JP2008520472A - プリントヘッド - Google Patents
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Abstract
Description
Separation” SPIE Micromachining and Microfabrication Conference,カリフォルニア州、サンノゼ、1999年9月、およびニューメキシコ大学、1997年、W.P.Eatonの博士号論文 “Surface Micromachined Pressure Transducers” に記載されており、これら文献のすべての内容が引例として本明細書に組み入れられる。
20 プリントヘッド・ユニット
24 シート
30 マニフォルド・アセンブリ
40 インク流路
45 脱気部
50 半透性膜
60 減圧領域
70 ノズル
75 インク貯留領域
80 ポンピング室
100 窒化物層
110 ベース層
Claims (38)
- 貯留領域と吐出ノズルとの間に延び、流体の小滴を吐出するために該流体が内部で加圧されるポンピング室を備えた流路と、
前記流路内の流体と接触するように配置された、半透性窒化物を含む膜と、
を備えていることを特徴とする小滴吐出装置。 - 前記膜が微小割れ目を備えていることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が多孔性であることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、前記流路内の流体と接触する第1の表面と、減圧領域に接する第2の表面とを備えていることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、液体に対しては不透性であるが気体に対して透過性であることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、空気に対して透過性であることを特徴とする請求項5記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、前記小滴吐出装置内で用いられるインクに対して実質的に不透性であることを特徴とする請求項5記載の小滴吐出装置。
- 前記窒化物が窒化珪素を含むことを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、リアクティブ・イオンエッチング剤に曝されたものであることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、Heに対し室温において少なくとも約1.6×10−8モル/(m2Pa・s)の透過率を有することを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、Heに対し室温において約1×10−10モル/(m2Pa・s)の透過率を有することを特徴とする請求項10記載の小滴吐出装置。
- 複数の流路をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の小滴吐出装置。
- 貯留領域と吐出ノズルとの間に延び、流体の小滴を吐出するために該流体が内部で加圧されるポンピング室を備えた流路と、
Heに対し室温において約1×10−10モル/(m2Pa・s)から約1×10−6モル/(m2Pa・s)までの透過率を有し、前記流路内の流体と接触するように配置された膜と、
を備えていることを特徴とする小滴吐出装置。 - 前記膜が微小割れ目を備えていることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、前記流路内の流体と接触する第1の表面と、減圧領域に接する第2の表面とを備えていることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、空気に対しても透過性であることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、液体に対して実質的に不透性であることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、前記小滴吐出装置内で用いられるインクに対して実質的に不透性であることを特徴とする請求項17記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が窒化珪素膜を含むことを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、リアクティブ・イオンエッチング剤に曝されたものであることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 前記膜がHeに対し室温において約1.6×10−8モル/(m2Pa・s)よりも低い透過率を有することを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 複数の流路をさらに備えていることを特徴とする請求項13記載の小滴吐出装置。
- 貯留領域と吐出ノズルとの間に延び、流体の小滴を吐出するために該流体が内部で加圧されるポンピング室を備えた流路と、
約100nm以下の断面寸法を有する微小割れ目を備え、前記流路内の流体と接触するように配置された膜と、
を備えていることを特徴とする小滴吐出装置。 - 前記膜が、前記流路内の流体と接触する第1の表面と、減圧領域に接する第2の表面とを備えていることを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、液体に対しては不透性であるが気体に対して透過性であることを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、空気に対して透過性であることを特徴とする請求項25記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、前記小滴吐出装置内で用いられるインクに対して実質的に不透性であることを特徴とする請求項26記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が窒化珪素を含むことを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 前記膜が、リアクティブ・イオンエッチング剤に曝されたものであることを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 前記膜がHeに対し室温において少なくとも約1.6×10−8モル/(m2Pa・s)の透過率を有することを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 前記膜がHeに対し室温において約1×10−10モル/(m2Pa・s)よりも低い透過率を有することを特徴とする請求項30記載の小滴吐出装置。
- 複数の流路をさらに備えていることを特徴とする請求項23記載の小滴吐出装置。
- 貯留領域と吐出ノズルとの間に延び、流体の小滴を吐出するために該流体が内部で加圧されるポンピング室を備えた流路と、
プラズマに曝されて気体に対する透過率を修正された無機材料を含み、前記流路内の流体と接触するように配置された半透性膜とを含み、
該膜は、液体が透過するのを阻止するが、気体が透過するのを許容するものであることを特徴とする小滴吐出装置。 - 前記膜が割れ目を備えていることを特徴とする請求項33記載の小滴吐出装置。
- 前記割れ目が約250nm以下の断面寸法を有することを特徴とする請求項34記載の小滴吐出装置。
- 前記断面寸法が100nm以下であることを特徴とする請求項35記載の小滴吐出装置。
- 前記無機材料が窒化物を含むことを特徴とする請求項33記載の小滴吐出装置。
- 前記窒化物が窒化珪素を含むことを特徴とする請求項37記載の小滴吐出装置。
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