JP2008502799A - 炭素析出のための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、請求項1の上位概念部に記載した形式の炭素析出のための装置に関する。
請求項1の特徴部に記載した特徴を備えた本発明による炭素析出のための装置は、上記欠点が取り除かれ、それにより、任意の大きさに寸法設定されたターゲット面上でのアークの点弧場所の均等な分布が達成されるという利点を有している。
本発明の実施例について図面および以下の説明をもとに詳述する。
図1:炭素析出のための装置を、その主要なコンポーネントと共に示す図である。
図2:第1の点弧ユニットの斜視図である。
図3:第2の点弧ユニットの斜視図である。
図4:冷却水回路とベース電極と複数の点弧ユニットとを備えたターゲットカソードの平面図である。
図1に示した炭素析出のための装置は実質的に、アノード5と、平面的なターゲットカソード10と、パルスエネルギ源15と、少なくとも2つの点弧ユニット20とから成っている。点弧ユニット20はターゲットカソード10の縁部領域に配置されている(図4も参照されたい)。
Claims (8)
- 炭素層、特にテトラへデラルアモルファスカーボン層(ta−C)を、パルス式のプラズマ支援された真空アーク放電により析出するための装置であって、アノード(5)と、炭素から成るターゲットカソード(10)と、パルスエネルギ源(15)と、少なくとも2つの点弧ユニット(20)とが設けられており、点弧ユニット(20)がターゲットカソード(10)の縁部領域に配置されている
形式のものにおいて、
少なくとも2つの点弧ユニット(20)がそれぞれ、互いに平行に配置された2つの平面的な金属製の電極(25,30)を有しており、両電極(25,30)間の中間スペースに平面的な絶縁セラミック(35)が配置されている
ことを特徴とする、炭素析出のための装置。 - 少なくとも1つの点弧ユニット(20)が背面(40)および2つの側面(45,50)でセラミック製の外被(37)により被覆されている、請求項1記載の装置。
- 少なくとも1つの点弧ユニット(20)が、点弧を行う端面(55)でもって、ターゲットカソード(10)に対して45゜〜90゜の角度(58)の下で傾斜している、請求項1または2記載の装置。
- 点弧ユニット(20)の絶縁セラミック(35)が端面(55)で、電気伝導性の材料(60)によりコーティングされている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- ターゲットカソード(10)の全領域にわたる均等な析出のために、少なくとも2つの点弧ユニット(20)間の間隔(65)および/または点弧ユニット(20)の長さ(70)が変更可能である、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。
- ターゲットカソード(20)の近くに配置された金属製の電極(30)が正の電圧で負荷され、ターゲットカソード(20)から遠くに配置された金属製の電極(25)が負の電圧で負荷される、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。
- 少なくとも2つの点弧ユニット(20)が、1つの共通の一貫したベース電極(75)を有している、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。
- 共通のベース電極(75)が冷却水回路(80)により冷却される、請求項7記載の装置。
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