JP2008518407A - ガスクラスターイオンビーム形成のためのイオナイザおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図10
Description
Claims (17)
- ガスクラスターイオンビーム形成のためのイオナイザであって:
入力端から出力端まで軸に沿って方向付けされたガスクラスターを含むガスクラスタージェットが通過するイオン化領域を部分的に画定する入力端および出力端と;
ガスクラスターイオンビームを形成するためにガスクラスターの少なくとも一部をイオン化する電子を、イオン化領域に対して与える少なくとも一つのプラズマ電子源
とを含むイオナイザ。 - ガスクラスタージェット軸の周りに、実質的に平行にかつ、略円筒状に部分的に配列された、実質的に直線状の棒型電極の第一セットを有し、さらに該第一セットがイオン化領域を画定する請求項1記載のイオナイザ。
- 棒型電極の第一セットが、ガスクラスタージェット軸に実質的に同心の半径R1を有する略円筒状に部分的に配列された陽極である前記請求項2記載のイオナイザ。
- ガスクラスタージェット軸に実質的に同心の半径R2を有する略円筒状に部分的に配列された、実質的に直線状の棒型電極の第二セットをさらに有し、R2がR1より大きい請求項3記載のイオナイザ。
- ガスクラスタージェット軸に実質的に同心の半径R3を有する略円筒状に部分的に配列された、実質的に直線状の棒型電極の第三セットをさらに有し、R3がR2より大きい請求項4記載のイオナイザ。
- 実質的に直線状の棒型電極の第二セットが電子反発電極として作動するように電気的にバイアスされ;
実質的に直線状の棒型電極の第三セットがイオン反発電極として作動するように電気的にバイアスされた、請求項5記載のイオナイザ。 - 棒型電極の第一セット、第二セットの少なくとも一方がグラファイトを含む請求項3記載のイオナイザ。
- イオン化領域が径R0のクリア開口(clear aperture)を有する略円筒形状に画定され、R0がR1より小さく;
該イオン化領域が長さLを有し、Lが1.8R0と同等以上である、請求項3記載のイオナイザ。 - イオン化領域が径R0のクリア開口を有する略円筒形状に画定され;
陽イオンが入力端を抜けて抽出されることを減少させる延長チューブを含む、入力端である請求項1記載のイオナイザ。 - 延長チューブの長さが約2R0と同等以上である、請求項9記載のイオナイザ。
- 少なくとも一つのプラズマ電子源が、プラズマチャンバを画定し、電子衝撃イオン化によりガスクラスタージェットの少なくとも一部をイオン化する為のイオン化領域に電子を与える1以上の開口を有するプラズマチャンバボディを含む請求項1記載のイオナイザ。
- プラズマチャンバが希ガスのプラズマを含む請求項11記載のイオナイザ。
- 少なくとも一つのプラズマ電子源がさらに以下の構成:
プラズマチャンバ内に電子を放出する加熱された熱イオンフィラメント;
プラズマチャンバ内に希ガスを導入する開口;
プラズマチャンバ内に前記希ガスプラズマを発生させるための電子を加速する手段;
加速−減速電極;
プラズマチャンバ内のプラズマからイオン化領域へ電子を抽出するバイアス手段、
を含む請求項11記載のイオナイザ。 - 熱イオンフィラメントが望ましくない金属蒸気を揮散する金属フィラメントであり;
プラズマチャンバボディの1以上の開口がイオン化領域に揮散された金属の伝送を減少させるように配列された、請求項13記載のイオナイザ。 - 熱イオンフィラメントが、望ましくない金属蒸気を揮散する金属フィラメントであり、かつ、
該熱イオンフィラメントからイオン化領域内へと続く侵入用視界(line-of-sight)がないようにプラズマチャンバ内に配置されている、請求項13記載のイオナイザ。 - ガスクラスクラスターイオンビーム照射により対象物を処理するガスクラスターイオンビーム処理装置であって:
減圧空気エンクロージャ(enclosure)と;
複数のガスクラスターを含むガスクラスタージェット形成のためのエンクロージャ内のノズルと;
入力端から出力端まで軸に沿って方向付けされたガスクラスターを含むガスクラスタージェットが通過するイオン化領域を部分的に画定する入力端および出力端と、ガスクラスターイオンビームを形成するためにガスクラスターの少なくとも一部をイオン化する電子を、イオン化領域に対して与える少なくとも一つのプラズマ電子源を含み、ガスクラスターイオンビームを形成するために、ガスクラスタージェット内の少なくとも一部のガスクラスターをイオン化するエンクロージャ内のイオナイザと;
前記ガスクラスターイオンビームを加速するエンクロージャ内の加速手段と;
前記ガスクラスターイオンビームによって照射されるエンクロージャ内の対象物を固定する手段と、
を含む処理装置。 - 以下の工程;
減圧空気エンクロージャを提供する工程;
減圧空気エンクロージャ内に複数のガスクラスターを含むガスクラスタージェットを発生させる工程;
減圧空気内にイオン化領域を提供する工程;
イオン化領域を通してガスクラスタージェットを方向付けする工程;
イオン化領域の近くに少なくとも一つのプラズマ電子源を提供する工程;
ガスクラスタージェット内の少なくとも一部のガスクラスターをイオン化してガスクラスターイオンビームを形成するために、前記少なくとも一つのプラズマ電子源から前記イオン化領域に電子を導入する工程、
を含むガスクラスターイオンビームの形成方法。
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