JP2008281367A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008281367A JP2008281367A JP2007123869A JP2007123869A JP2008281367A JP 2008281367 A JP2008281367 A JP 2008281367A JP 2007123869 A JP2007123869 A JP 2007123869A JP 2007123869 A JP2007123869 A JP 2007123869A JP 2008281367 A JP2008281367 A JP 2008281367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- flow rate
- channel
- thermal
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【解決手段】流量を計測するための抵抗体R1,R2が架設されたセンサ流路Sの他に、センサ流路Sに対するバイパス流路Bを備える熱式流量計1において、流入ポート42とバイパス流路Bとを連通する流入流路43と、流出ポート46とバイパス流路Bとを連通する流出流路45と、センサ流路Sおよびバイパス流路Bを介することなく流入流路43と流出流路44とを連通する連通流路Cと、抵抗体R1,R2からの出力信号に基づき被測定流体の流量を算出するCPU基板63とを設ける。
【選択図】図1
Description
なお、エラー発生時に、発生したエラーに応じたエラーコードを点灯させるようにすることもできる。こうすることにより、エラーの発生状態を知らせることができる。
図1および図2に示すように、本実施の形態に係る熱式流量計1は、ボディ41と、センサ基板21と、流路ブロック50と、電装部60とを有し、センサ基板21からのセンサ出力を電装部60にて演算処理して被測定流体の流量を検出して表示するものである。この熱式流量計1には、センサ流路S、センサ流路Sに対するバイパス流路B、およびバイパス流路B(およびセンサ流路S)に対する連通流路Cが形成されている。
プリント基板22の裏面側には、後述するアンプ基板61およびCPU基板63に接続するための接続端子31が設けられている(図2参照)。この接続端子31は、電気回路用電極24〜29に接続されている。さらに、プリント基板22の表面側には、後述するようにして、測定チップ11が実装されている。
また、バー表示画面94には、11個の表示ドット95が横一列に配置されている。これらの表示ドット95は、計測されている流量に応じて点灯するようになっている。なお、1つの表示ドットがフルスケール流量の20%分に相当している。これにより、バー表示画面94の表示から、流れ方向および流量の概算値が瞬時に把握することができるようになっている。また、フルスケール流量以上の流量が検出された場合、つまり過流量である場合には、表示ドット95が点滅するようになっている。さらに、エラー発生時には、発生したエラーに応じたエラーコードを点灯するようになっている。
また、図13に示す出力回路33により、直列に接続され定電圧Vcが印可された上流温度検出抵抗体R1と下流温度検出抵抗体R2との中点電位Voutが測定信号として出力される。このとき、被測定流体が順方向の流れの場合には、上流温度検出抵抗体R1の温度(抵抗値)が低下し、下流温度検出抵抗体R2の温度(抵抗値)が増加するため、中点電位Voutが増加する。一方、被測定流体が逆方向の流れの場合には、上流温度検出抵抗体R1の温度(抵抗値)が増加し、下流温度検出抵抗体R2の温度(抵抗値)が低下するため、中点電位Voutは低下する。このため、被測定流体の流量を双方向において検知することができる。
図15は、フルスケール流量が10L/min(流路径1mm、メッシュ1枚)の場合における出力特性を示す図である。図16は、フルスケール流量が50L/min(流路径3mm、メッシュ3枚)の場合における出力特性を示す図である。図17は、フルスケール流量が100L/min(流路径5mm、メッシュ3枚)の場合における出力特性を示す図である。図18は、フルスケール流量が1000L/min(流路径12mm、メッシュ6枚)の場合における出力特性を示す図である。そして、各図の(a)はセンサ基板からの出力値(センサ出力)の特性を示し、(b)は最終的な出力(アナログ出力)の特性を示したものである。
なお、流路断面可変機構として、可変絞り機構3の代わりに、図33に示す仕切り板4をスライドさせる機構を使用して連通流路Cの流量断面積(流路径)を可変させることもできる。
11 測定チップ
13 測定チップの溝
14,15,16,17,18,19 抵抗体用電極
21 センサ基板
23 センサ基板の溝
24,25,26,27,28,29 電気回路用電極
41 ボディ
42 流入ポート
43 流入流路
44 流路空間
45 流出流路
46 流出ポート
50 流路ブロック
51 メッシュ板
51M メッシュ部
52 スペーサ
53 両端開口板
60 電装部
63 センサ基板
67 液晶
80 ポートフィルタ
81 メッシュ
82 スペーサ
90 表示部
B バイパス流路
C 連通流路
R1 上流温度検知抵抗体
R2 下流温度検知抵抗体
Rh 発熱抵抗体
Rt 流体温度検知抵抗体
S センサ流路
Claims (11)
- 流量を計測するための抵抗体が架設されたセンサ流路の他に、前記センサ流路に対するバイパス流路を備える熱式流量計において、
流入口と前記バイパス流路とを連通する流入連通流路と、
流出口と前記バイパス流路とを連通する流出連通流路と、
前記センサ流路および前記バイパス流路を介することなく前記流入連通流路と前記流出連通流路とを連通する連通流路とを有し、
前記抵抗体からの出力信号に基づき被測定流体の流量を算出する流量算出手段と、
を有することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項1に記載する熱式流量計において、
前記流入連通流路と、前記流出連通流路と、前記連通流路とが形成されたボディと、
前記ボディに装着することにより、流体を前記センサ流路と前記バイパス流路とに分流させるとともに整流する流路ブロックと、
を有することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項1または請求項2に記載する熱式流量計において、
前記連通流路の断面積が、前記流入連通流路の断面積より小さく設定されていることを特徴とする熱式流量計。 - 請求項3に記載する熱式流量計において、
前記連通流路の断面積を可変させる流路断面積可変機構を有し、
前記流量算出手段は、前記抵抗体からの出力信号および前記流路断面積可変機構により設定された前記連通流路の断面積に基づき被測定流体の流量を算出すること
を有することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項1から請求項4に記載するいずれか1つの熱式流量計において、
前記流入連通流路のうち前記バイパス流路との連通部よりも流入口側に、メッシュを複数枚重ねた整流機構が設けられていることを特徴とする熱式流量計。 - 請求項2に記載する熱式流量計において、
前記ボディおよび前記流路ブロックが左右対称形状をなしており、
前記抵抗体には、
前記センサ流路の流れ方向上流側に設けられた上流温度検出抵抗体と、
前記センサ流路の流れ方向下流側に設けられた下流温度検出抵抗体と、
前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との間に設けられ、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体とを加熱する発熱抵抗体と、
被測定流体の温度を検出する流体温度検出抵抗体とが含まれ、
前記流量算出手段は、前記発熱抵抗体と前記流体温度検出抵抗体とが一定の温度差になるように制御し、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との温度差に基づき被測定流体の流量を算出することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項6に記載する熱式流量計において、
前記流入連通流路のうち前記バイパス流路との連通部よりも流入口側、および前記流出連通流路のうち前記バイパス流路との連通部よりも流出口側のそれぞれに、メッシュを複数枚重ねた整流機構が設けられていることを特徴とする熱式流量計。 - 請求項6または請求項7に記載する熱式流量計において、
被測定流体が流れる方向を、順方向、逆方向、あるいは双方向のうちから選択するための流れ方向選択手段を有し、
前記流量算出手段は、
前記流れ方向選択手段により順方向または逆方向が選択された場合には選択された方向でのみフルスケールとなるように演算処理を行い、
前記流れ方向選択手段により双方向が選択された場合には両方向でフルスケールとなるように演算処理を行うことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項8に記載する熱式流量計において、
前記流れ方向選択手段によって選択された流れ方向に応じて被測定流体が流れる方向を表示する流れ方向表示手段を有することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項1から請求項9に記載するいずれか1つの熱式流量計において、
ゼロからフル流量に対応して一列に配置された複数の発光素子を備える表示手段と、
前記複数の発光素子のそれぞれの点灯動作を制御するとともに、前記流量算出手段で算出される流量に応じて前記複数の発光素子のうち点灯させる数を決定してゼロからフル流量側に向かって順次点灯させる発光素子制御手段と、
を有することを特徴とする熱式流量計。 - 請求項10に記載する熱式流量計において、
発光素子制御手段は、前記流量算出手段によりフルスケール流量以上の流量が算出された場合、前記複数の発光素子を点滅させることを特徴とする熱式流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007123869A JP5160809B2 (ja) | 2007-05-08 | 2007-05-08 | 熱式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007123869A JP5160809B2 (ja) | 2007-05-08 | 2007-05-08 | 熱式流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008281367A true JP2008281367A (ja) | 2008-11-20 |
JP5160809B2 JP5160809B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=40142315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007123869A Active JP5160809B2 (ja) | 2007-05-08 | 2007-05-08 | 熱式流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5160809B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011027553A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Ckd Corp | 流量制御装置 |
JP2011039035A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-24 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
EP3290875A1 (en) * | 2016-08-29 | 2018-03-07 | Apator Miitors ApS | Utility flow meter with display mode controller |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112018000081B4 (de) | 2017-08-09 | 2024-02-01 | Ckd Corporation | Durchflussmesser |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347353A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Keyence Corp | 流量センサ |
DE102004005760A1 (de) * | 2004-02-05 | 2005-09-01 | Festo Ag & Co. | Durchfluss-Messvorrichtung |
JP2005233796A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
JP2005291923A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2006308518A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Omron Corp | 流量測定装置 |
-
2007
- 2007-05-08 JP JP2007123869A patent/JP5160809B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347353A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Keyence Corp | 流量センサ |
DE102004005760A1 (de) * | 2004-02-05 | 2005-09-01 | Festo Ag & Co. | Durchfluss-Messvorrichtung |
JP2005233796A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
JP2005291923A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2006308518A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Omron Corp | 流量測定装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011039035A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-24 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2011027553A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Ckd Corp | 流量制御装置 |
EP3290875A1 (en) * | 2016-08-29 | 2018-03-07 | Apator Miitors ApS | Utility flow meter with display mode controller |
US10845223B2 (en) | 2016-08-29 | 2020-11-24 | Apator Miitors Aps | Utility flow meter with display mode controller |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5160809B2 (ja) | 2013-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102645249B (zh) | 具有集成旁路通道的流量传感器组件 | |
JP4892666B2 (ja) | 流量計 | |
CN100520311C (zh) | 耐蚀金属制流体用传感器及用该传感器的流体供给设备 | |
KR100276930B1 (ko) | 확장된 유량 측정범위를 갖는 질량유동변환기 | |
JP5160809B2 (ja) | 熱式流量計 | |
US9188990B2 (en) | Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system | |
US20040163461A1 (en) | Thermal flow sensor | |
US9952079B2 (en) | Flow sensor | |
US20050081620A1 (en) | Thermal flowmeter | |
JP3964920B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP4170945B2 (ja) | 漏れ検査システム | |
KR100974515B1 (ko) | 열식 유량계 | |
JP2012141181A (ja) | フローセンサ | |
JPWO2006059466A1 (ja) | 整流絞り装置 | |
JP2000504426A (ja) | 流量計 | |
JP2005291923A (ja) | 熱式流量計 | |
JP3637051B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP6481282B2 (ja) | 気体流量制御装置および気体流量制御弁 | |
JP5756274B2 (ja) | フローセンサ | |
KR101713865B1 (ko) | 열식유량계 | |
JP5202465B2 (ja) | 流量制御装置 | |
JP5427395B2 (ja) | 流量計 | |
JP6034937B1 (ja) | 渦流量計用センサーユニット及び渦流量計 | |
JP2008224358A (ja) | 熱式流量センサ及び流量計測装置 | |
JP2018146345A (ja) | 熱式流速センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5160809 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |