JP2008304396A - 流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な構成で小型化を図ることができる流量計を提供する。
【解決手段】被測定流体が流れるメイン流路7及びメイン流路7から被測定流体を分流させる分流部9を有するボディ部2と、分流部9から導入された被測定流体を検出するセンサ15を有し、当該センサ15の検出結果に基づいて被測定流体を計測する流体計測部3とを備えた流量計において、被測定流体を分流部9に分流させる差圧を与えるオリフィス8をメイン流路7と一体に構成する。
【選択図】図4
【解決手段】被測定流体が流れるメイン流路7及びメイン流路7から被測定流体を分流させる分流部9を有するボディ部2と、分流部9から導入された被測定流体を検出するセンサ15を有し、当該センサ15の検出結果に基づいて被測定流体を計測する流体計測部3とを備えた流量計において、被測定流体を分流部9に分流させる差圧を与えるオリフィス8をメイン流路7と一体に構成する。
【選択図】図4
Description
この発明は、被測定流体の流量や流速を測定する流量計に関するものである。
図5は、例えば特許文献1に開示される従来の流量計を用いた圧力式流量制御装置の構成を示す図である。図5に示すように、この圧力式流量制御装置は、第1ブロック104と第2ブロック105に分離可能な流路ブロックを有しており、連結時に被測定流体を流通させるために形成された第1流路106a、第2流路106bが連通連結されて一つの流路が構成される。第1ブロック104には、流体制御弁101及び圧力センサ103が設けられている。圧力センサ103は、流体制御弁101の下流側における圧力を検出する。
一方、第2ブロック105には開閉弁102が設けられている。両ブロック104,105の接続部分には、流路106a,106bを絞る絞り機構108を有するブロック107aが取り付けられる。この絞りブロック107aは、第1ブロック104と第2ブロック105の分離時に取り外すことが可能であり、両ブロック104,105を再び連結する際、新たな絞りブロック107bに交換できる。
従来の流量計は、被測定流体が流れるメイン流路と絞り機構であるオリフィスとが別個に構成されているため、部品点数が増加する上、オリフィスを取り付ける特別な機構が必要なために構成が複雑になるという課題があった。例えば、特許文献1では、オリフィスである絞りブロック107の他、これを取り付けるための第1ブロック104側の孔部や第2ブロック105側の凸部、シールのためのO−リング及びこれを取り付けるリング状の溝部等の様々な部品や複雑な構成が必要であり、不可避的に流量計全体も大型化する。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、簡易な構成で小型化を図ることができる流量計を得ることを目的とする。
この発明に係る流量計は、被測定流体が流れる主流路及び主流路から被測定流体を分流させる分流路を有するボディ部と、分流路から導入された被測定流体を検出するセンサを有し、当該センサの検出結果に基づいて被測定流体を計測する流体計測部とを備えた流量計において、被測定流体を分流路に分流させる差圧を与える絞り機構部を主流路と一体に構成したことを特徴とするものである。
この発明によれば、流体計測部が、ボディ部に対して着脱自在に設けられたことを特徴とするものである。
この発明によれば、被測定流体を分流路に分流させる差圧を与える絞り機構部を主流路と一体に構成したので、絞り部を別個に構成した場合と比較して簡易な構成で小型化を図ることができるという効果がある。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による流量計の構成を示す図であり、図1(a)は側面図を示しており、図1(b)は図1(a)中のb方向からの矢視図、図1(c)は図1(a)中のa方向からの矢視図である。図1(a)に示すように、実施の形態1による流量計1は、ボディ部2及び流体計測部3を備える。ボディ部2は、被測定流体が流れる不図示の配管に取り付けられる構成部品であり、図1(b)に示すように被測定流体が流れるメイン流路(主流路)7が設けられ、その流路途中にオリフィス(絞り機構部)8が形成される。また、メイン流路7の両端には、ねじ溝を形成した取り付け部7aが設けられており、例えば気密シールを介して配管の端部が螺合されることにより気密を保って配管に取り付けられる。
図1は、この発明の実施の形態1による流量計の構成を示す図であり、図1(a)は側面図を示しており、図1(b)は図1(a)中のb方向からの矢視図、図1(c)は図1(a)中のa方向からの矢視図である。図1(a)に示すように、実施の形態1による流量計1は、ボディ部2及び流体計測部3を備える。ボディ部2は、被測定流体が流れる不図示の配管に取り付けられる構成部品であり、図1(b)に示すように被測定流体が流れるメイン流路(主流路)7が設けられ、その流路途中にオリフィス(絞り機構部)8が形成される。また、メイン流路7の両端には、ねじ溝を形成した取り付け部7aが設けられており、例えば気密シールを介して配管の端部が螺合されることにより気密を保って配管に取り付けられる。
流体計測部3は、被測定流体の流量等を計測演算を実行するマイクロコンピュータ等の計測処理部が収容され、この計測処理部と外部装置の間で信号のやり取りをするためのコネクタ5を設けた筐体が取り付け板部3aと一体に形成されており、図2において後述する分流路構造部11が収容された基板3bを介してボディ部2に取り付けられる。流体計測部3のボディ部2への取り付けは、ボディ部2に設けた不図示のねじ穴に取り付けねじ6を螺合することで行われ、ボディ部2に着脱自在である。
また、流体計測部3には、図1(c)に示すように表示部4a及び設定入力部4bを備えた表示設定部4が設けられる。表示部4aは、計測処理部から入力した被測定流体の流量等の計測結果を表示する。設定入力部4bは、計測処理部や表示部4aに設定情報を入力する構成要素であり、例えば設定ボタンを押下することで表示部4aの表示内容を切り替える設定情報等が入力される。なお、図1の例では、流体計測部3に表示部4aを装備した場合を示したが、表示部を有さない構成であっても構わない。
図2は、実施の形態1による流量計1を図1(b)中のA−A線で切った断面を示す斜視図である。図2に示すように、基板3bには、その中央部に孔部が形成されており、この孔部に分流路構造部11及びこれを囲むように破断面が楕円のゴムパッキン12が配置される。分流路構造部11は、ボディ部2側と流体計測部3側の双方の面に流路が形成された板状部材である。この分流路構造部11を収納した状態で取り付けねじ6をボディ部2に設けたねじ穴に螺合することにより、ゴムパッキン12が、取り付け板部3aのセンサ15側の面とボディ部2の取り付け面とに当接して分流路構造部11が密閉される。
また、ボディ部2には、オリフィス8の前後に形成したメイン流路7に連通する分流部9,10が形成されている。オリフィス8で生じた差圧によって分流部9を介して被測定流体が分流路構造部11へ分流され、分流路構造部11を通った被測定流体が分流部10を介してメイン流路7へ流出する。なお、分流部9,10を介してボディ部2と流体計測部3の間を流入出する被測定流体は、分流路構造部11に配置したフィルタ13a,13bによって除塵される。また、必要に応じて、フィルタ13a,13bがない構成であっても構わない。
分流部9,10は、メイン流路7を貫通する小口径(径D)の絞り部9a,10aと、これに連通する絞り部9a,10aよりも大口径(径E)の孔部9b,10bから構成される。メイン流路7から分流された被測定流体は、小口径の絞り部9aで流速が上昇するが、絞り部9aよりも口径の大きい孔部9bで流速が落とされて分流路構造部11に導入される。例えば、絞り部9a,10aは、φ1mm程度か、これよりも本発明の趣旨を逸脱しない範囲で口径の小さい細孔で構成され、孔部9b,10bは、絞り部9a,10aを介して上昇した被測定流体の流速が緩和できる口径であればよい。
図3は、図1中の流体計測部及びその周辺構成を示す分解斜視図である。図3に示すように、流体計測部3のボディ部2側の面には、被測定流体を検出するセンサ15が設けられており、センサ15の流体検出部が、分流路構造部11の流体計測部3側の面に形成された流路に面している。分流路構造部11は、ボディ部2側と流体計測部3側の両面に流路が形成されており、分流部9を介してメイン流路7から分流された被測定流体は、ボディ部2側の面に形成された流路から流体計測部3側の面の第3の流路に流入し、センサ15が被測定流体に晒された後、ボディ部2側の面に形成された流路から分流部10を介してメイン流路7へ流出する。
また、分流路構造部11には、ボディ部2側の面に除塵用のフィルタ13a,13bを設ける他、図3に示すように流体計測部3側の面に金網14を設けてもよい。この金網14は、分流路構造部11の流体計測部3側の面に形成された流路におけるセンサ15の上流側に配置することで、センサ15に導入される前の被測定流体の偏流や乱れを整流することができる。
なお、オリフィス8では、被測定流体の流れが妨げられるため、被測定流体中のダストが滞留する。そこで、分流部9とオリフィス8は、滞留ダストが流体計測部3側に流入しないように一定間隔あけて配置する。例えば、分流部9とオリフィス8を25mm程度あけて形成することで、オリフィス8で滞留したダストの影響を軽減することができる。
実施の形態1による流量計1では、図4(a)に示すようにオリフィス8の内壁がメイン流路7の流れ方向(図4(a)中の矢印方向)に対して平行であり、かつオリフィス8がメイン流路7と一体に形成されている。このように構成することにより、オリフィス部分を別個に構成する場合と比較して部品点数を削減できる上、オリフィス部分を取り付けるための特別な構成を設ける必要がなく、簡易な構成にすることができる。
例えば、別個に設けたオリフィスをメイン流路に取り付ける構成では、JIS規格推奨の寸法規定に合うようにオリフィスやこれを取り付けるための構造を精度良く製作しなければならず、高精度な加工処理が必要である上流量計の大型化の要因にもなる。これに対して、実施の形態1による流量計では、オリフィス8をメイン流路7と一体に形成することから、加工上の手間を大幅に削減することが可能である。
また、別個に設けたオリフィスをシール材を介して配管に取り付ける場合では、シール漏れが発生する可能性がある。これに対して、実施の形態1による流量計では、オリフィス8に関してメイン流路7の気密を破る懸念のある構造を一切有さない。例えば、別個に設けたオリフィスをメイン流路に取り付ける構成では、不可避的にボディ部の表面に継ぎ手部分が形成されるため、継ぎ手部分からシール漏れが発生して分流路構造部の密閉が破られやすい。しかしながら、実施の形態1による流量計では、オリフィス8をメイン流路7と一体に形成しているので、ボディ部2に継ぎ手部分がなく、その外表面を凹凸無く面出しすることが可能であり、ゴムパッキン4等のシール部材による密閉を良好に行うことができる。
さらに、差圧流量計における通常のオリフィスは、流量に正確に比例した被測定流体の静圧低下を得るため、図4(b)に示すオリフィス8aように内壁をテーパ状にして被測定流体の流れ方向(図4(b)中の矢印方向)に沿って開口径が大きくなるように構成される。これに対して、実施の形態1によるオリフィス8では、上述のようにその内壁がメイン流路7の流れ方向に対して平行な直管状に形成される。このような構成では、計測上の補正が必要であるが、メイン流路7の製作の際にメイン流路7より小口径の穴あけでオリフィス8を製作可能なことから、高精度な加工処理が不要であり簡易に製作することができる。
なお、図4(a)に示す実施の形態1によるオリフィス8の構成の利点について説明したが、本発明は、この構成に限定されるものではなく、通常のオリフィスと同様に内壁をテーパ状にして被測定流体の流れ方向に沿って開口径が大きくなるように構成しても勿論良い。
この他、メイン流路7に一体に形成するオリフィスは、図4(c)に示すようにメイン流路7内の流れ方向の前後に内壁がテーパ状なオリフィス8bとしてもよい。このオリフィス8bは、先端角度がθ(例えば、120°)のドリルで前後から穴あけを行うことにより製作が可能なことから、高精度な加工処理を施すことなく製作することができる。
以上のように、この実施の形態1によれば、オリフィス8をメイン流路7と一体に構成したので、オリフィス部分を別個に構成した場合と比較して部品点数を削減できる上、オリフィス部分を取り付けるための特別な構成を設ける必要がなく、簡易な構成にすることができる。
1 流量計
2 ボディ部
3 流体計測部
3a 取り付け板部
3b 基板
4 表示設定部
4a 表示部
5 コネクタ
6 取り付けねじ
7 メイン流路(主流路)
8,8a オリフィス(絞り機構部)
9,10 分流部(分流路)
9a,10a 絞り部
9b,10b 孔部
11 分流路構造部
12 ゴムパッキン
13a,13b フィルタ
14 金網
15 センサ
2 ボディ部
3 流体計測部
3a 取り付け板部
3b 基板
4 表示設定部
4a 表示部
5 コネクタ
6 取り付けねじ
7 メイン流路(主流路)
8,8a オリフィス(絞り機構部)
9,10 分流部(分流路)
9a,10a 絞り部
9b,10b 孔部
11 分流路構造部
12 ゴムパッキン
13a,13b フィルタ
14 金網
15 センサ
Claims (2)
- 被測定流体が流れる主流路及び前記主流路から被測定流体を分流させる分流路を有するボディ部と、前記分流路から導入された被測定流体を検出するセンサを有し、当該センサの検出結果に基づいて前記被測定流体を計測する流体計測部とを備えた流量計において、被測定流体を前記分流路に分流させる差圧を与える絞り機構部を前記主流路と一体に構成したことを特徴とする流量計。
- 流体計測部は、ボディ部に対して着脱自在に設けられたことを特徴とする請求項1記載の流量計。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007153133A JP2008304396A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 流量計 |
PCT/JP2008/001244 WO2008149495A1 (ja) | 2007-06-08 | 2008-05-19 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007153133A JP2008304396A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008304396A true JP2008304396A (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=40093329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007153133A Pending JP2008304396A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 流量計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008304396A (ja) |
WO (1) | WO2008149495A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57122528U (ja) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | ||
JP2003523506A (ja) * | 2000-02-16 | 2003-08-05 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 流量モジュールおよび一体化された流れ制限器 |
JP2005351696A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Nippon Flow Cell Kk | 熱式流量計 |
JP2006308518A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Omron Corp | 流量測定装置 |
JP2007003387A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Omron Corp | 流量測定装置 |
-
2007
- 2007-06-08 JP JP2007153133A patent/JP2008304396A/ja active Pending
-
2008
- 2008-05-19 WO PCT/JP2008/001244 patent/WO2008149495A1/ja active Application Filing
Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPS57122528U (ja) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | ||
JP2003523506A (ja) * | 2000-02-16 | 2003-08-05 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 流量モジュールおよび一体化された流れ制限器 |
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JP2006308518A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Omron Corp | 流量測定装置 |
JP2007003387A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Omron Corp | 流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008149495A1 (ja) | 2008-12-11 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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