JP2008513750A - 測定物体を測定するためのミラー装置を備えた干渉計 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、測定物体を測定するための、たとえば測定物体の厚さを測定するための、ミラー装置を備えた干渉測定装置に関する。
従来技術に対し、請求項1記載の特徴を備えた本発明による測定装置が有する利点とは、偏向ミラーに対する測定物体の相対的なポジションをチェックできることである。これにより次の段階において重要なコンポーネントの相対的なポジショニングを最適化できるようになり、このことで測定をいっそう高速に行えるようになる。したがって測定期間が著しく短くなる。そして有利なことにこれにもかかわらず、第2の画像検出器を省くことができる。
次に、図面を参照しながら本発明の実施例に基づき詳しく説明する。
図1は、マイケルソン干渉測定装置1の光学コンポーネントを備えた基本構造を示す平面図である。ここでは測定法として白色光干渉測定(短コヒーレント干渉測定)が用いられ、したがって光源10は短コヒーレントな放射を送出する。光はビームスプリッタ15によって、基準ビーム20と対物ビーム25とに分割される。基準ビーム20はさらに、基準光路35内に配置されている基準ミラー30によって反射され、再びビームスプリッタ15を介して画像検出器55に到達する。そこにおいて基準ビーム20の光波が対物ビーム25の光波と重畳される。この場合、対物ビーム25の方は対物光路50中に配置されている専用対物光学系45を介して測定物体5の方へ向きが変えられ、そこから反射したものである。
Claims (8)
- 測定物体(5)を測定するための干渉測定装置たとえば測定物体(5)の厚さ測定のための干渉装置において、
光源(10)と、基準ビーム(20)と対物ビーム(25)を形成するビームスプリッタ(15)と、基準光路(35)内の基準ミラー(30)と、ミラー装置(40)を有する対物光路(50)内の専用対物光学系(45)と、画像検出器(55)が設けられており、
前記ミラー装置(40)は、少なくとも第1の偏向ミラー(60)と第2の偏向ミラー(65)から成り、前記第1の偏向ミラー(60)または前記第2の偏向ミラー(65)に入射する対物ビーム(25)は、第1のビーム入射側(80)または互いに逆平行な第2のビーム入射側(85)で、被測定物体(5)における第1の面(70)または該第1の面(70)に対し平行な第2の面(75)に向けて配向され、
前記ミラー装置(40)は付加的に、前記第1の偏向ミラー(60)および/または前記第2の偏向ミラー(65)に対し相対的な被測定物体(5)のポジションを結像するために、少なくとも第1のポジションミラー(70)を有することを特徴とする、
干渉測定装置。 - 請求項1記載の干渉測定装置において、
前記第1のポジションミラー(70)に入射する対物ビーム(25)が第3のビーム入射側(95)において、被測定物体(5)の第1の面(70)および第2の面(75)に対し直角を成す第3の面(90)に配向されるよう、該第1のポジションミラー(70)が配置されていることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項2記載の干渉測定装置において、
互いに逆平行のビーム入射側(80,85)は前記第3のビーム入射側(95)と、0°よりも大きくかつ180°よりも小さい角度(100)を成していることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項3記載の干渉測定装置において、
前記角度(100)は直角であることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項2から4のいずれか1項記載の干渉測定装置において、
前記ミラー装置(40)は第2のポジションミラー(105)を有しており、該第2のポジションミラー(105)は、前記第2のポジションミラー(105)に入射する対物ビーム(25)が第4のビーム入射側(115)において、被測定物体(5)の第3の面(90)に対し平行な第4の面(110)に対して配向されるように配置されていることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項1から5のいずれか1項記載の干渉測定装置において、
前記画像検出器(55)は、測定物体(5)のポジションを求めるための評価ソフトウェアを備えたカメラであることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項1から6のいずれか1項記載の干渉測定装置において、
測定物体(5)と画像検出器(55)との間の光路を整合させるための補正ユニットが設けられていることを特徴とする干渉測定装置。 - 請求項7記載の干渉測定装置において、
前記補正ユニットは少なくともトラバーステーブル、圧電素子、光学的に能動的な素子によって、あるいはこれらの組み合わせによって構成されていることを特徴とする干渉測定装置。
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