JP2008300307A - 電子放出素子,電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 - Google Patents
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Abstract
本発明では、長寿命で、高輝度狭エネルギー幅の電子放出素子および電子銃を実現することを目的とする。さらに、該電子放出素子および電子銃を搭載した、高輝度かつ高分解能の電子顕微鏡および電子線描画装置を実現することを目的とする。
【解決手段】
炭素を主成分とするチューブ状物質を用いた電子放出素子であって、チューブの肉厚を薄く、チューブ中空部へ適切な物質を充填したことを特徴とする。その結果、安定な構造の太径チューブ構造を実現し、かつエネルギー分散効果を低減する。よって、エネルギー幅が小さく長寿命の電子銃を提供できる。
【選択図】図4
Description
〔実施例〕
以下本発明の実施例を説明する。
602 ポーラス陽極酸化膜
603 炭素膜
604 ナノチューブ
701 素子一本を接合した導電性基材
702,802 電極
703,803 電極支持台
704 引出し電極
705,805 加速電極
706,806 引出し電極電源
707,807 加速電極電源
801 本発明の電子放出素子一本を接合した導電性基材
804 磁界レンズ
901,1001 電子銃
902,1002 アノード電極
903,1003 第一収束レンズ
904,1004 第二集束レンズ
905,1005 対物レンズ
906,1006 走査コイル
907,1007 サンプル
908,1008 二次電子検出器
909,1009 電子軌道
1010 ブランカー
Claims (9)
- 少なくとも一つの端が閉構造を有する炭素を主成分とするチューブ状物質において、直径が50nm以上で、肉厚が20nm以下であることを特徴とする電子放出素子。
- 少なくとも一つの端が閉構造を有する炭素を主成分とするチューブ状物質において、該チューブ上物質が、チューブが入れ子になった多層構造であり、該多層構造の層数が60層以下であることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1または2に記載の電子放出素子において、閉構造領域が多面体構造であることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1,2または3に記載の電子放出素子において、該チューブ状物質の中空部全体あるいはその一部分に、アモルファス状の物質、あるいは結晶性を持った物質が、充填していることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項4に記載の電子放出素子において、該充填物質が炭素を主成分とした物質であることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1から5のいずれかに記載の電子放出素子において、構成元素として炭素以外に3族および5族の元素のうち少なくとも一種類の元素を含有することを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1から6のいずれかに記載の電子放出素子と、該電子放出素子を支持する導電性基材とから構成される陰極と、該陰極から電子を放出させるための引出し電極と、該陰極から放出された電子を加速させるための加速電極を有することを特徴とする電子銃。
- 請求項7に記載の電子銃を搭載したことを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項7に記載の電子銃を搭載したことを特徴とする電子線描画装置。
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