JP5286032B2 - アクチュエータおよび流量測定装置 - Google Patents

Description

この発明は、弁本体に取り付けられるアクチュエータおよび流量制御弁に接続される流量測定装置に関するものである。

従来、配管路には流量計と弁の両者を配置し、流量計によって計測された流量に基づいて弁の開度を制御するようにしていた。しかし、このような方法では、流量計と弁の両者を配管しなければならず、コストもアップする。そこで、流量計測機能と弁開度の制御機能との両機能を具備した流量制御弁が望まれ、実用化されている（例えば、特許文献１参照）。

この流量制御弁は、流体流路を形成する管路とこの管路内を流れる流体の流量を規制する弁体とを備えた弁本体と、この弁本体に取り付けられ弁体の開度を制御するアクチュエータとを備えている。弁本体には、弁体の上流側の流体圧力Ｐ１を計測する第１の圧力センサと、弁体の下流側の流体圧力Ｐ２を計測する第２の圧力センサと、弁体の開度（弁開度）θを計測する弁開度センサが設けられている。アクチュエータにはＣＰＵやメモリが搭載されている。

アクチュエータのＣＰＵは、第１の圧力センサからの流体圧力Ｐ１と第２の圧力センサからの流体圧力Ｐ２とから弁体の上下流間の差圧ΔＰを求め、弁開度センサからの弁開度θに応じた流量係数Ｃｖをメモリに格納されている特性テーブルから読み出し、この流量係数Ｃｖと差圧ΔＰから弁本体の管路内を流れる流体の流量Ｑを下記（１）式により算出する。そして、この算出した流量Ｑを計測流量Ｑｐｖとして設定流量Ｑｓｐとを比較し、計測流量Ｑｐｖが設定流量Ｑｓｐに一致するように弁開度θを制御する。

Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）^1/2 ・・・・（１）
但し、Ａは定数。

この流量制御弁において、弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係は、弁本体の口径や種類（ゲート弁、ディスク弁、ボール弁、バタフライ弁、スプール弁、フラッパ弁など）などによって異なる。そこで、従来においては、弁本体の口径や種類に合わせて適切な弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルを求めておき、この特性テーブルを取り付けられる弁本体に合わせて出荷時にアクチュエータのメモリに書き込んでいる。すなわち、アクチュエータは弁本体の口径や種類毎にあるわけではなく、取り付けられる弁本体に合わせて唯一の特性テーブルをメモリに書き込むことによって、１種類のアクチュエータで対応するようにしている。

特開平４−２３２５１４号公報 特開昭６０−１６８９７４号公報

このような流量制御弁では、故障や寿命などにより、現場でアクチュエータを交換することがある。例えば、制御性能によって、アクチュエータの動作頻度が多くなり、短時間で寿命に達することがある。このような場合、弁本体の交換はしないで、アクチュエータのみを交換する。弁本体は配管に取り付けられるため、交換する場合は設備を停止して、配管内を流れる水などの流体を抜く必要がある。このため、弁本体の交換は容易ではないが、アクチュエータの交換は比較的容易である。

アクチュエータを交換する場合、新しいアクチュエータを工場から取り寄せることになるが、新しいアクチュエータのメモリには交換前のアクチュエータのメモリに書き込まれていたものと同じ特性テーブルが書き込まれている必要がある。このため、工場で適切な特性テーブルをメモリに書き込まなければならず、労力と時間を要し、納期やコストの面でも問題がある。また、工場からアクチュエータ単体で出荷されるため、交換を要するアクチュエータが複数あるような場合、どの弁本体に取り付けるべきか不明になることもある。

また、現場での要求に応じ、アクチュエータはそのままで、弁本体を違う口径や種類に交換する場合もある。この場合、アクチュエータのメモリに書き込まれている特性テーブルを交換される弁本体に合った適切な特性テーブルに書き替えなければならず、労力・時間・コストがかかる。

なお、アクチュエータでは流量計測を行わずに、流量制御弁に接続した流量測定装置において、流量制御弁の管路内を流れる流体の流量の計測を行うようにしたものもある（例えば、特許文献２参照）。この場合、流量測定装置では、流量制御弁からの流体圧力Ｐ１とＰ２とから弁体の上下流間の差圧ΔＰを求め、流量制御弁からの弁開度θに応じた流量係数Ｃｖをメモリに格納されている特性テーブルから読み出し、この流量係数Ｃｖと差圧ΔＰから流量制御弁の管路内を流れる流体の流量Ｑを計測する。このような場合にも、流量測定装置のメモリには流量制御弁に合わせた唯一の特性テーブルしか書き込まれていないため、流量計測機能を有する流量制御弁と同様の問題が生じる。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、取り付けられる弁本体に合った適切な特性テーブルの設定を簡単かつ短時間で行うことができるアクチュエータを提供することにある。
また、接続される流量制御弁に合った適切な特性テーブルの設定を簡単かつ短時間で行うことができる流量測定装置を提供することにある。

このような目的を達成するために、第１発明（請求項１に係る発明）は、弁本体に取り付けられるアクチュエータに、取付先の候補として予め定められた弁本体毎にその弁本体の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、取付先の弁本体を指定する情報がセットされる設定部と、設定部にセットされている情報から取付先の弁本体の属性を特定し、この特定した弁本体の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に取り付けられている弁本体の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段とを設けたものである。
この発明によれば、アクチュエータを交換する場合、新しいアクチュエータに取付先の弁本体を指定する情報をセットするだけでよい。また、弁本体を交換する場合、アクチュエータに取付先の弁本体（交換する新しい弁本体）を指定する情報をセットするだけでよい。取付先の弁本体を指定する情報（例えば、弁本体の製品型番）をアクチュエータにセットすると、その情報から取付先の弁本体の属性（例えば、口径，種類など）が特定され、この特定された弁本体の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に取り付けられている弁本体の管路を流れる流体の流量計測が行われる。

第２発明（請求項２に係る発明）は、流量制御弁に接続される流量測定装置に、接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、接続先の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部と、設定部にセットされている情報から接続先の流量制御弁の属性を特定し、この特定した流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段とを設けたものである。
この発明によれば、流量測定装置を交換する場合、新しい流量測定装置に接続先の流量制御弁を指定する情報をセットするだけでよい。また、流量制御弁を交換する場合、流量測定装置に接続先の流量制御弁（交換後の流量制御弁）を指定する情報をセットするだけでよい。流量測定装置に接続先の流量制御弁を指定する情報（例えば、流量制御弁の製品型番）をセットすると、その情報から接続先の流量制御弁の属性（例えば、口径，種類など）が特定され、この特定された流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている流量制御弁の管路を流れる流体の流量計測が行われる。

第３発明（請求項３に係る発明）は、複数の流量制御弁に接続される流量測定装置に、接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係を示す特性テーブルを記憶するメモリと、接続先の複数の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部と、設定部にセットされている情報から接続先の複数の流量制御弁の属性を特定し、この特定した複数の流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている複数の流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段とを設けたものである。
この発明によれば、流量測定装置を交換する場合、新しい流量測定装置に接続先の複数の流量制御弁を指定する情報をセットするだけでよい。また、例えば、複数台ある中の１つの流量制御弁を交換する場合、流量測定装置に接続先の流量制御弁（交換後の流量制御弁）を指定する情報をセットするだけでよい。流量測定装置に接続先の複数の流量制御弁を指定する情報（例えば、各流量制御弁の製品型番）をセットすると、その情報から接続先の複数の流量制御弁の属性（例えば、口径，種類など）が特定され、この特定された複数の流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている流量制御弁の管路を流れる流体の流量計測が行われる。

第３発明において、メモリに記憶させる特性テーブルは、接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルとしてもよい。このような特性テーブルを用いることにより、第１発明および第２発明と同様に、弁体の上下流間の差圧と弁開度とから流量係数が求められるようになり、精度の高い流量計測が可能となる。

本発明によれば、弁本体に取り付けられるアクチュエータに、取付先の候補として予め定められた弁本体毎にその弁本体の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、取付先の弁本体を指定する情報がセットされる設定部とを設け、設定部にセットされている情報から取付先の弁本体の属性を特定し、この特定した弁本体の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に取り付けられている弁本体の管路内を流れる流体の流量を算出するようにしたので、アクチュエータを交換したり、弁本体を交換したりする場合、取付先の弁本体を指定する情報をアクチュエータにセットするだけで、取り付けられる弁本体に合った適切な特性テーブルの設定を簡単かつ短時間で行うことができるようになる。

また、本発明によれば、流量制御弁に接続される流量測定装置に、接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、接続先の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部とを設け、設定部にセットされている情報から接続先の流量制御弁の属性を特定し、この特定した流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出するようにしたので、流量測定装置を交換したり、流量制御弁を交換したりする場合、接続先の流量制御弁を指定する情報を流量測定装置にセットするだけで、接続される流量制御弁に合った適切な特性テーブルの設定を簡単かつ短時間で行うことができるようになる。

また、本発明によれば、複数の流量制御弁に接続される流量測定装置に、接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係を示す特性テーブルを記憶するメモリと、接続先の複数の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部とを設け、設定部にセットされている情報から接続先の複数の流量制御弁の属性を特定し、この特定した複数の流量制御弁の属性に対応するメモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている複数の流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出するようにしたので、流量測定装置を交換したり、流量制御弁を交換したりする場合、接続先の複数の流量制御弁を指定する情報を流量測定装置にセットするだけで、接続される複数の流量制御弁に合った適切な特性テーブルの設定を簡単かつ短時間で行うことができるようになる。

以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
〔参考例１：アクチュエータ〕
図１は本発明に係るアクチュエータの一実施の形態の説明に入る前の参考例（参考例１）の概略を示す図である。同図において、１００は流量制御弁であり、弁本体１と、この弁本体１に取り付けられたアクチュエータ２とで構成されている。

弁本体１は、流体流路を形成する管路１−１と、この管路１−１内を流れる流体の流量を規制する弁体１−２とを備えており、弁体１−２の上流側にはその管路内の流体圧力（上流側の流体圧力）Ｐ１を検出する第１の圧力センサＳ１が設けられ、弁体１−２の下流側にはその管路内の流体圧力（下流側の流体圧力）Ｐ２を検出する第２の圧力センサＳ２が設けられている。

アクチュエータ２は、ＣＰＵ２−１と、メモリ２−２と、表示部２−３と、設定部２−４と、モータ２−５とを備えており、モータ２−５の駆動軸は弁体１−２に連結されている。モータ２−５の駆動軸と弁体１−２との連結部には、弁体１−２の弁開度θを検出する弁開度センサＳ３が設けられている。

アクチュエータ２のＣＰＵ２−１には、第１の圧力センサＳ１が検出する弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１、第２の圧力センサＳ２が検出する弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２、弁開度センサＳ３が検出する弁体１−２の弁開度θ、上位装置からの設定流量Ｑｓｐが与えられる。

メモリ２−２には、アクチュエータ２の取付先の候補として予め定められた弁本体１毎に、その弁本体１の属性に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。本実施の形態では、弁本体１の属性としてその口径（１５Ａ〜１５０Ａ）に対応して、弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。図２に特性テーブルの一例を示す。

なお、この例では、アクチュエータ２が取り付けられている実際の弁本体１に対応して、その弁本体の製品型番が設定部２−４に既に設定されているものとする。この製品型番の設定は、現場でオペレータが行うようにしてもよく、遠隔地から通信回線を介して行うようにしてもよい。また、アクチュエータ２に携帯型の設定器を接続し、この設定器から行うようにしてもよい。

以下、図３に示すフローチャートを参照して、メモリ２−２に格納されているプログラムに従ってアクチュエータ２のＣＰＵ２−１が実行する参考例１特有の処理動作について説明する。

ＣＰＵ２−１は、設定部２−４に設定されている弁本体の製品型番を取り込み（ステップＳ１０１）、この取り込んだ製品型番から取付先の弁本体１（実際に取り付けられている弁本体１）の口径を特定する（ステップＳ１０２）。

なお、この例では、弁本体の製品型番に、その弁本体の口径を特定し得る情報が含まれているものとする。口径を特定し得る情報が製品型番に含まれていない場合には、メモリ２−２に弁本体の製品型番と口径との対応表を設け、この対応表から口径を特定するようにすればよい。また、設定部２−４に弁本体の口径そのものを設定するようにしてもよく、この場合には直接取付先の弁本体の口径が特定されるものとなる。

次に、ＣＰＵ２−１は、弁開度センサＳ３からの弁体１−２の弁開度θを読み込み（ステップＳ１０３）、ステップＳ１０２で特定した弁本体１の口径に対応するメモリ２−２内の特性テーブルからその弁開度θに応じた流量係数Ｃｖを求める（ステップＳ１０４）。また、第１の圧力センサＳ１からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１と第２の圧力センサＳ２からの弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２を読み込み（ステップＳ１０５）、この読み込んだ流体圧力Ｐ１とＰ２とから弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する（ステップＳ１０６）。

そして、ステップＳ１０４で求めた流量係数ＣｖとステップＳ１０６で求めた差圧ΔＰとから弁本体１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑ（Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）^1/2）を算出し（ステップＳ１０７）、この算出した流量Ｑを計測流量Ｑｐｖとして表示部２−３に表示する（ステップＳ１０８）。

そして、上位装置からの設定流量Ｑｓｐを読み込み（ステップＳ１０９）、計測流量Ｑｐｖと設定流量Ｑｓｐとを比較し、計測流量Ｑｐｖが設定流量Ｑｓｐに一致するように、弁体１−２の弁開度θを制御する（ステップＳ１１０）。ＣＰＵ２−１は、このステップＳ１０１〜Ｓ１１０の処理動作を定周期で繰り返す。

図４にＣＰＵ２−１の処理動作として実現される流量計測部３の機能ブロック図を示す。この流量計測部３は、設定部２−４に設定されている製品型番から取付先の弁本体１の口径を特定する属性特定部３Ａと、属性特定部３Ａにおいて特定された弁本体１の口径および弁開度センサＳ３からの弁体１−２の現在の弁開度θを入力とし、特定された口径に対応するメモリ２−２内の特性テーブルから現在の弁開度θに応じた流量係数Ｃｖを求めるＣｖ値演算部３Ｂと、第１の圧力センサＳ１からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１および第２の圧力センサＳ２からの弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２を入力とし、弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する差圧算出部３Ｃと、Ｃｖ値演算部３Ｂからの流量係数Ｃｖと差圧算出部３Ｃからの差圧ΔＰとから弁本体１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑを算出する流量算出部３Ｄとから構成される。

〔アクチュエータの交換〕
この流量制御弁１００では、故障や寿命などにより、現場でアクチュエータ２を交換することがある。この場合、新しいアクチュエータ２’を工場から取り寄せ、弁本体１に取り付けることになる。ここで、従来は、新しいアクチュエータに弁本体１に合った適切な特性テーブルを書き込まなければならなかったが、この参考例１では、新しいアクチュエータ２’の設定部２−４に弁本体１の製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この参考例１では、新しいアクチュエータ２’の設定部２−４に弁本体１の製品型番を入力すると、その製品型番から特定される弁本体１の口径に対応するメモリ２−２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出が行われる。

このように、この参考例１では、新しいアクチュエータ２’に対して実際に取り付ける弁本体１の製品型番を入力するだけで、その弁本体１に合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、アクチュエータの交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

一方、工場側では、新しいアクチュエータ２’への特性テーブルの書き込みを行わなくてもよく、１種類のアクチュエータを用意しておくのみで全ての口径の弁本体１に対応することが可能となる。これにより、工場での手間が省け、納期やコスト面の問題も解決される。また、交換を要するアクチュエータ２が複数あるような場合、納入された新しいアクチュエータ２’の設定部２−４に実際に取り付ける弁本体１の製品型番を入力すればよく、どの弁本体１に取り付けるべきか不明になることもない。

〔弁本体の交換〕
また、この流量制御弁１００では、現場での要求に応じ、アクチュエータ２は交換せずに、弁本体１を違う口径の弁本体１’に交換することもある。この場合、この参考例１では、アクチュエータ２の設定部２−４に、それまで取り付けられていた弁本体１の製品型番に替えて、実際に取り付ける弁本体１’の製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この参考例１では、アクチュエータ２の設定部２−４に、それまで取り付けられていた弁本体１の製品型番に替えて、実際に取り付ける弁本体１’の製品型番を入力すると、その製品型番から特定される弁本体１’の口径に対応するメモリ２−１２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出が行われるようになる。

このように、この参考例１では、アクチュエータ２の設定部２−４に対して実際に取り付ける弁本体１’の製品型番を入力するだけで、その弁本体１’に合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、弁本体の交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

〔参考例２：流量測定装置〕
図５は本発明に係る流量測定装置の一実施の形態の説明に入る前の参考例（参考例２）の概略を示す図である。同図において、図１と同一符号は図１を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。

この参考例２では、流量制御弁１０１に流量測定装置５を接続し、流量測定装置５で流量制御弁１０１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑ（計測流量Ｑｐｖ）を算出するようにしている。

なお、この参考例２において、流量制御弁１０１におけるアクチュエータ４は、ＣＰＵ４−１と、メモリ４−２と、モータ４−３とを備えた構成とし、アクチュエータ４のＣＰＵ５には、弁開度センサＳ３が検出する弁体１−２の弁開度θ、流量測定装置５からの計測流量Ｑｐｖ、上位装置からの設定流量Ｑｓｐを与えるようにしている。

流量測定装置５は、ＣＰＵ５−１と、メモリ５−２と、表示部５−３と、設定部５−４と、インタフェース５−５とを備えている。流量測定装置５のＣＰＵ５−１には、インタフェース５−５を介して、第１の圧力センサＳ１が検出する弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１、第２の圧力センサＳ２が検出する弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２、弁開度センサＳ３が検出する弁体１−２の弁開度θが与えられる。

流量測定装置５のメモリ５−２には、流量測定装置５の接続先の候補として予め定められた流量制御弁１０１毎に、その流量制御弁１０１の属性に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。この参考例２では、流量制御弁１０１の属性としてその口径（１５Ａ〜１５０Ａ）に対応して、弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。

なお、この例では、流量測定装置５に接続されている実際の流量制御弁１０１に対応して、その流量制御弁の製品型番が設定部５−４に既に設定されているものとする。この製品型番の設定は、現場でオペレータが行うようにしてもよく、遠隔地から通信回線を介して行うようにしてもよい。また、流量測定装置５に携帯型の設定器を接続し、この設定器から行うようにしてもよい。

以下、図６に示すフローチャートを参照して、メモリ５−２に格納されているプログラムに従って流量測定装置５のＣＰＵ５−１が実行する参考例２特有の処理動作について説明する。

ＣＰＵ５−１は、設定部５−４に設定されている流量制御弁の製品型番を取り込み（ステップＳ２０１）、この取り込んだ製品型番から接続先の流量制御弁１０１の口径（実際に接続されている流量制御弁１０１の口径）を特定する（ステップＳ２０２）。

なお、この例では、流量制御弁の製品型番に、その流量制御弁の口径を特定し得る情報が含まれているものとする。口径を特定し得る情報が製品型番に含まれていない場合には、メモリ２−２に流量制御弁の製品型番と口径との対応表を設け、この対応表から口径を特定するようにすればよい。また、設定部２−４に流量制御弁の口径そのものを設定するようにしてもよく、この場合には直接接続先の流量制御弁の口径が特定されるものとなる。

次に、ＣＰＵ５−１は、弁開度センサＳ３からの弁体１−２の弁開度θを読み込み（ステップＳ２０３）、ステップＳ２０２で特定した流量制御弁１０１の口径に対応するメモリ５−２内の特性テーブルからその弁開度θに応じた流量係数Ｃｖを求める（ステップＳ２０４）。また、第１の圧力センサＳ１からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１と第２の圧力センサＳ２からの弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２を読み込み（ステップＳ２０５）、この読み込んだ流体圧力Ｐ１とＰ２とから弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する（ステップＳ２０６）。

そして、ステップＳ２０４で求めた流量係数ＣｖとステップＳ２０６で求めた差圧ΔＰとから流量制御弁１０１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑ、（Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）^1/2）を算出する（ステップＳ２０７）。そして、この算出した流量Ｑを計測流量Ｑｐｖとして表示部５−３に表示するとともに（ステップＳ２０８）、インタフェース５−５を介して流量制御弁１０１のアクチュエータ４へ送る（ステップＳ２０９）。ＣＰＵ５−１は、このステップＳ２０１〜Ｓ２０９の処理動作を定周期で繰り返す。

アクチュエータ４のＣＰＵ５−１は、流量測定装置５から計測流量Ｑｐｖが送られてくると、この送られてきた計測流量Ｑｐｖと設定流量Ｑｓｐとを比較し、計測流量Ｑｐｖが設定流量Ｑｓｐに一致するように、弁体１−２の弁開度θを制御する。この弁開度θの制御はメモリ４−２に格納されているプログラムに従って行われる。

図７にＣＰＵ５−１の処理動作として実現される流量計測部６の機能ブロック図を示す。この流量計測部６は、設定部５−４に設定されている製品型番から接続先の流量制御弁１０１の口径を特定する属性特定部６Ａと、属性特定部６Ａにおいて特定された流量制御弁１０１の口径および弁開度センサＳ３からの弁体１−２の現在の弁開度θを入力とし、特定された口径に対応するメモリ５−２内の特性テーブルから現在の弁開度θに応じた流量係数Ｃｖを求めるＣｖ値演算部６Ｂと、第１の圧力センサＳ２からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１および第２の圧力センサＳ２からの弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２を入力とし、弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する差圧算出部６Ｃと、Ｃｖ値演算部６Ｂからの流量係数Ｃｖと差圧算出部６Ｃからの差圧ΔＰとから流量制御弁１０１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑを算出する流量算出部６Ｄとから構成される。

〔流量測定装置の交換〕
この流量測定装置５に流量制御弁１０１を接続したシステムでは、故障などにより、現場で流量測定装置５を交換することがある。この場合、新しい流量測定装置５’を工場から取り寄せ、流量制御弁１０１に接続することなる。ここで、従来は新しい流量測定装置に流量制御弁１０１に合った適切な特性テーブルを書き込まなければならなかったが、この参考例２では、新しい流量測定装置５’の設定部５−４に流量制御弁１０１の製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この参考例２では、新しい流量測定装置５’の設定部５−４に流量制御弁１０１の製品型番を入力すると、その製品型番から特定される流量制御弁１０１の口径に対応するメモリ５−２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出が行われるようになる。

このように、この参考例２では、新しい流量測定装置５’に対して実際に接続する流量制御弁１０１の製品型番を入力するだけで、その流量制御弁１０１に合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、流量測定装置の交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

一方、工場側では、新しい流量測定装置５’への特性テーブルの書き込みを行わなくてもよく、１種類の流量測定装置を用意しておくのみで全ての口径の流量制御弁１０１に対応することが可能となる。これにより、工場での手間が省け、納期やコスト面の問題も解決される。また、交換を要する流量測定装置５が複数あるような場合、納入された新しい流量測定装置５’の設定部２−４に実際に接続される流量制御弁１０１の製品型番を入力すればよく、どの流量制御弁１０１に接続するべきか不明になることもない。

〔流量制御弁の交換〕
また、この流量測定装置５を流量制御弁１０１に接続したシステムでは、現場での要求に応じ、流量測定装置５は交換せずに、流量制御弁１０１を違う口径の流量制御弁１０１’に交換することもある。この場合、この参考例２では、流量測定装置５の設定部５−４に、それまで接続されていた流量制御弁１０１の製品型番に替えて、実際に接続する流量制御弁１０１’の製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この参考例２では、流量測定装置５の設定部５−４に、それまで接続されていた流量制御弁１０１の製品型番に替えて、実際に接続される流量制御弁１０１’の製品型番を入力すると、その製品型番から特定される流量制御弁１０１’の口径に対応するメモリ５−２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出が行われるようになる。

このように、この参考例２では、流量測定装置５の設定部５−４に対して実際に接続する流量制御弁１０１’の製品型番を入力するだけで、その流量制御弁１０１’に合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、流量制御弁の交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

〔実施の形態１（第３発明）：流量測定装置〕
図８は本発明に係る流量測定装置の一実施の形態（実施の形態１）の概略を示す図である。同図において、図５と同一符号は図５を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。

この実施の形態１では、複数の流量制御弁１０１を流量測定装置７に接続し、流量測定装置７でこれら複数の流量制御弁１０１の管路１−１内を流れる流体の流量Ｑを算出するようにしている。この例では、複数の流量制御弁１０１を２つの流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂの２つとし、この流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂの管路１−１，１−１内を流れる流体の流量ＱＡ，ＱＢ（計測流量ＱＡｐｖ，ＱＢｐｖ）を算出するようにしている。

流量測定装置７は、ＣＰＵ７−１と、メモリ７−２と、表示部７−３と、設定部７−４と、インタフェース７−５とを備えている。流量測定装置７のＣＰＵ７−１には、インタフェース７−５を介して、流量制御弁１０１Ａにおける第１の圧力センサＳ１が検出する弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１Ａ、第２の圧力センサＳ２が検出する弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２Ａ、弁開度センサＳ３が検出する弁体１−２の弁開度θＡ、流量制御弁１０１Ｂにおける第１の圧力センサＳ１が検出する弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１Ｂ、第２の圧力センサＳ２が検出する弁体１−２の下流側の流体圧力Ｐ２Ｂ、弁開度センサＳ３が検出する弁体１−２の弁開度θＢが与えられる。

流量測定装置７のメモリ７−２には、流量測定装置７の接続先の候補として予め定められた流量制御弁１０１毎に、その流量制御弁１０１の属性に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。この実施の形態１では、流量制御弁１０１の属性としてその口径（１５Ａ〜１５０Ａ）に対応して、弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎが格納されている。

なお、この例では、流量測定装置７に接続されている実際の流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに対応して、その流量制御弁の製品型番が設定部７−４に既に設定されているものとする。この製品型番の設定は、現場でオペレータが行うようにしてもよく、遠隔地から通信回線を介して行うようにしてもよい。また、流量測定装置７に携帯型の設定器を接続し、この設定器から行うようにしてもよい。

以下、図９に示すフローチャートを参照して、メモリ７−２に格納されている流量計測プログラムに従って流量測定装置７のＣＰＵ７−１が実行する実施の形態１特有の処理動作について説明する。

ＣＰＵ７−１は、設定部７−４に設定されている最初の流量制御弁の製品型番（この例では、流量制御弁１０１Ａの製品型番）を取り込み（ステップＳ３０１）、この取り込んだ製品型番から接続先の流量制御弁１０１Ａの口径（実際に接続されている流量制御弁１０１Ａの口径）を特定する（ステップＳ３０２）。

次に、ＣＰＵ７−１は、流量制御弁１０１Ａの弁開度センサＳ３からの弁体１−２の弁開度θＡを読み込み（ステップＳ３０３）、ステップＳ３０２で特定した流量制御弁１０１Ａの口径に対応するメモリ７−２内の特性テーブルからその弁開度θＡに応じた流量係数Ｃｖを求める（ステップＳ３０４）。また、流量制御弁１０１Ａの第１の圧力センサＳ１からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１Ａと第２の圧力センサＳ２からの下流側の流体圧力Ｐ２Ａを読み込み（ステップＳ３０５）、この読み込んだ流体圧力Ｐ１ＡとＰ２Ａとから流量制御弁１０１Ａの弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する（ステップＳ３０６）。

そして、ステップＳ３０４で求めた流量係数ＣｖとステップＳ３０６で求めた差圧ΔＰとから流量制御弁１０１Ａの管路１−１内を流れる流体の流量Ｑ（Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）^1/2）を算出する（ステップＳ３０７）。そして、この算出した流量Ｑを計測流量ＱＡｐｖとして表示部７−３に表示するとともに（ステップＳ３０８）、インタフェース７−５を介して流量制御弁１０１Ａのアクチュエータ４へ送る（ステップＳ３０９）。

流量制御弁１０１Ａにおけるアクチュエータ４のＣＰＵ４−１は、流量測定装置７から計測流量ＱＡｐｖが送られてくると、この送られてきた計測流量ＱＡｐｖと設定流量ＱＡｓｐとを比較し、計測流量ＱＡｐｖが設定流量ＱＡｓｐに一致するように、弁体１−２の弁開度θＡを制御する。

次に、ＣＰＵ７−１は、設定部７−４に次の流量制御弁の製品型番が設定されているか否かをチェックする（ステップＳ３１０）。この場合、設定部７−４には次の流量制御弁の製品型番として流量制御弁１０１Ｂの製品型番が設定されているので、ステップＳ３１０のＹＥＳに応じてステップＳ３０１へ戻る。

ＣＰＵ７−１は、ステップＳ３０１において、設定部７−４に設定されている次の流量制御弁の製品型番（この例では、流量制御弁１０１Ｂの製品型番）を取り込む（ステップＳ３０１）。そして、この取り込んだ製品型番から接続先の流量制御弁１０１Ｂの口径（実際に接続されている流量制御弁１０１Ｂの口径）を特定する（ステップＳ３０２）。

次に、ＣＰＵ７−１は、流量制御弁１０１Ｂの弁開度センサＳ３からの弁体１−２の弁開度θＢを読み込み（ステップＳ３０３）、ステップＳ３０２で特定した流量制御弁１０１Ｂの口径に対応するメモリ７−２内の特性テーブルからその弁開度θＢに応じた流量係数Ｃｖを求める（ステップＳ３０４）。また、流量制御弁１０１Ｂの第１の圧力センサＳ１からの弁体１−２の上流側の流体圧力Ｐ１Ｂと第２の圧力センサＳ２からの下流側の流体圧力Ｐ２Ｂを読み込み（ステップＳ３０５）、この読み込んだ流体圧力Ｐ１ＢとＰ２Ｂとから流量制御弁１０１Ｂの弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰを算出する（ステップＳ３０６）。

そして、ステップＳ３０４で求めた流量係数ＣｖとステップＳ３０６で求めた差圧ΔＰとから流量制御弁１０１Ｂの管路１−１内を流れる流体の流量Ｑ（Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）^1/2）を算出する（ステップＳ３０７）。そして、この算出した流量Ｑを計測流量ＱＢｐｖとして表示部７−３に表示するとともに（ステップＳ３０８）、インタフェース７−５を介して流量制御弁１０１Ｂのアクチュエータ４へ送る（ステップＳ３０９）。

流量制御弁１０１Ｂにおけるアクチュエータ４のＣＰＵ４−１は、流量測定装置７から計測流量ＱＢｐｖが送られてくると、この送られてきた計測流量ＱＢｐｖと設定流量ＱＢｓｐとを比較し、計測流量ＱＢｐｖが設定流量ＱＢｓｐに一致するように、弁体１−２の弁開度θＢを制御する。

次に、ＣＰＵ７−１は、設定部７−４に次の流量制御弁の製品型番が設定されているか否かをチェックする（ステップＳ３１０のＮＯ）。この場合、設定部７−４には次の流量制御弁の製品型番は設定されていないので、ステップＳ３１０のＮＯに応じてステップＳ３０１〜Ｓ３１０の処理ループを脱する。ＣＰＵ７−１は、この処理動作を定周期で繰り返す。

この実施の形態１では、複数の流量制御弁１０１における流量計測を１つの流量測定装置７で行うことができるので、参考例１のように流量制御弁１０１のアクチュエータ２に個々に流量計測機能を設けなくてもよく、また参考例２のように流量制御弁１０１に１つずつ流量制御装置５を接続しなくてもよく、システムの大幅なコストダウンが図られるものとなる。

〔流量測定装置の交換〕
この流量測定装置７を流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに接続したシステムでは、故障などにより、現場で流量測定装置７を交換することがある。この場合、新しい流量測定装置７’を工場から取り寄せ、流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに接続することなる。ここで、従来の技術を適用すれば、新しい流量測定装置に流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに合った適切な特性テーブルを書き込まなければならないが、この実施の形態１では、新しい流量測定装置７’の設定部７−４に流量制御弁１０１Ａ，１０Ｂの製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この実施の形態１では、新しい流量測定装置７’の設定部７−４に流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂの製品型番を入力すると、その製品型番から特定される流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂの口径に対応するメモリ７−２内の特性テーブルを用いて、流量ＱＡ，ＱＢの算出が行われるようになる。

このように、この実施の形態１では、新しい流量測定装置７’に対して実際に接続する流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂの製品型番を入力するだけで、その流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、流量測定装置の交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

一方、工場側では、新しい流量測定装置７’への特性テーブルの書き込みを行わなくてもよく、１種類の流量測定装置を用意しておくのみで全ての口径の流量制御弁１０１に対応することが可能となる。これにより、工場での手間が省け、納期やコスト面の問題も解決される。また、交換を要する流量測定装置７が複数あるような場合、納入された新しい流量測定装置７’の設定部７−４に実際に接続される複数の流量制御弁１０１の製品型番を入力すればよく、どの流量制御弁１０１に接続するべきか不明になることもない。

〔流量制御弁の交換〕
また、この流量測定装置７を流量制御弁１０１Ａ，１０１Ｂに接続したシステムでは、現場での要求に応じ、流量測定装置５は交換せずに、例えば流量制御弁１０１Ａを違う口径の流量制御弁１０１Ａ’に交換することもある。この場合、この実施の形態１では、流量測定装置７の設定部７−４に、それまで接続されていた流量制御弁１０１Ａの製品型番に替えて、実際に接続する流量制御弁１０１Ａ’の製品型番を入力するだけでよい。

すなわち、この実施の形態１では、流量測定装置７の設定部７−４に、それまで接続されていた流量制御弁１０１Ａの製品型番に替えて、実際に接続される流量制御弁１０１Ａ’の製品型番を入力すると、その製品型番から特定される流量制御弁１０１Ａ’の口径に対応するメモリ７−２内の特性テーブルを用いて流量ＱＡの算出が行われるようになる。

このように、この実施の形態１では、流量測定装置７の設定部７−４に対して実際に接続する流量制御弁１０１Ａ’の製品型番を入力するだけで、その流量制御弁１０１Ａ’に合った適切な特性テーブルの設定が簡単かつ短時間で行われるものとなり、流量制御弁の交換を容易に行うことができるようになる。これにより、現場での交換工事の時間を短縮でき、設備の立ち上げや交換時の設備停止の期間を短くすることが可能となる。

〔実施の形態２（第１発明）〕
上述した参考例１（図１）では、アクチュエータ２のメモリ２−２に、アクチュエータ２の取付先の候補として予め定められた弁本体１毎に、その弁本体１の属性に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルＴ１〜Ｔｎを格納するようにしたが、実施の形態２のアクチュエータでは、その弁本体１における弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰをパラメータとして示した特性テーブルＴ１’〜Ｔｎ’（図１０参照）を格納する。

このような特性テーブルＴ１’〜Ｔｎ’を用いた場合、図４に示した流量計測部３の機能ブロック図は、図１１に示すような構成となる。この機能ブロック図において、Ｃｖ値演算部３Ｂ’は、属性特定部３Ａにおいて特定された弁本体１の口径、弁開度センサＳ３からの弁体１−２の現在の弁開度θに加え、差圧算出部３Ｃからの差圧ΔＰを入力とし、特定された口径に対応するメモリ２−２内の特性テーブルから現在の弁開度θおよび差圧ΔＰに応じた流量係数Ｃｖを求める。これにより流量Ｑの算出精度が高まる。

〔実施の形態３（第２発明）〕
実施の形態３の流量測定装置では、図５に示した流量測定装置５のメモリ５−２に、流量測定装置５の接続先の候補として予め定められた流量制御弁１０１毎に、その流量制御弁１０１の属性に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を弁体１−２の上下流間の差圧ΔＰをパラメータとして示した特性テーブルＴ１’〜Ｔｎ’（図１０参照）を格納するようにする。

このような特性テーブルＴ１’〜Ｔｎ’を用いた場合、図７に示した流量計測部６の機能ブロック図は、図１２に示すような構成となる。この機能ブロック図において、Ｃｖ値演算部６Ｂ’は、属性特定部６Ａにおいて特定された流量制御弁１０１の口径、弁開度センサＳ３からの流量制御弁１０１における弁体１−２の現在の弁開度θに加え、差圧算出部６Ｃからの差圧ΔＰを入力とし、特定された口径に対応するメモリ５−２内の特性テーブルから現在の弁開度θおよび差圧ΔＰに応じた流量係数Ｃｖを求める。これにより流量Ｑの算出精度が高まる。実施の形態１についても同様にして、特性テーブルＴ１’〜Ｔｎ’を用いるようにしてもよい。

また、上述した実施の形態１〜３では、弁本体や流量制御弁の属性を口径とし、この口径に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルをメモリに格納するようにしたが、ゲート弁、ディスク弁、ボール弁、バタフライ弁、スプール弁、フラッパ弁などの種類を属性とし、この種類に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す特性テーブルをメモリに格納するようにしてもよい。また、本発明において、弁本体や流量制御弁の属性は口径や種類に限られるものでもない。

また、上述した実施の形態２では、アクチュエータ２において計測した流量Ｑｐｖと設定流量Ｑｓｐとを一致させるように弁体１−２の弁開度θを制御するようにしたが、アクチュエータ２に設定開度θｓｐを与えるようにし、この設定開度θｓｐと弁開度センサＳ３が検出する弁開度θ（θｐｖ）とを一致させるように弁体１−２の弁開度θを制御するようにしてもよい。この場合、アクチュエータ２で計測された流量Ｑｐｖは、表示されるのみとなる。

また、実施の形態３でも同様に、流量制御弁１０１において設定開度θｓｐと検出される弁開度θｐｖとを一致させるように、弁体１−２の弁開度θを制御してもよい。この場合、流量測定装置５から流量制御弁１０１に計測流量Ｑｐｖを送る必要はない。実施の形態１でも同様である。

本発明に係るアクチュエータの一実施の形態の説明に入る前の参考例（参考 例１）の概略を示す図である。 このアクチュエータにおけるメモリ内に設定する特性テーブルの一例を示す図である。 このアクチュエータにおけるＣＰＵが実行する処理動作を説明するフローチャートである。 このアクチュエータにおけるＣＰＵの処理動作として実現される流量計測部の機能ブロック図である。 本発明に係る流量測定装置の一実施の形態の説明に入る前の参考例（参考例 ２）の概略を示す図である。 この流量測定装置におけるＣＰＵが実行する処理動作を説明するフローチャートである。 この流量測定装置におけるＣＰＵの処理動作として実現される流量計測部の機能ブロック図である。 本発明に係る流量測定装置の一実施の形態（実施の形態１）の概略を示す図である。 この流量測定装置におけるＣＰＵが実行する処理動作を説明するフローチャートである。 弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを例示する図である。 弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを用いた場合の図４に対応する流量計測部の機能ブロック図である。 弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを用いた場合の図７に対応する流量計測部の機能ブロック図である。

符号の説明

１（１’）…弁本体、１−１…管路、１−１…弁体、２（２’）…アクチュエータ、２−１…ＣＰＵ、２−２…メモリ、２−３…表示部、２−４…設定部、２−５…モータ、Ｓ１…第１の圧力センサ、Ｓ２…第２の圧力センサ、Ｓ３…弁開度センサ、３…流量計測部、３Ａ…属性設定部、３Ｂ（３Ｂ’）…Ｃｖ値演算部、３Ｃ…差圧算出部、３Ｄ…流量算出部、Ｔ１〜Ｔｎ（Ｔ１’〜Ｔｎ）…特性テーブル、４…アクチュエータ、４−１…ＣＰＵ、４−２…メモリ、４−３…モータ、５（５’）…流量測定装置、５−１…ＣＰＵ、５−２…メモリ、５−３…表示部、５−４…設定部、５−５…インタフェース、６…流量計測部、６Ａ…属性設定部、６Ｂ（６Ｂ’）…Ｃｖ値演算部、６Ｃ…差圧算出部、６Ｄ…流量算出部、７…流量測定装置、７−１…ＣＰＵ、７−２…メモリ、７−３…表示部、７−４…設定部、７−５…インタフェース、１００（１００’），１０１（１０１’），１０１Ａ（１０１Ａ’），１０１Ｂ…流量制御弁。

Claims (4)

1. 流体流路を形成する管路とこの管路内を流れる流体の流量を規制する弁体とを備えた弁本体に取り付けられ、前記弁体の弁開度を制御するアクチュエータにおいて、
   取付先の候補として予め定められた弁本体毎にその弁本体の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、
   取付先の弁本体を指定する情報がセットされる設定部と、
   前記設定部にセットされている情報から取付先の弁本体の属性を特定し、この特定した弁本体の属性に対応する前記メモリ内の特性テーブルを用いて、実際に取り付けられている弁本体の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段と
   を備えることを特徴とするアクチュエータ。
2. 流体流路を形成する管路とこの管路内を流れる流体の流量を規制する弁体とを備えた弁本体と、この弁本体に取り付けられ前記弁体の弁開度を制御するアクチュエータとを備えた流量制御弁に接続され、この流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を計測する流量測定装置において、
   接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶するメモリと、
   接続先の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部と、
   前記設定部にセットされている情報から接続先の流量制御弁の属性を特定し、この特定した流量制御弁の属性に対応する前記メモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段と
   を備えることを特徴とする流量測定装置。
3. 流体流路を形成する管路とこの管路内を流れる流体の流量を規制する弁体とを備えた弁本体と、この弁本体に取り付けられ前記弁体の弁開度を制御するアクチュエータとを備えた複数の流量制御弁に接続され、これら流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を計測する流量測定装置であって、
   接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係を示す特性テーブルを記憶するメモリと、
   接続先の複数の流量制御弁を指定する情報がセットされる設定部と、
   前記設定部にセットされている情報から接続先の複数の流量制御弁の属性を特定し、この特定した複数の流量制御弁の属性に対応する前記メモリ内の特性テーブルを用いて、実際に接続されている複数の流量制御弁の管路内を流れる流体の流量を算出する流量算出手段と
   を備えることを特徴とする流量測定装置。
4. 請求項３に記載された流量測定装置において、
   前記メモリは、
   接続先の候補として予め定められた流量制御弁毎にその流量制御弁の属性に対応して弁開度と流量係数との関係をその弁体の上下流間の差圧をパラメータとして示した特性テーブルを記憶する
   ことを特徴とする流量測定装置。

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