JP2008505399A

JP2008505399A - 光を基礎としたタッチスクリーンに使用する柔軟性のある導波路基板用の装置及び方法

Info

Publication number: JP2008505399A
Application number: JP2007519365A
Authority: JP
Inventors: ジェラードダークスミス，
Original assignee: National Semiconductor Corp
Current assignee: National Semiconductor Corp
Priority date: 2004-06-30
Filing date: 2005-06-28
Publication date: 2008-02-21
Also published as: US7412119B2; WO2006004775A1; DE112005001548T5; US20060002655A1

Abstract

タッチスクリーンディスプレイと使用することが可能な柔軟性のある光学的導波路基板。該導波路基板は柔軟性のあるベース物質を包含している。第一屈折率値を有する第一光学層を該柔軟性のあるベース物質の上に形成する。次いで、該第一光学層の上に第二光学層を形成し、該第二光学層をパターン形成して複数個の光学要素と導波路とを夫々形成する。該第二光学層は、第一屈折率値より高い第二屈折率値を有している。最後に、該第二光学層の上に第三光学層を形成する。該第三光学層は該第二屈折率値より低い第三屈折率値を有している。従って、高Ｎ第二層がより低いＮ第一及び第三層の間に挟まれ、高Ｎ及び低Ｎ物質が接触する箇所において内部反射表面を形成している。該ベース物質及び第一、第二、第三光学層は、柔軟性のある導波路基板を形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、大略、光を基礎としたタッチスクリーンディスプレイに関するものであって、更に詳細には、タッチスクリーンディスプレイと共に使用することが可能な光学要素導波路を製造する装置及び方法に関するものである。

データ処理システム用のユーザ入力装置は多くの形態を取ることが可能である。関連性のある２つのタイプはタッチスクリーンとペンを基礎としたスクリーンである。タッチスクリーン又はペンを基礎としたスクリーンのいずれの場合においても、ユーザは、指、又はスタイラスかペン等の入力装置のいずれかでディスプレイスクリーンをタッチすることによりデータを入力することが可能である。

タッチ又はペンを基礎とした入力システムを提供するための１つの従来のアプローチは、ディスプレイスクリーン上に抵抗性又は容量性の膜をオーバーレイされることである。このアプローチは多数の問題を有している。第一に、その膜はディスプレイが薄暗く見えるようにさせ且つ下側に存在するディスプレイを見ることを不鮮明なものとさせる。補償するために、ディスプレイスクリーンの強度がしばしば増加される。然しながら、携帯電話、パーソナルデジタルアシスタント、ラップトップコンピュータ等の殆どのポータブル装置の場合には、高強度スクリーンは通常設けられていない。設けられている場合には、付加された強度が付加的なパワーを必要とし、その装置のバッテリの寿命を減少させる。該膜は、又、容易に損傷される。これらの膜は、従って、ペン又はスタイラス入力装置と共に使用するのに理想的なものではない。ペン又はスタイラスの運動がこの薄い膜を損傷したり切れ目を発生させたりする場合がある。このことは、ユーザがかなりの量の力で書き込みを行なう場合に特に言えることである。更に、該膜のコストはスクリーンの寸法と共に著しく増減する。大きなスクリーンの場合には、コストは典型的に法外なものである。

タッチ又はペンを基礎とした入力システムを提供するための別のアプローチは、入力ディスプレイの２つの隣接するＸ−Ｙ側部に沿って供給源発光ダイオード（ＬＥＤ）のアレイ及び該入力装置の反対側の２つの隣接するＸ−Ｙ側部に沿っての対応するフォトダイオードの相互的なアレイを使用することである。各ＬＥＤはその相互的なフォトダイオードに指向される光ビームを発生する。指又はペンのいずれかでユーザがディスプレイにタッチすると、光ビームにおけるその中断がディスプレイの反対側上の対応するＸ及びＹフォトダイオードにより検知される。従って、Ｘ及びＹフォトダイオードにより検知される中断の座標を計算することによりデータ入力が決定される。然しながら、このタイプのデータ入力も多数の問題を有している。典型的なデータ入力ディスプレイに対して多数のＬＥＤとフォトダイオードとが必要とされる。ＬＥＤ及び相互的なフォトダイオードの位置は、又、整合されることを必要とする。比較的多数のＬＥＤ及びフォトダイオード、及び精密なアライメントに対する必要性がこのようなディスプレイを複雑で、高価で且つ製造困難なものとさせている。

更に別のアプローチは単一の光源から単一のアレイ検知器へ光のビームを発生し且つ受取る両方のためにポリマー導波路の使用が関与する。これらのシステムは複雑且つ高価なものである傾向があり且つ送信及び受信導波路及び光学要素及び導波路との間のアライメントを必要とする。該導波路は、通常、リソグラフィプロセスを使用して製造され、そのことは高価であるか供給することが困難である場合がある。更に、該導波路は、典型的に、平坦である。その結果、ディスプレイの周りのベゼルは比較的幅広である。例えば、米国特許第５，９１４，７０９号を参照すると良い。

米国特許第５，９１４，７０９号

従って、タッチスクリーンディスプレイと共に使用することが可能な廉価で柔軟性のある光学導波路を製造する装置及び方法に対する必要性が存在している。

本発明はタッチスクリーンディスプレイと共に使用することが可能な廉価で柔軟性のある光学的導波路を製造する装置及び方法に関するものである。本装置は、柔軟性のあるベース物質を包含している。第一屈折率値を有する第一光学層を該柔軟性のあるベース物質の上に形成する。次いで、該第一光学層の上に第二光学層を形成し、該第二光学層をパターン形成して複数個の光学要素及び導波路を夫々形成する。該第二光学層は、又、該第一屈折率値よりも高い第二屈折率値を有している。最後に、該第二光学層の上に第三光学層を形成する。該第三光学層は該第二屈折率値より低い第三屈折値を有している。従って、高Ｎ第二層は、より低いＮ第一及び第三層の間に挟まれており、高Ｎと低Ｎ物質とが接触している箇所において内部反射表面を形成している。該ベース物質、及び第一、第二及び第三光学層は、従って、柔軟性のある導波路基板を形成する。

図１を参照すると、本発明の１実施例に基づくタッチスクリーンデータ入力装置が示されている。このデータ入力装置１０はタッチスクリーン１４に隣接している自由空間内に光の連続的なシート即ち「薄層」１２を画定している。この光の薄層１２はＸ及びＹ入力光源１６及び１８夫々により形成される。光の薄層１２へ光学的に結合されている光学的位置検知装置２０が、入力装置へデータがエンターされる場合に発生される薄層１２における中断の位置を決定することにより入力装置へのデータエントリを検知するために設けられている。光学的位置検知装置２０はＸ受取アレイ２２、Ｙ受取アレイ２４、プロセッサ２６を包含している。Ｘ及びＹ入力光源１６及び１８及びＸ及びＹ受取アレイ２２及び２４は、薄層１２及びタッチスクリーン１４を取囲んでいる単一の導波路基板２８内により形成されている。

動作期間中に、ユーザは、ペン、スタイラス又は指等の入力装置を使用してスクリーン１４をタッチすることにより装置１０へのデータエントリを行なう。入力装置でスクリーンをタッチする動作期間中に、該スクリーンに隣接する自由空間における光の薄層１２が中断される。光学的位置検知装置２０のＸ受取アレイ２２及びＹ受取アレイ２４がその中断を検知する。その中断のＸ及びＹ座標に基づいて、プロセッサ２６は装置１０へのデータエントリを決定する。

光の薄層１２は本発明の１実施例に基づいて実質的に一様な強度である。受取用Ｘ軸及びＹ軸アレイ２０及び２２における感光性回路の所要のダイナミックレンジが最小とされ且つ高い補間精度が維持される。然しながら、代替的実施例において、非一様な薄層１２を使用することが可能である。この場合においては、薄層１２の最も低い強度区域がＸ軸及びＹ軸アレイ２０及び２２により使用される光検知要素の光活性化スレッシュホールドよりもより高いものとすべきである。

タッチスクリーン１４は、本発明の種々の実施例に基づき任意のタイプのデータディスプレイとすることが可能である。例えば、スクリーン１４はパソコン、ワークステーション、サーバー、モーバイルコンピュータ、ラップトップコンピュータ、ＰＯＳ端子、パーソナルデジタルアシスタンス（ＰＤＡ）、携帯電話、それらの任意の組合わせ、又はデータエントリを受取り且つ処理する任意のタイプの装置用のディスプレイとすることが可能である。

薄層１２を形成するために使用されるＸ軸及びＹ軸光源１６及び１８により発生される光の波長は、本発明の異なる実施例に基づいて異なる場合がある。例えば、その光は、例えば白熱供給源からの白色光のように３５０ｎｍ乃至１１００ｎｍの拡張された波長スペクトル範囲を有する広帯域のものとすることが可能である。代替的に、入力光は２ｎｍ内の範囲の制限されたスペクトルを有する狭帯域のものとすることが可能である。狭帯域の光の使用は、広帯域周囲ノイズ光をフィルタすることを可能とする。狭帯域光の使用は、又、Ｘ軸受光アレイ２０及びＹ軸受光アレイ２２の応答プロフィルに対する光の波長の実質的なマッチングを可能とする。更に別の実施例においては、均一な単一の波長の光を使用することが可能である。例えば、ワイヤレス又は遠隔データ転送通信において一般的に使用されている赤外即ちＩＲ光をこの適用例において使用することが可能である。

図２Ａを参照すると、その上に製造した複数個の柔軟性のある導波路基板２８を包含するシート３０が示されている。１実施例によれば、複数個の導波路２８は単一のシート３０上に製造される。個々の基板２８はシート３０の表面上の長く薄いストリップ状に並列して製造される。基板２８を製造した後に、シート３０を切断し、個別的な導波路基板２８に個別化する。シート３０は例えばナイフ、鋸歯などを使用して多様な良く知られた技術のうちのいずれか１つを使用して切断することが可能である。シート３０上の導波路２８の製造の詳細について以下に説明する。

図２Ｂを参照すると、シート２８から切断した柔軟性のある導波路基板２８が示されている。図２において明らかなように、導波路基板２８は基板２８の片側に設けられた複数個の光学要素３２を包含している。種々の実施例によれば、光学要素３２はレンズ、回折格子、フィルタ、ブラック格子、カップリングホルン（ｃｏｕｐｌｉｎｇｈｏｒｎ）等を包含することが可能である。導波路３４は各光学要素３２へ光学的に結合されている。複数個の導波路３４がグループ化され且つ時折導波路ハイウエイ３６として呼称される状態で基板２８の長さに沿って並列に走行している。

図２Ｃは柔軟性のある導波路基板２８の斜視図である。この図において、光学要素３２は基板２８の片側に沿って示されている。光学要素３２へ光学的に結合されている個別的な導波路３４は光学的ハイウエイ３６に沿ってグループ化した状態で示されている。個別的な導波路３４は基板２８（図には示していない）の長さを走行している。

図２Ｄを参照すると、入力装置１０のタッチスクリーンディスプレイ１４の周りの導波路基板２８の斜視図が示されている。柔軟性のある導波路基板２８の１つの適用例は、入力装置１０に対するＸ及びＹ入力光源１６，１８及びＸ及びＹ受取アレイ２２，２４を与えるためにそれらを容易に使用することが可能であるということである。図に示したように、導波路基板２８はタッチスクリーン１４の周囲周りに設けられており、光学要素３２は内側に向いた形態とされている。従って、タッチスクリーンのＸ及びＹ光入力側における光学要素３２はタッチスクリーン１４の上方に光の薄層１２を形成するために使用される。説明の便宜上、個別的な導波路３４はこの図には示していない。代替的に、ディスプレイ１４のＸ及びＹ受取側における光学要素３２は薄層１２における中断を検知することによりデータ入力を解読するために使用される。光源３８はタッチスクリーン１４の光入力側に沿っての光学要素３２へ結合されている導波路３４へ光を供給する。ＭＯＳ装置又はＣＣＤ等のイメージング装置３９がタッチスクリーン１４のＸ及びＹ受取側に沿っての光学要素３２へ結合されている導波路３４に隣接して設けられている。

図３Ａを参照すると、本発明の別の実施例に基づく多層の柔軟性のある導波路基板２８が示されている。この実施例においては、２つの層の光学要素３２が基板２８の片側に沿って設けられている。第一即ち底部の層の光学要素３２ａが離隔した間隔で設けられている。第二層の光学要素３２ｂが第一層の上方に設けられている。第二層の光学要素３２ｂは第一層の光学要素の間に交互配置されている。上述した実施例と同様に、光学要素３２ａ及び３２ｂの導波路３４は基板２８の長さを走行するハイウエイ３６にグループ化されている。

図３Ｂを参照すると、図３Ａの多層の柔軟性のある基板を例示した概略図が示されている。この図において、第一層のレンズ３２ａ及び第二層のレンズ３２ｂがタッチスクリーン１４の周囲周りに示されている。図３Ａの交互配置された二層型構造の１つの利点は、光学要素３２の与えられた寸法に対してより大きな分解能を与えることである。

例えば、図３Ｃに例示したように、光学要素３２は各々約１ｍｍの幅を有している。そうであるから、交互配置された光学要素３２の間の距離は約１／２ｍｍである。従って、図３Ｂのタッチスクリーン１４は１／２ｍｍ又はそれ以上の中断を分解する能力を有している。対照的に、幅が約１ｍｍの光学要素からなる単一層のみを具備する基板２８は１ｍｍの分解能を有するに過ぎない。上述した寸法は例示的なものであり何等本発明を制限するものとして解釈されるべきではない。より小さな又はより大きな光学要素３２を夫々使用することによりより細かい又はより粗い分解能を達成することが可能である。

図４Ａを参照すると、別の実施例に基づくタッチスクリーン１４と共に使用される折り曲げ型導波路基板４０の断面が示されている。「折り曲げ型」導波路と呼称されるこの実施例は前述した同時係属中の親出願に記載されている。この実施例においては、基板４０は平坦な内部反射表面４２を包含しており、それは基板４０の側部表面上に導波路を折り曲げることを可能とする。導波路が側部表面上にあるので、基板２８の幅を減少させることが可能である。上述したその他の実施例のように、図４Ａの基板４０は、本明細書に記載したように、製造され、次いでシート３０から切断される。

図４Ｂを参照すると、タッチスクリーンディスプレイ１４周りに設けられた折り曲げ型導波路４０の部分的斜視図が示されている。例示したように、導波路の光学要素３２がタッチスクリーン１４の周囲周りで導波路４０の上側に沿って設けられている。個別的な導波路３４は折り曲げられており且つ基板４０の側部表面に沿ってハイウエイ３６にグループ化されている。光源３８及びイメージング装置３９が、導波路３４が終端する箇所に隣接して示されている。

図４Ｃにおいて、別の実施例に基づくタッチスクリーン１４と共に使用される折り曲げ型導波路基板４０の断面が示されている。この実施例も「折り曲げ型」導波路と呼称されるものであり、前述した同時係属中の親出願に記載されている。この実施例においては、基板４０は湾曲した内部反射表面４２を包含しており、それは導波路を基板４０の側部表面上へ折り曲げることを可能とする。導波路が側部表面上にあるので、基板２８の幅を減少させることが可能である。上述したその他の実施例のように、図４Ｃの基板４０は、本明細書に記載したように、製造され、次いでシート３０から切断される。

図５を参照すると、本発明の導波路基板２８，４０，９０の種々の実施例を製造する製造ステップを例示したフローチャート５０が示されている。最初のステップ（ボックス５２）において、低Ｎ光学物質がシート３０の上にコーティングされる。種々の実施例において、シート３０はプラスチック又はポリカーボネート等の柔軟性があるが機械的に強力な物質から形成される。そのシートは透明であるか又は不透明のいずれかとすることが可能である。種々の実施例によれば、任意の低Ｎ光学的に透明な物質を使用することが可能である。次のステップ（ボックス５４）において、高Ｎの光学的に透明な物質をシート３０の上にコーティングさせる。次いで光学要素３２及び導波路３４をホトリソグラフィを使用して高Ｎの光学的透明物質内に形成する（ボックス５６）。特に、高Ｎ層をマスクし且つパターン形成して光学要素３２及び導波路３４を形成する。別の低Ｎ光学層をパターン形成した高Ｎ光学層の上に形成する（ボックス５８）。従って、高Ｎ物質は２つのより低いＮ層の間に挟まれ、高Ｎと低Ｎ物質とが接触する箇所において内部反射表面を形成する。その結果、光学要素３２と導波路３４とが形成される。最後のステップにおいて、基板２８をシート３０から切断する（ボックス６０）。図３Ａ−３Ｃの多層柔軟性基板及びその基板を基本的に同一の技術を使用して製造することが可能である。第一層の光学要素３２及び導波路３４を形成した後に、第二Ｎ層の上に中間層を形成する。次いで、ステップ５２−５８において詳細に説明した前述したプロセスを繰返す。

図６を参照すると、本発明の別の実施例に基づく導波路基板の製造を例示する概略図が示されている。この実施例の場合には、基板２８又は４０が一連の処理ステーションを介してベース物質の連続的なストリップを通過させることにより製造される。最初にステーション６０において、ベース物質６２のスプールが供給される。ベース物質６２が処理ステーション６４へ供給され、そこで第一低Ｎ層が付与される。ベース物質がステーション６４の周りに回転するに従い、ＵＶ硬化装置６５が第一Ｎ層を硬化させる。ステーション６６において、第二高Ｎ層が付与され且つ同様の態様で硬化される。ステーション６８において、該第二層の上にフォトレジスト層が付与され且つ硬化される。次いでパターン形成用マスクがステーション７０において付与される。そのパターンは光学要素３２と導波路３４とを画定する。その後に、光学要素３２と導波路３４とを形成することのない第二高Ｎ層の部分がステーション７２においてエッチング即ち除去される。次いで、ステーション７４において第三低Ｎ層が付与される。次いで、導波路基板２８又は４０の処理ストリップがステーション８０においてスプールされる。１実施例においては、各処理ステーションの円周は各導波路基板２８又は４０の長さと実質的に同一である。このように、ベース物質のスプールは各々が等しい長さの複数個の直列した導波路基板２８又は４０に製造することが可能である。そのスプールは、後に各基板の長さに等しい周期的な間隔で切断されて個別的な基板へ個別化させる。

図７Ａ及び７Ｂを参照すると、本発明に基づく別の柔軟性導波路を例示した概略図が示されている。柔軟性導波路基板９０は、複数個の光学要素３２及び２つの導波路ハイウエイ３６ａ及び３６ｂに配列された対応する導波路３４を包含している。導波路基板９０は、又、ハイウエイ３６ａと３６ｂとを分離する折り曲げ部を包含している。導波路ハイウエイ３６ａ及び３６ｂは折り曲げ部９２の対応する側部上に延在している。個別的な基板が製造され且つ個別化された後に（上述した態様のうちのいずれか１つにおいて）、導波路９０は該折り曲げ部に沿って折り曲げることが可能である。図７Ｂに例示したように、柔軟性のある導波路９０の２つの側部が互いに約９０度に位置決めされている状態が示されており、該折り曲げ部の２つの側部は外側へ延在している。この構成は光源及び／又はイメージング装置（両方共図示していない）を折り曲げ部９２の両側におけるハイウエイ３６ａ及び３６ｂの個別的な導波路３４に近接し又は隣接して位置決めさせるのに便利なものとさせている。

前述した発明は理解を明確する目的のために幾分詳細に説明しているが、特許請求の範囲内においてある変更又は修正を行うことが可能であることは明らかである。従って、説明した実施例は制限的なものではなく例示的なものとして取られるべきであり、且つ本発明は本明細書に与えた詳細に制限されるべきものではなく特許請求の範囲及びその均等物により定義されるべきである。

タッチスクリーンディスプレイ装置を示した概略図。本発明の１実施例に基づいてその上に製造された複数個の柔軟性のある導波路基板を包含するシートを示した概略図。図２Ａのシートから切断した柔軟性のある導波路基板を例示した概略図。図２Ａのシートから切断した柔軟性のある導波路基板の概略斜視図。タッチスクリーンディスプレイ周りに柔軟性のある導波路基板を適用した概略斜視図。本発明の別の実施例に基づく別の柔軟性のある基板の概略斜視図。本発明に基づくタッチスクリーン周りに使用した図３Ａの柔軟性のある基板を示した概略図。図３Ａの基板の改善した分解能を例示する概略図。本発明に基づく折り曲げ型導波路基板の概略図。本発明に基づく折り曲げ型導波路基板の概略図。本発明に基づく折り曲げ型導波路基板の概略図。本発明の導波路基板を製造するための製造ステップを例示したフローチャート。本発明の別の実施例に基づく導波路基板の製造を例示した概略図。本発明に基づく別の折り曲げ型導波路を例示した概略図。本発明に基づく別の折り曲げ型導波路を例示した概略図。

Claims

柔軟性のあるベース物質、
該柔軟性のあるベース物質上に形成されており、第一屈折率値を有している第一光学層、
該第一光学層の上に形成されており複数個の光学要素及び導波路を夫々形成すべくパターン形成されており、該第一屈折率値より一層高い第二屈折率値を有している第二光学層、
該第二光学層上に形成されており該第二屈折率値より低い第三屈折率値を有している第三光学層、
を有しており、該ベース物質と、第一、第二及び第三光学層とが柔軟性のある導波路基板を形成している装置。
請求項１において、該第一屈折率値及び該第三屈折率値が実質的に同一である装置。
請求項１において、該柔軟性のあるベース物質がプラスチック又はポリカーボネ−トのうちの１つを有している装置。
請求項１において、該第二光学層が、更に、該複数個の光学要素及び導波路の夫々の間に複数個の内部反射表面を形成すべくパターン形成されている装置。
請求項４において、該複数個の光学要素が該導波路基板の第一表面上に形成されており且つ複数個の導波路が該導波路基板の第二表面上に形成されており、該第一表面及び該第二表面が互いに実質的に直角である装置。
請求項１において、該光学要素が以下のタイプの光学要素、即ちレンズ、回折格子、フィルタ、ブラック格子、又はカップリングホルンのうちの１つを有している装置。
請求項１において、該第二光学層内にパターン形成されている該複数個の光学要素が多層に配列されている装置。
請求項７において、該多層における該複数個の光学要素が交互配置されている装置。
請求項１において、更に、該柔軟性のある導波路基板が実質的にその周囲周りに形成されている光を基礎としたタッチスクリーンと、該光を基礎としたタッチスクリーンに隣接して光を与える形態とされている該柔軟性のある導波路基板の該複数個の光学要素のうちの第一サブセットと、該光を基礎としたタッチスクリーンに対して行なわれるデータ入力を検知する形態とされている該柔軟性のある導波路基板の光学要素の第二サブセットとを有している装置。
請求項９において、更に、該第一サブセットの光学要素と夫々関連している該導波路へ光学的に結合されている光源を有している装置。
請求項１０において、更に、該第二サブセットの光学要素と夫々関連している該導波路へ光学的に結合されているイメージング装置を有している装置。
柔軟性のあるベース物質であって、その上に複数個の柔軟性のある導波路基板が形成されている柔軟性のあるベース物質を有しており、該柔軟性のある導波路基板の各々が、
該柔軟性のベース物質上に形成されており第一屈折率値を有している第一光学層と、
該第一光学層上に形成されており複数個の光学要素及び導波路を夫々形成すべくパターン形成されており、該第一屈折率値より高い第二屈折率値を有している第二光学層と、
該第二光学層上に形成されており、該第二屈折率値より低い第三屈折率値を有している第三光学層とを、
有している装置。
請求項１２において、該複数個の基板が該柔軟性のあるベース物質上に並列ストリップ状に配列されている装置。
請求項１２において、該柔軟性のあるベース物質が連続的なストリップであり、且つ該柔軟性のある導波路基板が該柔軟性のあるベース物質上に直列的に形成されている装置。
請求項１２において、該導波路基板が複数個の光学要素と導波路とを有している装置。
請求項１５において、該光学要素が多層状に配列されており且つ該光学要素が交互配置されている装置。
請求項１５において、該光学要素が以下のタイプの光学要素、即ちレンズ、回折格子、フィルタ、ブラック格子、又はカップリングホルンのうちの１つを有している装置。
請求項１２において、該柔軟性のある導波路基板が、更に、該複数個の光学要素及び導波路の夫々の間に複数個の内部反射表面を形成すべくパターン形成されている装置。
請求項１８において、該複数個の光学要素が該柔軟性のある導波路基板の第一表面上に形成されており、且つ該複数個の導波路が該柔軟性のある導波路基板の第二表面上に形成されており、該第一表面と該第二表面とが互いに実質的に直角である装置。
柔軟性のあるベース物質上に第一屈折率値を有している第一光学物質を設け、
該第一光学層上に該第一屈折率値より高い第二屈折率値を有している第二光学層を設け、複数個の光学要素と導波路とを夫々形成するために該第二光学層をパターン形成し、
該第二光学層の上に形成される該第二屈折率値より低い第三屈折率値を有する第三光学層を設ける、
ことを包含しており、該ベース物質及び第一、第二、第三光学層が柔軟性のある導波路基板を形成する方法。
請求項２０において、更に、該ベース物質上に複数個の該柔軟性のある導波路基板を形成することを包含している方法。
請求項２１において、該複数個の柔軟性のある導波路基板を形成することが、更に、
該第一、該第二及び該第三光学層を該ベース物質上に並列ストリップ状に設け、
該ベース物質を切断して該個々の柔軟性のある導波路基板を個別化させる、
ことを包含している方法。
請求項２２において、該複数個の柔軟性のある導波路基板を形成することが、更に、
該第一、第二及び第三光学層を該柔軟性のあるベース物質の連続的なストリップ状に離隔した間隔で逐次設け、
該連続的な柔軟性のあるベース物質を離隔した間隔で切断して該個別的な導波路基板を個別化させる、
ことを包含している方法。