JP2008300556A - Frame clamp - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ダイシング装置においてチャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプに関するものである。 The present invention relates to a frame clamp disposed on the outer periphery of a chuck table in a dicing apparatus.
IC,LSI等の半導体チップが複数のストリートによって区画され表面に形成された半導体ウエーハは、ダイシング装置によって個々の半導体チップに分割される。半導体ウエーハは、ダイシングテープによってウエーハ径より数cm大きい環状フレームの開口部のほぼ中央に固定されてチャックテーブル上に装着され、ダイシングブレードによって分割される。 A semiconductor wafer in which semiconductor chips such as IC and LSI are partitioned by a plurality of streets and formed on the surface is divided into individual semiconductor chips by a dicing apparatus. The semiconductor wafer is fixed to substantially the center of the opening of the annular frame that is several cm larger than the wafer diameter by a dicing tape, mounted on the chuck table, and divided by a dicing blade.
ダイシングブレードは、高速に回転しながらウエーハなどのワークを切削するが、不完全切断(いわゆる、ハーフカット)を長時間続けたり、ストリート上の評価用エレメント(TEGパターン)を切断し続けることで、樹脂等の切削屑がブレード先端に付着し、ブレードが目詰まり、切れ味の低下が発生してしまう。 The dicing blade cuts a workpiece such as a wafer while rotating at a high speed, but continues incomplete cutting (so-called half-cutting) for a long time or continues to cut an evaluation element (TEG pattern) on the street. Cutting scraps such as resin adhere to the tip of the blade, the blade is clogged, and sharpness is reduced.
このような現象に対処するため、従来から、ドレス部材にダイシングブレードでハーフカットすることで目詰まりを解消するドレッシング作業を行うようにしている。ドレッシング作業は、ワークを載置するチャックテーブルに、ワーク同様に、ドレス部材を載置して、数ライン〜数十ライン切り込むことで実施され、自動的に行われる場合もあれば、オペレータによって実施されることもある(例えば、特許文献1参照)。 In order to cope with such a phenomenon, conventionally, dressing work for eliminating clogging is performed by half-cutting the dressing member with a dicing blade. The dressing operation is performed by placing a dressing member on the chuck table on which the workpiece is placed, and cutting several lines to several tens of lines, and may be performed automatically or by an operator. (For example, refer to Patent Document 1).
しかし、特許文献1に示される方法は、ワークに代えてドレス部材をチャックテーブル上に載置させなければならず、ワークの加工途中でドレッシング作業を行う場合、一旦加工を中断してワークに代えてドレス部材を載置し直す必要があり、再度ワークをチャックテーブル上に載置させて加工を再開させる前に、切断する位置を確認する作業(アライメント)が必要となってしまい、煩雑である。 However, in the method disclosed in Patent Document 1, the dressing member must be placed on the chuck table in place of the workpiece. When performing the dressing operation during the machining of the workpiece, the machining is temporarily interrupted and replaced with the workpiece. The dress member needs to be re-installed, and before the work is placed on the chuck table again and the processing is resumed, an operation (alignment) for confirming the cutting position is necessary, which is complicated. .
これに対して、ドレス部材専用のサブチャックテーブルをチャックテーブルに隣接する位置に設けたり、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設けたりする方法がある(例えば、特許文献2,3参照)。 On the other hand, there is a method in which a sub chuck table dedicated to a dressing member is provided at a position adjacent to the chuck table, or a dressing member is attached to a position adjacent to a work on a dicing tape (for example, Patent Documents). 2 and 3).
しかしながら、ドレス部材専用のサブチャックテーブルを設ける方法は、ダイシング装置の内部にサブチャックテーブル用のスペースを必要とし、また、ダイシング装置の構造に変更を要し、コストがかかるといった問題点がある。また、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設ける方法は、ワークをダイシングテープで固定する度にドレス部材を貼り付ける作業が必要となり、ドレス部材の脱着作業が多くて煩わしい。また、近年では、半導体ウエーハ等のワークは、大径化する傾向にあり、ダイシングテープのほぼ全域をワークが占有してしまい、ワークに隣接する位置にドレス部材を配設できない場合もある。 However, the method of providing the dressing member dedicated sub-chuck table requires a space for the sub-chuck table inside the dicing apparatus, and requires a change in the structure of the dicing apparatus, resulting in high costs. In addition, the method of attaching and attaching the dressing member at a position adjacent to the work on the dicing tape requires an operation of attaching the dressing member every time the work is fixed with the dicing tape, and the dressing member needs to be attached and detached. . In recent years, a workpiece such as a semiconductor wafer tends to have a large diameter, and the workpiece occupies almost the entire area of the dicing tape, and there is a case where the dressing member cannot be disposed at a position adjacent to the workpiece.
このような事情は、ドレス部材に限らず、例えばダイシングブレードの位置修正のためのカーフチェック用部材の場合でも同様である。 Such a situation is not limited to the dress member, and the same applies to, for example, a kerf check member for correcting the position of the dicing blade.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等のダイシング用補助作業を実行させることができるフレームクランプを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and does not require a dedicated space or a special structural change in the dicing apparatus, and is not subject to restrictions by the work, and dicing such as a dressing operation while holding the work. It is an object of the present invention to provide a frame clamp capable of performing an auxiliary work.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるフレームクランプは、チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプであって、少なくともフレーム押部を有し、前記フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a frame clamp according to the present invention is a frame clamp disposed on the outer periphery of a chuck table, and has at least a frame pressing portion, An auxiliary member for dicing is provided on the upper surface.
また、本発明にかかるフレームクランプは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、ダイシングブレードをドレッシングするためのドレス部材であることを特徴とする。 In the frame clamp according to the present invention as set forth in the invention described above, the dicing auxiliary member is a dressing member for dressing a dicing blade.
また、本発明にかかるフレームクランプは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、交換自在に設けられていることを特徴とする。 The frame clamp according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the dicing auxiliary member is provided so as to be replaceable.
本発明にかかるフレームクランプは、フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えるので、ダイシングテープでワークを保持した環状フレームを通常通りチャックテーブルに装着してクランプさせればよく、フレーム押部の上面の空きスペースを利用しているため、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にダイシング用補助部材を用いたダイシング用補助作業を実行させることができ、また、ダイシング用補助部材は、チャックテーブルの外周に配設されたフレームクランプのフレーム押部の上面に配設されており、ワークの大きさによる制約を受けないとともに、ダイシング用補助部材を装着したままワークの交換作業を行うこともでき、ダイシング用補助部材の脱着作業回数を減らすことができるという効果を奏する。 Since the frame clamp according to the present invention includes an auxiliary member for dicing on the upper surface of the frame pressing portion, the annular frame holding the workpiece with the dicing tape may be mounted and clamped on the chuck table as usual. Because the upper space is used, dicing equipment can be used for dicing assistance using dicing auxiliary members when necessary, without requiring special space or special structural changes in the dicing machine. The auxiliary member is arranged on the upper surface of the frame clamp part of the frame clamp arranged on the outer periphery of the chuck table, and is not subject to restrictions due to the size of the workpiece, and the workpiece can be replaced with the auxiliary member for dicing attached. Work can be carried out, and the number of dicing auxiliary member removal / removal operations can be reduced. There is an effect that that.
以下、本発明を実施するための最良の形態であるフレームクランプについて図面を参照して説明する。 Hereinafter, a frame clamp which is the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施の形態のフレームクランプを備えるダイシング装置の構成例を示す概略斜視図である。このダイシング装置1は、半導体ウエーハ等のワークを切削するための装置であり、例えばワーク2として半導体ウエーハをダイシングする場合は、ワーク2は、ダイシングテープ3を介して環状フレーム5と一体となった状態でカセット部11に複数枚収容される。そして、ダイシング装置1は、搬出入手段12、搬送手段13、洗浄手段14、搬送手段15とともに、環状フレーム5と一体となったワーク2をフレームクランプ20で保持するチャックテーブル16と、アライメント用のカメラ17と、チャックテーブル16に保持されたワーク2を切削する切削手段18とを備える。
FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating a configuration example of a dicing apparatus including a frame clamp according to the present embodiment. The dicing apparatus 1 is an apparatus for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer. For example, when dicing a semiconductor wafer as the
搬出入手段12は、カセット部11に収納されたワーク2(環状フレーム5)を搬送手段13が搬送可能な載置領域に搬出するとともに、切削処理済みのワーク2をカセット部11に搬入するものである。搬送手段13は、搬出入手段12によって載置領域に搬出されたワーク2をチャックテーブル16上に搬送するものである。また、洗浄手段14は、切削手段18による処理済みのワーク2を洗浄するものである。搬送手段15は、切削手段18による処理済みのワーク2をチャックテーブル16上から洗浄手段14へ搬送するものである。
The unloading / unloading means 12 unloads the workpiece 2 (annular frame 5) accommodated in the
また、チャックテーブル16は、図示しない駆動源に連結されて回転可能である。また、チャックテーブル16は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による送り機構によってX軸方向に移動可能に設けられている。また、チャックテーブル16は、図3等に示すように、中央にワーク2部分を負圧源による吸引力で吸着保持するためのポーラス材による吸着部16aを有する。カメラ17は、チャックテーブル16に保持されたワーク2の表面を撮像するためのものであり、図示しないアライメント部は、カメラ17によって取得した画像を基に切削すべき領域部分を検出し、切削手段18による切削動作の位置づけに供する。
The chuck table 16 is connected to a drive source (not shown) and is rotatable. The chuck table 16 is provided so as to be movable in the X-axis direction by a feed mechanism such as a ball screw, a nut, a pulse motor or the like. Further, as shown in FIG. 3 and the like, the chuck table 16 has a
切削手段18は、チャックテーブル16に保持されたワーク2をダイシングブレード19によって切削するもので、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない切り込み送り機構によってZ軸方向に昇降移動可能に設けられ、また、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない割り出し送り機構によってY軸方向に移動可能に設けられている。
The cutting means 18 cuts the
ついで、本実施の形態のフレームクランプ20について説明する。図2は、本実施の形態のフレームクランプ20を含むチャックテーブル16付近の構成例を示す平面図であり、図3は、ワークダイシング時のチャックテーブル16付近の構成を示す正面図であり、図4は、ドレッシング時のチャックテーブル16付近の構成を示す正面図である。本実施の形態のフレームクランプ20は、チャックテーブル16よりも一回り大きく形成された環状フレーム5の複数個所を保持するためのものであり、チャックテーブル16の外周にX,Y軸方向において十字状をなす4箇所に配設されている。
Next, the
ここで、各フレームクランプ20は、それぞれ半径方向に延在させた2本ずつの支持ピン21によってチャックテーブル16に固定支持されている。また、各フレームクランプ20は、環状フレーム5が載置される載置部22と、回動機構23によって開閉回動自在に設けられ載置部22との間で環状フレーム5を挟持するフレーム押部24とを備える可動式タイプとして構成されている。
Here, each
また、各フレームクランプ20は、そのフレーム押部24の上面上に、ダイシング用補助部材であるドレス部材25を備える。ドレス部材25は、フレーム押部24の表面形状の範囲内に収まる形状・大きさであれば、必要加工量等に応じて任意サイズ、形状のものでよいが、本実施の形態では、フレーム押部24の表面形状に合せて同等サイズの短冊形状に形成されている。ここで、ドレス部材25の種類としては、使用するダイシングブレード19の砥粒サイズやボンド種類に合せ、GC(グリーンカーボランダム)砥粒、WA(ホワイトアランダム)砥粒などの砥粒が含まれる樹脂板や、Si板等が用いられる。また、フレーム押部24の上表面に対するドレス部材25の取り付けは、接着剤による接着、ワックスによる接着、両面テープによる接着等の他、バキューム吸着方法、挟持方法等の適宜方法を用いればよいが、ドレス部材25自体は消耗品であるので、交換自在に装着することが望ましい。
Each
このような構成において、対象となるワーク2を有する環状フレーム5をチャックテーブル16上に装着してフレームクランプ20で保持し、カメラ17を用いてワーク2のストリートに対する切削位置のアライメント処理を事前に行った後、図3に示すように、ワーク2の切削すべき部分にダイシングブレード19を位置付け、チャックテーブル16をX軸方向に加工送りさせることで、ワーク2のダイシングを行う。ここで、ワーク2のストリートは、升目状に形成されているため、一方向のストリートに沿ったダイシングの終了後、チャックテーブル16を90度回動させることで、一方向に直交する他方向のストリートに沿ったダイシングを行う。この際、フレームクランプ20のフレーム押部24の上面のドレス部材25は、図3に示すようにワーク2の表面より一段低い位置に保持されており、ドレス部材25がダイシングブレード19によるダイシング動作に支障をきたすことはない。
In such a configuration, the
そして、このようなダイシング動作中またはダイシング動作の終了後の任意の時点で、ダイシングブレード19のドレッシングを行うときには、例えば、図4に示すように、チャックテーブル16を−X方向にわずかに移動させるとともにダイシングブレード19をわずかに下降させてドレス部材25に接触するように位置付け、チャックテーブル16を+X方向に移動させてドレス部材25を短手方向に切削させる。このとき、チャックテーブル16は、ワーク2の向きを回転させるために、90度回転され得るが、ドレス部材25は、X,Y軸方向の両方に直交配設されているので、ワーク2がいずれの向きであっても、X軸方向のワーク2外にドレス部材25が存在することとなり、チャックテーブル16の回転の影響を受けずにドレッシングを行うことができる。また、ドレス部材25は、常にワーク2の近傍に存在するため、ワーク2の切削途中においてダイシングブレード19をドレッシングする場合においても、チャックテーブル16を若干X軸方向に加工送りするだけで実行させることができる。このようなドレッシング作業は、ダイシングブレード19のY軸方向の割り出し送りを行うことで、数ライン〜数十ライン分実行させる。
When dressing the
よって、本実施の形態によれば、フレームクランプ20自身がフレーム押部24の上面の空きスペースを利用してこの上面にドレス部材25を備えるので、ワーク2を保持した環状フレーム5を通常通りチャックテーブル16に装着してフレームクランプ20で保持させればよく、ダイシング装置1に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にドレス部材25を用いたドレッシング作業を実行させることができる。また、ドレス部材25は、環状フレーム5部分を保持するフレームクランプ20のフレーム押部24の上面領域に配設されており、ワーク2の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材25を装着したままワーク2の交換作業を行うこともでき、ドレス部材25の脱着作業回数を減らすこともできる。
Therefore, according to the present embodiment, the
また、本実施の形態によれば、ドレス部材25はフレームクランプ20のフレーム押部24の上面に装着されているので、切削途中でドレッシングを行う場合でもチャックテーブル16からワーク2を取り外してドレス部材を載置させるといった煩雑な作業を不要にでき、ワーク2の保持状態に変更がないため、アライメントをやり直す必要もないものである。また、ドレス部材25がダイシングブレード19のドレッシングに供され、消耗した際には、フレーム押部24から剥がして、新たなドレス部材7を交換装着すればよい。あるいは、フレームクランプ20全体を交換するようにしてもよい。
Further, according to the present embodiment, since the dressing
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、フレーム押部24が回転して環状フレーム5を押える可動式フレームクランプの例で説明したが、半径方向に進退自在なフレーム押部を半径方向に移動させて環状フレームを押えるタイプであってもよい。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the present embodiment, the example of the movable frame clamp that rotates the
また、本実施の形態では、ダイシング用補助部材としてドレス部材25を用い、ダイシングブレード19のドレッシング作業に供する例で説明したが、ドレス部材に限らず、同様に適用可能である。例えば、ワークを加工中、ブレード破損等の理由により、ブレード交換をせざるを得ない場合、ブレード装着ナットの締め付け具合やブレード個体差により、ブレード交換後のダイシング位置がY軸方向に微妙に変動する。そのため、ブレード交換後のダイシング位置を補正するため、ダミーのSi板等のワークに準ずる素材に実際に切り込み、アライメント用のカメラでダイシングラインを認識・補正する作業(カーフチェック)を行うのが一般的である。そこで、フレームクランプが備えるダイシング用補助部材としては、Si板等のカーフチェック用部材であってもよい。これによれば、カーフチェックを行う際も、ワークをダミーのSi部材等と交換し、載置し直す必要がないため、ワークを加工中であっても、容易にカーフチェックを実施することができる、といった効果を奏する。
In the present embodiment, the
16 チャックテーブル
20 フレームクランプ
24 フレーム押部
25 ドレス部材
16 Chuck table 20
Claims (3)
少なくともフレーム押部を有し、
前記フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするフレームクランプ。 A frame clamp disposed on the outer periphery of the chuck table,
Having at least a frame pressing part,
A frame clamp comprising a dicing auxiliary member on an upper surface of the frame pressing portion.
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