JP2008516277A - 可変鏡 - Google Patents
可変鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008516277A JP2008516277A JP2007535203A JP2007535203A JP2008516277A JP 2008516277 A JP2008516277 A JP 2008516277A JP 2007535203 A JP2007535203 A JP 2007535203A JP 2007535203 A JP2007535203 A JP 2007535203A JP 2008516277 A JP2008516277 A JP 2008516277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- membrane
- magnet
- adhesive
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
Abstract
Description
有利にも、この膜は電磁石支持体に機械的結合を提供する支持構造体のより薄い領域からからなる。次の利点が加えられる。本発明の具体的な実施形態によれば、この支持構造体は、可撓性のシリコン接着剤を用いて接着された三つのスペーサによって支持体に固定されている。有利にも、これらのスペーサは、(電子コネクタ技術のために現在使用されている)スズ―鉛合金の展性のあるボールを用いて、パルマ(Palmer)あるいは他の測定装置によって適切な側面上に圧搾されて、製造され得る。
本発明の有利な実施形態によれば、電磁石は、その上にスプールが置かれる円筒型領域を有するコアで組織され、コアの少なくとも一部分は、膜に固着された磁石のコアと同じ構成で編成されたハウジングを有するプレート内に格納されている。
膜は、磁石及び磁石のない周辺環状区域を備えた能動中心円盤状領域を有することが好ましい。
また、本発明は、外側反射面及びその上に複数の永久磁石が固定される内側表面を有する可変鏡からなる光電気デバイスを製造する方法に関し、その方法は膜の底面全体にわたって粘着フィルムを堆積させる工程及び接着面の一部上に永久磁石を堆積させる工程を含むことを特徴とする。
本発明の具体的な実施形態によれば、永久磁石は、仮支持体上に配置され、次に接着面が上述のように予め配置された磁石の表面の上方を移動される。
第二の変形例によれば、膜形成工程はプラズマエッチングによって実行される。
第四の変形例によれば、膜形成工程は化学エッチングによって実行される。
本発明は、添付図面に関連して作成された以下の記載を読むことによってより理解されよう。ここで、
図1は、本発明にかかる作動装置の断面図を示す。
可変鏡は、支持構造体を形成する環状区域(1)を有し、より薄い中心領域によって延出されたモノリシック構造のシリコン部分を含み、その部分が反射膜を構成する。
例として、反射膜は30ミリメートルの直径を有し、中心領域は15ミリメートルの直径を有する。
磁気可変鏡を製造する方法は以下の通りである:
1. 磁石の調整
100マイクロメートルの厚さを有する非接着材料、例えばKapton(商標)のシートが鉄の支持体上に配置される。
2. 膜の調整
SOI(シリコンインシュレータ)型のシリコンウエハ(総厚さ:500マイクロメートル)の選択エッチング。
この支持体は機械的インターフェイスとして作用する金属板との接着によって固定される。
接着剤が数分間の部分的乾燥を許容される。
接着膜が変形装置によって磁石の上に置かれる。
接触後、まだ極めて柔らかい状態の接着剤の中に磁石を部分的に沈めるために、50マイクロメートル分、変形が続く。
本発明は厳密に限定されない例として上述されている。
Claims (16)
- 外側反射面及びその上に複数の永久磁石が固定される内側表面を有す可変膜からなる光電気デバイスであって、前記デバイスは、可変膜に対応するコアを局所的に置換してその上に電磁気力を及ぼすために永久磁石(4)と対向して配置された複数の電磁石(6)を含むハウジング(5)を含み、底面(7)の全体が可撓製材料の連続層で被覆されていることを特徴とする光電気デバイス。
- 前記可撓性材料が接着剤層(7)であることを特徴とする請求項1に記載の光電気デバイス。
- 前記膜が電磁石支持体(5)に機械的結合を提供する支持構造体(1)のより薄い領域からからなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光電気デバイス。
- 前記膜がシリコンから製造されていることを特徴とする請求項1,2又は3に記載の光電気デバイス。
- 前記膜が5マイクロメートルと50マイクロメートルとの間の厚さを有することを特徴とする、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の光電気デバイス。
- 前記電磁石が、その上にスプールが置かれる円筒型領域を有するコアからなり、前記コアの少なくとも一部分は、膜に固着された磁石の部分と同じ構成において組織されたハウジングを有する平板内に格納されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の光電気デバイス。
- 前記磁石及び電磁石は、N×Nアレイを形成し、そのコーナー部は占有されていないことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の光電気デバイス。
- 前記膜は磁石及び磁石のない周辺環状区域を備えた能動中心円盤状領域を有することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の光電気デバイス。
- 前記能動中心円盤状領域の直径は膜の外側直径の0.3倍と0.7倍との間であることを特徴とする請求項8に記載の光電気デバイス。
- 外側反射面及びその上に複数の永久磁石が固定される内側表面を有する可変膜からなる光電気デバイスを製造する方法であって、前記方法は、前記膜の底面全体にわたって粘着フィルムで堆積させる工程及び粘着表面の一部上に永久磁石を堆積させる工程を含むことを特徴とする方法。
- 前記粘着フィルムを堆積させる前記工程は、前記膜の表面上に局所的に配置された接着剤の遠心分離によって実行されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記永久磁石は、仮支持体上に配置され、次に接着面が上述のように予め配置された磁石の表面の上方を移動させられることを特徴とする、請求項10又は求項11に記載の方法。
- 前記膜は均質ブロックの円盤状領域を薄くすることによって形成されることを特徴とする請求項10乃至請求項12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記膜形成工程はプラズマエッチングによって実行されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記膜形成工程はフォトリソグラフィーによって実行されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記膜形成工程は化学エッチングによって実行されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0452342 | 2004-10-12 | ||
FR0452342A FR2876460B1 (fr) | 2004-10-12 | 2004-10-12 | Miroir deformable |
PCT/FR2005/002528 WO2006040477A1 (fr) | 2004-10-12 | 2005-10-12 | Miroir deformable |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008516277A true JP2008516277A (ja) | 2008-05-15 |
JP4833987B2 JP4833987B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=34953395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007535203A Active JP4833987B2 (ja) | 2004-10-12 | 2005-10-12 | 光電気デバイス及びその製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7733550B2 (ja) |
EP (1) | EP1800175B1 (ja) |
JP (1) | JP4833987B2 (ja) |
CN (1) | CN100533204C (ja) |
AT (1) | ATE502318T1 (ja) |
CA (1) | CA2584239C (ja) |
DE (1) | DE602005026959D1 (ja) |
FR (1) | FR2876460B1 (ja) |
WO (1) | WO2006040477A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011530721A (ja) * | 2008-08-14 | 2011-12-22 | アルパオ | フォースアクチュエータ及び分散剛性を有する可変ミラー |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2923301B1 (fr) | 2007-11-02 | 2010-09-17 | Ujf Filiale | Miroir deformable a raideur repartie,outil et procede pour realiser un tel miroir |
CN103676138A (zh) * | 2012-12-28 | 2014-03-26 | 清华大学 | 多层组合薄变形镜镜体结构 |
DE102013214989A1 (de) | 2013-07-31 | 2014-08-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Variabel einstellbare Spiegelanordnung mit Magnetaktuatoren |
CN106646856A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 用于euv光刻的变形镜及其制备方法 |
US11920992B2 (en) * | 2021-07-20 | 2024-03-05 | Toyota Research Institute, Inc. | Deformable sensors and methods using magnetic repulsion for modifying run-time membrane stiffness |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5037184A (en) * | 1989-12-18 | 1991-08-06 | United Technologies Corporation | Deformable mirror actuator attachment |
JPH08334708A (ja) * | 1995-06-08 | 1996-12-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状可変鏡 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5604960A (en) * | 1995-05-19 | 1997-02-25 | Good; Elaine M. | Magnetic garment closure system and method for producing same |
US6842277B2 (en) * | 2002-07-23 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Deformable mirror with high-bandwidth servo for rigid body control |
-
2004
- 2004-10-12 FR FR0452342A patent/FR2876460B1/fr active Active
-
2005
- 2005-10-12 WO PCT/FR2005/002528 patent/WO2006040477A1/fr active Application Filing
- 2005-10-12 CN CNB2005800347548A patent/CN100533204C/zh active Active
- 2005-10-12 EP EP05809427A patent/EP1800175B1/fr active Active
- 2005-10-12 JP JP2007535203A patent/JP4833987B2/ja active Active
- 2005-10-12 AT AT05809427T patent/ATE502318T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-10-12 DE DE602005026959T patent/DE602005026959D1/de active Active
- 2005-10-12 US US11/664,763 patent/US7733550B2/en active Active
- 2005-10-12 CA CA2584239A patent/CA2584239C/fr active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5037184A (en) * | 1989-12-18 | 1991-08-06 | United Technologies Corporation | Deformable mirror actuator attachment |
JPH08334708A (ja) * | 1995-06-08 | 1996-12-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状可変鏡 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6010041202, O. Cugat, S. Basrour, C. Divoux, P. Mounaix and G. Reyne, "Deformable magnetic mirror for adaptive optics: technological aspects", Sensors and Actuators A: Physical, 20010320, Vol. 89, p. 1 − 9 * |
JPN6010041203, Roger Hamelinck, Nick Rosielle, Pieter Kappelhof, Bart Snijders, and Maarten Steinbuch, "A large adaptive deformable membrane mirror with highactuator density", Proceedings of SPIE, 20040621, Vol. 5490, p. 1482 − 1492 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011530721A (ja) * | 2008-08-14 | 2011-12-22 | アルパオ | フォースアクチュエータ及び分散剛性を有する可変ミラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2876460B1 (fr) | 2007-05-18 |
DE602005026959D1 (de) | 2011-04-28 |
JP4833987B2 (ja) | 2011-12-07 |
CN101040204A (zh) | 2007-09-19 |
FR2876460A1 (fr) | 2006-04-14 |
CA2584239A1 (fr) | 2006-04-20 |
CN100533204C (zh) | 2009-08-26 |
US20090059340A1 (en) | 2009-03-05 |
WO2006040477A1 (fr) | 2006-04-20 |
US7733550B2 (en) | 2010-06-08 |
EP1800175A1 (fr) | 2007-06-27 |
ATE502318T1 (de) | 2011-04-15 |
EP1800175B1 (fr) | 2011-03-16 |
CA2584239C (fr) | 2014-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4833987B2 (ja) | 光電気デバイス及びその製造方法 | |
US6894823B2 (en) | Magnetically actuated microelectromechanical devices and method of manufacture | |
KR101360545B1 (ko) | 조정 가능한 렌즈의 제조 방법 | |
EP0707781B1 (en) | Solid state condenser and microphone devices | |
AU659290B2 (en) | Solid state condenser and microphone devices | |
DK2324387T3 (en) | Malleable MIRROR WITH KRAFTAKTUATORER AND DISTRIBUTED STIFFNESS | |
JP4094407B2 (ja) | 光スイッチ | |
JP2002162663A (ja) | レンズのあおり装置 | |
EP1428232B1 (fr) | Actionneur magnetique a aimant mobile | |
JP5143102B2 (ja) | 光偏向器の製造方法 | |
US5995293A (en) | Optical components having magnetic thin films for orientation and method of assembling same | |
JPH08334723A (ja) | 光偏向素子 | |
JP2006071678A (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP2006041534A (ja) | 磁気的に組み立てられた構造を備えたマイクロ技術デバイスならびに組立方法 | |
JP2004056771A (ja) | 電気音響変換器用振動膜および電気音響変換器 | |
Son et al. | Dual Coil Patterned Ultra‐Thin Silicon Film Enable by Double‐Sided Process | |
JP4700869B2 (ja) | 光学ユニットの組み立て方法および光学ユニット | |
JP3190630B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JPH02168614A (ja) | X線露光用マスクおよびそれを用いた露光方法 | |
JP2005117866A (ja) | リニアモータ、ステージ装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JPS6025758Y2 (ja) | 磁気バブルメモリチップの実装構造 | |
WO1998048409B1 (en) | Electro-magnetic coil assembly | |
JP2000350296A (ja) | マイクロフォン | |
JP2003329975A (ja) | 光デバイスとその製造方法 | |
KR101003337B1 (ko) | 초점 심도 조절용 마이크로 액츄에이터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101008 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110215 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110502 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110512 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110607 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110614 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110715 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110830 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110922 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4833987 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |