JP4664972B2 - 点火ユニットのための固定装置 - Google Patents
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Description
本発明による、点火ユニットのための固定装置及び炭素析出装置は、点火ユニットの簡単な交換が可能であって、しかもこの際に、新たに組み込まれた点火ユニットの、組み込み時に得られた傾斜を調整する必要がない、という利点を有している。本発明による固定装置によって点火ユニットを組み込むことによって、コーティング装置のターゲットカソードに対する点火ユニットの傾斜が自動的に得られる。しかも、固定装置を簡単に操作することによって、複数の点火ユニットをより迅速に交換することができる。さらにまた、例えば固定装置の整備又はコントロールのための付加的な費用は事実上必要ない。
本発明の実施例を図面及び以下の説明を用いて詳しく説明する。
図2は、組み込まれた点火ユニット及びターゲットカソードを備えた固定装置の横断面図、
図3は、第1の点火ユニットの斜視図、
図4は、第2の点火ユニットの斜視図、
図5は、炭素析出装置の主要な構成部分を示す図、
図6は、冷却水循環路、ベース電極及び複数の点火ユニットを備えたターゲットカソードの平面図である。
図1に横断面で示された、特に炭素析出装置の点火ユニットのための固定装置82は、第1及び第2のホルダ85,90を有している。2つのホルダ85,90は、図2に示されているように、固定手段95によって保持されている。2つのホルダ85,90の長さ寸法はそれぞれ、その厚さ寸法よりも大きい。図1に示されているように、2つのホルダ85,90の長手方向に沿ってそれぞれ長手方向軸線105,107が延びている。標準的な実施例では、第1のホルダ85の全長は、第2のホルダ90の全長よりも大きい。
Claims (7)
- 炭素析出装置の点火ユニット(20)のための固定装置において、
前記点火ユニット(20)が2つの金属製の電極(25,30)を有しており、これら2つの電極(25,30)間の中間室内に絶縁セラミック(35)が配置されており、
前記点火ユニット(20)が、第1のホルダ(85)と第2のホルダ(90)との間に配置されており、
前記第1のホルダ(85)が炭素析出装置の支持体(130)に堅固に結合されており、
前記2つのホルダ(85,90)が少なくとも1つの固定手段(95)によって結合されており、
第1のホルダ(85)は、この第1のホルダ(85)の長手方向軸線(105)に対して0゜〜45゜の間の第1の角度(110)で傾斜する平面(100)を有しており、
前記平面(100)が、第1のホルダ(85)の下側に形成された第1の切欠(102)の壁部の一部であって、前記切欠(102)内に点火ユニット(20)が少なくとも部分的に挿入されており、
第2のホルダ(90)が第2の切欠(92)を有していて、該第2の切欠(92)内に点火ユニット(20)が少なくとも部分的に挿入されており、
前記第1及び第2のホルダ(85,90)は前記第1の切欠(102)と第2の切欠(92)とが互いに向き合うように配置されており、
前記第1の切欠(102)と前記第2の切欠(92)と前記平面(100)とによって、点火ユニット(20)の、点火が行われる端面側(55)が、前記平面(100)に対して垂線を形成するように固定されていることを特徴とする、点火ユニットのための固定装置。 - 第1のホルダ(85)と第2のホルダ(90)とが、前記固定手段(95)を取り付けるための孔(104,106)をそれぞれ1つ有している、請求項1記載の固定装置。
- 第1のホルダ(85)の孔(104)と第2のホルダ(90)の孔(106)とが互いに同軸的に整列している、請求項2記載の固定装置。
- 前記固定手段(95)がねじ(115)である、請求項1から3までのいずれか1項記載の固定装置。
- 2つのホルダ(85,90)が導電性の材料より成っている、請求項1から4までのいずれか1項記載の固定装置。
- 前記固定手段(95)が絶縁体(112)によって少なくとも1つの前記ホルダ(85,90)に対して電気的に分離されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の固定装置。
- 絶縁体(112)がセラミック製の絶縁スリーブ(114)である、請求項6記載の固定装置。
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