JP2008285726A - フィルム温度測定装置及びそれを具備した巻取式真空成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 温度測定装置は、成膜装置の壁部に保持部9で移動可能に保持された金属管6と、金属管6内に設置された放射温度計7と、金属管6に設けた窓部12と、金属管6の窓部12の内側に配置した反射鏡13とを備えている。金属管6を移動させながら、フィルム4から金属管6の窓部12に入射する赤外線を、反射鏡13で反射して放射温度計7で検出することにより、成膜中のフィルム4の温度を複数箇所で測定する。金属管6に水冷ジャケット14を設けて、水冷することも可能である。
【選択図】 図3
Description
図2及び図3に示すフィルム温度測定装置を搭載しているロールツーロール方式の巻取式真空成膜装置を使用し、厚さ38μm、幅262mmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン製、カプトン(登録商標))を取り付けた。停止しているフィルムに、シース径0.5mmのK熱電対を貼り付けると共に、反射鏡を付帯した放射温度計(ジャパンセンサー製、TMZ53−350F7−100N67M5−D、検出波長7.9μm)を金属管内に挿入し、弗化バリウム製の窓部材を通して熱電対と同等の場所を測定できるように調整した。
フィルムを0.38m/minの速度で走行させた以外は、上記実施例1と同様にして、フィルム上に銅薄膜を成膜すると共に、その際のフィルム温度を測定した。得られた結果を下記表1に示す。
投入電力を20W/cm2にしたこと以外は、上記実施例1と同様にして、フィルム上に銅薄膜を成膜すると共に、その際のフィルム温度を測定した。得られた結果を下記表1に示す。
ロータリーシリンダ及びリニアシリンダを使用せず、フィルムの中央部(測定位置B)の温度のみを測定した以外は、上記実施例1と同様にして、フィルム上に銅薄膜を成膜した。得られた結果を下記表1に示す。フィルムの温度測定は測定位置Bのみであり、他の位置の温度データを取得することはできなかった。
上記実施例1と同様にして、図2及び図3に示すフィルム温度測定装置を搭載しているロールツーロール方式の巻取式真空成膜装置を使用し、厚さ38μm、幅262mmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン製、カプトン(登録商標))を1.5m/minの速度で走行させながら、スパッタリング法により10W/cm2の電力でフィルム上に銅薄膜を形成した。
2 成膜ドラム
3、4 フィルム
5 電極/蒸発源
6 金属管
7 放射温度計
8 壁部
9 保持部
10 ロータリーシリンダ
11 リニアシリンダ
12 窓部
13 反射鏡
14 水冷ジャケット
15 防着板
Claims (6)
- ロールツーロール方式の真空成膜装置により走行するフィルムの一面に薄膜を形成する際に、該フィルムの成膜面と反対側の面から放射温度計により該フィルムの温度を測定する温度測定装置であって、前記成膜装置の壁部に保持部で移動可能に保持された金属管と、金属管内に設置した放射温度計と、金属管に設けた窓部と、金属管の窓部内側に配置した反射鏡とを備え、前記フィルムから金属管の窓部に入射する赤外線を、反射鏡で反射して放射温度計で検出することにより、成膜中のフィルムの温度を測定することを特徴とするフィルム温度測定装置。
- 前記金属管の保持部がロータリーシリンダとリニアシリンダに接続され、前記金属管が該金属管の軸の回りに回転可能で且つ該金属管の軸方向に移動可能であることを特徴とする、請求項1に記載のフィルム温度測定装置。
- 前記金属管の外周部が水冷されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のフィルム温度測定装置。
- 前記窓部に設置した窓部材が、弗化バリウム、弗化カルシウム、ZnSeから選ばれた1種からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のフィルム温度測定装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のフィルム温度測定装置を備えたことを特徴とする、ロールツーロール方式により走行するフィルムの一面に薄膜を形成する巻取式真空成膜装置。
- 前記フィルム温度測定装置で測定したフィルムの温度を、蒸発源あるいは電極の電源装置及びフィルムの搬送装置にフィードバックして、投入電力とフィルム搬送速度を調節することによりフィルムの温度を制御することを特徴とする、請求項5に記載の巻取式真空成膜装置。
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