JP2008058044A - 樹脂フィルムの温度測定方法及び加熱成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜室4内の樹脂フィルム1の温度測定表面側に、位置あるいは反射面角度の変更が可能な少なくとも1つの反射鏡11を設置する。反射鏡11の位置あるいは反射面角度を、駆動軸13などで成膜室4の外から変えることにより、樹脂フィルム1の表面の異なる測定位置の赤外線を反射鏡11で反射させ、単一の放射温度計10に導いて温度を測定する。
【選択図】 図2
Description
図2に示すロールツーロール方式の巻取式真空成膜装置を使用し、その成膜室4の外に放射温度計10(IRCON製、MODELINE3、検出波長7.92μm)を設置した。また、その成膜室4内には駆動軸13に支持した4個の反射鏡11を配置し、駆動軸13で反射鏡11の位置や反射面角度を変えることにより、フィルム表面の異なる測定位置の赤外線を反射して、弗化バリウムの透過窓12を通して放射温度計10に導くように設置した。
上記ポリイミドフィルムを0.38m/分の速度で移動させたこと以外は上記実施例1と同様にして、スパッタリング法でフィルム上に銅を成膜した。この成膜過程において、実施例1と同様に反射鏡を選択しあるいは位置を変えることにより、図4に示すフィルム表面の各温度測定位置における温度を単一の放射温度計で測定した。尚、この条件で成膜したフィルムは変形又は破断することなく、安定して巻き取ることができた。
スパッタリング法により銅を成膜する際に、20W/cm2の投入電力としたこと以外は上記実施例1と同様にして成膜した。この成膜過程において、実施例1と同様に反射鏡を選択しあるいは位置を変えることにより、図4に示すフィルム表面の各温度測定位置における温度を単一の放射温度計で測定した。尚、この条件で成膜したフィルムには、しわが発生した。
ロータリーシリンダ及びリニアシリンダにより駆動軸を駆動せず、固定された1個の反射鏡のみを用いてフィルム表面の温度測定を行った以外は上記実施例1と同様にして、スパッタリング法によりフィルム上に銅を成膜した。
2 巻出ロール
3 巻取ロール
4 成膜室
5 ヒータ
6 カソード
7 アノード
8 ターゲット
9 温度計
10 放射温度計
11 反射鏡
12 透過窓
13 駆動軸
14 支持部
15 ロータリーシリンダ
16 リニアシリンダ
Claims (4)
- 移動している樹脂フィルム表面の温度を放射温度計により測定する方法であって、樹脂フィルムの温度測定表面側に位置あるいは反射面角度の変更が可能な少なくとも1つの反射鏡を設置し、反射鏡の位置あるいは反射面角度を変えることにより、樹脂フィルム表面の複数の異なる測定位置の赤外線を反射鏡で反射させて放射温度計に導き、単一の放射温度計で複数の測定位置における温度を測定することを特徴とする樹脂フィルムの温度測定方法。
- 反射面角度が異なる複数の反射鏡を駆動軸から放射状に伸びた複数の支持部にそれぞれ設置し、駆動軸を回転させるか又は軸方向に移動させることにより、樹脂フィルム表面の複数の異なる測定位置の赤外線をそれぞれ反射鏡で反射させて放射温度計に導くことを特徴とする、請求項1に記載の樹脂フィルムの温度測定方法。
- 移動する樹脂フィルムを加熱し且つ樹脂フィルム表面の温度を放射温度計により測定して、その樹脂フィルム表面上に膜形成するロールツーロール方式の加熱成膜装置であって、成膜室内の樹脂フィルムの温度測定表面側に位置あるいは反射面角度の変更が可能な少なくとも1つの反射鏡が設置され、反射鏡の位置あるいは反射面角度を成膜室外から変えることができ、樹脂フィルム表面の複数の異なる測定位置の赤外線を反射鏡で反射させて放射温度計に導き、単一の放射温度計で複数の測定位置における温度を測定することを特徴とする樹脂フィルムの加熱成膜装置。
- 反射面角度が異なる複数の反射鏡が駆動軸から放射状に伸びた複数の支持部にそれぞれ設置され、駆動軸を回転させるか又は軸方向に移動させることにより、樹脂フィルム表面の複数の異なる測定位置の赤外線をそれぞれ反射鏡で反射させて放射温度計に導くことを特徴とする、請求項3に記載の樹脂フィルムの加熱成膜装置。
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JP2006232954A JP2008058044A (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 樹脂フィルムの温度測定方法及び加熱成膜装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013210190A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Nagoya Univ | 温度計測装置、および温度計則方法 |
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-
2006
- 2006-08-30 JP JP2006232954A patent/JP2008058044A/ja active Pending
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