JP2008508697A - 反射低減層列を備えたルミネセンスダイオード - Google Patents
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 132
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims abstract description 33
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims abstract description 22
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 15
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 12
- 239000012778 molding material Substances 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 17
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 6
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002079 cooperative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/10—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a light reflecting structure, e.g. semiconductor Bragg reflector
- H01L33/105—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a light reflecting structure, e.g. semiconductor Bragg reflector with a resonant cavity structure
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
- H01L33/46—Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
- H01L33/465—Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector with a resonant cavity structure
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Abstract
本発明は、電磁放射を放射主方向(15)へ発光する活性ゾーン(7)が設けられており、放射主方向で見て活性ゾーンの後方に反射低減層列(16)が配置されている、ルミネセンスダイオード(1)に関する。本発明の反射低減層列(16)は、少なくとも1つの層対(11,12)から成るDBRミラー(13)、放射主方向で見てDBRミラー(13)の後方に配置されたコーティング層(9)、および、DBRミラー(13)とコーティング層(9)とのあいだに配置された中間層(14)を有する。
Description
出願人は本願について独国出願第102004037100.8号明細書および独国出願第102004040986.4号明細書の優先権を主張する。これらの明細書の内容は本発明の内容に関連する。
本発明は請求項1の上位概念に記載のルミネセンスダイオードに関する。
ルミネセンスダイオードでは効率を増大させるためにしばしばDBRミラー(分散ブラッグ反射鏡)が使用される。DBRミラーは一般に、それぞれ屈折率および光学厚さが異なるようにエピタキシャルに製造された複数の半導体層から成る層対を含む。層対の各層の屈折率と光学厚さとの積はルミネセンスダイオードから発光される放射の波長の1/4に相応する。このようなDBRミラーをルミネセンスダイオードの基板と活性層とのあいだに配置することにより、基板へ向かった放射が反射されて戻り、基板での吸収に起因する損失が低減される。
ただし光出力側のチップ表面は、射出成形材料、特にエポキシド樹脂である周囲媒体との屈折率の差のために所定の反射率を有するので、DBRミラーとの共同作用により、レゾネータが形成されてしまう。当該のレゾネータによりルミネセンスダイオードの発光スペクトルに望ましくない共振が発生する。この共振効果からルミネセンスダイオードの発光スペクトルは種々の波長および/または発光角度に複数の強度極大値を有するようになる。このことはルミネセンスダイオードを光学測定プロセスに適用する際に特に障害となる。
レゾネータの共振スペクトルは角度に強く依存するので、広い角度領域にわたって発光スペクトルを積分測定すれば確かに共振効果を均すことはできる。しかし小さな角度領域で発光された光を検出する場合には、共振はどうしても検出に影響する。開口数の小さい測定プロセスでは、ルミネセンスダイオードから発光される放射が小さな角度領域で検出されることになるので、こうした共振の回避が望まれる。
望ましくない共振の問題は、従来のルミネセンスダイオードでは例えば比較的厚い層、いわゆるウィンドウ層を活性ゾーンの上方に成長させることにより、緩和される。こうしたウィンドウ層は電流拡大層および光出力層としても用いられる。当該の層の厚さに基づいて共振スペクトルもともに密になり、適用の際に障害作用を生じなくなる。こうした層は所定のプロセスステップまたは層成長ステップの後に生じることからプレーナでないことが多く、そのことも共振を抑圧する方向へ働く。しかしこうした厚い層を成長させる製造ステップは煩雑であり、高いコストがかかる。
したがって本発明の基礎とする課題は、発光スペクトルにおける共振を小さな製造コストで回避できるルミネセンスダイオードを提供することである。
この課題は請求項1の特徴部分に記載の構成を有するルミネセンスダイオードにより解決される。本発明の有利な実施形態および実施態様は従属請求項の対象となっている。
ルミネセンスダイオードには電磁放射を放射主方向へ発光する活性ゾーンが設けられており、放射主方向で見て活性ゾーンの後方に反射低減層列が配置されている。ここで本発明によれば、反射低減層列は、少なくとも1つの層対から成るDBRミラー、放射主方向で見てDBRミラーの後方に配置されたコーティング層、および、DBRミラーとコーティング層とのあいだに配置された中間層を有することを特徴とする。
こうした反射低減層列を用いることにより、活性ゾーンの上方に配置された層の反射率が低減され、ルミネセンスダイオードの発光スペクトルにおける望ましくない共振を著しく低減することができる。
反射低減層列の反射率は特にDBRミラーの層対の数に依存して定まる。有利には、DBRミラーは1個〜10個、特に有利には1個〜4個の層対から成る。
有利には、中間層の光学厚さは発光される放射の波長の1/2に等しい。また有利には、コーティング層の光学厚さは発光される放射の波長λの1/4の奇数倍、つまり例えば(1/4)λ,(3/4)λまたは(5/4)λに等しい。これらの層厚さにより特に良好な反射低減が達成される。
有利には、中間層は半導体層であり、小さな製造コストで直接にDBRミラーの半導体層上にエピタキシャル成長することができる。
有利には、コーティング層は誘電層であり、特にはケイ素酸化物またはケイ素窒化物を含む。このコーティング層は透光性の導電性酸化物TCO(トランスペアレントコンダクティブオキサイド)であり、特にZnOが適している。さらにコーティング層には例えばアルミニウムがドープされていてもよい。特に有利には、コーティング層はこの場合電流拡大層としても機能するので、コーティング層の部分領域に電気コンタクトが設けられる。アルミニウムをドープしたZnO層はこれに特に適している。また有利には、コーティング層は下方の中間層とのオーミックコンタクトを形成する。
ルミネセンスダイオードは有利には射出成形材料、例えばエポキシド樹脂内に埋め込まれる。これにより一方では周囲媒体に対する屈折率差が低減され、他方ではルミネセンスダイオードが周囲影響から保護される。また射出成形材料はルミネセンスダイオードから発光された放射の波長を大きい波長へシフトするルミネセンス変換材料を含むことができる。適切なルミネセンス変換材料として、例えば国際公開第98/12757号明細書に記載されているように、YAG:CE(Y3Al5O12:Ce3+)が挙げられる。この明細書の内容は本発明に関連する。
特に有利には、本発明のルミネセンスダイオード用の反射低減層列では、基板と活性ゾーンとのあいだに第2のミラー、特に第2のDBRミラーが配置されている。この場合、ルミネセンスダイオードから発光された放射の基板への入射が第2のミラーによって阻止される。ここで、反射低減層列により、反射防止層のないルミネセンスダイオードまたは従来の反射防止層しか有さないルミネセンスダイオードに比べて、発光スペクトルでの望ましくない共振が発生する危険が低減される。本発明の反射低減層列の作用は反射低減層列から第2のミラーおよび/または活性ゾーンまでの距離には依存しない。
本発明は基板およびその上に被着された第2のミラーを有するルミネセンスダイオードに限定されない。いわゆる薄膜半導体ボディを有し、成長基板上に成長されたエピタキシ層列が成長基板から分離され支持体上に取り付けられる形式のルミネセンスダイオードにも適用可能である。このような薄膜半導体ボディは支持体に近い側に反射層を有し、反対側の光出力面にレゾネータを生じることが多い。
有利には、反射低減層列の全厚さは2000nmより小さい。これにより製造コストは望ましくない発光スペクトルでの共振を抑圧するためにきわめて厚い層を被着しなければならない従来のルミネセンスダイオードに比べて小さくなる。
本発明を以下に図1〜図6に示した実施例に則して詳細に説明する。図1には本発明のルミネセンスダイオードの断面概略図が示されている。図2にはSiNコーティング層を使用したときのDBRミラーの種々の数の層対の波長λと反射低減層列の反射率Rとの関係を表すグラフが示されている。図3にはZnOコーティング層を使用したときのDBRミラーの種々の数の層対の波長λと反射低減層列の反射率Rとの関係を表すグラフが示されている。図4には従来の反射防止層および本発明のSiNコーティング層を用いた反射低減層列の波長λと放射強度Iとの関係を表すグラフが示されている(ここでは反射損失は考慮されていない)。図5には従来の反射防止層および本発明のZnOコーティング層を用いた反射低減層列の波長λと放射強度Iとの関係を表すグラフが示されている(ここでは反射損失は考慮されていない)。図6には従来技術のルミネセンスダイオードの断面概略図が示されている。
図中、同様の機能を有する素子には同様の参照番号を付してある。
図6に示されている従来技術のルミネセンスダイオード17は基板2およびその上に被着されたDBRミラー5を有する。DBRミラー5はエピタキシャルに被着された半導体層3,4の1つまたは複数の層対から形成される。DBRミラー5により基板2へ向かう放射が反射されて戻る。ルミネセンスダイオードはさらにカバー層6,8のあいだに活性ゾーン7を有し、この活性ゾーンから放射主方向15へ放射が発光される。
ルミネセンスダイオード17は射出成形材料10に埋め込まれている。半導体材料と射出成形材料10との界面での反射損失を低減するために、コーティング層9が設けられている。しかしコーティング層9を設けても、コーティング層9と射出成形材料10との界面および/または射出成形材料10と周囲媒体、例えば空気との界面での残留反射により、DBRミラー5と結びついてレゾネータが形成されてしまう。これによりルミネセンスダイオードの発光スペクトルに望ましくない共振が生じる。
図1に示されている本発明のルミネセンスダイオード1は例えばGaAs基板である基板2を有する。基板上にDBRミラー5が被着されており、このDBRミラーはエピタキシャルに被着された半導体層3,4の1つまたは複数の層対から形成されている。層対は例えばそれぞれAl0.5Ga0.5As層3およびAl0.95Ga0.05As層4を1つずつ含む。DBRミラー5の層対の数は例えば約20個である。
DBRミラー5により基板2へ向かった放射が反射されて戻る。このようにして放射主方向15へ向かう放射の強度が高められ、基板2における吸収損失が低減される。
さらにルミネセンスダイオード1は放射を発光する活性ゾーン7を含む。この活性ゾーンは例えば約0.2μmの厚さのIn1−x−yGaxAlyP層[0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1]を含み、発光波長は約600nmである。これに代えて、他の半導体材料から成り、他の発光波長を有する活性ゾーンを用いてもよい。活性ゾーン7は例えばそれぞれ約0.8μmの厚さを有するp型カバー層6とn型カバー層8とのあいだに配置される。
ルミネセンスダイオード1は例えば射出成形材料10、例えばエポキシド樹脂内に埋め込まれている。
発光スペクトルにおける望ましくない共振を回避するために、本発明のルミネセンスダイオード1は反射低減層列16を有する。反射低減層列16は放射主方向15で見て活性ゾーン7の後方に1つまたは複数の層対から成るDBRミラー13を有する。DBRミラー13は有利にはエピタキシャル成長された半導体層11,12から成り、その光学厚さは発光される放射の波長の1/4に相応する。例えばDBRミラー13はAl0.5Ga0.5As半導体層11およびAl0.95Ga0.05As半導体層12を1つずつ含む少なくとも1つの層対から製造することができる。
さらに反射低減層列16は射出成形材料に接するコーティング層9を含む。このコーティング層の光学厚さは有利には発光される放射の波長λの1/4に相応するか、または波長λの1/4の奇数倍、例えば(3/4)λまたは(5/4)λに相応する。コーティング層は特に窒化ケイ素、酸化ケイ素または酸化亜鉛を含む。
反射低減層列16はDBRミラー13とコーティング層9とのあいだに中間層14を含む。この中間層は例えばAl0.5Ga0.5Asを含み、発光される放射の波長の約1/2に相応する光学厚さを有する。反射低減層列はこのようにして反射低減レゾネータを形成する。
本発明の反射低減層列16による反射の低減はDBRミラー13の層対の数に依存して定まる。このことを以下に活性ゾーン7の上方に配置される層の反射率のシミュレーションに則して説明する。
図2には、DBRミラー13の種々の数の層対について、波長λに依存した反射低減層列の反射率Rのシミュレーションが示されている。このシミュレーションでは、コーティング層9は屈折率n=2.05のSiN層であるとする。ここでは、波長λに依存した反射率Rに対して、DBRミラー無しの場合の曲線18、1つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線19、2つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線20、3つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線21が示されている。図から、最適な反射防止は唯一の層対を有するDBRミラー13によって達成されることがわかる。
図3には、DBRミラーの種々の数の層対について、波長λに依存した反射低減層列の反射率Rのシミュレーションが示されている。このシミュレーションでは、コーティング層9は屈折率n=1.85のAlドープされたZnO層であるとする。ここでは、活性ゾーン7の上方に配置された層の反射率に対して、DBRミラー無しの場合の曲線22、1つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線23、2つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線24、3つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線25、4つの層対から成るDBRミラーを有する場合の曲線26が示されている。図から、最適な反射防止は2つの層対を有するDBRミラー13によって達成されることがわかる。
一般に、DBRミラー13は、対称のファブリ‐ペローレゾネータに類似して、中間層14からコーティング層9への層移行部およびコーティング層9から射出成形材料10への層移行部から成る外部のリフレクタとほぼ等しい反射率を有し、残留反射を低減する。このためにZnOから成るコーティング層を用いる実施例では、SiNから成るコーティング層を用いる実施例に比べて、付加的な層対が必要となる。ZnOはSiNよりも小さな屈折率を有するので、コーティング層9の屈折率とこれに接する中間層14の屈折率との差が大きく、外部のリフレクタの反射率も大きくなるからである。この場合、DBRミラー13に付加的な層対を設けることにより、DBRミラー13の反射率を外部のリフレクタへ適合させることができる。
最適な反射防止を達成するために、DBRミラー13はλ/4から偏差する光学厚さの層11,12を有してもよい。層11の厚さは1.2×(λ/4)であり、層12の厚さは0.8×(λ/4)である。このようにしてDBRミラー13の反射率を外部のリフレクタの反射率に適合させることができる。これに代えて、DBRミラー13の層11,12の屈折率差を変化させ、最適な反射防止を達成してもよい。これは例えばAlGaAs半導体層でAL含有量を変化させることにより行われる。
図4にはSiNコーティング層を備えたルミネセンスダイオードの発光強度I[任意の単位]のシミュレーションが示されている。本発明のDBRミラー13無しのルミネセンスダイオードの発光スペクトルを表す曲線27は共振の影響を明らかに受けているが、本発明の反射低減層列を備えたルミネセンスダイオードの発光スペクトルを表す曲線28は外部反射を無視した発光スペクトルを表す曲線29と比べても遜色ない。
本発明の反射低減層列16の効果は、ZnOコーティング層9を備えたルミネセンスダイオードの図5の発光スペクトルにいっそうはっきりと現れている。本発明の反射低減層列16無しのルミネセンスダイオードの発光スペクトルを表す曲線30は2つの極大値を有しており、一方、本発明の反射低減層列16を有するルミネセンスダイオードの発光スペクトルを表す曲線31は、外部影響を無視した活性ゾーン7での発光スペクトルを表す曲線32と類似した特性を有する。
本発明の反射低減層列16は特に有利である。なぜなら、ルミネセンスダイオードを精密な光学測定プロセス、特に温度抵抗測定プロセスまたは熱抵抗測定プロセスなどの差分信号を検出する測定プロセスに使用する場合、発光スペクトルに2個以上の極大値が存在するときわめて障害的であることが判明しているからである。
本発明は前述した実施例のみに限定されない。本発明のそれぞれの特徴は、それが特許請求の範囲および実施例に明示的に表されているか否かにかかわらず、単独でまたは任意に組み合わせて本発明の対象となりうる。
Claims (17)
- 電磁放射を放射主方向(15)へ発光する活性ゾーン(7)が設けられており、前記放射主方向で見て前記活性ゾーンの後方に反射低減層列(16)が配置されている、
ルミネセンスダイオード(1)において、
反射低減層列(16)は、少なくとも1つの層対(11,12)から成るDBRミラー(13)、放射主方向(15)で見て該DBRミラー(13)の後方に配置されたコーティング層(9)、および、該DBRミラー(13)と該コーティング層(9)とのあいだに配置された中間層(14)を有する
ことを特徴とするルミネセンスダイオード。 - 前記DBRミラー(13)は1個〜10個の層対(11,12)から成る、請求項1記載のルミネセンスダイオード。
- 前記中間層(14)の光学厚さは発光される放射の波長の1/2に等しい、請求項1または2記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)の光学厚さは発光される放射の波長の1/4の奇数倍に等しい、請求項1から3までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)は誘電層である、請求項1から4までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)はケイ素酸化物またはケイ素窒化物である、請求項5記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)は透光性の導電性酸化物を含む、請求項1から6までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記透光性の導電性酸化物はZnOを含む、請求項7記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)はドープされている、請求項1から8までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記中間層(14)は半導体層である、請求項1から9までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記コーティング層(9)は前記中間層(14)とのオーミックコンタクトを形成している、請求項10記載のルミネセンスダイオード。
- 当該のルミネセンスダイオード(1)は射出成形材料(10)内へ埋め込まれている、請求項1から11までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記射出成形材料(10)はエポキシド樹脂である、請求項12記載のルミネセンスダイオード。
- 前記反射低減層列(16)の全厚さは2000nmより小さい、請求項1から13までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 基板(2)が設けられており、該基板(2)と前記活性ゾーン(7)とのあいだに第2のミラー(5)が配置されている、請求項1から14までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
- 前記第2のミラー(5)はDBRミラーである、請求項15記載のルミネセンスダイオード。
- 当該のルミネセンスダイオード(1)は薄膜半導体ボディを含む、請求項1から14までのいずれか1項記載のルミネセンスダイオード。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004037100 | 2004-07-30 | ||
DE102004040968A DE102004040968A1 (de) | 2004-07-30 | 2004-08-24 | Lumineszenzdiode mit einer reflexionsmindernden Schichtenfolge |
PCT/DE2005/001065 WO2006012818A2 (de) | 2004-07-30 | 2005-06-15 | Lumineszenzdiode mit einer reflexionsmindernden schichtenfolge |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008508697A true JP2008508697A (ja) | 2008-03-21 |
Family
ID=35563164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007522905A Withdrawn JP2008508697A (ja) | 2004-07-30 | 2005-06-15 | 反射低減層列を備えたルミネセンスダイオード |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080224156A1 (ja) |
EP (1) | EP1771890A2 (ja) |
JP (1) | JP2008508697A (ja) |
KR (1) | KR101145541B1 (ja) |
DE (1) | DE102004040968A1 (ja) |
TW (1) | TWI305692B (ja) |
WO (1) | WO2006012818A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010278355A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Fujifilm Corp | 発光デバイス |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW201307460A (zh) * | 2011-08-01 | 2013-02-16 | W Green Technology Corp Sa | 具特定區段波長匹配折射率之材料組成物 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5404282A (en) * | 1993-09-17 | 1995-04-04 | Hewlett-Packard Company | Multiple light emitting diode module |
US5397920A (en) * | 1994-03-24 | 1995-03-14 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Light transmissive, electrically-conductive, oxide film and methods of production |
JPH11510968A (ja) * | 1996-06-11 | 1999-09-21 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 紫外発光ダイオード及び紫外励起可視光放射蛍光体を含む可視発光ディスプレイ及び該デバイスの製造方法 |
US6055262A (en) * | 1997-06-11 | 2000-04-25 | Honeywell Inc. | Resonant reflector for improved optoelectronic device performance and enhanced applicability |
US6097041A (en) * | 1998-08-24 | 2000-08-01 | Kingmax Technology Inc. | Light-emitting diode with anti-reflector |
JP2001223384A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
JP2002026385A (ja) | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Hitachi Cable Ltd | 発光ダイオード |
US6542531B2 (en) * | 2001-03-15 | 2003-04-01 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne | Vertical cavity surface emitting laser and a method of fabrication thereof |
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JP4048056B2 (ja) | 2002-01-15 | 2008-02-13 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004031513A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
TW200409378A (en) | 2002-11-25 | 2004-06-01 | Super Nova Optoelectronics Corp | GaN-based light-emitting diode and the manufacturing method thereof |
JP2005340567A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体レーザ素子およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-08-24 DE DE102004040968A patent/DE102004040968A1/de not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-06-15 WO PCT/DE2005/001065 patent/WO2006012818A2/de active Application Filing
- 2005-06-15 US US11/659,066 patent/US20080224156A1/en not_active Abandoned
- 2005-06-15 JP JP2007522905A patent/JP2008508697A/ja not_active Withdrawn
- 2005-06-15 EP EP05760046A patent/EP1771890A2/de not_active Withdrawn
- 2005-06-15 KR KR1020077004555A patent/KR101145541B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-07-28 TW TW094125523A patent/TWI305692B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010278355A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Fujifilm Corp | 発光デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1771890A2 (de) | 2007-04-11 |
WO2006012818A3 (de) | 2006-04-06 |
KR101145541B1 (ko) | 2012-05-15 |
KR20070046146A (ko) | 2007-05-02 |
TW200614612A (en) | 2006-05-01 |
DE102004040968A1 (de) | 2006-03-23 |
TWI305692B (en) | 2009-01-21 |
US20080224156A1 (en) | 2008-09-18 |
WO2006012818A2 (de) | 2006-02-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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