JP2008267933A - トランスデューサ型真空計及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セットポイントを特定するための設定値A、Bを記録する記憶手段7と、記憶手段7に記録された設定値A、Bを読み出し可能な制御手段2と、制御手段2に対し設定値A、Bの読出し命令を行なうための読出しスイッチ4と、所定数を示す信号を制御手段2に供給するためのロータリスイッチ6と、制御手段2の制御により少なくとも2値表示可能な表示手段8,9とを備え、制御手段2は、読出しスイッチ4の読出し命令により読み出された設定値A、Bとロータリスイッチ6により供給された所定数を示す信号とが一致した場合に表示手段8,9により当該一致を示す表示を行なう。
【選択図】図1
Description
前記トランスデューサ型真空計では、圧力制御の基準値とするセットポイントの設定がソフトウエア上で可能であり、チャンバ内圧力を検出する圧力センサの出力の値と前記設定されたセットポイントの値とを常に比較することによって、チャンバに接続されたポンプを制御(バルブ制御)するようになされている。
このようなリレーオン/オフ制御により、チャンバ内の圧力は所定の値(セットポイント)に略維持される。
このため、セットポイントの設定後にあっては、設定値を目視だけでは確認できないという課題があった。
また、セットポイントの設定後でも設定値を容易に確認するためには、セットポイントを表示可能な液晶ディスプレイ等の表示手段を設ければよいが、その場合、装置が高価になるという課題があった。
また、表示手段に例えば安価なLEDを用いることにより、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
このように構成すれば、書き込みスイッチにより書き込み命令を発行し、ロータリスイッチにより所望の値を指定することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に設定することができる。
また、表示手段に例えば安価なLEDを用いることにより、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
このように、書き込みスイッチにより書き込みモードとし、ロータリスイッチにより所望の値を指定することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に設定することができる。
また、電磁バルブ11の開閉動作は、トランスデューサ型真空計1から出力されるリレーオン/オフ信号により制御される。
尚、EEPROM7には、セットポイントを特定するための設定値として、図4に示す指数表示において仮数Aと指数Bとが夫々記録される。
一方、圧力計3により検出された圧力値がセットポイント(チャタリング防止のため、実際にはセットポイントにヒステリシスを加味した値)以下であればリレーオフ信号を出力して電磁バルブ11を閉じ、チャンバ内10内の圧力を維持するよう制御される。
セットポイントの設定及び読出し前において、電源オン/オフを示すパワーLED13は点灯または点滅状態となされている。
そして、セットポイントの設定または読み出しのために操作者によりセットポイントスイッチ4が押下されると(ステップS1)、パワーLED13が消灯する(ステップS2)。このパワーLED13の消灯により、操作者はセットポイントの設定または読出しモードに入ったことを認識する。
このSP1−LED8の点灯により、図4の指数表示における仮数Aの設定モード(書き込みモード)に入る。
操作者は、LED8の点灯により、仮数Aの設定モードにあることを確認すると、ロータリスイッチ6の数字を所望の指数(所定数)に合わせ、セットポイントスイッチ4を押下する(ステップS5)。
また、SP1−LED8の点滅により図4の指数表示における指数Bの設定モード(書き込みモード)に入る。
操作者は、SP1−LED8の点滅により、指数Bの設定モードにあることを確認すると、ロータリスイッチ6の数字を所望の指数(所定数)に合わせ、セットポイントスイッチ4を押下する(ステップS7)。
また、ステップS7でセットポイントスイッチ4が押下されると、仮設定した仮数A及び指数BがEEPROM7に書き込まれ(ステップS9)、設定完了となる(ステップS10)。
また、ステップS11においてSP1−LED8が点灯すると、図4の指数表示における仮数Aの読出しモードに入る。
即ち、制御部2においては、(キャリブレーションスイッチ5による読出し命令により)読出しモードに入ると、EEPROM7から記録された仮数Aを読出し、ロータリスイッチ6から出力された所定数と比較し、一致した場合にLED8を点滅させる制御を行なう。
操作者は、SP1−LED8の点灯により、指数Bの読出しモードにあることを確認すると、ロータリスイッチ6を回し、その間に指数Bの値が一致すると(ステップS14)、その旨がSP2−LED9の緑色の点灯により通知される(ステップS15)。また、これにより仮数Aと指数Bの読出しが終了する(ステップS10)。
即ち、制御部2においては、読出しモードにおいて、仮数Aの特定が完了すると、EEPROM7から記録された指数Bを読出し、ロータリスイッチ6から出力された所定数と比較し、一致した場合にSP2−LED9を点灯させる制御を行なう。
また、セットポイントの読出しの際には、キャリブレーションスイッチ5により読出しモードとし、ロータリスイッチ6を回しながらSP1−LED8及びSP2−LED9の点灯状態を確認することにより、セットポイントを特定するための仮数A及び指数Bを容易に知ることができる。
また、表示手段として安価なLEDを用いることができるため、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
2 制御部(制御手段)
3 圧力計
4 セットポイントスイッチ(読出しスイッチ)
5 キャリブレーションスイッチ(書き込みスイッチ)
6 ロータリスイッチ
7 EEPROM(記憶手段)
8 SP1−LED(表示手段)
9 SP2−LED(表示手段)
10 チャンバ
11 電磁バルブ
12 ロータリポンプ
13 パワーLED
Claims (4)
- セットポイントが設定されると共に、計測したチャンバ内の圧力と前記セットポイントとに基づきチャンバ内の圧力制御を行なうトランスデューサ型真空計において、
前記セットポイントを特定するための設定値を記録する記憶手段と、前記記憶手段に記録された前記設定値を読み出し可能な制御手段と、前記制御手段に対し前記設定値の読出し命令を行なうための読出しスイッチと、所定数を示す信号を前記制御手段に供給するためのロータリスイッチと、前記制御手段の制御により少なくとも2値表示可能な表示手段とを備え、
前記制御手段は、前記読出しスイッチの読出し命令により読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより供給された所定数を示す信号とが一致した場合に前記表示手段により当該一致を示す表示を行なうことを特徴とするトランスデューサ型真空計。 - 前記制御手段は、前記記憶手段に対し前記設定値を書き込み可能であって、
前記制御手段に対し前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチをさらに備え、
前記制御手段は、前記書き込みスイッチから書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより供給された所定数を前記記憶手段に書き込むことを特徴とする請求項1に記載されたトランスデューサ型真空計。 - セットポイントが設定されると共に、計測したチャンバ内の圧力と前記セットポイントとに基づきチャンバ内の圧力制御を行なうトランスデューサ型真空計の制御方法において、
前記セットポイントを特定するための設定値が記録された前記記憶手段に対し、読出しスイッチを用いて読出し命令を行なうステップと、
ロータリスイッチにより所定数を示す信号を出力するステップと、
前記読出しスイッチの読出し命令により読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより出力された所定数を示す信号とが一致した場合に、少なくとも2値表示可能な表示手段により当該一致を示す表示を行なうステップと、
を実行することを特徴とするトランスデューサ型真空計の制御方法。 - 前記記憶手段に前記設定値を記録する際、
前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチにより書き込みモードに入るステップと、
前記書き込みモードの状態で前記書き込みスイッチにより書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより出力された所定数を前記記憶手段に書き込むステップと、
を実行することを特徴とする請求項3に記載されたトランスデューサ型真空計の制御方法。
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---|---|---|---|---|
JPH04133047A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-07 | Ricoh Co Ltd | スキャナ光学系の制御装置 |
JPH09178593A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Ckd Corp | 圧力検出器 |
JP2003097427A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空排気システムおよびその運転方法 |
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- 2007-04-19 JP JP2007110064A patent/JP5088814B2/ja active Active
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JPH09178593A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Ckd Corp | 圧力検出器 |
JP2003097427A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空排気システムおよびその運転方法 |
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