JP2008283277A - 半導体スイッチ回路 - Google Patents

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康照 岡本
Yoshiyuki Tonami
良幸 利波
Maki Mori
真希 森
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Abstract

【課題】インバータを構成する抵抗器を高抵抗とすることなく、消費電流の低減とスイッチング時間の向上を図る。
【解決手段】半導体スイッチ回路は、第1及び第2のスイッチ用FET9,10を用いてなるスイッチ回路38と、このスイッチ回路38の動作を、外部から印加される外部制御信号に基づいて制御する制御回路37とを具備し、制御回路37のインバータ28,29,30は、インバータ用FET6と負荷抵抗器13とを具備してなり、インバータ用FET6と負荷抵抗器13の相互の接続点には、第1及び第2のバッファ用FET7,8が直列接続されて構成されたバッファ31,32がそれぞれ接続されて、負荷抵抗器13における消費電力の低減と、スイッチング時間の向上が図られたものとなっている。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体スイッチ回路に係り、特に、制御回路の簡素化、動作特性の向上等を図ったものに関する。
近年、携帯電話、無線LANなどの無線応用機器が広く普及し、その需要が増している。これらの無線機器においては、その送受信切替、周波数や伝送モードの切替などに高周波スイッチ製品が広く用いられている。
図7には、従来から知られているこのような高周波スイッチの一例として、GaAsFET(ガリウムヒ素電界効果トランジスタ)を用いたSPDT(Single Pole Double Throw)高周波スイッチの構成例が示されており、以下、同図を参照しつつ、この従来回路について説明する。
この従来回路は、スイッチ回路38Aと、制御回路37Aとを具備し、外部制御端子2Aに印加される外部制御信号に応じて、第1の個別入出力端子4Aと第2の個別入出力端子5Aのいずれか一方と、共通入出力端子3Aとがスイッチ回路38Aを介して接続され、高周波の通過経路が形成されるよう構成されてなるものである。
なお、図7においては、制御回路37Aは、第1の個別入出力端子4Aへの経路となるスイッチFET(電界効果トランジスタ)9Aの制御回路部分のみが具体的に回路構成が示されたものとなっており、第2の個別入出力端子5Aへの経路となるスイッチFET5Aの制御回路部分は、回路シンボルで表されている。
この従来回路において、制御回路37Aは、外部制御端子2Aの数を極力少なくするため、デコーダの機能を果たすものとなっており、スイッチFET9Aの制御部分は、インバータ28Aが用いられたものとなっている。
GaAsFETを用いた半導体スイッチ回路において、制御信号のデコードに用いられる論理ゲート回路には、種々の構成方法があるが、抵抗負荷インバータを用いるのが一般的である。
図7に示された構成例において、インバータ28Aは、エンハンスメント型FET6Aとインバータ用負荷抵抗器13Aとを用いてなり、エンハンスメント型FET6Aのドレインは、インバータ用負荷抵抗器13Aを介して電源端子1Aに接続されており、外部から供給される電源電圧VDDが印加されるようになっている。また、エンハンスメント型FET6Aのソースは、グランドに接続される一方、ゲートには、外部からの外部制御信号が印加され、ドレインに得られる電圧がスイッチFET9Aのゲートへ印加されるよう構成されたものとなっている。
このような抵抗負荷インバータの場合には、Low出力であるVL出力時には、負荷抵抗器13Aにおける電圧降下で出力電圧が定まるため、負荷抵抗器13A及びエンハンスメント型FET6Aを介してグランドへ流れる電流、すなわち、捨て電流と称される電流が流れることとなり、かかる捨て電流ILは、IL=VDD/RLと表される。なお、ここで、VDDは、負荷抵抗器13Aに印加される電源電圧、RLは、負荷抵抗器13Aの抵抗値とする。
そして、この捨て電流は、そのまま制御回路37Aの消費電流となる。
かかる捨て電流を低減するには、負荷抵抗器13Aを高抵抗にする必要があるが、単純に高くすることはできず、回路面積とスイッチング時間とのトレードオフが必要となる。
なお、このような半導体スイッチ回路としては、例えば、特許文献1等に示されたものがある。
特開平11−17510号公報(第3−4頁、図1−図2)
しかしながら、GaAsFETを用いた集積回路においては、薄膜抵抗、チャネル抵抗等を抵抗素子として用いることができるが、それらのシート抵抗を高くすることは難しく、必然的に抵抗形成に要する面積が大きくなるという欠点がある。
また、仮に、上述のように抵抗形成に要する面積の増大にも関わらず、抵抗器13の抵抗値を大きくすると、スイッチFETとしてのエンハンスメント型FET6の負荷が大きくなることによるスイッチング時間の増大という不都合を招く。
このように、制御回路を用いる構成を有する半導体スイッチ回路においては、制御回路のインバータにおける捨て電流を低減させるために、面積を要する高抵抗を用いざる得ず、特に、スイッチ回路を多端子化する場合には、回路面積の増大がより顕著になるという問題がある。
また、インバータの抵抗値を大きくすることによるFETのスイッチング時間の増大が生じるため、抵抗値は、スイッチング時間と回路面積とのトレードオフという観点から決定せざる得ないという問題もある。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、インバータを構成する抵抗器を高抵抗とすることなく、消費電流の低減とスイッチング時間の向上を図ることのできる半導体スイッチ回路を提供するものである。
本発明の他の目的は、回路面積の増大を招くことなく消費電流の低減とスイッチング時間の向上を図ることのできる半導体スイッチ回路を提供することにある。
上記本発明の目的を達成するため、本発明に係る半導体スイッチ回路は、
少なくとも1つの共通入出力端子と、
2つ以上の個別入出力端子と、
前記各々の個別入出力端子に対応して設けられた電界効果トランジスタが、外部からの制御信号に応じて択一的に導通状態とされることで、当該導通状態とされた電界効果トランジスタに対応する個別入出力端子と前記共通入出力端子とが接続されるよう構成されてなるスイッチ回路と、
前記スイッチ回路の電界効果トランジスタに対する制御信号を、外部から印加される外部制御信号に基づいて生成、出力する制御回路と、を具備し、
前記制御回路は、抵抗器と電界効果トランジスタとが、電源とグランドとの間に直列接続されて、前記外部制御信号を反転する抵抗負荷インバータを有してなる半導体スイッチ回路であって、
前記制御回路の抵抗負荷インバータの出力段には、バッファが設けられ、
当該バッファは、2つの電界効果トランジスタを有し、その一方の電界効果トランジスタのソースと他方の電界効果トランジスタのドレインとが相互に接続され、前記一方の電界効果トランジスタのドレインには電源電圧が印加され、前記他方の電界効果トランジスタのソースはグランドに接続され、前記一方の電界効果トランジスタのゲートは、前記抵抗負荷インバータを構成する抵抗器と電界効果トランジスタとの接続点に接続される一方、前記他方の電界効果トランジスタのゲートは、前記抵抗負荷インバータを構成する電界効果トランジスタのゲートに接続され、前記2つの電界効果トランジスタの相互の接続点から前記スイッチ回路の電界効果トランジスタへ対する制御信号を出力可能に構成されてなるものである。
かかる構成においては、前記個別入出力端子の少なくとも一つ、又は、前記共通入出力端子と、グランドとの間に、キャパシタと直列接続されたシャントスイッチ素子を設けてなるものとしても好適である。
本発明によれば、抵抗負荷インバータの出力段に設けたバッファにより、抵抗負荷に流れる電流を低減したので、消費電流の低減と共に、スイッチング時間の向上を図ることができ、しかも、抵抗負荷インバータに用いられる抵抗器を高抵抗とする必要がないので、回路面積の増大を招くことがないという効果を奏するものである。
以下、本発明の実施の形態について、図1乃至図6を参照しつつ説明する。
なお、以下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。
最初に、本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の第1の構成例について、図1を参照しつつ説明する。
この第1の構成例における半導体スイッチ回路は、外部からの制御信号のデコード機能を果たす制御回路37と、この制御回路37の出力信号に応じて信号通過経路が形成されるスイッチ回路38とを具備して構成されたものとなっている。
制御回路37は、第1乃至第3のインバータ28〜30と、第1及び第2のバッファ31,32とを具備して構成されたものとなっている。なお、図1においては、後述するスイッチ回路38を構成する2つのスイッチ用電界効果トランジスタ9,10の内、一方のスイッチ用電界効果トランジスタ9の制御に用いられる第1のインバータ28と第1のバッファ31の具体的な回路構成が示されており、他のインバータ29,30及びバッファ32については、回路シンボルで表されたものとなっている。
また、以下の説明においては、「電界効果トランジスタ」を「FET」と称することとする。
第1のインバータ28の入力段と第2のインバータ29の入力段は、共に、外部からの制御信号が印加される外部制御端子2に接続されている。
そして、第1のインバータ28の出力段には、第1のバッファ31が接続されており、第1のバッファ31の出力は、スイッチ回路38を構成する一方のスイッチ用FET9のゲートに印加されるようになっている。
一方、第2のインバータ29の出力段には、第3のインバータ30が接続され、この第3のインバータ30の出力段には、第2のバッファ32が接続されており、この第2のバッファ32の出力は、スイッチ回路38を構成する他方のスイッチ用FET10のゲートに印加されるようになっている。
本発明の実施の形態において、第1のインバータ28は、インバータ用FET6と、負荷抵抗器13とを具備して構成されたものとなっている。
すなわち、インバータ用FET6のドレインは、負荷抵抗器13を介して電源端子1に接続されており、電源電圧が印加されるようになっている一方、インバータ用FET6のソースは、グランドに接続されたものとなっている。また、インバータ用FET6のゲートは、外部制御端子2に接続されている。
なお、本発明の実施の形態において、インバータ用FET6には、エンハンスメント型FETが用いられている。
そして、インバータ用FET6のドレインは、次述する第1のバッファ31を構成する第1のバッファ用FET7のゲートに接続されたものとなっている。
なお、上述の第1のインバータ28の具体的な回路構成は、第2及び第3のインバータ29,30についても同様に適用できるものである。
本発明の実施の形態における第1のバッファ31は、第1及び第2のバッファ用FET7,8から構成されたものとなっている。すなわち、第1のバッファ用FET7は、そのドレインに電源端子1を介して電源電圧が印加されるようになっている一方、ソースが、第2のバッファ用FET8のドレインと接続されている。そして、この第2のバッファ用FET8のソースは、グランドに接続されており、第1及び第2のバッファ用FET7,8は、電源とグランドとの間に直列接続されて設けられたものとなっている。
また、第2のバッファ用FET8のゲートは、第1のインバータ28を構成するインバータ用FET6のゲートに接続されている一方、第1のバッファ用FET7のソースと第2のバッファ用FET8のドレインとの接続点は、スイッチ回路38を構成する第1のスイッチ用FET9のゲートへ、同回路38に設けられた第1のゲート抵抗器14を介して接続されている。
なお、本発明の実施の形態において、第1及び第2のバッファ用FET7,8には、エンハンスメント型FETが用いられている。
また、上述の第1のバッファ31の具体的な回路構成は、第2のバッファ32にも同様に適用できるものである。
本発明の実施の形態におけるスイッチ回路38は、2つのスイッチ用FET9,10を主たる構成要素として構成されたものとなっている。本発明の実施の形態において、2つのスイッチ用FET9,10には、デプレッション型FETが用いられている。
この2つのスイッチ用FET9,10は、そのドレイン(又はソース)が相互に接続されて、電源印加用抵抗器22を介して電源電圧が印加されるようになっている。また、相互に接続された2つのスイッチ用FET9,10のドレイン(又はソース)は、第1のDCカットキャパシタ23を介して共通入出力端子3に接続されたものとなっている。
一方、スイッチ用FET(以下、「第1のスイッチ用FET」と称する)9のソース(又はドレイン)は、第2のDCカットキャパシタ24を介して第1の個別入出力端子4に接続されると共に、ドレインとソースとの間には、第1のドレイン・ソース間抵抗器18が接続されたものとなっている。
また、スイッチ用FET(以下、「第2のスイッチ用FET」と称する)10のソース(又はドレイン)は、第3のDCカットキャパシタ25を介して第2の個別入出力端子5に接続されると共に、ドレインとソースとの間には、第2のドレイン・ソース間抵抗器19が接続されたものとなっている。そして、第2のスイッチ用FET10のゲートは、第2のゲート抵抗器15を介して第2のバッファ32の出力段に接続されている。
かかる構成において、高周波信号が通過する第1及び第2のスイッチ用FET9,10のそれぞれのソース及びドレインには、電源印加用抵抗器22及び第1のドレイン・ソース間抵抗器18を介して、また、電源印加用抵抗器22及び第2のドレイン・ソース間抵抗器19を介して,電源端子1に印加された電源電圧VDDが供給され、その電圧値はVTERMに維持されるようになっている。通常、VTERMは、GaAsFETの場合、2〜3V程度とすることで、良好なスイッチとして機能させることができる。
そして、第1のスイッチ用FET9をOFF(オフ)状態とするには、第1のスイッチ用FET9のゲートへ対する制御回路37からの制御出力としては、論理値Lowに相当する電圧VLを出力すれば良く、この点においては、従来回路と同様である。
すなわち、本発明の実施の形態においては、インバータ用FET6及び第2のバッファ用FET8をON(オン)状態とすべく、外部制御端子2に所定の制御信号を印加する。これによって、インバータ用FET6及び第2のバッファ用FET8がONとなる一方、第1のバッファ用FET7は、OFFとなり、第1のスイッチ用FET9のゲートは、ほぼグランド電位とされるため、第1のスイッチ用FET9は、OFFとなる。
なお、この場合、外部制御端子2に印加された制御信号は、第2のスイッチ用FET10のゲートへも印加されるが、第1のスイッチ用FET9のゲートへの経路に比して、第2のインバータ29(若しくは第3のインバータ30)が一つ多く設けられているため、第2のスイッチ用FET10をONとすべく作用する。
一方、第1のスイッチ用FET9をON状態とする場合、上述の場合とは逆に、インバータ用FET6及び第2のバッファ用FET8をOFF状態とすべく、外部制御端子2に所定の制御信号が印加されることにより、インバータ用FET6及び第2のバッファ用FET8がOFF状態となる一方、第1のバッファ用FET7はON状態となる。
その結果、第1のバッファ用FET7からは、第1のスイッチ用FET9のゲートへ対して、論理値Highに相当する制御出力電圧VHが出力されることとなり、第1のスイッチ用FET9はON状態となる。
かかる場合、制御回路37を単体で動作させたとすると、制御出力電圧VHは、VH=VDD−VFとなり、従来回路の制御出力電圧よりも電圧VF分だけ電圧降下したものとなる。ここで、VFは、エンハンスメント型FETを用いた第1のバッファ用FET7の順方向電圧降下である。本発明の実施の形態のように、エンハンスメント型FETを用いた場合、通常、電源電圧VDDは、2.7V程度であるため、VF分の電圧降下は歪み特性に影響を及ぼす可能性がある。
ところが、本発明の実施の形態において、スイッチ回路38は、高周波信号が通過する第1及び第2のスイッチ用FET9,10のドレイン及びソースに、電源電圧VDDが直接供給される構成となっているため、上述のような制御出力電圧の低下を招くことなくスイッチ回路38の駆動が可能となっている。
すなわち、第1のスイッチ用FET9のゲートへの制御信号電圧がVHとなる場合、第1のバッファ31において、第2のバッファ用FET8がOFF状態であるため、第1のゲート抵抗器14を介して第1のスイッチ用FET9と接続されるこの第2のバッファ用FET8のドレインにおけるインピーダンスは、高インピーダンスの不定状態となる。そのため、第1のスイッチ用FET9のゲート電圧は、ソース及びドレインから変位電流を通じて充電されて電圧VTERMと同電位となり、その結果、制御出力電圧VH=VTERMとなる。そして、かかる状態において、第1のバッファ用FET7のゲート、ドレイン及びソースは、同電位となるため、制御出力電圧VHは、電圧VF分の電圧降下を生じないものとなる。
さらに、本発明の実施の形態においては、バッファ回路31,32を設けたことにより、第1、第2のスイッチ用FET9、10がOFF状態の場合に、従来回路と異なり、インバータ回路28、29におけるいわゆる捨て電流が殆ど発生しなくなるため、従来に比して制御回路37における消費電流が低減されたものとなっている。
また、第1及び第2のスイッチ用FET9,10は、そのゲート電圧が、先に述べたようにソース、ドレインから変位電流を通じて充電されるため、従来に比してスイッチング時間の向上が図られたものとなっている。
上述した構成は、SPDTスイッチの場合であるが、本発明は、SPDTスイッチに限定される必要がないことは勿論であり、それ以外の多入力、多出力スイッチにも適用できるものであり、特に、そのような多入力多出力スイッチに適用した場合に、有効性が顕著となるものである。
次に、本発明をDP4T(Double Pole 4 Throw)高周波スイッチに適用した場合の特性例について、図3乃至図5並びに図6を参照しつつ説明する。
最初に、図3に示された入力電力対消費電流の特性例について説明する。同図において、横軸は入力電力を表し、縦軸は、消費電流を表している。また、同図において、三角形と点線で示された特性線は、従来回路の入力電力対消費電流の特性例を、黒丸と実線で示された特性線は、本発明に係る半導体スイッチ回路の入力電力対消費電流の特性例を、それぞれ表している。
この図3に示された特性例によれば、例えば、入力電力28dBm以下において、従来回路では消費電流は約53μAであったのに対して、本発明に係る半導体スイッチ回路においては、同じ入力電力の範囲で大凡30μAと、従来回路に比して約60%以下に低減できていることが確認できる。
次に、図4に示された入力電力対第2高調波の特性(歪み特性)例について説明する。同図において、横軸は入力電力を表し、縦軸は第2高調波のレベルを表している。また、同図において、三角形と点線で示された特性線は、従来回路の入力電力対第2高調波の特性例を、黒丸と実線で示された特性線は、本発明に係る半導体スイッチ回路の入力電力対第2高調波の特性例を、それぞれ表している。
図4に示された特性例によれば、本発明に係る半導体スイッチ回路は、高電力通過時にあっても、歪み特性は劣化することなく従来回路と比べて遜色のないものとなっていることが確認できる。
次に、図6を参照しつつ従来回路におけるスイッチング特性について説明する。同図において、横軸は時間を、縦軸は、信号レベルを、それぞれ表している。
この特性例は、制御回路37Aに、論理値Lowから論理値Highとなる制御信号(コントロール電圧)を印加した際に、高周波信号(RF信号)がスイッチ回路38Aから出力されるまでに要する時間を表したものである。なお、立ち上がり時間は、上述のように制御信号が印加された時点から、高周波信号が最終的に安定化した状態における信号レベルの90%に達するまでの時間として定義して測定されたものである。
また、図6において、符号G3が付された波形は、制御電圧を、符号G4は付された波形は、スイッチ回路から出力された高周波信号を、それぞれ表している。
これに対して、図5には、本発明に係る半導体スイッチ回路のスイッチング特性例が示されており、以下、同図について説明する。なお、同図において、横軸は時間を、縦軸は、信号レベルを、それぞれ表している。
図5によれば、本発明に係る半導体スイッチ回路の場合、外部制御端子2に論理値Lowから論理値Highとなる制御信号(コントロール電圧)が印加された時点から、高周波信号(RF信号)がスイッチ回路38から出力されるまでに要する立ち上がり時間として、1.3μsで済むことが確認できる。これは、従来回路に比して、大凡半分程度の時間である。なお、立ち上がり時間は、図6で説明したと同様、制御信号が印加された時点から、高周波信号が最終的に安定化した状態における信号レベルの90%に達するまでの時間としている。
また、図5において、符号G1が付された波形は、制御電圧を、符号G2は付された波形は、スイッチ回路38から出力された高周波信号を、それぞれ表している。
例えば、図7に示されたような従来回路においては、高周波信号を通過させるFETをOFF状態からON状態へ切り替える際に、制御回路37Aのインバータ28Aからスイッチ用FET9Aに電流を供給し、そのゲート・ソース間、ゲート・ドレイン間に充電が行われることでON状態としている。この場合、スイッチング時間は、ゲート抵抗、スイッチ用FET9Aの時定数に依存する。
これに対して、本発明に係る半導体スイッチ回路においては、制御回路37がON状態となると電流供給はなされず、不定状態となったFETのゲートに、ソース及びドレインからの変位電流による充電がなされるため、スイッチング時間がゲート抵抗等の時定数に影響されないものとなっている。
それ故、本発明に係る半導体スイッチ回路は、従来回路に比してスイッチング時間の改善が顕著であり、従来回路に比して十分速い時間が得られるものとなっている。
次に、本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の第2の構成例について、図2を参照しつつ説明する。なお、図1に示された構成例と同一の構成例については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略し、以下、異なる点を中心に説明する。
この第2の構成例は、高アイソレーション特性の実現のため、図1に示された構成例に、さらにシャントスイッチ素子を設けた構成としたものである。
以下、具体的に説明すれば、まず、シャントスイッチ素子として、シャント用FET11,12が設けられている。この構成例においては、シャント用FET11,12として、デプレッション型FETが用いられている。
まず、第1のシャント用FET11は、そのドレイン(又はソース)が、第1のスイッチ用FET9のソース(又はドレイン)と第2のDCカットキャパシタ24との接続点に接続される一方、ソース(又はドレイン)は、第1のバイパスキャパシタ26を介してグランドに接続されたものとなっている。
そして、第1のシャント用FET11のドレインとソース間には、第3のドレイン・ソース間抵抗器20が接続される一方、ゲートは、第3のゲート抵抗器16を介して、制御回路37の第2のバッファ32の出力段に接続されている。
第2のシャント用FET12は、そのドレイン(又はソース)が、第2のスイッチ用FET10のソース(又はドレイン)と第3のDCカットキャパシタ25との接続点に接続される一方、ソース(又はドレイン)は、第2のバイパスキャパシタ27を介してグランドに接続されたものとなっている。
そして、第2のシャント用FET12のドレインとソース間には、第4のドレイン・ソース間抵抗器21が接続される一方、ゲートは、第4のゲート抵抗器17を介して、制御回路37の第1のバッファ31の出力段に接続されている。
かかる構成において、第1及び第2のシャント用FET11,12の動作を除けば、基本的な回路動作は、図1に示された第1の構成例と同一であるので、ここでの再度の詳細な説明は省略し、第1及び第2のシャント用FET11,12の動作について以下に説明することとする。
まず、第1のスイッチ用FET9がON状態、換言すれば、共通入出力端子3と第1の個別入出力端子4との間が高周波信号の経路となる場合には、第1のシャント用FET11はオフ状態となる一方、第2のシャント用FET12がON状態となる。
この第2のシャント用FET12がON状態となることにより、第2のスイッチ用FET10のソース(又はドレイン)と第3のDCカットキャパシタ25との接続点が、第2のシャント用FET12及び第2のバイパスキャパシタ27を介してグランドに接続される状態となるため、共通入出力端子3と第2の個別入出力端子5との間がより高いアイソレーションで遮断状態とされることとなる。
一方、第2のスイッチ用FET10がON状態、換言すれば、共通入出力端子3と第2の個別入出力端子5との間が高周波信号の経路となる場合には、第2のシャント用FET12はオフ状態となる一方、第1のシャント用FET11がON状態となる。
この第1のシャント用FET11のONにより、第1のスイッチ用FET9のソース(又はドレイン)と第2のDCカットキャパシタ24との接続点が、第1のシャント用FET11及び第1のバイパスキャパシタ26を介してグランドに接続される状態となるため、共通入出力端子3と第1の個別入出力端子4との間がより高いアイソレーションで遮断状態とされることとなる。
本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の第1の構成例を示す回路図である。 本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の第2の構成例を示す回路図である。 本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の入力電力対消費電力の特性例を示す特性線図である。 本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路の入力電力対第2高調波の特性例を示す特性線図である。 本発明の実施の形態における半導体スイッチ回路のスイッチング特性例を示す特性線図である。 従来回路のスイッチング特性例を示す特性線図である。 従来回路の構成例を示す回路図である。
符号の説明
6…インバータ用電界効果トランジスタ
7…第1のバッファ用電界効果トランジスタ
8…第2のバッファ用電界効果トランジスタ
13…負荷抵抗器
28…第1のインバータ
29…第2のインバータ
30…第3のインバータ
31…第1のバッファ
32…第2のバッファ
37…制御回路
38…スイッチ回路

Claims (2)

  1. 少なくとも1つの共通入出力端子と、
    2つ以上の個別入出力端子と、
    前記各々の個別入出力端子に対応して設けられた電界効果トランジスタが、外部からの制御信号に応じて択一的に導通状態とされることで、当該導通状態とされた電界効果トランジスタに対応する個別入出力端子と前記共通入出力端子とが接続されるよう構成されてなるスイッチ回路と、
    前記スイッチ回路の電界効果トランジスタに対する制御信号を、外部から印加される外部制御信号に基づいて生成、出力する制御回路と、を具備し、
    前記制御回路は、抵抗器と電界効果トランジスタとが、電源とグランドとの間に直列接続されて、前記外部制御信号を反転する抵抗負荷インバータを有してなる半導体スイッチ回路であって、
    前記制御回路の抵抗負荷インバータの出力段には、バッファが設けられ、
    当該バッファは、2つの電界効果トランジスタを有し、その一方の電界効果トランジスタのソースと他方の電界効果トランジスタのドレインとが相互に接続され、前記一方の電界効果トランジスタのドレインには電源電圧が印加され、前記他方の電界効果トランジスタのソースはグランドに接続され、前記一方の電界効果トランジスタのゲートは、前記抵抗負荷インバータを構成する抵抗器と電界効果トランジスタとの接続点に接続される一方、前記他方の電界効果トランジスタのゲートは、前記抵抗負荷インバータを構成する電界効果トランジスタのゲートに接続され、前記2つの電界効果トランジスタの相互の接続点から前記スイッチ回路の電界効果トランジスタへ対する制御信号を出力可能に構成されてなることを特徴とする半導体スイッチ回路。
  2. 前記個別入出力端子の少なくとも一つ、又は、前記共通入出力端子と、グランドとの間に、キャパシタと直列接続されたシャントスイッチ素子を設けてなることを特徴とする請求項1記載の半導体スイッチ回路。
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