JP2008509390A - 流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法 - Google Patents

流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法 Download PDF

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Abstract

本発明による加速度及び傾斜角測定装置は、流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置において、流体が収容される容器と、容器内に配置される第1発熱要素及び第2発熱要素、第1発熱要素及び第2発熱要素の一端部がそれぞれ電気的に接合されて形成された頂点を含み、第1発熱要素及び第2発熱要素の他端部を通じて印加される電流により発熱する発熱体と、発熱体の頂点と接触する熱電対接合点を有し、発熱体の頂点に対して発熱体と点対称形態に配置されており、発熱体の頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される熱電対と、を備え、発熱体の頂点の温度を利用して、発熱体を備える仮想の平面内で発熱体の頂点を通過する仮想の直線方向への加速度と、仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする。

Description

本発明は、加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法に係り、特に流体、すなわち気体または液体の熱対流による発熱体の冷却程度が加速度の方向及び大きさに依存する現象を利用して、加速度及び地球の重力方向に対する傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法に関する。
現在、加速度測定装置、すなわち加速度系は、自動車のエアーバック及び懸架装置、航空及び軍事用運動体の位置制御装置、コンピュータや携帯電話のような電子製品のモーション入力装置及び衝撃感知装置などに代表的に使われている。
従来の加速度系は、作動方式によって、一般的にサーボ型、圧電型、圧抵抗型、静電容量型などに分類される。それらの各加速度系では、質量がmである運動構造物に力F(=ma)を加えてその運動構造物を加速度aで加速させ、その状態で運動構造物の変位によって変化する制御信号、圧電圧、圧抵抗、静電容量などを測定して加速度を得る。そして、前述したような従来の加速度系で加速度測定の精密度を向上させるためには、加速度によって変化する運動構造物の変位を最大限精密に測定可能にする構造が備えられねばならない。しかし、かかる運動構造物の具現は、複雑な製造工程を必要とし、加速度系の耐久性を弱化させるなどの問題を発生させる。
一方、流体の熱対流現象を利用した従来の対流型加速度系は、特許文献1ないし6などの発明を通じて具現可能であるが、かかる対流型加速度系は、前記運動構造物を利用する加速度系に比べて敏感度及び応答速度が低下し、外部の圧力または温度変化によって流体の圧力が変化する場合には、加速度を正確に測定できずにパッケージング方法に制約があり、外部温度を別途に測定せねばならないなどの短所を有している。
米国特許第2,440,189号明細書 米国特許第2,455,394号明細書 米国特許第5,581,034号明細書 米国特許第6,182,509号明細書 特開平7−260820号公報 特開2000−193677号公報
本発明の目的は、前記した問題点を解決するためのものであって、流体の熱対流による発熱体の冷却程度が加速度の方向及び大きさによって変化する現象を利用して運動構造物が除去された簡単な構造を有し、これによる単純化された製造工程、低い製造コスト、高い耐久性を有することを特徴とする加速度及び傾斜角測定装置を提供することである。
本発明の他の目的は、従来の対流型加速度系に比べて向上した敏感度及び応答速度を有し、流体の圧力変化が加速度に及ぼす影響を補償することによって、加速度をさらに正確に測定可能にする加速度及び傾斜角測定方法を提供することである。
前記目的を達成するために、本発明による加速度及び傾斜角測定装置は、流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置において、前記流体が収容される容器と、前記容器内に配置される第1発熱要素及び第2発熱要素、前記第1発熱要素及び第2発熱要素の一端部がそれぞれ電気的に接合されて形成された頂点を含み、前記第1発熱要素及び第2発熱要素の他端部を通じて印加される電流により発熱する発熱体と、前記発熱体の頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の頂点に対して前記発熱体と点対称形態に配置されており、前記発熱体の頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される熱電対と、を備え、前記発熱体の頂点の温度を利用して、前記発熱体を備える仮想の平面内で前記発熱体の頂点を通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする。
また、前記目的を達成するために、本発明による他の類型の加速度及び傾斜角測定装置は、流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置において、前記流体が収容される容器と、前記容器内に配置され、互いに電気的に連結されている第1頂点、第2頂点、第3頂点、第4頂点を有するように四角形状になっており、互いに対向する前記第1頂点及び第2頂点の中間に位置する仮想の中心点に対して点対称形態に配置されており、印加される電流により発熱する発熱体と、前記発熱体の第1頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第1頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される第1熱電対と、前記発熱体の第2頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第2頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定され、前記仮想の中心点に対して前記第1熱電対と点対称形態に配置されている第2熱電対と、を備え、前記発熱体の第1頂点と第2頂点との温度差を利用して、前記第1頂点と第2頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする。
ここで、前記発熱体には、前記第3頂点及び第4頂点を通じて電流が印加されることが望ましい。
また、前記発熱体の第3頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第3頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される第3熱電対と、前記発熱体の第4頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第4頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定され、前記仮想の中心点に対して前記第3熱電対と点対称形態に配置されている第4熱電対と、を備え、前記発熱体の第3頂点と第4頂点との温度差を利用して、前記第3頂点と第4頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記第3頂点と第4頂点とを通過する仮想の直線が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することが望ましい。
そして、前記発熱体には、4個の電極が電気的に連結されており、前記電極は、前記仮想の中心点に対して点対称形態に配置されていることが望ましい。
前記他の目的を達成するために、加速度及び傾斜角測定方法は、流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定方法において、前記流体が収容される容器と、前記容器内に配置され、互いに電気的に連結されている第1頂点、第2頂点、第3頂点、第4頂点を有するように四角形状になっており、互いに対向する前記第1頂点及び第2頂点の中間に位置する仮想の中心点に対して点対称形態に配置されている発熱体と、前記発熱体の第1頂点と接触する熱電対接合点を有する第1熱電対と、前記発熱体の第2頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記仮想の中心点に対して前記第1熱電対と点対称形態に配置されている第2熱電対と、を備える加速度及び傾斜角測定装置を提供する提供ステップと、前記発熱体が発熱して前記流体が対流されるように、前記発熱体に電流を印加する電流印加ステップと、前記第1熱電対の両端部間の電圧を測定し、その測定された電圧を利用して前記発熱体の第1頂点の温度を測定し、前記第2熱電対の両端部間の電圧を測定し、その測定された電圧を利用して前記発熱体の第2頂点の温度を測定する温度測定ステップと、前記温度測定ステップで得られた温度の差を利用して、前記第1頂点と第2頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を計算する計算ステップと、を含むことを特徴とする。
ここで、前記温度測定ステップからそれぞれ測定された温度を合わせ、その合わせた温度を利用して前記容器内の流体の圧力を求める圧力計算ステップと、前記圧力計算ステップから得られた前記流体の圧力を利用して、前記計算ステップから得られた加速度と傾斜角とを補正する補正ステップと、をさらに含むことが望ましい。
本発明によれば、従来の一般的な加速度系に必須的な運動構造物を除去することによって、簡単な構造を有し、耐久性が向上した加速度系を単純化された製造工程及び低い製造コストで製作できる。また、従来の対流型加速度系より向上した加速度測定の敏感度及び応答速度を有する加速度系を具現でき、外部の圧力または温度変化に依存する流体圧力の変化を補正する機能が付加されて単純かつ多様なパッケージング方法が可能であり、別途の外部温度測定が不要になる。
以下、本発明による望ましい実施形態を、添付された図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の第1実施形態による加速度及び傾斜角測定装置のz軸方向の概略的な断面図であり、図2は、図1に示した加速度及び傾斜角測定装置のy軸方向の概略的な断面図であり、図3は、図1に示した加速度及び傾斜角測定装置にy軸方向に加速度が加えられた場合に、その加速度と重力加速度との和をベクトルで表した概略的な断面図であり、図6は、図1に示した加速度及び傾斜角測定装置において、y傾斜角を説明するための概略的な断面図である。
図1ないし図3及び図6に示すように、本発明の第1実施形態による加速度及び傾斜角測定装置100は、流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定するためのものであって、容器10、発熱体20及び熱電対30を備える。
前記容器10には、流体1が収容されている。前記流体1は、気体や液体のうちいずれか一つであってもよい。
前記発熱体20は、前記容器10内に配置されている。前記発熱体20は、第1発熱要素21、第2発熱要素22及び頂点23を有する。前記第1発熱要素21及び第2発熱要素22は、ニッケル、クロムなどの金属素材からなるが、本実施形態において、前記第1発熱要素21及び第2発熱要素22は、同じ長さ及び同じ抵抗を有するように構成されている。前記頂点23は、前記第1発熱要素21及び第2発熱要素22の一端部がそれぞれ電気的に接合されて形成される。前記第1発熱要素21及び第2発熱要素22の他端部は、それぞれ電極24,25に電気的に連結されている。前記電極24,25は、電流を供給できる電流供給装置(図示せず)に連結される。前記電流供給装置から電流を供給すれば、前記第1発熱要素21及び第2発熱要素22にジュール熱が発生する。
前記熱電対30は、図1に示したように、前記発熱体20の頂点23に対して前記発熱体20と点対称形態に配置されている。前記熱電対30は、第1伝導線31、第2伝導線32及び熱電対接合点33を備える。前記第1伝導線31及び第2伝導線32は、それぞれニッケル、クロムなどの金属素材からなる。前記第1伝導線31及び第2伝導線32は、異なる種類の金属からなるが、例えば前記第1伝導線31がニッケルからなる場合には、前記第2伝導線32は、ニッケルでない他の金属、例えばクロムからなる。前記熱電対接合点33は、前記第1伝導線31及び第2伝導線32の端部が互いに電気的に連結されて形成される。前記熱電対接合点33は、前記発熱体20の頂点23と接触する。前記熱電対30の両端部には、それぞれ電極34,35が電気的に連結されている。前記電極34,35には、その電極34,35間の電圧を測定できる電圧測定装置(図示せず)が連結される。
前記電圧測定装置により測定された電圧を利用して、前記発熱体の頂点23の温度を計算でき、その温度を利用して加速度の大きさ及び方向、傾斜角をそれぞれ独立的に測定できる。ここで、前記加速度の方向は、前記発熱体20を備える仮想の平面内で前記発熱体の頂点23を通過する仮想の直線方向である。また、前記傾斜角、すなわちy傾斜角は、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度をいう。
以下、前述したように構成された本実施形態の加速度及び傾斜角測定装置100を使用して、加速度及び傾斜角を測定する原理及び方法について詳細に説明する。
容器10の内部で流体1の圧力が変化する場合には、その変化する圧力が流体1の熱対流に影響を及ぼして加速度及び傾斜角の測定にエラーが発生する。したがって、以下では、容器10の内部で流体1の圧力が一定した場合に、加速度及び傾斜角を正確に測定する過程を説明する。
図1及び図2に示している発熱体20の頂点23を空間座標上で原点(x=0,y=0,z=0)に設定し、重力加速度のみが−z方向に作用している状態で、電流供給装置から電極24,25に電流を印加すれば、発熱体20、すなわち第1発熱要素21及び第2発熱要素22には、ジュール熱が発生する。したがって、容器10内の流体1は、そのジュール熱、流体1の熱伝導度、容器10の内部の境界条件などに依存してその容器10内で空間上の温度分布を有する。そして、発熱体20の近辺に位置してその発熱体20により加熱された流体1の部分は、その周辺の流体より相対的に高い温度を有し、これにより、密度が相対的に低くなるので、重力加速度の逆方向、すなわち+z方向に浮力を受ける。したがって、発熱体20により加熱された流体1の部分は、その発熱体20の上部空間(z>0)に移動する。このように加熱された流体1の部分が移動すれば、その移動した流体1の部分が占めていた空間が空けられるので、その空間には、発熱体20の下部(z<0)に位置し、加熱された流体1の部分より相対的に低い温度を有する流体が+z方向に移動して満たされる。一方、前記のように発熱体20の上部空間(z>0)に移動する流体1は、発熱体20から遠くなるにつれて温度が低くなり、結局、容器10の内壁に沿って−z方向に移動して発熱体20の下部空間(z<0)を満たす。
したがって、前述したように発熱体20に電流を印加してその発熱体20でジュール熱を発生させれば、容器10の内部で流体1流動の循環、すなわち熱対流が形成される。
一方、+y軸方向に加速度aが加えられれば、発熱体20の近辺での熱対流の方向は、図3に示したように加速度aと重力加速度gとのベクトル和に影響を受けてそのベクトル和の逆方向に変化する。このとき、発熱体20の近辺での熱対流の強度、すなわち流体流動の平均速度は、前記ベクトル和の大きさに比例して変化する。そして、発熱体20により発生する熱は、ほとんど流体1により冷却されるので、前記のような熱対流の大きさ及び方向の変化は、発熱体20の冷却程度、すなわち発熱体20の温度を変化させる。また、かかる熱対流変化の大きさと速度は、熱が発生する発熱体20に近いほど大きくなる。
図4及び図5には、重力加速度と同じ大きさを有する加速度が+y方向に作用する場合及び−y方向に作用する場合についてのシミュレーション結果が示されている。図4及び図5には、図1に示したxy平面上で発生する流体1の熱対流の形態が示されており、ここで、矢印は、流体1の流動方向を表し、流動の形態を表示する各線の長さは、流体1の流動速度に比例する。そして、供給される電流により発熱する発熱体20の平均温度は、約150℃であり、容器10の平均温度は、25℃である。図4及び図5に示すように、加速度の変化による流体1の流動方向及び速度の変化、すなわち熱対流の変化が発熱体の頂点23部位で最も大きく発生するということが分かるが、これは、発熱体の頂点23部位に熱が最も多く集約されているためである。したがって、発熱体20のうち頂点23部分が熱対流の影響を最も敏感に受け、これによる発熱体の冷却程度、すなわち温度の変化も頂点23部分で最も大きく発生する。
具体的に説明すれば、重力加速度と同じ大きさの加速度が図3に示したように+y方向に作用する場合には、発熱体20が位置した空間(y>0)に位置し、発熱体により加熱されて流体1全体の平均温度より高い温度を有する流体の部分が、図3に示したように加速度aと重力加速度gとのベクトル和に影響を受けてそのベクトル和の逆方向に流動して、発熱体の頂点23を冷却させる。一方、重力加速度と同じ大きさの加速度が−y方向に作用する場合には、熱電対30が位置した空間(y<0)に位置し、流体1全体の平均温度より低い温度を有する流体1の部分が、加速度aと重力加速度gとのベクトル和に影響を受けてそのベクトル和の逆方向に流動して、発熱体の頂点23を冷却させる。
したがって、加速度が+y方向に作用する場合に測定される発熱体の頂点23の温度は、加速度が−y方向に作用する場合に測定される発熱体の頂点23の温度より高くなる。そして、発熱体の頂点23の温度変化の大きさは、y軸方向に作用する加速度の大きさに依存するので、前記のように熱電対30で発熱体の頂点23の温度を測定すれば、高い敏感度及び速い応答速度を有し、y軸方向に作用する加速度の方向及び大きさを求めうる。
一方、前述したように構成された本実施形態の加速度及び傾斜角測定装置100を使用すれば、次のように前記y傾斜角を測定できる。図6に示したように、加速度及び傾斜角測定装置100に重力加速度のみが作用する状態で、x軸を地球の重力方向に対して直角に固定し、+y方向が重力方向に対してhラジアンをなすようにy軸を傾斜して配置する。かかる状態で、重力加速度gをベクトル分解し、傾斜したy軸方向に作用する加速度aは、重力加速度gに対してa=gcos(h)の式で与えられる。したがって、前述したように加速度を求める過程を行ってy軸方向の加速度aを求めれば、前記式a=gcos(h)から傾斜角hが得られる。
図7には、前記加速度及び傾斜角測定装置100において、発熱体に一定量の電流を印加して発熱体20の平均温度が約150℃であり、容器102の平均温度が25℃である場合に、y軸方向に作用する加速度分布と傾斜角hに依存する発熱体の頂点23の温度分布が示されている。図7に示すように、発熱体の頂点23の温度は、y軸方向に作用する加速度の大きさに対して線形的応答を表すということが分かる。結論的に、本発明の第1実施形態による加速度及び傾斜角測定装置100は、流体1の圧力が一定した場合に発熱体の頂点23の温度を測定し、図7に示した特性曲線を活用することによって、y軸方向に作用する加速度及び地球の重力方向に対する傾斜角を高い敏感度及び速い応答速度を有して求めうる。
一方、図8は、本発明の第2実施形態による加速度及び傾斜角測定装置200を示す図面である。図8に示すように、前記加速度及び傾斜角測定装置200は、流体1が収容される容器10、発熱体40、第1熱電対50及び第2熱電対60を備える。
前記発熱体40は、前記容器10内に配置されている。前記発熱体40は、四角形状になっているが、本実施形態においては、平面正四角形状になっている。前記発熱体40は、後述する第1頂点41及び第2頂点42の中間に位置する仮想の中心点45に対して点対称形態に配置されている。前記発熱体40は、互いに電気的に連結されている第1頂点41、第2頂点42、第3頂点43、第4頂点44を備える。前記第1頂点41と第2頂点42とは互いに対向して配置されており、前記第3頂点43と第4頂点44とは互いに対向して配置されている。前記発熱体40の第3頂点43及び第4頂点44は、それぞれ電極46,47に電気的に連結されており、その電極46,47には、電流を供給できる電流供給装置(図示せず)が連結される。前記電流供給装置から電流を供給すれば、前記発熱体40にはジュール熱が発生する。
前記第1熱電対50は、第1伝導線51、第2伝導線52及び熱電対接合点53を備える。前記第1伝導線51及び第2伝導線52は、それぞれニッケル、クロムなどの金属素材からなる。前記第1伝導線51及び第2伝導線52は、異なる種類の金属からなる。前記熱電対接合点53は、前記第1伝導線51及び第2伝導線52の端部が互いに電気的に連結されて形成される。前記熱電対接合点53は、前記発熱体の第1頂点41と接触する。前記第1熱電対50の両端部には、それぞれ電極54,55が電気的に連結されている。前記電極54,55には、その電極間の電圧を測定できる電圧測定装置(図示せず)が連結される。
前記第2熱電対60は、前記仮想の中心点45に対して前記第1熱電対50と点対称形態に配置されている。前記第2熱電対60は、第3伝導線61、第4伝導線62及び熱電対接合点63を備える。前記第3伝導線61及び第4伝導線62は、それぞれニッケル、クロムなどの金属素材からなる。前記第3伝導線61及び第4伝導線62は、異なる種類の金属からなる。前記熱電対接合点63は、前記第3伝導線61及び第4伝導線61の端部が互いに電気的に連結されて形成される。前記熱電対接合点63は、前記発熱体の第2頂点42と接触する。前記第2熱電対60の両端部には、それぞれ電極64,65が電気的に連結されている。前記電極64,65には、その電極間の電圧を測定できる電圧測定装置(図示せず)が連結される。
前記電圧測定装置により測定された電圧を利用して、前記発熱体の第1頂点41及び第2頂点42の温度を計算でき、その温度の差を利用して加速度の大きさ及び方向、傾斜角をそれぞれ独立的に測定できる。ここで、前記加速度の方向は、前記第1頂点41と第2頂点42とを通過する仮想の直線方向である。また、前記傾斜角、すなわちy傾斜角は、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度をいう。
以下、前述したように構成された加速度及び傾斜角測定装置200を使用して、加速度及び傾斜角を測定する方法を詳細に説明する。
まず、容器10内の流体1の圧力が一定した場合に、発熱体40に電流が印加された状態で、加速度aが図8に示したy軸方向に加えられれば、前述した本発明の第1実施形態と同様に発熱体40の近辺でy軸方向の熱対流成分が発生する。しかし、本実施形態では、発熱体40が仮想の中心点45に対して点対称形態になっているので、y軸上に配置された第1頂点41部位と第2頂点42部位とをそれぞれなす発熱体部分がy軸方向に対して互いに逆転された形態を有している。
したがって、発熱体の第1頂点41及び第2頂点42は、y軸方向の熱対流による冷却効果を互いに逆に受ける。例えば、加速度aが+y方向に作用する場合には、−y方向の熱対流成分が発生するので、第1頂点41は、図5を参照しつつ説明したように全体の流体1の平均温度より低い温度の流体部分により冷却される。一方、第2頂点42は、図4を参照しつつ説明したように全体の流体1の平均温度より高い温度の流体部分により冷却される。したがって、発熱体の第2頂点42の温度は、第1頂点41の温度より高くなる。
このように発熱体の第1頂点41と第2頂点42との温度が異なるので、加速度aが+y方向に作用する場合に、第1熱電対50で測定される第1頂点41の温度Tと第2熱電対60で測定される第2頂点42の温度Tとの差T−Tは、加速度aの大きさに比例する負の温度値となる。一方、加速度aが−y方向に作用する場合には、第1頂点41と第2頂点42との温度差T−Tは、加速度aの大きさに比例する正の温度値となる。結論的に、本発明の第2実施形態による加速度及び傾斜角測定装置200は、流体1の圧力が一定した場合に、発熱体の二つの頂点41,42間の温度差を測定することによって、第1実施形態と同様な方法で、y軸方向に作用する加速度の方向及び大きさを高い敏感度及び速い応答速度を有して求めうる。また、前記第1実施形態で図6を参照しつつ説明したような方法を使用すれば、地球の重力方向に対する前記y傾斜角を測定することもできる。
一方、容器10の外部で発生する圧力または温度の変化により容器10の内部に収容された流体1の圧力が変化し、かかる場合には、流体1の熱対流による発熱体の冷却程度は、加速度だけでなく、その流体1の圧力にも依存するので、加速度aと前記y傾斜角とを正確に求めることができないので、以下では、流体1の圧力が変化する場合にも加速度aと前記y傾斜角とを正確に求める方法を詳細に説明する。
図9には、流体1が窒素気体であり、発熱体40により一定のジュール熱が発生するとき、容器10の内部の圧力変化によって第1頂点41に接触された第1熱電対50の温度変化が示されている。図9に示すように、一般的に流体1の圧力が増加すれば、熱対流がさらによく発生して発熱体40の冷却程度が増加し、逆に流体1の圧力が減少すれば、熱対流による発熱体40の冷却程度が減少するという点が分かる。したがって、容器10の外部で発生する圧力または温度の変化により流体1の圧力が変化する場合には、発熱体の頂点41,42の温度が、加速度だけでなく、流体1の圧力によっても変化するので、前記温度差T−Tから加速度aと前記y傾斜角とを正確に求めることができない。
しかし、第1頂点41及び第2頂点42は、加速度aにより前記のように互いに逆の冷却効果を受けるため、第1頂点41の温度Tと第2頂点42の温度Tとの和T+Tは、加速度aには関係なく常に一定になり、単に流体1の圧力にのみ依存する。したがって、本発明の第2実施形態による加速度及び傾斜角測定装置200では、前記温度和T+Tから流体1の圧力を求め、これを利用して前記温度差T−Tに流体1の圧力の変化を補正することによって、流体1の圧力が変化する場合にもy軸方向に作用する加速度と、地球の重力方向に対する前記y傾斜角とを正確に求めることができる。
一方、図10は、本発明の第3実施形態による加速度及び傾斜角測定装置300を示す図面である。本発明の第2実施形態と同じ構成要素には同じ参照番号が指示され、多少変更されたが、対応する構成要素には‘a’が付加されて指示され、本発明の第3実施形態については、第2実施形態と同じ部分についての説明は重複するので省略し、異なる部分についてのみ詳細に説明する。
図10に示すように、第3実施形態による加速度及び傾斜角測定装置300は、流体1が収容される容器10、発熱体40a、第1熱電対50、第2熱電対60、第3熱電対70及び第4熱電対80を備える。
前記発熱体40aには、図10に示したように4個の電極46,47,48,49が電気的に連結されており、その電極46,47,48,49は、前記仮想の中心点45に対して点対称形態に配置されている。前記電極46,47は、電流供給装置(図示せず)の(+)極に電気的に連結されており、前記電極48,49は、前記電流供給装置の(−)極に電気的に連結されている。そして、電極46から第1頂点41と第3頂点43とをそれぞれ通過して電極48と電極49とにそれぞれ達する電流経路、及び電極47から第2頂点42と第4頂点44とをそれぞれ通過して電極48と第4電極49とにそれぞれ達する電流経路は、電流供給装置により供給される電流と発熱体40の抵抗とによりジュール熱を発生させる。
前記第3熱電対70は、第5伝導線71、第6伝導線72及び熱電対接合点73を備える。前記第5伝導線71及び第6伝導線72は、それぞれニッケル、クロムなどの金属素材からなる。前記第5伝導線71及び第6伝導線72は、異なる種類の金属からなる。前記熱電対接合点73は、前記第5伝導線71及び第6伝導線72の端部が互いに電気的に連結されて形成される。前記熱電対接合点73は、前記発熱体の第3頂点43と接触する。前記第3熱電対70の両端部には、それぞれ電極74,75が電気的に連結されている。前記電極74,75には、その電極間の電圧を測定できる電圧測定装置(図示せず)が連結される。
前記第4熱電対80は、前記仮想の中心点45に対して前記第3熱電対70と点対称形態に配置されている。前記第4熱電対80は、第7伝導線81、第8伝導線82及び熱電対接合点83を備える。前記第7伝導線81及び第8伝導線82は、それぞれニッケル、クロムなどの金属素材からなる。前記第7伝導線81及び第8伝導線82は、異なる種類の金属からなる。前記熱電対接合点83は、前記第7伝導線81及び第8伝導線82の端部が互いに電気的に連結されて形成される。前記熱電対接合点83は、前記発熱体の第4頂点44と接触する。前記第4熱電対80の両端部には、それぞれ電極84,85が電気的に連結されている。前記電極84,85には、その電極間の電圧を測定できる電圧測定装置(図示せず)が連結される。
前述したように構成された加速度及び傾斜角測定装置300においては、第2実施形態と同様に流体1の圧力が変化して発生するエラーを補正することによって、加速度の大きさ及び方向を正確に求めうるという点で類似しているが、y方向の加速度及びx方向の加速度を求め、y傾斜角及びx傾斜角を求めうるという側面で異なり、以下ではこれを詳細に説明する。ここで、前記y傾斜角は、第2実施形態での傾斜角と同じであり、前記x傾斜角は、前記第3頂点43と第4頂点44とを通過する仮想の直線が地球の重力方向に対して傾斜した程度をいう。
容器10の内部で流体1の圧力が一定した場合に、図10に示したxy平面上に加速度aがx軸と一定角度を維持して作用する場合、加速度aのy軸成分aは、第2実施形態の場合のように発熱体40aの近辺でy軸方向の熱対流成分を発生させる。このとき、x軸線上に位置する第3頂点43部位と第4頂点44部位とをそれぞれなす発熱体部分は、x軸方向に対しては互いに逆転された形態になっているが、y軸方向に対しては同じ形態になっている。したがって、x軸線上に位置する第3頂点及び第4頂点43,44は、y軸方向の熱対流成分による冷却効果を同一に受け、その第3頂点43と第4頂点44との間には、加速度成分aによる温度差が発生しない。一方、y軸線上に位置する第1頂点41と第2頂点42部位をそれぞれなす発熱体部分は、y軸方向に対して互いに逆転された形態を有している。したがって、y軸線上に位置する二つの頂点41,42は、第2実施形態の場合と同様にy軸方向の熱対流成分による冷却効果を互いに逆に受け、前記二つの頂点41,42の間には、加速度成分aによる温度差が発生する。
したがって、加速度成分aが+y方向に作用する場合には、第1熱電対50で測定される第1頂点41の温度Tと第2熱電対60で測定される第2頂点42の温度Tとの差T−Tは、加速度成分aの大きさに比例する負の温度値となる。一方、加速度成分aが−y方向に作用する場合には、加速度成分aの大きさに比例する正の温度値が前記のような温度差T−Tから得られる。
同様に、加速度aのx軸成分aの方向及び大きさは、x軸線上に位置する第3頂点43と第4頂点44とにそれぞれ接触された第3熱電対70と第4熱電対80とでそれぞれ測定される温度TとTとの差T−Tの符号と大きさとからそれぞれ求められる。結論的に、本発明の第3実施形態による加速度及び傾斜角測定装置300は、流体1の圧力が一定した場合に、発熱体の2対の頂点41,42,43,44間の温度差を測定することによって、第2実施形態と同じ方法で、xy平面上で作用する加速度、地球の重力方向に対する前記y傾斜角及びx傾斜角を高い敏感度及び速い応答速度を有して求めうる。
一方、第3実施形態の加速度及び傾斜角測定装置は、第2実施形態の場合と同様に、容器10の外部で発生する圧力または温度の変化により容器10の内部に収容された流体1の圧力が変化する場合に、y軸線上に位置する第1頂点41と第2頂点42との温度和T+T、及びx軸線上に位置する第3頂点43と第4頂点44との温度和T+Tから流体1の圧力を求めうる。そして、これを利用して前記二つの温度差T−T,T−Tに流体1の圧力の変化を補正することによって、流体1の圧力が変化する場合にも、xy平面上で作用する加速度、地球の重力方向に対する前記y傾斜角及びx傾斜角を正確に測定できる。
以上、本発明を望ましい実施形態を挙げて詳細に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されず、本発明の技術的思想内で当業者により色々な変形が可能であることが明白である。
本発明の第1実施形態による加速度及び傾斜角測定装置のz軸方向の概略的な断面図である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置のy軸方向の概略的な断面図である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置にy軸方向に加速度が加えられた場合に、その加速度と重力加速度との和をベクトルで表した概略的な断面図である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置の容器の内部で、+y方向に重力加速度と同じ大きさの加速度が加えられるとき、xy平面上で発生する熱対流の方向及び形態を概略的に示す図面である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置の容器の内部で、−y方向に重力加速度と同じ大きさの加速度が加えられるとき、xy平面上で発生する熱対流の方向及び形態を概略的に示す図面である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置において、y傾斜角を説明するための概略的な断面図である。 図1に示した加速度及び傾斜角測定装置において、y軸方向の加速度と地球の重力方向に対する傾斜角とに依存する発熱体の頂点の温度特性曲線を示す図面である。 本発明の第2実施形態による加速度及び傾斜角測定装置のz軸方向の概略的な断面図である。 図8に示した加速度及び傾斜角測定装置において、容器の内部の流体圧力が変化するとき、発熱体の一つの頂点で測定された温度特性曲線を示す図面である。 本発明の第3実施形態による加速度及び傾斜角測定装置のz軸方向の概略的な断面図である。

Claims (7)

  1. 流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置において、
    前記流体が収容される容器と、
    前記容器内に配置される第1発熱要素及び第2発熱要素と、前記第1発熱要素及び第2発熱要素の一端部がそれぞれ電気的に接合されて形成された頂点と、を含み、前記第1発熱要素及び第2発熱要素の他端部を通じて印加される電流により発熱する発熱体と、
    前記発熱体の頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の頂点に対して前記発熱体と点対称形態に配置されており、前記発熱体の頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される熱電対と、を備え、
    前記発熱体の頂点の温度を利用して、前記発熱体を備える仮想の平面内で前記発熱体の頂点を通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする加速度及び傾斜角測定装置。
  2. 流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定装置において、
    前記流体が収容される容器と、
    前記容器内に配置され、互いに電気的に連結されている第1頂点、第2頂点、第3頂点、第4頂点を有するように四角形状になっており、互いに対向する前記第1頂点及び第2頂点の中間に位置する仮想の中心点に対して点対称形態に配置されており、印加される電流により発熱する発熱体と、
    前記発熱体の第1頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第1頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される第1熱電対と、
    前記発熱体の第2頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第2頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定され、前記仮想の中心点に対して前記第1熱電対と点対称形態に配置されている第2熱電対と、を備え、
    前記発熱体の第1頂点と第2頂点との温度差を利用して、前記第1頂点と第2頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする加速度及び傾斜角測定装置。
  3. 前記発熱体には、前記第3頂点及び第4頂点を通じて電流が印加されることを特徴とする請求項2に記載の加速度及び傾斜角測定装置。
  4. 前記発熱体の第3頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第3頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定される第3熱電対と、
    前記発熱体の第4頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記発熱体の第4頂点の温度を計算するために、その両端部間の電圧が測定され、前記仮想の中心点に対して前記第3熱電対と点対称形態に配置されている第4熱電対と、を備え、
    前記発熱体の第3頂点と第4頂点との温度差を利用して、前記第3頂点と第4頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記第3頂点と第4頂点とを通過する仮想の直線が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を測定することを特徴とする請求項2に記載の加速度及び傾斜角測定装置。
  5. 前記発熱体には、4個の電極が電気的に連結されており、
    前記電極は、前記仮想の中心点に対して点対称形態に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の加速度及び傾斜角測定装置。
  6. 流体の熱対流を利用して加速度及び傾斜角を測定する加速度及び傾斜角測定方法において、
    前記流体が収容される容器と、前記容器内に配置され、互いに電気的に連結されている第1頂点、第2頂点、第3頂点、第4頂点を有するように四角形状になっており、互いに対向する前記第1頂点及び第2頂点の中間に位置する仮想の中心点に対して点対称形態に配置されている発熱体と、前記発熱体の第1頂点と接触する熱電対接合点を有する第1熱電対と、前記発熱体の第2頂点と接触する熱電対接合点を有し、前記仮想の中心点に対して前記第1熱電対と点対称形態に配置されている第2熱電対と、を備える加速度及び傾斜角測定装置を提供する提供ステップと、
    前記発熱体が発熱して前記流体が対流されるように、前記発熱体に電流を印加する電流印加ステップと、
    前記第1熱電対の両端部間の電圧を測定し、その測定された電圧を利用して前記発熱体の第1頂点の温度を測定し、前記第2熱電対の両端部間の電圧を測定し、その測定された電圧を利用して前記発熱体の第2頂点の温度を測定する温度測定ステップと、
    前記温度測定ステップで得られた温度の差を利用して、前記第1頂点と第2頂点とを通過する仮想の直線方向への加速度と、前記仮想の直線方向が地球の重力方向に対して傾斜した程度である傾斜角と、を計算する計算ステップと、を含むことを特徴とする加速度及び傾斜角測定方法。
  7. 前記温度測定ステップからそれぞれ測定された温度を合わせ、その合わせた温度を利用して前記容器内の流体の圧力を求める圧力計算ステップと、
    前記圧力計算ステップから得られた前記流体の圧力を利用して、前記計算ステップから得られた加速度と傾斜角とを補正する補正ステップと、を含むことを特徴とする請求項6に記載の加速度及び傾斜角測定方法。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4955334B2 (ja) * 2006-08-03 2012-06-20 ローム株式会社 加速度センサ
US8011226B2 (en) * 2008-08-26 2011-09-06 Memsic, Inc. Leakage detection method using micromachined-thermal-convection accelerometer
US9267862B1 (en) * 2009-02-18 2016-02-23 Sensr Monitoring Technologies Llc Sensor and monitoring system for structural monitoring
CN102556942B (zh) * 2010-12-10 2014-10-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 基于温度敏感电阻的热对流加速度传感器芯片的制作方法
US8607631B2 (en) * 2011-04-22 2013-12-17 Texas Instruments Incorporated Heated air mass WCSP package and method for accelerometer
US10379309B2 (en) 2014-11-18 2019-08-13 Corning Optical Communications LLC Traceable optical fiber cable and filtered viewing device for enhanced traceability
US10228526B2 (en) 2015-03-31 2019-03-12 Corning Optical Communications LLC Traceable cable with side-emitting optical fiber and method of forming the same
WO2017015084A1 (en) 2015-07-17 2017-01-26 Corning Optical Communications LLC Systems and methods for traceable cables
WO2017015085A1 (en) 2015-07-17 2017-01-26 Corning Optical Communications LLC Systems and methods for tracing cables and cables for such systems and methods
WO2017074670A1 (en) 2015-10-30 2017-05-04 Corning Optical Communications LLC Traceable cable assembly and connector
WO2017176825A1 (en) 2016-04-08 2017-10-12 Corning Optical Communications LLC Traceable end point cable assembly
US10107983B2 (en) 2016-04-29 2018-10-23 Corning Optical Communications LLC Preferential mode coupling for enhanced traceable patch cord performance
US10222561B2 (en) 2016-12-21 2019-03-05 Corning Research & Development Corporation Light launch device for transmitting light into a traceable fiber optic cable assembly with tracing optical fibers
US10234614B2 (en) 2017-01-20 2019-03-19 Corning Research & Development Corporation Light source assemblies and systems and methods with mode homogenization
US10539758B2 (en) 2017-12-05 2020-01-21 Corning Research & Development Corporation Traceable fiber optic cable assembly with indication of polarity
US10539747B2 (en) 2017-12-05 2020-01-21 Corning Research & Development Corporation Bend induced light scattering fiber and cable assemblies and method of making
CN109239401A (zh) * 2018-10-30 2019-01-18 朴然 一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法
CN109480622B (zh) * 2018-12-06 2021-11-09 九阳股份有限公司 一种电水壶

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04220516A (ja) * 1990-12-19 1992-08-11 Tamagawa Seiki Co Ltd ガスレートセンサ
US5581034A (en) * 1995-01-13 1996-12-03 Remec, Inc. Convective accelerometer and inclinometer
JP2000065850A (ja) * 1998-08-26 2000-03-03 Nissan Motor Co Ltd 熱型加速度センサ
US6182509B1 (en) * 1996-06-26 2001-02-06 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
WO2004005942A1 (de) * 2002-07-05 2004-01-15 Robert Bosch Gmbh Thermischer beschleunigungs-oder stoss-sensor mit einer heizeinrichtung und verfahren

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2455394A (en) * 1943-06-29 1948-12-07 Sperry Corp Accelerometer
US2440189A (en) * 1945-04-13 1948-04-20 Rca Corp Convection current responsive instrument
JPH05288772A (ja) * 1992-04-07 1993-11-02 Mitsubishi Electric Corp 加速度検出装置及びその組立方法
JP3332283B2 (ja) 1994-03-24 2002-10-07 本田技研工業株式会社 多軸加速度センサ
JP2000193677A (ja) 1998-12-24 2000-07-14 Mazda Motor Corp 加速度センサ
US6244113B1 (en) * 1999-10-29 2001-06-12 University Of Alabama In Huntsville Method and apparatus for measuring microgravity acceleration
US6453571B1 (en) * 2000-09-28 2002-09-24 The Fredericks Company Thermocouple tilt sensing device
JP2003103199A (ja) * 2001-09-28 2003-04-08 Japan Atom Energy Res Inst 高速回転試験装置
TW574128B (en) * 2002-11-29 2004-02-01 Lightuning Tech Inc Thermal bubble type micro-machined inertial sensor
US20050028287A1 (en) * 2003-07-18 2005-02-10 Fee Melody Joyce Circular foam infant activity ring
US7392703B2 (en) * 2004-06-09 2008-07-01 Memsic, Inc. Z-axis thermal accelerometer
FR2885700B1 (fr) * 2005-05-13 2007-08-17 Sagem Defense Securite Accelerometre thermique a detection et contre-reaction multiplexees
US7424826B2 (en) * 2005-11-10 2008-09-16 Memsic, Inc. Single chip tri-axis accelerometer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04220516A (ja) * 1990-12-19 1992-08-11 Tamagawa Seiki Co Ltd ガスレートセンサ
US5581034A (en) * 1995-01-13 1996-12-03 Remec, Inc. Convective accelerometer and inclinometer
US6182509B1 (en) * 1996-06-26 2001-02-06 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
JP2000065850A (ja) * 1998-08-26 2000-03-03 Nissan Motor Co Ltd 熱型加速度センサ
WO2004005942A1 (de) * 2002-07-05 2004-01-15 Robert Bosch Gmbh Thermischer beschleunigungs-oder stoss-sensor mit einer heizeinrichtung und verfahren

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Publication number Publication date
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