JP2008270360A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 欠陥の発生が抑えられた高い信頼性を有する半導体装置を製造する方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板(6)の被処理面を樹脂部材(5)に当接させて、前記半導体基板と前記樹脂部材を摺動させる工程を具備する方法である。前記摺動は、前記樹脂部材に80℃以上140℃以下の温水を噴射しつつ行なわれる。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体基板(6)の被処理面を樹脂部材(5)に当接させて、前記半導体基板と前記樹脂部材を摺動させる工程を具備する方法である。前記摺動は、前記樹脂部材に80℃以上140℃以下の温水を噴射しつつ行なわれる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
高性能LSIに搭載されるCuダマシン配線は、CMP(Chemical Mechanical Polishing)を用いて形成される。CMPでは、第一研磨でCu膜を除去した後、第二研磨によって不要なCu膜、バリアメタルおよび絶縁膜を除去する。第二研磨後、研磨布に洗浄液を連続的に供給しながら半導体基板の洗浄ポリッシュを行なう(例えば、特許文献1参照)。第二研磨と洗浄ポリッシュとを合わせタッチアップと称し、このタッチアップ工程においては、所望の平坦性を維持し、Cu膜上のスクラッチや絶縁膜上のダストを極力低減することが望まれている。35nm世代を迎えるにあたって、特にCu膜上のスクラッチおよび絶縁膜として用いられているSiOC膜上のダストを低減することが難しくなってきている。
Cu膜上のスクラッチを低減するためには、軟質の研磨布を用いることが好ましいが、絶縁膜上にダストが多く生じてしまう。硬質研磨布を用いることによってダストは減少するものの、スクラッチが増加するというトレードオフの関係にある。CMPにおいては、Cu膜上のスクラッチおよび絶縁膜上のダストの両方を、十分に低減することが求められている。
研磨後の被処理面には、有機物や粒子、ウォーターマークなどの残留物が存在し、これらは洗浄によって除去される。70℃以上の水蒸気を半導体基板に噴射しながら洗浄を行なうことによって、残留物を除去する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。これにおいては、Cu膜およびSiOC膜上の50nm以下の研磨粒子の除去性が悪く、Cu配線の酸化(異常酸化)が生じる。こうした欠陥とともにSiOC膜上のウォーターマークの除去についても、改善が求められている。
また、研磨後、このような洗浄の前に行なわれる洗浄ポリッシュにおいても、洗浄の場合と同様に欠陥の改善が要求される。すなわち、ダマシン配線を有する半導体装置の信頼性を高めるには、その製造における研磨工程、洗浄工程、および洗浄ポリッシュ工程の改善が必須であるものの、未だ十分に改善されていないのが現状である。
特許3692109号公報
特開2001−252631号公報
本発明は、欠陥の発生が抑えられた高い信頼性を有する半導体装置を製造する方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、半導体基板の被処理面を樹脂部材に当接させて、前記半導体基板と前記樹脂部材を摺動させる工程を具備し、前記摺動は、前記樹脂部材に80℃以上140℃以下の温水を噴射しつつ行なわれることを特徴とする。
本発明の一態様によれば、欠陥の発生が抑えられた高い信頼性を有する半導体装置を製造する方法が提供される。
以下、本発明の実施形態を説明する。
本発明の実施形態にかかる半導体装置の製造方法においては、半導体基板の被処理面を樹脂部材に当接させて、これら半導体基板と樹脂部材を摺動させる。このとき、樹脂部材に80℃以上140℃以下の液体を噴射する。
被処理面は、例えば、半導体基板上に設けられた凹部を有する絶縁膜の上に堆積された金属膜の表面とすることができる。この場合、樹脂部材としては研磨布が用いられる。所定の温度の温水とともに研磨液を研磨布上に供給して、半導体基板を回転させつつ樹脂部材に当接させることによって金属膜のCMPが行なわれる。CMPを行なうことによって、金属膜の少なくとも一部が除去される。こうした半導体装置の製造方法の例を、図1に示す。
図示するように、研磨テーブル4上に貼付された研磨布5には、キャリア7に保持された半導体基板6が当接される。半導体基板6には、被処理膜としての金属膜(図示せず)が形成されている。研磨テーブル4は、10〜200rpmで回転可能であり、キャリア7は10〜200rpmで回転可能である。また、研磨荷重は、通常50〜500hPa程度である。
研磨布5上には、純水供給口1、研磨液供給口2および洗浄液供給口3が配置される。各供給口からは、所定の薬液を50〜500cc/minの流量で供給することができる。
さらに研磨布5上には、温水を研磨布5に向けて噴射する温水噴射口9aが配置されている。この温水噴射口9aは、10〜1000cc/min程度の流量で温水を研磨布5に噴射する。温水噴射口9aは、研磨布5の半径上に配置されているので、研磨布5が回転することによって、その全面に温水を噴射することができる。
温水は、例えばボイラー等の手段で水を加熱することによって調製することができる。温水の温度は、例えばボイラー内の高熱体部の温度によって制御することができる。水としては、純水、イオン交換水等を用いることができ、特に限定されない。温水を噴射するには、高圧空気などをキャリアとしたノズルなどを採用することができる。
研磨布5上に所定温度の温水が噴射されることによって、研磨布の軟化や研磨布表面の水の活性化が引き起こされる。水の活性化とは、熱により水分子運動が活発になって分子と分子との間の空間が広くなり、物質が水中によく溶け出すことを意味する。すなわち、洗浄力の向上といった効果が得られる。温水の温度が80℃未満の場合には、こうした効果が不十分となり、一方、140℃を越えると、主として金属の酸化などの不都合が生じる。したがって、本発明の実施形態においては、噴射される温水の温度は、80℃以上140℃以下に規定される。
温水を噴射することにより軟化した研磨布は、その状態や熱を維持することができる。したがって、軟化した状態や熱が保たれていれば、半導体基板と研磨布を摺動させている間に研磨布への温水の噴射を停止しても、上述したような効果を得ることができる。
温水に界面活性剤が含有される場合には、ダストやダストとなりうる洗浄剤の成分などの溶質を、速やかに溶解することができる。しかも、こうしたダストの再付着は防止され、金属表面の酸化防止能力などが高められる。界面活性剤としては、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、およびノニオン系界面活性剤のいずれを用いてもよい。
アニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸アンモニウム、ポリアクリル酸カリウム、ラウリルベンゼンスルホン酸、デシルベンゼンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸カリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウム、ラウリルスルホン酸、およびドデシルスルホン酸等が挙げられる。カチオン系界面活性剤としては、例えば、アミン塩型界面活性剤、および第4級アンモニウム塩型界面活性剤等が挙げられる。また、ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリビニルピロリドンやアセチレングリコール、そのエチレンオキサイド付加物およびアセチレンアルコール、シリコーン系エチレンオキサイド付加物および、ポリビニルアルコール、サイクロデキストリン、ポリビニルメチルエーテル、およびヒドロキシエチルセルロース等を用いることができる。
ポリアクリル酸、ポリビニルピロリドン、およびポリビニルアルコールなどの高分子材料は、重量平均分子量が1,000,000以下であることが好ましい。重量平均分子量が大きすぎる場合には、分散液の粘度が高すぎて不都合が生じるおそれがある。例えば、汎用の供給装置による供給が困難となり、固形化しやすくダストになりやすい。なお、高分子材料の重量平均分子量の下限は特に規定されず、通常の範囲内であればよい。
半導体材料への汎用性から、特にポリアクリル酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸塩、ポリビニルピロリドンやアセチレングリコール、そのエチレンオキサイド付加物およびアセチレンアルコール、ポリビニルアルコールなどが、界面活性剤として好ましい。
界面活性剤の濃度は、特に規定されないが、0.001〜3.0wt%程度の濃度で温水中に含有されていれば、何等不都合を引き起こすことなく、その効果を得ることができる。
さらに、温水中に樹脂粒子が含有されてもよい。樹脂粒子の材質は、例えば、ポリメチルメタクリレート(PMMA)およびポリスチレン(PS)などとすることができる。これらの材料は、工業的に汎用性があり、小径の樹脂粒子を形成する上でも制御しやすい点で有利である。樹脂粒子の平均粒子径が小さすぎる場合には、粒子径の制御が困難となり、粗大粒子の形成を引き起こすおそれがある。また、粒径の大きな粒子と小さな粒子とによって最密充填構造が形成されて、固まりやすくなる。一方、大きすぎる場合には、粒子が沈降して安定に分散させることが困難となり、ダストやスクラッチの原因となるおそれがある。したがって、樹脂粒子の粒径は、10〜1,000nm程度とすることが好ましい。なお、樹脂粒子の平均粒子径は、例えばTEM写真から算出するといった手法により求めることができる。
樹脂粒子が含有されることによって、機械的作用が高められ、ダスト除去力が大幅に高められる。また、界面活性剤と併用された場合は、界面活性剤の発泡性を抑制しうる。なお、樹脂粒子が過剰に含有されても顕著な効果は得られず、むしろ凝集体を形成し、スクラッチを生じさせたり、ダストとして残留するなどの不都合が生じるおそれがある。したがって、温水中における樹脂粒子の含有量は、0.001〜3.0wt%程度にとどめることが望まれる。
純水供給口1、研磨液供給口2、洗浄液供給口3、および温水噴射口9aは、システマティックに運転されて好適な研磨が行なわれる。なお、温水噴射口は、図2に9bとして示されるように、研磨布5上を直径に沿って横断可能に設置してもよい。
図面には、研磨布5の表面のコンディショニングを行なうダイヤモンドドレッサー8も、併せて示してある。このドレッサー8は、通常、10〜200rpmで回転させつつ、50〜300hPaの荷重で研磨布5に当接される。
本発明の一実施形態にかかる半導体装置の製造方法においては、被処理面としての金属膜の表面を、樹脂部材としての研磨布上に供給された研磨液を用いたCMPにより研磨するに当たって、所定温度の温水が研磨布上に噴射される。これによって、研磨後の金属膜の表面におけるスクラッチやダストを低減することができる。また、50nm粒子除去性向上、Cu等の金属の異常酸化防止、およびSiOC等の絶縁膜上ウォーターマーク低減といった効果が得られる。
あるいは、半導体基板の被処理面を樹脂部材に当接させて、被処理面を実質的に研磨せずに洗浄を行なってもよい。具体的には、被処理面の研磨速度が10nm/min以下であれば、この被処理面は実質的に研磨されないとみなすことができる。なお、10nm/min以下の研磨速度を確保するために、ここで用いられる温水には、金属膜の酸化を引き起こすおそれがある酸化剤は含有されないことが望まれる。また、金属膜や絶縁膜を機械的に除去する無機粒子は排除される。温水が噴射される樹脂部材としては、例えばロールスポンジを用いることができる。こうした半導体装置の製造方法の例を、図3に示す。
図示するように、半導体基板6’は、回転させつつ樹脂部材としてのロールスポンジ31に当接させることによって洗浄が行なわれる。半導体基板6’は、凹部に金属膜が埋め込まれた絶縁膜(図示せず)を有する。すなわち、凹部に埋め込まれた金属膜および絶縁膜の表面が被処理面となる。
洗浄に当たっては、洗浄液供給口32から半導体基板6’に洗浄液を供給しつつ、温水噴射口9aからロールスポンジ31に温水が噴射される。用いられる温水は、すでに説明したような手法で調製することができ、上述したように界面活性剤を含有することが好ましい。また、樹脂粒子が温水中に含有された場合には、機械的作用が高まり、ダスト除去力が大幅に向上するといった効果が得られる。樹脂粒子は、上述したような材質、平均粒子径のものが、上述した濃度で配合されていれば、その効果が得られる。なお、参照符号33は、純水供給口である。
ロールスポンジ31に温水が噴射されることによって、この樹脂部材が軟質化され、さらに表面が清浄化される。具体的には、水が活性化され、ダストやダストとなりうる洗浄剤の成分などの溶質が速やかに溶解することによって、ロールスポンジ31の表面が清浄化される。こうした樹脂部材を半導体基板と摺動させることによって、好ましい状態で半導体基板の被処理面に物理的作用が加えられ、それによって、被処理面の洗浄効果が高められるものと推測される。
ロールスポンジの場合も研磨布の場合と同様、軟化した状態や熱を維持することができる。したがって、温水噴射によって軟化した状態や熱が保たれていれば、洗浄中にロールスポンジへの温水の噴射を停止しても、上述したような効果を得ることができる。
すなわち、樹脂部材が軟質化されることで、樹脂部材との摺接に起因して生じるCu上スクラッチは低減され、さらに、水が活性化されることと相俟ってCu膜等の金属膜上およびSiOC膜等の絶縁膜上の50nm以下の研磨粒子の除去力向上、Cu配線等の金属配線の酸化防止、絶縁膜上でのウォーターマークの除去力向上を実現することができる。
凹部に埋め込まれた金属膜および絶縁膜の表面を洗浄するにあたっては、上述したようなロールスポンジのみならず、研磨布を樹脂部材として用いることもできる。所謂洗浄ポリッシュ(洗浄研磨)に、本発明の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を適用することも可能である。こうした半導体装置の製造方法の例を、図4に示す。
図示するように、樹脂部材としての研磨布5には、キャリア7に支持された半導体基板6’が当接され、研磨布5には温水噴射口9aから温水が噴射される。このとき、研磨布5上には、洗浄液供給口3から洗浄液が供給され、被研磨面としての凹部に埋め込まれた金属膜および絶縁膜の表面を、実質的に研磨することなく洗浄を行なうことができる。
この場合も、前述の洗浄の場合と同様に、界面活性剤や樹脂粒子等が含有されることによって、上述したような効果を高めることができる。
以下に、金属膜のCMP、CMP後の洗浄および洗浄ポリッシュの具体例を説明する。
(実施形態1)
図5乃至図7を参照して、本実施形態を説明する。本実施形態においては、研磨布を用いたCMPにより金属膜を除去する際に、樹脂部材としての研磨布に温水を噴射する。
図5乃至図7を参照して、本実施形態を説明する。本実施形態においては、研磨布を用いたCMPにより金属膜を除去する際に、樹脂部材としての研磨布に温水を噴射する。
まず、図5に示すように、半導体素子(図示せず)が形成された直径300mmの半導体基板10上に、SiO2からなる絶縁膜11を設けて、バリアメタル12を介してプラグ13を形成した。バリアメタル12はTiNにより形成し、プラグ13の材料としてはWを用いた。その上に低誘電率絶縁膜14およびキャップ絶縁膜15を順次形成した。
低誘電率絶縁膜14は、比誘電率が2.5未満の低誘電率絶縁材料により構成することができる。例えば、ポリシロキサン、ハイドロジェンシロセスキオキサン、ポリメチルシロキサン、メチルシロセスキオキサンなどのシロキサン骨格を有する膜、ポリアリーレンエーテル、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾシクロブテンなどの有機樹脂を主成分とする膜、および多孔質シリカ膜などのポーラス膜からなる群から選択される少なくとも一種を用いて、低誘電率絶縁膜14を形成することができる。
低誘電率絶縁膜14は、比誘電率が2.5以上の絶縁材料により形成することもできる。こうした絶縁材料としては、例えば、SiC、SiCH、SiCN、SiOC、およびSiOCHからなる群から選択される少なくとも一種が挙げられる。比誘電率が2.5未満の絶縁膜と、比誘電率が2.5以上の絶縁膜との積層膜によって、低誘電率絶縁膜14を構成してもよい。ここでは、SiOCを用いて低誘電率絶縁膜14を、150nmの膜厚で形成した。
キャップ絶縁膜15は、膜厚20nmのSiO2膜により形成した。キャップ絶縁膜15は、低誘電率絶縁膜14に配線溝Aを形成する際、RIEダメージ防止とCMP用の保護膜となる。
低誘電率絶縁膜14には、幅70nmの配線溝Aを凹部として設け、全面に常法によりバリアメタル16としてのTi膜を5nmおよびCu膜17を600nm堆積した。バリアメタル16とCu膜17とによって、金属膜18が構成される。
同一研磨テーブル(研磨布)上で連続して、第一研磨、第二研磨、および洗浄研磨を行なう。温水は、第一研磨、第二研磨、および洗浄研磨のいずれの段階で樹脂部材としての研磨布に噴射されてもよいが、第二研磨の際に特に効果が発揮される。そこで本実施形態においては、第二研磨を行なう際に、研磨布に温水を噴射する。
金属膜18のCMPに当たっては、まず、第一研磨を行なって余分なCu膜17を除去する。具体的には、温水を噴射しない以外は図1に示したように、研磨布5が貼付された研磨テーブル4を100rpmで回転させつつ、半導体基板6を保持したキャリア7を300hPaの研磨荷重で当接させた。研磨布5としては、IC1000(ニッタアンドハース製)を用いた。キャリア7の回転数は105rpmとし、研磨液供給口2から研磨液を供給した。具体的には、酸化剤としての過硫酸アンモニウム水溶液(1.5wt%)とCMS7501(JSR製研磨液)とCMS7551(JSR製研磨液)との混合分散液を研磨液として用いて、250cc/minで研磨布5上に供給した。研磨時間は、研磨中のトルク電流値の変化で判断した。
こうして第一研磨を行なうことによって、図6に示すようにバリアメタル16を露出した。
続いて、第二研磨を行なって、バリアメタル16およびキャップ絶縁膜15を除去して、図7に示すように低誘電率絶縁膜14を露出した。図1に示したように、研磨布5が貼付された研磨テーブル4を50rpmで回転させつつ、半導体基板6を保持したキャリア7を300hPaの研磨荷重で当接させた。キャリア7の回転数は55rpmとし、温水噴射口9aから温水を研磨布5に300cc/minで噴射しつつ、研磨液供給口2から研磨液を、250cc/minの流量で供給した。研磨液は、酸化剤としての過酸化水素水0.15wt%、コロイダルシリカ4wt%、キナルジン酸0.4wt%、マレイン酸0.8wt%、およびアセチレンジオール型ノニオン系界面活性剤(商品名「サーフィノール465」、エアープロダクト社製)0.05wt%を含有し、pHは9.5である。60秒の研磨を行なうことによって、図7に示すように低誘電率絶縁膜14の表面が露出し、凹部にCu膜17が残置された。
洗浄研磨では、温水を噴射しない以外は図4に示したように、半導体基板6’を支持したキャリア7を105rpmで回転させつつ、100hPaの研磨荷重で研磨布5に当接させた。研磨テーブル4は100rpmで回転させ、洗浄液供給口3から、クエン酸の水分散液を400cc/minで研磨布5上に供給して30秒間の洗浄処理を行なった。30秒の洗浄処理を行なった後、洗浄液供給口3からクエン酸を供給しつつ、半導体基板6’を保持したキャリア7を研磨テーブル4から引き上げた。
第二研磨の際に研磨布に噴射される温水の温度を25℃〜160℃の間で変更して、種々の研磨実験を行なった。これらを、No.1〜8とした。また、研磨布に温水を噴射しない以外は同様の条件で研磨を行なってNo.9とした。No.9の場合は、図8に示すように常法により研磨を行なった。
KLA(Tenc.社製)欠陥評価装置により研磨後の表面を観察して、Cu膜17上のスクラッチ数および低誘電率絶縁膜14上のダスト数を調べた。スクラッチおよびダストは、いずれも以下の基準で評価した。
50個未満:○
50個以上200個未満:△
200個以上:×
スクラッチおよびダストは、いずれも200個未満であれば、許容範囲内である。得られた結果を、下記表1にまとめる。
50個以上200個未満:△
200個以上:×
スクラッチおよびダストは、いずれも200個未満であれば、許容範囲内である。得られた結果を、下記表1にまとめる。
上記表1に示されるように、樹脂部材としての研磨布に80℃以上140℃以下の温水を噴射することによって、スクラッチおよびダストの両方を許容範囲内に抑えることができる。こうした温度の温水が研磨布に噴射されることによって、研磨布表面が軟質化し、それによって、過度に基板を擦り付けることもなく、基板へのダストの再付着などが起きにくくなることに起因するものと推測される。スクラッチおよびダストが低減されるのに加えて、Cu異常酸化も抑制することができる。Cu異常酸化は、100μm2のパッド領域を10箇所SEM観察して調べた。第二研磨時に温水を使用しても、80℃以上140℃以下の温水を噴射した場合には、0個であった。
温水の温度が80℃未満の場合には、スクラッチを十分に低減することができない。これは、研磨布の軟化が不十分であることによるものと推測される。160℃の温水を用いた場合には、ダストが増加する傾向にあった。また、Cu異常酸化は15個以上に増加した。
研磨布に温水を噴射しないNo.9の場合の表面には、図9に示すように、Cu膜17にスクラッチ20が発生し、低誘電率絶縁膜14上にはダスト21が存在した。しかも、低誘電率絶縁膜14には、ファング22も確認された。
研磨布5の材質を軟質のPolitex(ニッタアンドハース製)に変更した以外は、前述と同様にして種々の条件で金属膜18の研磨を行なった。
研磨後の表面を前述と同様に評価して、Cu膜上のスクラッチ数と低誘電率絶縁膜上のダスト数とを調べた。その結果を、No.10〜18として下記表2にまとめる。
上記表2に示されるように、研磨布としてPolitexを用いた場合には、温水を噴射しなくてもスクラッチは十分に低減される。これは、IC1000が硬質であるのに対し、Politexは本来軟質であることから、基板を擦り付けたときの影響が緩和されていることに起因する。しかしながら、ダストに関しては、80℃以上140℃以下の温水を研磨布に噴射しなければ、ダストを十分に許容範囲に抑制することができない。また、80℃以上140℃以下の温水を研磨布に噴射した場合には、第二研磨時のCu異常酸化も0個に抑制された。
これに対し、温水の温度が80℃未満の場合には、水の活性化が不十分と考えられ、ダストが基板に再付着するのを防止することができない。なお、160℃の温水を用いた場合には、Cu異常酸化が18個にも及んだ。
次に、界面活性剤または樹脂粒子を添加した温水を研磨布に噴射しつつ、第二研磨を行なった。具体的には、種々の界面活性剤または樹脂粒子を添加する以外は、No.5と同様の条件で研磨を行ない、No.19〜25とした。さらに、種々の界面活性剤または樹脂粒子を添加する以外はNo.14と同様の条件で研磨を行なって、No.26〜32とした。研磨後の表面のスクラッチおよびダストを調べ、その結果を下記表3および4にまとめる。
なお、用いたポリアクリル酸の重量平均分子量は2,000であり、ポリビニルアルコールの重量平均分子量は1,000,000である。樹脂粒子としては、直径100nmのPMMA粒子を用いた。いずれの場合も、添加量は0.05wt%とした。
温水中に界面活性剤または樹脂粒子が含有された場合には、スクラッチおよびダストを低減する効果は、よりいっそう高められることが期待できる。界面活性剤によってダストがさらに低減され、樹脂粒子は、樹脂部材と半導体基板との間でクッション(スペーサー)効果を発揮して、スクラッチの発生をより低減することができる。樹脂粒子が存在することによって、半導体基板に擦り付けられる樹脂部材の表面積が増加する。その結果、きめ細かい擦り付けが可能となり、ダストはさらに低減される。
本実施形態の結果から、所定温度の温水を研磨布に噴射しつつCMPを行なうことによって、Cu膜上のスクラッチと絶縁膜上のダストとの両方を低減できることが確認された。さらに、低誘電率絶縁膜としてのSiOC膜のエロージョン(ファング)の改善、Cu膜、バリア膜、絶縁膜の研磨速度の安定化、面内均一性の向上、および膜剥がれ防止などが期待できる。
(実施形態2)
本実施形態においては、ロールスポンジを用いてCMP後の被処理面を洗浄する際に、樹脂部材としてのロールスポンジに温水を噴射する。
本実施形態においては、ロールスポンジを用いてCMP後の被処理面を洗浄する際に、樹脂部材としてのロールスポンジに温水を噴射する。
まず、前述の実施形態1におけるNo.14と同様の条件で、金属膜18をCMPにより除去し、低誘電率絶縁膜14の表面を露出した。こうして準備された半導体基板6’は、図3に示したように回転させつつロールスポンジ31で洗浄を行なった。半導体基板6’上には、洗浄液供給口32から洗浄液としてのシュウ酸を供給し、ロールスポンジ31には、温水噴射口9aから温水を噴射した。
ロールスポンジ31に噴射される温水の温度を50〜160℃の間で変更して、種々の洗浄実験を行なった。これらをNo.33〜39とした。また、図10に示すように温水を半導体基板6’に噴射する以外はNo.36と同様の条件で洗浄を行なって、No.40とした。
洗浄後の被処理面を、KLA(Tenc.社製)欠陥評価装置により観察して、50nm粒子除去、Cu上異常酸化、およびSiOC上のウォーターマーク(WM)を調べた。評価基準は、それぞれ以下のとおりである。
50nm粒子除去(Cu膜上およびSiOC上の50nm粒子の個数で評価)
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
Cu上異常酸化(Cu膜上の個数で評価)
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
SiOC上ウォーターマーク(WM)数(SiOC上の個数で評価)
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
いずれも、“△”および“○”であれば合格範囲である。得られた結果を、下記表5にまとめる。
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
Cu上異常酸化(Cu膜上の個数で評価)
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
SiOC上ウォーターマーク(WM)数(SiOC上の個数で評価)
0個…○; 1個以上10個未満…△; 10個以上…×
いずれも、“△”および“○”であれば合格範囲である。得られた結果を、下記表5にまとめる。
上記表5に示されるように、80℃以上140℃以下の温水をロールスポンジに噴射することによって、50nm粒子除去、Cu上異常酸化、およびSiOC上WMを全て合格範囲内に抑えることができる。
140℃を越えると、Cu上異常酸化を抑制することができない。80℃未満の場合には、さらにSiOC上WMも増大する。また、100℃の温水であっても、半導体基板に噴射した場合には、Cu上異常酸化が増加する。
次に、前述の実施形態1と同様の界面活性剤または樹脂粒子を添加した温水を用いて、洗浄を行なった。具体的には、種々の界面活性剤または樹脂粒子を添加する以外はNo.36と同様にして洗浄を行ない、表面を同様にして調べた。得られた結果を、No.41〜47として下記表6にまとめる。
上記表6に示されるように、界面活性剤または樹脂粒子が含有された温水をロールスポンジに噴射しつつ洗浄を行なうことによって、50nm粒子除去/SiOC上WMを向上させることができる。
本実施形態の結果から、80℃以上140℃以下の温水をローススポンジに噴射しつつ洗浄を行なうことによって、Cu上およびSiOC上の50nm以下の研磨粒子の除去力、Cu配線の酸化防止、SiOC上でのウォーターマークの除去力が高められることが確認された。
(実施形態3)
本実施形態においては、CMP後に研磨布上で行なわれる洗浄ポリッシュの際に、樹脂部材としての研磨布に温水を噴射する。
本実施形態においては、CMP後に研磨布上で行なわれる洗浄ポリッシュの際に、樹脂部材としての研磨布に温水を噴射する。
まず、前述の実施形態1におけるNo.14と同様の条件で、金属膜18をCMPにより除去し、低誘電率絶縁膜14の表面を露出した。こうして準備された半導体基板6’は、図4に示したように回転させつつ研磨布5に当接させて、洗浄ポリッシュを行なった。研磨布5上には、洗浄液供給口3から洗浄液として、J800TS(三洋化成株式会社製)を供給し、温水噴射口9aから温水を噴射した。
研磨布5に噴射される温水の温度を50〜160℃の間で変更して、種々の洗浄ポリッシュ実験を行なった。これらをNo.48〜54とした。また、研磨布に温水を噴射しない以外は同様の条件で洗浄ポリッシュを行なってNo.55とした。
KLA(Tenc.社製)欠陥評価装置により洗浄研磨後の表面を観察して、50nm粒子除去、Cu上異常酸化、およびSiOC上WMを調べた。評価基準は前述の実施形態2と同様とし、得られた結果を下記表7にまとめる。
上記表7に示されるように、80℃以上140℃以下の温水を研磨布に噴射することによって、50nm粒子除去、Cu上異常酸化、およびSiOC上WMを全て合格範囲内に抑えることができる。
140℃を越えると、Cu上異常酸化を抑制することができない。80℃未満の場合には、さらにSiOC上WMも増大する。また、研磨布に温水を噴射しない場合にも、SiOC上WMが増加する。
次に、前述の実施形態1と同様の界面活性剤または樹脂粒子を添加した温水を研磨布に噴射しつつ、洗浄ポリッシュを行なった。具体的には、種々の界面活性剤または樹脂粒子を添加する以外は、No.51と同様の条件で洗浄ポリッシュを行ない、No.56〜62とした。洗浄研磨後の表面を同様に調べ、その結果を下記表8にまとめる。
上記表8に示されるように、界面活性剤または樹脂粒子が含有された温水を研磨布に噴射しつつ洗浄ポリッシュを行なうことによって、50nm粒子除去/SiOC上WMを向上させることができる。
本実施形態の結果から、80℃以上140℃以下の温水を研磨布に噴射しつつ洗浄ポリッシュを行なうことによって、Cu上およびSiOC上の50nm以下の研磨粒子の除去力、Cu配線の酸化防止、SiOC上でのウォーターマークの除去力を向上できることが確認された。
なお、以上の具体例では、低誘電率絶縁膜としてのSiOC膜の凹部に、バリアメタルとしてのTiを介してCuダマシン配線を形成したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、Cu、Al等を、Ti、W、Ta、Nb,V、Mn、Si、Ru、Rh、およびこれらの合金のいずれかから選択されるバリアメタルを介して、比誘電率が2.5未満の低誘電率絶縁膜の凹部に埋め込んでダマシン配線を形成する場合にも、樹脂部材に温水を噴射しつつ被処理面を当接させることによって、同様に高い信頼性を有する半導体装置を製造することができる。
さらに、第一研磨、第二研磨、洗浄ポリッシュ、およびロール洗浄の全ての工程において、樹脂部材に温水を供給しつつ処理を行なうと、より効果的に、スクラッチおよびダストを低減するとともに、配線上および低誘電率絶縁膜上の50nm以下の研磨粒子の除去力、配線の酸化防止、低誘電率絶縁膜上でのウォーターマークの除去力を高めることができる。
1…純水供給口; 2…研磨液供給口; 3…洗浄液供給口
4…研磨テーブル; 5…研磨布; 6,6’…半導体基板; 7…キャリア
8…ドレッサー; 9a,9b…温水噴射口; 10…半導体基板; 11…絶縁膜
12…バリアメタル; 13…プラグ; 14…低誘電率絶縁膜
15…キャップ絶縁膜; 16…バリアメタル; 17…Cu膜; 18…金属膜
20…スクラッチ; 21…ダスト; 22…ファング; 31…ロールスポンジ
32…洗浄液供給口; 33…純水供給口; A…配線溝。
4…研磨テーブル; 5…研磨布; 6,6’…半導体基板; 7…キャリア
8…ドレッサー; 9a,9b…温水噴射口; 10…半導体基板; 11…絶縁膜
12…バリアメタル; 13…プラグ; 14…低誘電率絶縁膜
15…キャップ絶縁膜; 16…バリアメタル; 17…Cu膜; 18…金属膜
20…スクラッチ; 21…ダスト; 22…ファング; 31…ロールスポンジ
32…洗浄液供給口; 33…純水供給口; A…配線溝。
Claims (5)
- 半導体基板の被処理面を樹脂部材に当接させて、前記半導体基板と前記樹脂部材を摺動させる工程を具備し、
前記摺動は、前記樹脂部材に80℃以上140℃以下の温水を噴射しつつ行なわれることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記温水は、界面活性剤を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記被処理面を前記樹脂部材に当接させる前に、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部の内部および前記絶縁膜の上に金属を堆積して、金属膜を形成する工程と
を具備し、
前記被処理面は前記金属膜の表面であり、前記樹脂部材は研磨布であり、
前記摺動の際には、前記研磨布上に研磨液を供給して、前記金属膜の少なくとも一部を除去することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記被処理面を前記樹脂部材に当接させる前に、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部の内部および前記絶縁膜の上に金属を堆積して金属膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上の前記金属膜を、研磨布を用いたCMPにより除去して前記凹部内に前記金属膜を残置し、前記絶縁膜の表面を露出する工程とを具備し、
前記被処理面は、前記凹部内に残置された前記金属膜および前記絶縁膜の表面であり、前記樹脂部材はロールスポンジであり、
前記摺動は、前記被処理面の研磨速度が10nm/min以下で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記被処理面を前記樹脂部材に当接させる前に、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部の内部および前記絶縁膜の上に金属を堆積して金属膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上の前記金属膜を、研磨布を用いたCMPにより除去して前記凹部内に前記金属膜を残置し、前記絶縁膜の表面を露出する工程を具備し、
前記被処理面は、前記凹部内に残置された前記金属膜および前記絶縁膜の表面であり、前記樹脂部材は前記研磨布であり、
前記摺動は、前記被処理面の研磨速度が10nm/min以下で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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-
2007
- 2007-04-17 JP JP2007108387A patent/JP2008270360A/ja active Pending
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