JP2008300680A - 電子部品の実装装置及び回路基板の製造方法 - Google Patents

電子部品の実装装置及び回路基板の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】各電子部品に適当な半田接合部が形成可能な電子部品の実装装置及び回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】凹部32を有し、上面にパターン31を有する基板30に、厚さが一定の開口部11を有するマスク10を当接させ、上下及び移動方向を制限した複数の分割スキージ21を有するスキージ装置20により、開口部11に半田50を充填し、半田接合部51を形成する。この半田接合部51に電子部品を実装する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、半田を用いた電子部品の実装装置及び実装方法(回路基板の製造方法)に関し、特に、パターン上に厚さの異なる半田、及び、部分的に厚さの異なる基板に半田を塗布することが可能なものに関する。
携帯電話やパーソナルコンピュータ等に用いる電子部品をプリント基板等に実装する方法として、基板に開口部を有するマスクを用いて半田を塗布する方法が知られている。これは、プリント基板に設けられた電極等のパターン上に、開口部を有する金属等で形成されたマスクを重ね合わせる。この配置させたマスク上から半田をスキージ等により塗布し、開口部に半田を充填し、マスクをプリント基板から除去することで、基板上に半田を転写(形成)する。
この半田に半導体素子等の電子部品を配置し、リフロー炉等により電子部品と半田とを接合させるものである。このようなマスクを用いた方法では、基板とマスクとを一様な厚さの平板形状とすることで、基板とマスクとの間に隙間が発生することによる半田の接合不良を防止する。
しかし、同じ基板上にその大小又はピッチが異なる電子部品を実装(接合)させる場合には、必要な半田の厚さが異なる。このため、一定厚さのマスクで半田を基板に転写すると、実装させる各電子部品の組合せによっては、それぞれの電子部品に適した半田量を転写することができず接合不良が発生する虞がある。
例えば、半田に対してピッチ間(電子部品の接合間距離)が短い場合に、半田が厚いと、電子部品により半田が押圧され、つぶれが発生し、基板面において半田同士が接合(ブリッジ)する虞がある。また、半田に対してピッチ間が長い場合に、半田の厚さが薄いと、電子部品が設置時に倒れ、電子部品と半田とが未接合となる虞もある。
このような接合不良を防止するために、例えば、図8に示すような上面マスク101と下面マスク102とを積層したマスク100を用いて基板110に設けられたパターン111にスキージ120を用いて半田130を転写させる実装方法が知られている(例えば特許文献1参照)。
このような実装方法に用いられるマスク100は、上面マスク101を下面マスク102より広面積に形成されている。これにより、上面マスク101と下面マスク102とを積層することで第1開口部103を形成し、上面マスク101に第2開口部104を形成し、上面マスク101を弾性変形可能とすることで基板110に当接するように構成される。
このようなマスク100の上面に、半田130をスキージ120により塗布することで、第1開口部103は、上面及び下面マスク101、102の合計の厚みで半田131が形成される。さらに、上面マスク101のみの部位は分割スキージ21により下方へと押圧され弾性変形することで、基板110に当接し、半田が形成される。これにより、基板上に厚みの異なる半田をパターン111に転写(形成)することが可能となる。
また、現在、電子機器の小型化及び薄型化が求められている。従来の実装方法では、高低の異なる電子部品を基板に接合すると、基板から電子部品上面までの高さは、高い電子部品の上面の高さが最大高さとなる。この解決手段として、基板から電子部品上面までの高さを少しでも低くするため、段差を有する基板の下段部に高い電子部品を配置させることで、最大高さを低くする方法も知られている。このような方法に用いる基板に半田を転写する際には、図9に示すように、弾性材料により形成したスキージ121及びマスク105をそれぞれ弾性変形させることで、基板112の下段113に設けられたパターン114に半田を転写(印刷)させる。
特開2006−66811号公報
上述したマスク100、105を用いた方法では次のような問題があった。すなわち、2層のマスク100、又は、段差を有する基板112を用いて半田を転写(印刷)する場合、基板110、112と各マスク100、105との間には空間Vが発生する。
この空間Vは、基板の形状や、各マスク及びスキージの弾性変形量等の様々な要因で発生する。空間Vに位置する基板の上部は、半田の転写ができない。このため、基板を有効に活用できず、空間Vの面積に応じて基板を大きくする必要があった。
そこで本発明は、場所により厚さの異なる基板又はマスクを用いて回路基板上に半田を印刷する実装方法において、回路基板上に形成不良のない適切な半田量を転写でき、基板上の未実装領域が小さくなる電子部品の実装装置及び実装方法を提供することを目的としている。
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の電子部品の実装装置及び回路基板の製造方法は次のように構成されている。
本発明の一態様として、その下面がパターンを有する基板の上面に沿って形成され、上下面を貫通するとともに前記パターンに対応する複数の開口部を有し、その上面が平坦、又は、凹凸部を有する形状に形成されたマスクと、このマスク上面の形状に沿って移動可能に形成された複数の分割スキージと、これら複数の分割スキージを、前記マスクの上面形状に沿ってそれぞれ垂直方向にのみ独立して移動可能に支持するガイド部材と、前記複数の分割スキージを前記マスク側へ押圧する押圧手段と、前記複数の分割スキージを移動させる移動手段と、を具備することを特徴とする。
本発明の一態様として、その下面がパターンが形成された基板の上面に沿って形成され、上下面を貫通するとともに前記パターンに対応する複数の開口部を有し、その上面が平坦、又は、凹凸部を有する形状のマスクを前記基板に重ねる工程と、複数の分割スキージを前記マスクの上面に当接させ、前記複数の分割スキージに前記マスク側へ所定の圧力で押圧するとともに、前記複数の分割スキージをそれぞれ独立して前記マスクの上面に沿って移動させることで前記開口部に半田を供給する工程と、前記マスクを前記基板から除去し、前記パターンに対応する半田接合部を形成する工程と、前記半田接合部に電子部品を配置させ、前記基板を加熱することで、前記電子部品と前記パターンとを前記半田により接合する工程とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、場所により厚さの異なる基板又はマスクを用いて回路基板上に半田を印刷する実装方法において、回路基板上に形成不良のない適切な半田量を転写でき、基板上の未実装領域を小さくすることが可能となる。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る実装装置1の構成を示す斜視図、図2は同実装装置1に用いるマスク10及びスキージ装置20を示す斜視図、図3は同実装装置1の使用の一例を示す斜視図、図4は同実装装置1を用いて電子部品40を実装した一例を矢視Tから示す側面図である。なお、図1〜3中、Pは分割スキージ21へ印加する圧力、Sはスキージ装置20の進行方向、Tは矢視を示す。
図1〜3に示すように、実装装置1は、例えば金属製のマスク10と、複数の分割スキージ21を当接させて形成されたスキージ装置20とを備え、マスク10は基板30の上面に設けられている。
マスク10は、電子部品40の実装範囲であって、後述する基板30の上面に設けられたパターン31に位置する箇所に貫通する開口部11を有している。また、マスク10は、マスク10の下面が基板30に沿う形状であって、その厚みが一定となるように凹凸部、例えば、上段部12及び下段部13の2段の段部を有して形成されている。これら上段部12と下段部13とは、スキージ装置20の進行方向Sに対して斜面14により連続する。
スキージ装置20は、複数の分割スキージ21と、分割スキージ21の長手方向に設けられた孔部22と、ガイド23と、移動装置24とをそれぞれ有している。
スキージ装置20に用いる分割スキージ21は、例えば直方体であって、進行方向Sに対して、その下面がマスク10側に、側面は隣接する分割スキージ21に、上面は移動装置24側にそれぞれ位置しており、弾性材、又は、非弾性材のいずれかで形成されている。また、分割スキージ21は4本を用いる構成とする。なお、分割スキージ21を用いる数は4本に限られるものではない。即ち、分割スキージ21の数は、マスク10及び基板30によって、その形状及び設置数が適宜変更するものであり、その形状及び設置数に適用すればいくつでもよい。
孔部22は、丸棒状のガイド23が孔部22を貫通することで複数の分割スキージ21を連通してなる。
ガイド23は、ガイド23の両端が移動装置24に接続されており、移動装置24によりスキージ装置20を移動させた際に、複数の分割スキージ21を長手方向のみ独立に移動可能に支持する。即ち、複数の分割スキージ21は、ガイド23により基板30に対して上下方向(長手方向)にそれぞれが独立して移動可能であるとともに、進行方向Sに略同一に移動可能に形成されている。
移動装置(押圧手段、移動手段)24は、複数の分割スキージ21それぞれに一定の圧力Pでマスク10側に押圧するとともに、分割スキージ21及びガイド23に接続され、分割スキージ21を進行方向Sに移動可能に形成されている。なお、移動装置24は、圧力Pでそれぞれの分割スキージ21を押圧するのではなく、複数の分割スキージ21の全体に一律一定の圧力で押圧できる構成であってもよい。
このように、スキージ装置20は、複数の分割スキージ21を孔部22、ガイド23、及び、移動装置24により、分割スキージ21の側面で互いに当接して配置することで形成されている。
基板30は、基板30の上面に電子部品40の実装範囲や回路等のパターン31を有している。また、基板30は、ピッチが同一であって高さの異なる電子部品40(40a、40b)を実装した際に、基板30から電子部品40の上面までの高さを一定とするための凹部32を備えることで、2段の段差を有している。なお、パターン31は、必要とする回路等によりその形状が異なるため、説明上区別しないものとする。
電子部品40は、それぞれ基板30のパターン31と接合する接合端子41を有している。また、例えば、高さの高い電子部品40aと、高さの低い電子部品40bを実装するものとする。
さらに、パターン31と電子部品40とを接合するためにペースト状の半田50を用いて半田接合部51を形成する。
このように構成された実装装置1では、基板30上面にマスク10を配置させるとともに、スキージ装置20をマスク10の上面に沿って進行方向に移動させることで半田50を各開口部11へ充填させる。開口部11に半田50を充填(供給)後、マスク10を基板30から離脱させることで、パターン31に半田50が転写される。また、スキージ装置20は分割スキージ21がそれぞれ当接することで、分割スキージ21間からの半田50の漏れを防止することが可能となる。また、ガイド23により分割スキージ21は、進行方向Sに同一に移動するとともに、上下移動が所定範囲内でそれぞれ移動可能となる。
次に、実装装置1を用いた電子部品40の実装方法(回路基板の製造方法)を図1〜4を用いて説明する。
まず、図1に示すように、電子部品40を実装させるパターン31が形成された基板30の上面に、後述する半田接合部51を転写するパターン31の上面に開口部11が位置するように位置合わせを行いマスク10を当接させる。このとき、基板30の凹部32にマスク10の下段部13が係合し、マスク10の下面が基板30の上面に当接することとなる。
次に、マスク10の上面にスキージ装置20を配置させる。このとき、複数の分割スキージ21をそれぞれ当接させておく。また、マスク10の上面であって、複数の分割スキージ21の進行方向S側に半田50を供給する。なお、半田50の供給方法は、例えば、分割スキージ21の先端に供給孔を有することで、供給孔から半田50を吐出するような構成であってもよいし、作業員が直接マスク10の上面に半田50を供給してもよい。
この供給により半田50が供給されたら、移動装置24により、複数の分割スキージ21のそれぞれをマスク10の上面に向って押圧しながら、進行方向Sへ同一に移動させる。これにより、開口部11に半田50が充填される。なお、図2に示すように半田接合部51の形成の方法は、マスク10の上段部12をスキージ装置20が移動すると、複数の分割スキージ21の先端がマスク10上面に沿って分割スキージ21が揃って移動する。この移動は、複数の分割スキージ21が半田50を掻き均しつつマスク10上を移動することで、半田50は開口部11へ均一に充填され、マスク10を離脱することで半田接合部51が形成される。
継続してスキージ装置20を移動させ、図3に示すように、マスク10の下段部13へ複数の分割スキージ21が移動すると、分割スキージ21の一部が下段部13に当接するように下方へ移動する。このため、分割スキージ21はマスク10の形状(下段部13)に沿って移動する。
これにより、下段部13の上面でも、スキージ装置20が移動し、分割スキージ21が半田50を掻き均す。このため、半田50は、下段部13に設けられた開口部11へ均一に充填され、半田接合部51が形成される。なお、このとき、分割スキージ21は、孔部22及びガイド23により下方に案内されることとなる。
さらに継続してスキージ装置20が移動すると、下段部13から上段部12にスキージ装置20が移動する。このとき、マスク10の下段部13から上段部12へと連続する斜面14により分割スキージ21が案内され移動する。なお、マスク10が斜面14を有さない形状であっても、下段部13から上段部12、又は、その逆への移動は圧力Pの設定や分割スキージ21の先端形状等の設定により可能であり、適宜設定すればよい。
このように、分割スキージ21が個々に上下方向に移動し、マスク10に設けられたすべての開口部11に半田50を充填させることで、電子部品40の実装に必要な半田接合部51を形成する。半田接合部51の形成後、基板30からマスク10を除去(脱離)させることで、半田接合部51を基板30のパターン31上に転写させる。図4に示すように、転写させた半田接合部51上に、電子部品40の接合端子41を配置させる。このとき、高さの高い電子部品40aは、基板30の凹部32に設けた半田接合部51に、高さの低い電子部品40bは、その他の半田接合部51に配置させる。
電子部品40を配置させた基板30を、例えばリフロー炉により加熱し、半田接合部51を溶融させる。溶融した半田接合部51により電子部品40の接合端子41とパターン31とが接合される。これにより、基板30に電子部品40が実装される。
このように、分割した複数の分割スキージ21をマスク10の上面形状に沿って移動させることで、開口部11に均一に半田50を充填させることが可能となる。このため、例えば、上段部12や下段部13等の開口部11の位置により半田接合部51が未充填や少量充填等となることが防止できる。
即ち、高密度の半田接合部51を形成することが可能となる。これは、分割スキージ21が基板30方向に圧力Pにより押圧されて移動し、均一に半田50を掻き均すことで開口部61、62に確実に半田50が充填されるためである。
また、分割スキージ21同士が当接することで、分割スキージ21を移動させても半田50が分割スキージ21の間から後方に漏洩することもない。
さらに、このような高さの異なる基板30を用いても半田接合部51が形成可能となり、図4に示すように、高さの異なる電子部品40を実装しても、基板30の下面から電子部品40の上面までの高さを統一することが可能となる。これに伴って、基板30下面から電子部品40の上面までの高さを極力低くすることが可能となる。
また、2段に形成されたマスク10上に沿って分割スキージ21が上下に移動しながら進行方向Sに移動するため、マスク10の上段部12と下段部13との境目であっても半田50を充填することが可能となる。このため、基板30に設けるパターン31の間隔を狭くすることができる。これにより、基板30に対してより多くのパターン31や電子部品40を実装することが可能となり、基板30の小型化となる。
上述したように、本実施の形態に係る電子部品の実装装置1を用いた実装方法によれば、厚さの異なる基板30に設けたパターン31に高密度の半田接合部51を形成することが可能となる。また、厚さの異なる基板30を用いて電子部品40を実装することで、高さの異なる電子部品40を実装する場合であっても、基板30の下面から電子部品40の上面までの高さを均一、かつ、極力低くすることが可能となる。
さらに、マスク10を複数段とし、分割スキージ21をその形状に沿って移動可能であるため、半田50の充填に必要なスペースを少なくすることができ、電子部品40の実装に必要な基板30を小型化とすることができる。
また、一度に半田接合部51を実装可能であり、さらに基板30を小型化することにより、生産性の向上にもなる。
図5は本発明の第2の実施の形態に係る同実装装置1Aに用いるマスク60及びスキージ装置20を示す斜視図、図6は同実装装置1Aの使用の一例を示す斜視図である。なお、図5、6において図1〜3と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図5、6に示すように、実装装置1Aは、スキージ装置20と、金属製のマスク60を備えている。
マスク60は、電子部品40の実装エリアであって、パターン31上に例えば異なる2種類の開口部61、62を有している。また、マスク60は、マスク60の下面が基板30Aに沿う平坦形状であって、異なる開口部61、62がそれぞれ設けられた下段部63及び上段部64の2段に形成されている。これら下段部63と上段部64は、スキージ装置20の進行方向に対して斜面65により連続して形成されている。
開口部61、62は、ピッチの異なる電子部品40(40c、40d)を実装した際に、電子部品40のピッチにそれぞれ対応した厚さの半田接合部51(51a、51b)が形成できる高さをそれぞれ有している。
なお、ここでのピッチとは、電子部品の接合端子(半田接合部又はパターン)の間の距離を示す。これは、接合に必要な半田接合部51の厚さとピッチとは、一定の範囲内で比例関係にあり、ピッチが広くなるに従って半田接合部51の必要厚さも増加する。このため、ピッチと半田接合部51の厚みが適当でない場合には、ブリッジや未接合等の接合不良が発生する。
これらのことにより、上述したピッチに対応した半田接合部51が形成できる開口部61、62は、マスク60製作時に適宜設定することで、マスク60を形成する。また、開口部61、62は2種類でなくともよく、適宜、実装する電子部品40によりその種類、形状等を設定してマスク60を形成する。
なお、基板30Aは、基板30Aの上面に、電子部品40の実装エリアや回路等のパターン31を有し、その上面は平坦に形成されている。パターン31は、それぞれ接合させる電子部品40の大きさによりその範囲は異なっている。
電子部品40は、ピッチの短い電子部品40cと、ピッチの長い電子部品40dを用い、基板30Aのパターン31と接合する接合端子41c、41dをそれぞれ有している。
また、パターン31と電子部品40とを接合するために、ペースト状の半田50を用いて半田接合部51を形成する。この半田接合部51は、電子部品40cを実装する上で適当な半田接合部51aと、電子部品40dを実装するのに適当な半田接合部51bが形成される。
このように構成された実装装置1Aでは、基板30Aの上面にマスク60を配置させるとともに、スキージ装置20をマスク60の上面に沿って進行方向に移動させることで半田50を各開口部61、62へ充填させる。開口部61、62に半田50が充填されたら、マスク60を基板30Aから離間させることで、パターン31に半田接合部51が転写される。
次に、実装装置1Aを用いた実装方法を図5、6を用いて説明する。
まず、パターン31が形成された基板30Aの上面に、開口部61、62の位置を合わせてマスク60を当接させる。次に、マスク60の上面にスキージ装置20を配置させるとともに、複数の分割スキージ21の進行方向Sに半田50を供給する。
半田50を供給したら、複数の分割スキージ21に圧力Pを印加することでマスク60に所定の圧力で押圧させつつ進行方向Sに移動させる。図5中では、まず下段部63を分割スキージ21が移動することで、開口部61に半田50が充填され、半田接合部51aが形成される。
継続してスキージ装置20を移動させ、図6に示すように、マスク60の上段部64に複数の分割スキージ21が移動すると、上段部64に位置する分割スキージ21は、マスク60の形状に沿って上方に移動する。これにより、上段部64をスキージ装置20が移動し、分割スキージ21が半田50を掻き均しつつ、上段部64の上面を移動する。これにより、半田50は、上段部64に設けられた開口部62へ均一に充填し、半田接合部51bが形成される。このとき、マスク60の下段部63から上段部64へと連続する斜面65により分割スキージ21が案内され滑らかに移動する。なお、斜面65を有してなくとも移動可能である。
さらに継続してスキージ装置20が移動すると、上段部64の分割スキージ21は下段部63に移動する。このように、全てのマスク60に設けられた開口部61、62のすべてに半田50を充填させることで、半田接合部51(51a、51b)を形成する。半田接合部51の形成後、基板30Aからマスク60を除去(脱離)させることで、半田接合部51を基板30Aのパターン31上に転写させる。図7に示すように、この転写した半田接合部51上に電子部品40を配置する。このとき、形成した半田接合部51a、51bに適応する電子部品40c、40dがそれぞれ配置される。
次に、電子部品40配置させた基板30Aを、例えばリフロー炉により加熱し、電子部品40とパターン31とを接合させる。これにより、基板30Aに電子部品40が実装される。
このように、分割した複数の分割スキージ21をマスク60の上面形状に沿って移動させることで、その厚さ又は形状の異なる開口部61、62に均一に半田50を充填させることが可能となる。このため、例えば、下段部63や上段部64等の開口部61、62の大きさや厚さによる半田接合部51の未充填や少量充填等を防止することが可能となる。
また、このような高さの異なるマスク60(厚さの異なる開口部61、62)を用いても半田接合部51(51a、51b)が形成可能であり、図7に示すように、ピッチの異なる電子部品40(40c、40d)を実装しても、接合不良を起こすことなく、パターン31と電子部品40とを接合することが可能となる。
上述したように、本実施の形態に係る電子部品の実装装置1Aを用いた実装方法によれば、基板30A上に厚さ及び大きさの異なる半田接合部51(51a、51b)を確実に形成することが可能となる。また、厚さ及びピッチの異なる半田接合部51を同一基板30A上に1度に転写することが可能となり、ピッチの異なる電子部品40であっても、接合不良を確実に防止することが可能となる。さらに、一度に半田接合部51を転写可能なため、生産性も向上する。
次に変形例について説明する。例えば、上述した例では、段差を有する基板30、又は、厚みの異なる開口部61、62を有するマスク60の一方を用いて半田接合部51を形成するとしたが、これらはどちらか一方を用いるのではなく、両方を組み合わせて用いてもよい。段差を有する基板に、その上下面に段差を有し開口部の大きさの異なるマスクを用いることで、高さとピッチの異なる電子部品を実装する場合に、段差を有する基板に厚さの異なる半田接合部51を設けて電子部品を実装することが可能となる。
これにより、ピッチ及び高さの異なる電子部品であっても、基板下面から電子部品上面の高さを均一とし、さらに接合不良を防止することが可能となる。このため、電子部品を実装しても、基板から電子部品の上面までの高さを可能な限り低くすることが可能となり、小型化とすることができる。
また、上述した例では、複数の分割スキージ21の進行方向の移動を制限するために、棒状の2本のガイド23を孔部22に挿入する構成としたが、これを、複数の分割スキージ21の外面からそれぞれが当接した分割スキージ21を分割スキージ21の長手方向に拘束する構成のガイドでも適用できる。即ち、ガイドは、基板に対して複数の分割スキージ21が個々に上下方向に移動可能であって、進行方向に対して同一に移動可能であればよい。このため、他の構成でも、上述したような移動の規制が可能であれば適用できる。
さらに、上述した例では、複数の分割スキージ21に基板に押圧する方向に圧力を印加するとしたが、これは、例えば個々に弾性体(例えばバネ)を設ける構成や、油圧機構等で分割スキージ21の圧力が一定となる構成にしてもよい。また、分割スキージ21のそれぞれ、又は、全体に一定の圧力を加えるのではなく、制御装置により、各分割スキージ21の位置によりそれぞれの圧力を変化させる圧力制御が可能な手段を用いても適用できる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
本発明の第1の実施の形態に係る電子部品の実装装置の構成を示す斜視図。 同実装装置を用いた実装方法の一工程を示す斜視図。 同実装装置を用いた実装方法の一工程を示す斜視図。 同実装装置を用いて電子部品を実装した一例を示す側面図。 本発明の第2の実施の形態に係る電子部品の実装装置の構成及び同実装装置を用いた実装方法の一工程を示す斜視図。 同実装装置を用いた実装方法の一工程を示す斜視図。 同実装装置を用いて電子部品を実装した一例を示す側面図。 従来の実装装置の一例を模式的に示す説明図。 従来の実装装置の一例を模式的に示す説明図。
符号の説明
1…実装装置、10…マスク、11…開口部、12…上段部、13…下段部、14…斜面、20…スキージ装置、21…分割スキージ、22…孔部、23…ガイド、24…移動装置、30…基板、31…パターン、33…凹部、50…半田、51…半田接合部、P…圧力、S…進行方向。

Claims (5)

  1. その下面がパターンを有する基板の上面に沿って形成され、上下面を貫通するとともに前記パターンに対応する複数の開口部を有し、その上面が平坦、又は、凹凸部を有する形状に形成されたマスクと、
    このマスク上面の形状に沿って移動可能に形成された複数の分割スキージと、
    これら複数の分割スキージを、前記マスクの上面形状に沿ってそれぞれ垂直方向にのみ独立して移動可能に支持するガイド部材と、
    前記複数の分割スキージを前記マスク側へ押圧する押圧手段と、
    前記複数の分割スキージを移動させる移動手段と、を具備することを特徴とする電子部品の実装装置。
  2. 前記基板は、その上面に段部を具備し、
    前記複数の開口部は、その深さが同一に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装装置。
  3. 前記基板は、その上面に段部を具備し、
    前記複数の開口部は、その深さが異なる深さに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装装置。
  4. 前記基板は、上面が平坦に形成され、
    前記複数の開口部は、その深さが異なる深さに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装装置。
  5. その下面がパターンが形成された基板の上面に沿って形成され、上下面を貫通するとともに前記パターンに対応する複数の開口部を有し、その上面が平坦、又は、凹凸部を有する形状のマスクを前記基板に重ねる工程と、
    複数の分割スキージを前記マスクの上面に当接させ、前記複数の分割スキージに前記マスク側へ所定の圧力で押圧するとともに、前記複数の分割スキージをそれぞれ独立して前記マスクの上面に沿って移動させることで前記開口部に半田を供給する工程と、
    前記マスクを前記基板から除去し、前記パターンに対応する半田接合部を形成する工程と、
    前記半田接合部に電子部品を配置させ、前記基板を加熱することで、前記電子部品と前記パターンとを前記半田により接合する工程とを備えたことを特徴とする回路基板の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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