスに加えるための水素を受け取ってそれを前記燃焼チャンバまで運ぶために前記燃焼ノズルの周りに延びるスリーブを含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
17. 前記水素を加えるための手段は、前記燃焼ノズルの周りに延びる複数の開口を有し、前記排気ガスに加えるための水素が前記複数の開口から前記燃焼チャンバ内に注入されることを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
18. 前記水素を加えるための手段は、水素を前記燃焼チャンバよりも上流で前記排気ガスに加えるように構成されていることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
19. 前記水素を加えるための手段は、前記処理チャンバから排気される前記排気ガスの化学的性質の変化を示すデータを受信するための及びそれに応答して前記排気ガスに加えられる水素の量を調節するための手段を含むことを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
20. 前記排気ガスは、前記排気ガスの化学的性質の変化を示す前記データを供給している処理ツールの処理チャンバから排気されることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
21. 前記水素を加えるための手段は、前記燃焼火炎によって燃焼されるアンモニアに対する水素の体積比率が少なくとも１：１であるように水素を前記排気ガスに加えるように構成されていることを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
22. 前記燃焼ガスは、燃料と酸化剤の混合物を含むことを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
23. 前記燃料は、炭化水素を含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
24. 前記酸化剤は、空気を含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
25. 前記燃焼ガス内の燃料と酸化剤の体積比は、１：８と１：１２の間であることを特徴とする請求項２２に記載の装置。
26. 前記燃焼ガス供給手段は、前記燃焼ガスを前記排気ガスと同軸的に前記チャンバに供給するように構成されていることを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。