JP2009076716A - 基板洗浄方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属配線における腐食の発生を抑制するとともに、ウェハ上に付着した砥粒や研磨された配線材料などの汚染物質を除去することができる基板洗浄方法、およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る基板洗浄方法は、半導体基板を化学機械研磨した後、洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法であって、前記洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、前記洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mである。
【選択図】なし
【解決手段】本発明に係る基板洗浄方法は、半導体基板を化学機械研磨した後、洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法であって、前記洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、前記洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mである。
【選択図】なし
Description
本発明は、基板洗浄方法および半導体装置の製造方法に関する。
近年、半導体装置の高密度化に伴い、半導体装置内に形成される配線の微細化が進んでいる。この配線のさらなる微細化を達成することができる技術として、「ダマシン法」と呼ばれる技術が知られている。この方法は、絶縁層中に形成された溝等に配線材料を埋め込んだ後、化学機械研磨を用いて、溝以外に堆積した余分な配線材料を除去することにより所望の配線を形成するものである。ここで、配線材料として銅または銅合金を用いる場合、銅原子の絶縁層中へのマイグレーションを避けるため、銅または銅合金と絶縁層との界面に、通常、タンタル、窒化タンタル、窒化チタン等を材料とする高強度のバリアメタル層が形成される。
銅または銅合金を配線材料として用いる半導体装置の製造において、ダマシン法を採用する場合、その化学機械研磨の方法は種々あるが、主として銅または銅合金の除去を行なう第1の研磨工程と、主としてバリア層を除去する第2の研磨工程からなる2段階の化学機械研磨が行われている。
ところで、上記の化学機械研磨で用いられる化学機械研磨用水系分散体(以下、「スラリー」ともいう。)には、砥粒と呼ばれる粒子が含まれている。さらに、スラリー中には液のpHを調整するためのpH調整剤や、酸化剤として重金属成分が添加されている場合がある。このような不純物を洗浄により、1×1010個/cm2以下まで除去することが要求されている。
そこで、第2の研磨工程終了後、ウェハに付着した砥粒や研磨された配線材料などの不純物を除去するために、超純水を高圧・高速でノズル吐出し、ウェハに吹き付ける高圧洗浄(High Pressure Rinse;HPR)などの洗浄が行われている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、超純水を用いて洗浄を行うと、絶縁層と隣接する配線材料の全部または一部において、「コロージョン」と呼ばれる配線材料の腐食が発生することがあった。「コロージョン」の発生は、半導体装置の致命的な欠陥であり、半導体装置製造の歩留まりを低下させてしまう観点から好ましくない。
特開2004−335896号公報
本発明の目的は、金属配線における腐食の発生を抑制するとともに、ウェハ上に付着した砥粒や研磨された配線材料などの汚染物質を除去することができる基板洗浄方法、およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することにある。
本発明に係る基板洗浄方法は、半導体基板を化学機械研磨した後、洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法であって、前記洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、前記洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mであることを特徴とする。
本発明に係る基板洗浄方法において、前記アルカリ金属は、カリウムであることができる。
本発明に係る基板洗浄方法において、前記アルカリ金属を含有する化合物は、水酸化カリウム、炭酸水素カリウム、および有機酸のカリウム塩から選択される1種であることができる。
本発明に係る基板洗浄方法において、前記洗浄液の前記アルカリ金属を含有する化合物の濃度は、0.05〜5質量%であることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、凹部を有する絶縁層の上にバリア層を介して設けられ、かつ該凹部に埋設された金属層を有する被処理体を、第1の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記バリア層上の前記金属層を研磨する第1の処理工程と、前記第1の処理工程後において、第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記絶縁層上の前記バリア層を研磨する第2の処理工程と、前記第2の処理工程後において、上記洗浄液を用いて、前記被処理体を洗浄する第3の処理工程と、を含む。
本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記金属層は、銅または銅合金からなる層であることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第1の化学機械研磨用水系分散体の前記金属層に対する研磨速度は、300ナノメートル/分以上であることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記バリア層は、タンタル、窒化タンタル、チタンおよび窒化チタンから選択される少なくとも1種からなる層であることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記バリア層および前記絶縁層を前記第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて同一条件で化学機械研磨した場合、前記バリア層に対する研磨速度(RB)と前記絶縁層に対する研磨速度(RIn)との研磨速度比(RB/RIn)は、0.5以上5.0以下であることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第3の処理工程は、高圧洗浄法、ブラシスクラビング法、超音波洗浄法およびキャビジェット法から選択される少なくとも1種を用いることができる。
ダマシン法における第2の研磨工程を終えた後に、上記洗浄液を用いて半導体基板を洗浄すると、金属配線が腐食することなく、ウェハ上に付着した砥粒や研磨された配線材料などの汚染物質を効率的かつ確実に除去することができる。
超純水を用いて洗浄を行うと金属配線の腐食が発生することが多い。これは超純水中に存在する静電気が金属配線にダメージを与えることにより、金属配線の腐食が惹起されているものと推測される。そこで、この静電気を液中からリリースさせるために、アルカリ金属を含有する化合物を含み、かつ600〜15000mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行うことにより、金属配線の腐食を確実に防ぐことができることを見出したのである。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
1.洗浄液
本実施形態に係る洗浄液は、半導体基板を化学機械研磨した後に、その表面に残存する研磨屑やスラリーに含まれる砥粒などを洗い流すために用いるものである。本実施形態に係る洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、該洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mであることを特徴とするものである。
本実施形態に係る洗浄液は、半導体基板を化学機械研磨した後に、その表面に残存する研磨屑やスラリーに含まれる砥粒などを洗い流すために用いるものである。本実施形態に係る洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、該洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mであることを特徴とするものである。
1.1 水
本実施形態に係る洗浄液は、配線材料の腐食を防止するだけでなくウェハを洗浄するために使用するものであるから、水は不純物をほとんど含まないことが好ましい。水としては、例えば、蒸留水、純水または超純水を用いることができる。
本実施形態に係る洗浄液は、配線材料の腐食を防止するだけでなくウェハを洗浄するために使用するものであるから、水は不純物をほとんど含まないことが好ましい。水としては、例えば、蒸留水、純水または超純水を用いることができる。
1.2 アルカリ金属を含有する化合物
アルカリ金属を含有する化合物としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウムおよびセリウムを含有する有機または無機化合物を挙げることができるが、カリウムを含有する無機または有機化合物であることが好ましい。カリウムを含有する無機化合物として、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素カリウム、炭酸カリウムを用いることが特に好ましい。また、カリウムを含有する有機化合物としては、例えば、クエン酸カリウム、マレイン酸カリウム、酢酸カリウム、コハク酸カリウムを用いることが特に好ましい。これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
アルカリ金属を含有する化合物としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウムおよびセリウムを含有する有機または無機化合物を挙げることができるが、カリウムを含有する無機または有機化合物であることが好ましい。カリウムを含有する無機化合物として、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素カリウム、炭酸カリウムを用いることが特に好ましい。また、カリウムを含有する有機化合物としては、例えば、クエン酸カリウム、マレイン酸カリウム、酢酸カリウム、コハク酸カリウムを用いることが特に好ましい。これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
ダマシン法における研磨工程を終えた後に洗浄液を用いて半導体基板を洗浄する際、半導体基板表面へ多量のアルカリ金属成分が吸着すると、半導体回路が劣化してしまう。このため、半導体基板表面の洗浄剤成分による汚染を最小限に抑制する必要がある。すなわち、洗浄剤に含まれる成分はその含有量を必要最小限にとどめる必要がある。このため、洗浄剤に解離定数の大きいアルカリ金属を含有する化合物を用いることで、添加量を最小限に抑制するとともに、洗浄剤の電気伝導度を所定の値に維持することが可能となる。
上記アルカリ金属を含有する化合物の含有量は、洗浄液の重量に対して、好ましくは0.05〜5重量%であり、より好ましくは0.1〜4重量%であり、特に好ましくは0.15〜3重量%である。含有量が0.05重量%未満であると、腐食抑制に対する効果が十分でなく、配線材料の腐食を引き起こしてしまうことがある。一方、含有量が5重量%を超えると、ウェハを洗浄しても洗浄液に含まれるアルカリ金属イオンによる金属汚染が発生してしまう。
上記アルカリ金属を有する化合物は、洗浄液の電気伝導度が600〜15000mS/mの範囲内にあれば、1種単独でもよいし、または2種以上を組み合わせて用いることもできる。
1.3 電気伝導度
本実施形態に係る洗浄液の電気伝導度は、23℃に温度調節した洗浄液100mlへ電気伝導度測定装置(堀場製作所製、型番:F−54)の測定電極を20秒間浸漬して安定化させた後、電気伝導度を測定した。
本実施形態に係る洗浄液の電気伝導度は、23℃に温度調節した洗浄液100mlへ電気伝導度測定装置(堀場製作所製、型番:F−54)の測定電極を20秒間浸漬して安定化させた後、電気伝導度を測定した。
このようにして測定した洗浄液の電気伝導度は、好ましくは600〜15000mS/mであり、より好ましくは800〜10000mS/m、特に好ましくは1000〜8000mS/mである。上記電気伝導度が600mS/m未満では、金属配線に蓄積された静電気をリリースさせる能力に乏しく、洗浄後に金属配線の腐食が発生することがある。一方、15000mS/mを超えると、金属配線が過度にエッチングされることがあり、平坦性を損なうことがあるので好ましくない。
1.4 その他
本実施形態に係る洗浄液は、上記アルカリ金属を含有する化合物を所定量、水に完全に溶解させることにより得られる。これにより、上記の電気伝導度を有する洗浄液を得ることができる。
本実施形態に係る洗浄液は、上記アルカリ金属を含有する化合物を所定量、水に完全に溶解させることにより得られる。これにより、上記の電気伝導度を有する洗浄液を得ることができる。
本実施形態に係る洗浄液は、配線材料の腐食を防止するだけでなくウェハを高圧洗浄するために使用するものであるから、砥粒を含まない方が好ましい。
2.基板洗浄方法
本実施形態に係る基板洗浄方法は、半導体基板を化学機械研磨した後、上記洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法である。
本実施形態に係る基板洗浄方法は、半導体基板を化学機械研磨した後、上記洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法である。
基板洗浄方法として、例えば、
(1)上記洗浄液を高圧・高速でノズル吐出し、ウェハに吹き付ける高圧洗浄法、
(2)ウェハに上記洗浄液をかけながら、ポリビニルアルコール(PVA)のスポンジやナイロン、モヘアなどの繊維状ブラシをこすりつけ、不純物を除去するブラシスクラビング法、
(3)上記洗浄液にkHzからMHz帯の超音波をかけ、上記洗浄液中で発生するキャビテーションによる衝撃力により不純物をウェハ上から引き離す超音波洗浄法、
(4)上記洗浄液を高速度と低速度で同時に吹き出させたときに発生するキャビテーションによる衝撃力で不純物を除去するキャビジェット法、
などの物理的剥離力を利用した洗浄方法を好ましく適用することができる。これらの方法は、単独で適用することもできるが、もちろん2種以上を組み合わせて適用することもできる。
(1)上記洗浄液を高圧・高速でノズル吐出し、ウェハに吹き付ける高圧洗浄法、
(2)ウェハに上記洗浄液をかけながら、ポリビニルアルコール(PVA)のスポンジやナイロン、モヘアなどの繊維状ブラシをこすりつけ、不純物を除去するブラシスクラビング法、
(3)上記洗浄液にkHzからMHz帯の超音波をかけ、上記洗浄液中で発生するキャビテーションによる衝撃力により不純物をウェハ上から引き離す超音波洗浄法、
(4)上記洗浄液を高速度と低速度で同時に吹き出させたときに発生するキャビテーションによる衝撃力で不純物を除去するキャビジェット法、
などの物理的剥離力を利用した洗浄方法を好ましく適用することができる。これらの方法は、単独で適用することもできるが、もちろん2種以上を組み合わせて適用することもできる。
3.半導体装置の製造方法
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、凹部を有する絶縁層の上にバリア層を介して設けられ、かつ該凹部に埋設された金属層を有する被処理体を、第1の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記バリア層上の前記金属層を研磨する第1の処理工程と、前記第1の処理工程後において、第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記絶縁層上の前記バリア層を研磨する第2の処理工程と、前記第2の処理工程後において、上記洗浄液を用いて、前記被処理体を洗浄する第3の処理工程と、を含む。
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、凹部を有する絶縁層の上にバリア層を介して設けられ、かつ該凹部に埋設された金属層を有する被処理体を、第1の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記バリア層上の前記金属層を研磨する第1の処理工程と、前記第1の処理工程後において、第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記絶縁層上の前記バリア層を研磨する第2の処理工程と、前記第2の処理工程後において、上記洗浄液を用いて、前記被処理体を洗浄する第3の処理工程と、を含む。
図1〜図3は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法の一具体例を示す断面図である。以下、本実施形態について、図1〜図3を参照しながら詳細に説明する。
3.1 被処理体
本実施形態に係る被処理体は、例えば、図1に示すような、被処理体100を挙げることができる。
本実施形態に係る被処理体は、例えば、図1に示すような、被処理体100を挙げることができる。
被処理体100は、図1に示すように、基体10を有する。基体10は、少なくとも図示しない半導体基板を有する。基体10は、例えば、シリコン基板とその上に形成された酸化シリコン層から構成されていてもよい。さらに、基体10の半導体基板には、トランジスタ等の機能デバイスが形成されていてもよい。
被処理体100は、基体10の上に形成されたシリコン酸化物等からなる絶縁層12と、絶縁層12の上に形成されたシリコン窒化物等からなる絶縁層14と、絶縁層14の上に配線用凹部22が設けられた絶縁層16と、絶縁層16の表面ならびに配線用凹部22の底部および内壁面を覆うように設けられたバリア層18と、配線用凹部22を充填し、かつバリア層18の上に形成された金属層20と、が順次積層されて、構成される。
絶縁層16は、例えば、真空プロセスで形成された酸化シリコン層(例えば、PETEOS層(Plasma Enhanced−TEOS層)、HDP層(High Density Plasma Enhanced−TEOS層)、熱化学気相蒸着法により得られる酸化シリコン層等)、FSG(Fluorine−doped silicate
glass)と呼ばれる絶縁層、ホウ素リンシリケート層(BPSG層)、SiON(Silicon oxynitride)と呼ばれる絶縁層、Siliconnitride、低誘電率の絶縁層等を挙げることができる。
glass)と呼ばれる絶縁層、ホウ素リンシリケート層(BPSG層)、SiON(Silicon oxynitride)と呼ばれる絶縁層、Siliconnitride、低誘電率の絶縁層等を挙げることができる。
バリア層18としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、タンタル−ニオブ合金等を挙げることができる。バリア層18は、これらの1種から形成されることが多いが、タンタルと窒化タンタルなど2種以上を併用することもできる。
金属層20は、図1に示すように、配線用凹部22を完全に埋めることが必要となる。そのためには、通常化学蒸着法または電気めっき法により、10,000〜15,000オングストロームの金属層を堆積させる。金属層20としては、例えば、タングステン、アルミニウム、銅等、またはこれらを含有する合金を挙げることができる。これらのうち、銅または銅を含有する合金を配線材料とする場合に、本発明の効果が最も有効に発揮される。銅を含有する合金中の銅含有量としては、95質量%以上であることが好ましい。
3.2 処理工程
3.2.1 第1の処理工程
第1の処理工程は、第1のスラリーを用いて、被処理体100の金属層20を研磨する工程である。第1の処理工程では、図2に示すように、配線用凹部22に埋没された部分以外の金属層20をバリア層18が露出するまで研磨する。
3.2.1 第1の処理工程
第1の処理工程は、第1のスラリーを用いて、被処理体100の金属層20を研磨する工程である。第1の処理工程では、図2に示すように、配線用凹部22に埋没された部分以外の金属層20をバリア層18が露出するまで研磨する。
第1のスラリーは、金属層20を研磨するために用いられるものであって、金属層20に対する研磨速度が高く、かつ金属層20のディッシングやエロージョンを抑制する効果の高いものを好適に用いることができる。第1のスラリーの金属層20に対する研磨速度は、300ナノメートル/分以上であることが好ましく、500ナノメートル/分以上であることがより好ましい。研磨速度が300ナノメートル/分以上であると、金属層20の除去を効率的に行うことができるため、経済的観点から好ましい。第1のスラリーには、例えば、砥粒、酸化剤、界面活性剤、水溶性高分子、pH調整剤、防食剤、その他の添加剤を配合することができる。
第1の処理工程では、例えば、図4に示すような化学機械研磨装置200を用いることができる。図4は、化学機械研磨装置200の模式図を示している。スラリー供給ノズル42からスラリー44を供給し、かつ研磨布46が貼付されたターンテーブル48を回転させながら、半導体基板50を保持したトップリング52を当接させることにより行う。なお、図4には、水供給ノズル54およびドレッサー56も併せて示してある。
トップリング52の研磨荷重は、10〜1,000gf/cm2の範囲内で選択することができ、好ましくは30〜500gf/cm2である。また、ターンテーブル48およびトップリング52の回転数は10〜400rpmの範囲内で適宜選択することができ、好ましくは30〜150rpmである。スラリー供給ノズル42から供給されるスラリー44の流量は、10〜1,000cm3/分の範囲内で選択することができ、好ましくは50〜400cm3/分である。
3.2.2 第2の処理工程
第2の処理工程は、第2のスラリーを用いて、被処理体100のバリア層18を研磨する工程である。第2の処理工程では、図3に示すように、被研磨面に絶縁層16が露出するまで研磨する。
第2の処理工程は、第2のスラリーを用いて、被処理体100のバリア層18を研磨する工程である。第2の処理工程では、図3に示すように、被研磨面に絶縁層16が露出するまで研磨する。
第2のスラリーは、バリア層18を研磨するために用いられるものであって、バリア層18の研磨速度が適当なものを好ましく用いることができる。第2のスラリーのバリア層18に対する研磨速度(RB)は、好ましくは20〜200ナノメートル/分であり、より好ましくは25〜180ナノメートル/分であり、特に好ましくは30〜150ナノメートル/分である。研磨速度が上記範囲内にあると、被研磨面の平坦性を維持しながらバリア層を化学機械研磨することができる。一方、第2のスラリーの絶縁層16に対する研磨速度(RIn)は、できる限り小さいことが好ましい。第2のスラリーの絶縁層16に対する研磨速度が大きいと、化学機械研磨時に絶縁層16は侵食されてしまい、被処理体100の平坦化に支障をきたす場合がある。具体的には、絶縁層16とバリア層18を第2のスラリーを用いて同一条件で化学機械研磨した場合、第2のスラリーのバリア層に対する研磨速度(RB)と絶縁層に対する研磨速度(RIn)との研磨速度比(RB/RIn)は、好ましくは0.5以上5.0以下であり、より好ましくは0.8以上3.0以下であり、特に好ましくは1.0以上2.0以下である。研磨速度比(RB/RIn)が上記範囲内にあると、被研磨面の平坦性を維持しながらバリア層を化学機械研磨することができる。第2のスラリーには、例えば、砥粒、酸化剤、有機酸、界面活性剤、pH調整剤、防食剤、その他の添加剤を配合することができる。
第2の処理工程においても、例えば、図4に示すような化学機械研磨装置200を用いることができ、研磨条件も上記の範囲内で設定することができる。
3.2.3 第3の処理工程
第3の処理工程は、上記の第1および第2の処理工程により、図3に示すような半導体装置が得られた後に、ウェハ上に付着した砥粒や研磨された配線材料などの不純物を上記洗浄液を用いて洗浄する工程である。上記洗浄液を用いて被処理体100を洗浄すれば、超純水を用いて洗浄した場合等によく見られるコロージョンの発生を大幅に抑制しながら洗浄することができる。
第3の処理工程は、上記の第1および第2の処理工程により、図3に示すような半導体装置が得られた後に、ウェハ上に付着した砥粒や研磨された配線材料などの不純物を上記洗浄液を用いて洗浄する工程である。上記洗浄液を用いて被処理体100を洗浄すれば、超純水を用いて洗浄した場合等によく見られるコロージョンの発生を大幅に抑制しながら洗浄することができる。
第3の処理工程においても、例えば、図4に示すような化学機械研磨装置200を用いることができる。洗浄は、例えば、第2の処理工程終了後、研磨圧力を0.1〜1.0psiまで下げて、上記洗浄液を50〜2000ml/分の流量で2〜30秒間、半導体装置に吹きつけることにより行うことができる。
4.実施例
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこの実施例により何ら限定されるものではない。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこの実施例により何ら限定されるものではない。
4.1 砥粒を含有する化学機械研磨用水系分散体の調製
4.1.1 コロイダルシリカを含む水分散体の調製
濃度25質量%のアンモニア水70質量部、イオン交換水40質量部、エタノール175質量部およびテトラエトキシシラン21質量部を、容量2Lのフラスコに加え、回転速度180rpmで撹拌しながら60℃に昇温し、この温度のまま2時間撹拌を継続した。その後、冷却し、平均粒子径が97nmのコロイダルシリカ/アルコール分散体を得た。
4.1.1 コロイダルシリカを含む水分散体の調製
濃度25質量%のアンモニア水70質量部、イオン交換水40質量部、エタノール175質量部およびテトラエトキシシラン21質量部を、容量2Lのフラスコに加え、回転速度180rpmで撹拌しながら60℃に昇温し、この温度のまま2時間撹拌を継続した。その後、冷却し、平均粒子径が97nmのコロイダルシリカ/アルコール分散体を得た。
次いで、エバポレータを用い、この分散体にイオン交換水を添加しながら80℃でアルコール分を除去する操作を数回繰り返し、分散体中のアルコール分を除き、平均粒子径が97nmのコロイダルシリカを10質量%含む水分散体を調製した。
4.1.2 有機粒子を含む水分散体の調製
メチルメタクリレ−ト90質量部、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名「NKエステルM−90G #400」)5質量部、4−ビニルピリジン5質量部、アゾ系重合開始剤(和光純薬(株)製、商品名「V50」)2質量部およびイオン交換水400質量部を、容量2Lのフラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下、撹拌しながら70℃に昇温し、6時間重合させた。これによりアミノ基の陽イオンおよびポリエチレングリコール鎖を有する官能基を備え、平均分散粒子径150nmのポリメチルメタクリレート系粒子を含む水分散体を得た。なお、重合収率は95%であった。
メチルメタクリレ−ト90質量部、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名「NKエステルM−90G #400」)5質量部、4−ビニルピリジン5質量部、アゾ系重合開始剤(和光純薬(株)製、商品名「V50」)2質量部およびイオン交換水400質量部を、容量2Lのフラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下、撹拌しながら70℃に昇温し、6時間重合させた。これによりアミノ基の陽イオンおよびポリエチレングリコール鎖を有する官能基を備え、平均分散粒子径150nmのポリメチルメタクリレート系粒子を含む水分散体を得た。なお、重合収率は95%であった。
4.1.3 バリア膜用スラリー(A)の調製
シリカに換算して5質量%に相当する量の上記コロイダルシリカ水分散体をポリエチレン製の瓶に入れ、ここにMOSNOLを0.1質量%と、過酸化水素に換算して0.2質量%に相当する量の30質量%過酸化水素水とを順次入れた。これにマレイン酸およびアンモニアを適量加え、pHを9.0に調整し、全構成成分の量が100質量%となるようにイオン交換水を加えて1時間撹拌した。その後、孔径5μmのフィルターでろ過することにより、バリア膜用スラリー(A)を得た。
シリカに換算して5質量%に相当する量の上記コロイダルシリカ水分散体をポリエチレン製の瓶に入れ、ここにMOSNOLを0.1質量%と、過酸化水素に換算して0.2質量%に相当する量の30質量%過酸化水素水とを順次入れた。これにマレイン酸およびアンモニアを適量加え、pHを9.0に調整し、全構成成分の量が100質量%となるようにイオン交換水を加えて1時間撹拌した。その後、孔径5μmのフィルターでろ過することにより、バリア膜用スラリー(A)を得た。
4.1.4 バリア膜用スラリー(B)の調製
シリカに換算して5質量%に相当する量の上記コロイダルシリカ水分散体と、有機粒子に換算して1質量%に相当する量の上記有機粒子水分散体と、をポリエチレン製の瓶に入れ、ここにキナルジン酸を0.2質量%、過酸化水素に換算して0.6質量%に相当する量の30質量%過酸化水素水を順次入れた。これにマレイン酸およびアンモニアを適量加え、pHを9.5に調整し、全構成成分の量が100質量%となるようにイオン交換水を加えて1時間撹拌した。その後、孔径5μmのフィルターでろ過することにより、バリア膜用スラリー(B)を得た。
シリカに換算して5質量%に相当する量の上記コロイダルシリカ水分散体と、有機粒子に換算して1質量%に相当する量の上記有機粒子水分散体と、をポリエチレン製の瓶に入れ、ここにキナルジン酸を0.2質量%、過酸化水素に換算して0.6質量%に相当する量の30質量%過酸化水素水を順次入れた。これにマレイン酸およびアンモニアを適量加え、pHを9.5に調整し、全構成成分の量が100質量%となるようにイオン交換水を加えて1時間撹拌した。その後、孔径5μmのフィルターでろ過することにより、バリア膜用スラリー(B)を得た。
4.2 洗浄液の調製
表1に記載の化合物を表1に記載の濃度となるように秤量し、それを超純水に完全に溶解させた。これにより、表1記載の各洗浄液を得た。
表1に記載の化合物を表1に記載の濃度となるように秤量し、それを超純水に完全に溶解させた。これにより、表1記載の各洗浄液を得た。
4.3 銅配線基板の研磨
4.3.1 実施例1
パターン付ウェハ(セマテック社製、商品名「テストウェハ#854」)を被処理体として用いた。図5に、テストウェハ#854の層構造を模式的に示した断面図を示す。テストウェハ#854は、シリコン基板60と、シリコン基板60の上に形成された、深さ5000オングストロームの凹部64を有するTEOS膜62(絶縁膜)と、TEOS膜62の表面および凹部64を覆うように形成された、膜厚250オングストロームの窒化タンタル膜66(バリア膜)と、凹部64を充填しかつ窒化タンタル膜66の上に形成された、膜厚10000オングストロームの銅膜68(金属膜)と、を備えている。
4.3.1 実施例1
パターン付ウェハ(セマテック社製、商品名「テストウェハ#854」)を被処理体として用いた。図5に、テストウェハ#854の層構造を模式的に示した断面図を示す。テストウェハ#854は、シリコン基板60と、シリコン基板60の上に形成された、深さ5000オングストロームの凹部64を有するTEOS膜62(絶縁膜)と、TEOS膜62の表面および凹部64を覆うように形成された、膜厚250オングストロームの窒化タンタル膜66(バリア膜)と、凹部64を充填しかつ窒化タンタル膜66の上に形成された、膜厚10000オングストロームの銅膜68(金属膜)と、を備えている。
以下、試験方法について説明する。
(1)銅膜用スラリー(JSR株式会社製、商品名「CMS7401/CMS7452」)を用いて、窒化タンタル膜66が露出するまで銅膜68を研磨した。研磨開始からテーブル上から発する赤外線によって検知した終点に至るまでの時間をエンドポイント時間とし、研磨時間をエンドポイント時間の1.3倍とした。
(2)上記バリア膜用スラリー(A)を用いて、下記の条件で窒化タンタル膜66を研磨し、TEOS膜62が露出したところで研磨を終了した。
<研磨条件>
・キャリア荷重;105g/cm2
・キャリア回転数;100rpm
・定盤回転数;100rpm
・スラリー供給量;250ミリリットル/分
(3)研磨終了後、キャリア荷重を0.5psiまで下げて、表1における実施例1に記載の電気伝導度2355mS/mの洗浄液を500ミリリットル/分の流量で120秒間流出させて研磨後の銅配線基板の洗浄作業を行った。
(4)得られた銅配線基板について、配線部となる銅膜表面のコロージョンの有無を電子顕微鏡により観察した。但し、観察領域は10000μm2とした。なお、「テストウェハ#854」は、1辺が15.4mmの正方形の1つの単位の中に配線パターンを備え、各種形状の配線パターンが繰り返してなるウェハである。電子顕微鏡による観察は、正方形の4つの角部の縦2μmおよび横2μmの面積の部分について行った。
(2)上記バリア膜用スラリー(A)を用いて、下記の条件で窒化タンタル膜66を研磨し、TEOS膜62が露出したところで研磨を終了した。
<研磨条件>
・キャリア荷重;105g/cm2
・キャリア回転数;100rpm
・定盤回転数;100rpm
・スラリー供給量;250ミリリットル/分
(3)研磨終了後、キャリア荷重を0.5psiまで下げて、表1における実施例1に記載の電気伝導度2355mS/mの洗浄液を500ミリリットル/分の流量で120秒間流出させて研磨後の銅配線基板の洗浄作業を行った。
(4)得られた銅配線基板について、配線部となる銅膜表面のコロージョンの有無を電子顕微鏡により観察した。但し、観察領域は10000μm2とした。なお、「テストウェハ#854」は、1辺が15.4mmの正方形の1つの単位の中に配線パターンを備え、各種形状の配線パターンが繰り返してなるウェハである。電子顕微鏡による観察は、正方形の4つの角部の縦2μmおよび横2μmの面積の部分について行った。
実施例1の評価結果を表1に記載した。電子顕微鏡写真により観察した結果、実施例1においてはコロージョンの発生は全く認められなかった。
4.3.2 実施例2〜5
実施例2〜5については、表1に記載のバリア膜用スラリーと洗浄剤を用いたこと以外は、上記実施例1と同様にしてウェハの研磨を行った。評価結果を表1に記載した。実施例2〜5は、600〜15000mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っており、酸性またはアルカリ性のいずれの液性であっても、電子顕微鏡写真により観察した結果、コロージョンの発生は全く認められなかった。
実施例2〜5については、表1に記載のバリア膜用スラリーと洗浄剤を用いたこと以外は、上記実施例1と同様にしてウェハの研磨を行った。評価結果を表1に記載した。実施例2〜5は、600〜15000mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っており、酸性またはアルカリ性のいずれの液性であっても、電子顕微鏡写真により観察した結果、コロージョンの発生は全く認められなかった。
4.3.3 比較例1
表1に記載のバリア膜用スラリーと0.5%水酸化カリウム水溶液の代わりに超純水を用いること以外は、上記実施例1と全く同じ条件でウェハの研磨を行った。評価結果を表1に記載した。電子顕微鏡写真の結果より、超純水でウェハの洗浄を行うと、多数のコロージョンの発生が認められた。
表1に記載のバリア膜用スラリーと0.5%水酸化カリウム水溶液の代わりに超純水を用いること以外は、上記実施例1と全く同じ条件でウェハの研磨を行った。評価結果を表1に記載した。電子顕微鏡写真の結果より、超純水でウェハの洗浄を行うと、多数のコロージョンの発生が認められた。
4.3.4 比較例2〜3
比較例2〜3については、表1に記載のバリア膜用スラリーと洗浄剤を用いたこと以外は、上記実施例1と同様にしてウェハの研磨を行った。比較例2は485mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っており、また比較例3は17843mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っている。この評価結果を表1に記載した。電子顕微鏡写真の結果より、比較例2、比較例3の洗浄剤を用いてウェハの洗浄を行うと、多数のコロージョンの発生が認められた。
比較例2〜3については、表1に記載のバリア膜用スラリーと洗浄剤を用いたこと以外は、上記実施例1と同様にしてウェハの研磨を行った。比較例2は485mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っており、また比較例3は17843mS/mの電気伝導度を有する洗浄液を用いてウェハの洗浄を行っている。この評価結果を表1に記載した。電子顕微鏡写真の結果より、比較例2、比較例3の洗浄剤を用いてウェハの洗浄を行うと、多数のコロージョンの発生が認められた。
10…基体、12…絶縁膜(例えば、シリコン酸化物等)、14…絶縁膜(例えば、シリコン窒化物等)、16…絶縁膜(例えば、PETEOS等)、18…バリア膜、20…金属膜、22…配線用凹部、42…スラリー供給ノズル、44…スラリー、46…研磨布、48…ターンテーブル、50…半導体基板、52…トップリング、54…水供給ノズル、56…ドレッサー、60…シリコン基板、62…TEOS膜、64…凹部、66…窒化タンタル膜、68…銅膜、100…被処理体、200…化学機械研磨装置、300…テストウェハ#854
Claims (10)
- 半導体基板を化学機械研磨した後、洗浄液を用いて前記基板を洗浄する方法であって、
前記洗浄液は、水と、アルカリ金属を含有する化合物を含み、
前記洗浄液の電気伝導度は、600〜15000mS/mである、基板洗浄方法。 - 請求項1において、
前記アルカリ金属は、カリウムである、基板洗浄方法。 - 請求項1または2において、
前記アルカリ金属を含有する化合物は、水酸化カリウム、炭酸水素カリウム、および有機酸のカリウム塩から選択される1種である、基板洗浄方法。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記洗浄液の前記アルカリ金属を含有する化合物の濃度は、0.05〜5質量%である、基板洗浄方法。 - 凹部を有する絶縁層の上にバリア層を介して設けられ、かつ該凹部に埋設された金属層を有する被処理体を、第1の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記バリア層上の前記金属層を研磨する第1の処理工程と、
前記第1の処理工程後において、第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて、前記絶縁層上の前記バリア層を研磨する第2の処理工程と、
前記第2の処理工程後において、請求項1ないし4のいずれかに記載の洗浄液を用いて、前記被処理体を洗浄する第3の処理工程と、
を含む、半導体装置の製造方法。 - 請求項5において、
前記金属層は、銅または銅合金からなる層である、半導体装置の製造方法。 - 請求項5または6において、
前記第1の化学機械研磨用水系分散体の前記金属層に対する研磨速度は、300ナノメートル/分以上である、半導体装置の製造方法。 - 請求項5ないし7のいずれかにおいて、
前記バリア層は、タンタル、窒化タンタル、チタンおよび窒化チタンから選択される少なくとも1種からなる層である、半導体装置の製造方法。 - 請求項5ないし8のいずれかにおいて、
前記バリア層および前記絶縁層を前記第2の化学機械研磨用水系分散体を用いて同一条件で化学機械研磨した場合、前記バリア層に対する研磨速度(RB)と前記絶縁層に対する研磨速度(RIn)との研磨速度比(RB/RIn)は、0.5以上5.0以下である、半導体装置の製造方法。 - 請求項5ないし9のいずれかにおいて、
前記第3の処理工程は、高圧洗浄法、ブラシスクラビング法、超音波洗浄法およびキャビジェット法から選択される少なくとも1種を用いる、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2007244703A JP2009076716A (ja) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 基板洗浄方法および半導体装置の製造方法 |
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KR101106753B1 (ko) | 2010-04-19 | 2012-01-18 | 티피에스 주식회사 | 구연산 가리를 포함하는 세정액을 사용한 반도체 장치의 세정 방법 |
US9920287B2 (en) | 2014-05-20 | 2018-03-20 | Jsr Corporation | Cleaning composition and cleaning method |
US10319605B2 (en) | 2016-05-10 | 2019-06-11 | Jsr Corporation | Semiconductor treatment composition and treatment method |
-
2007
- 2007-09-21 JP JP2007244703A patent/JP2009076716A/ja not_active Withdrawn
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