JP2017067585A - 流量演算装置、流量演算方法および流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】流量の計測精度を高める。高精度な流量制御を実現する。【解決手段】弁体14に結合された弁軸17の回転位置から検出される弁体の弁開度θpvを弁開度実測値とし、弁体14の1次側の流体の圧力P1と2次側の流体の圧力P2との圧力差として検出される弁体の前後差圧ΔPを差圧検出値とし、この弁開度実測値θpvと差圧検出値ΔPとからその時の弁軸17のねじれ量に対応する補正値αを求め、この補正値αを用いて弁開度実測値θpvを補正し、補正された弁開度θpv’と差圧検出値ΔPとに基づいて管路13を流れる流体の流量を算出する。この算出された流体の流量を計測流量Qpvとし、計測流量Qpvが設定流量Qspに一致するように、弁軸17の回転量を制御する。【選択図】 図2
Description
本発明は、弁体によってその開閉量が調節される流路を流れる流体の流量を演算する流量演算装置、流量演算方法および演算された流量を用いて流路を流れる流体の流量を制御する流量制御装置に関する。
従来、配管路には流量計と弁の両者を配置し、流量計によって計測された流量に基づいて弁の開度(弁開度)を制御するようにしていた。しかし、このような方法では、流量計と弁の両者を配管しなければならず、コストもアップする。そこで、流量計測機能と弁開度の制御機能との両機能を具備した流量制御バルブが望まれ、実用化されている(例えば、特許文献1,2参照)。
この流量制御バルブは、流体が流れる流路を形成する管路とこの管路を流れる流体の流量(流路の開閉量)を調節する弁体とを備えた弁本体と、この弁本体に取り付けられ弁体の弁開度を制御するアクチュエータとを備えている。アクチュエータは弁体に結合された弁軸を回転させるモータを備えている。また、アクチュエータには、CPUやメモリが搭載されている。弁本体には、弁体の上流側の流体圧力P1を計測する第1の圧力センサと、弁体の下流側の流体圧力P2を計測する第2の圧力センサと、弁軸の回転位置から弁体の弁開度θを検出する弁開度センサが設けられている。
アクチュエータのCPUは、第1の圧力センサからの流体圧力P1と第2の圧力センサからの流体圧力P2との圧力差として検出される弁体の前後差圧(差圧)ΔPを差圧検出値として取得し、弁開度センサからの弁開度θと差圧ΔPとの組合せに応じた流量係数Cvをメモリに格納されている特性テーブルから読み出し、この流量係数Cvと差圧ΔPとから弁本体の管路内を流れる流体の流量Qを下記(1)式により算出する。そして、この算出した流量Qを計測流量Qpvとして設定流量Qspと比較し、計測流量Qpvが設定流量Qspに一致するように弁軸の回転量を制御する。
Q=A・Cv・(ΔP)1/2 ・・・・(1)
但し、Aは定数。
但し、Aは定数。
しかしながら、弁体に結合された弁軸を回転させるタイプの流量制御バルブ(回転弁)では、流れる流体の圧力により弁軸にねじれが生じる。また、流体を閉止するためのシートや軸受と弁体間の摩擦抵抗により、弁体を回転させる際にも弁軸にねじれが生じる。さらに、前後差圧が発生すると、弁体に圧力がかかり、弁軸を支えているシートや軸受との間の摩擦抵抗が増加する。その摩擦抵抗によって弁軸のねじれがさらに増加する。
弁軸にねじれが生じると、弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度(弁開度実測値)と弁体の実際の弁開度(弁開度実値)との間に誤差が発生する。このため、上記(1)式によって求められる計測流量Qpvに弁軸のねじれに起因する誤差が生じ、流量制御の精度が低下してしまう。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、流量の計測精度を高めることが可能な流量演算装置および流量演算方法を提供することにある。また、高精度な流量制御を実現することが可能な流量制御装置を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明に係る流量演算装置は、流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度を弁開度実測値とし、弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される弁体の前後差圧を差圧検出値とし、この弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方からその時の弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、弁開度補正部によって補正された弁開度と差圧検出値とに基づいて流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部とを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る流量演算方法は、流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度を弁開度実測値として取得する弁開度取得ステップと、弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される弁体の前後差圧を差圧検出値として取得する差圧取得ステップと、弁開度取得ステップによって取得された弁開度実測値と差圧取得ステップによって取得された差圧検出値との少なくとも一方からその時の弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて弁開度実測値を補正する弁開度補正ステップと、弁開度補正ステップによって補正された弁開度と差圧取得ステップによって取得された差圧検出値とに基づいて流路を流れる流体の流量を算出する流量算出ステップとを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る流量制御装置は、流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度を弁開度実測値とし、弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される弁体の前後差圧を差圧検出値とし、この弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方からその時の弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、弁開度補正部によって補正された弁開度と差圧検出値とに基づいて流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と、流量算出部によって算出される流体の流量を計測流量とし、この計測流量が設定流量に一致するように弁軸の回転量を制御する弁開度制御部とを備えることを特徴とする。
なお、本発明において、弁体の弁開度の変更を判断し、弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方、および判断した弁開度の変更方向からその時の弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて弁開度実測値を補正するようにしてもよい。
本発明によれば、弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度を弁開度実測値とし、弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される弁体の前後差圧を差圧検出値とし、この弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方からその時の弁軸のねじれ量に対応する補正値が求められ、この補正値を用いて弁開度実測値が補正されるものとなり、実際の弁体の弁開度(弁開度実値)と弁軸の回転位置から検出される弁体の弁開度(弁開度実測値)との間に発生する誤差をなくすようにして、流量の計測精度を高めることが可能となる。また、流量の計測精度を高めることによって、高精度な流量制御を実現することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の実施の形態に係る回転弁を用いた空調制御システムの一例を示す計装図である。
図1において、1は冷温水を生成する熱源機、2は熱源機1が生成する冷温水を搬送するポンプ、3は複数の熱源機1からの冷温水を混合する往ヘッダ、4は往水管路、5は往ヘッダ3から往水管路4を介して送られてくる冷温水の供給を受ける空調機、6は還水管路、7は空調機5において熱交換され還水管路6を介して送られてくる冷温水が戻される還ヘッダ、8は往ヘッダ3から空調機5に供給される冷温水の流量を制御する流量制御バルブ(回転弁)、9は空調機5から送り出される給気の温度を計測する給気温度センサ、10は空調制御装置、11は空調機5のコイル、12は送風機である。
この空調制御システムにおいて、ポンプ2より圧送され熱源機1により熱量が付加された冷温水は、往ヘッダ3において混合され、往水管路4を介して空調機5へ供給され、空調機5を通過して還水管路6により還水として還ヘッダ7へ至り、再びポンプ2によって圧送され、以上の経路を循環する。例えば、冷房運転の場合、熱源機1では冷水が生成され、この冷水が循環する。暖房運転の場合、熱源機1では温水が生成され、この温水が循環する。
空調機5は、制御対象エリアから空調制御システムに戻る空気(還気)と外気との混合気を、冷温水が通過するコイル11によって冷却または加熱し、この冷却または加熱された空気を給気として送風機12を介して制御対象エリアに送り込む。空調機5は、冷房運転と暖房運転で共通のコイル11を用いるシングルタイプの空調機であり、この空調機5へ循環させる冷温水の還水管路6に本発明の実施の形態に係る回転弁が流量制御バルブ8として設けられている。
〔実施の形態1〕
図2はこの空調制御システムに用いられている流量制御バルブ8の要部を示す図である。流量制御バルブ8は、弁本体8−1と、この弁本体8−1に取り付けられたアクチュエータ8−2とで構成されている。
図2はこの空調制御システムに用いられている流量制御バルブ8の要部を示す図である。流量制御バルブ8は、弁本体8−1と、この弁本体8−1に取り付けられたアクチュエータ8−2とで構成されている。
弁本体8−1は、空調機5を通過した冷温水が流入する流路を形成する管路13と、この管路13を流れる流体の流量(流路の開閉量)を調節する弁体14とを備えており、弁体14の上流側にはその管路13内の流体圧力(1次側の流体の圧力)P1を検出する1次側圧力センサ15が設けられ、弁体14の下流側にはその管路13内の流体圧力(2次側の流体の圧力)P2を検出する2次側圧力センサ16が設けられている。
アクチュエータ8−2は、弁体14に結合された弁軸17を回転させるモータ18と、このモータ18の駆動軸18−1に連結された弁軸17の回転位置(駆動軸18−1付近の回転位置)から弁体14の弁開度θpvを検出する弁開度検出器19と、処理部20とを備えている。
処理部20は、弁開度制御部20Aと、差圧検出部20Bと、弁開度補正部20Cと、補正テーブル記憶部20Dと、流量算出部20Eと、特性テーブル記憶部20Fとを備えている。弁開度補正部20Cは、補正値取得部20C1と、弁開度実測値補正部20C2とを備えている。流量算出部20Eは、Cv値決定部20E1と、実流量算出部20E2とを備えている。
差圧検出部20Bは、1次側圧力センサ15からの流体の1次圧力P1と、2次側圧力センサ16からの流体の2次圧力P2とを入力とし、1次圧力P1と2次圧力P2との圧力差を弁体14の前後差圧(差圧)ΔPとして検出する。なお、1次側圧力センサ15及び2次側圧力センサ16の代わりに差圧センサを設け、この差圧センサによって弁体14の前後差圧ΔPを直接検出することも可能である。
補正テーブル記憶部20Dには、弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組み合わせに対応してその時の弁軸17のねじれ量に対応する補正値αを定めた補正テーブルTA(図3参照)が記憶されている。この補正テーブルTAにおいて、補正値αは、実験によって求められた値であり、弁体14の弁開度θpvと弁体14の前後差圧ΔPとから推定されるその時の弁軸17のねじれ量を開度〔%FS〕で表した値である。
なお、補正テーブルTAにおいて、弁軸17のねじれ量に対応する補正値αは、他にも角度〔゜〕、動作時間〔s〕、動作量〔mm〕、制御信号量〔VやA〕などで表した値としてもよい。この実施の形態では、弁軸17のねじれ量を%FS(フルスケールに対する割合)で表した開度値とする。
特性テーブル記憶部20Fには、弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組合せに対応してその時の流量係数Cvを定めた特性テーブルTB(図4参照)が記憶されている。この例では、弁体14の前後差圧(差圧)を3種類とし、弁体14の弁開度と3種類の差圧との組合せに対応してその時の流量係数Cvを定めた特性テーブルTBが記憶されている。
また、本実施の形態において、処理部20は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現される。
以下、処理部20における弁開度制御部20A、弁開度補正部20Cおよび流量算出部20Eの機能を交えながら、この流量制御バルブ8における特徴的な処理動作について説明する。
なお、この例では、制御対象エリアの温度を設定温度に保つべく、設定流量Qspが空調制御装置10より流量制御バルブ8へ与えられるものとする。この場合、空調制御装置10からの設定流量Qspは、弁開度制御部20Aへ送られる。
流量制御バルブ8において、差圧検出部20Bは、1次側圧力センサ15からの流体の1次圧力P1と、2次側圧力センサ16からの流体の2次圧力P2とを入力とし、1次圧力P1と2次圧力P2との圧力差を弁体14の前後差圧(差圧)ΔPとして検出する。この差圧検出部20Bが検出する弁体14の前後差圧ΔPは、差圧検出値として弁開度補正部20Cおよび流量算出部20Eへ送られる。
弁開度検出器19は、モータ18の駆動軸18−1に連結された弁軸17の回転位置(駆動軸18−1付近の回転位置)から弁体14の弁開度θpvを検出する。この弁開度検出器19が検出する弁開度θpvは、弁開度実測値として弁開度補正部20Cへ送られる。
弁開度補正部20Cにおいて、補正値取得部20C1は、弁開度検出器19からの弁開度実測値θpvと差圧検出部20Bからの差圧検出値ΔPとを入力とし、この弁開度実測値θpvと差圧検出値ΔPとの組み合わせに対応する補正値αを補正テーブルTAから取得し、この取得した補正値αを弁開度実測値補正部20C2に送る。
弁開度実測値補正部20C2は、弁開度検出器19からの弁開度実測値θpvと補正値取得部20C1からの補正値αとを入力とし、弁開度検出器19からの補正値αを用いて弁開度実測値θpvを補正して弁開度θpv’とする。
この流量制御バルブ8では、流れる流体の圧力により弁軸17にねじれが生じる。このため、弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)θpvと弁体14の実際の弁開度(弁開度実値)θprとの間に誤差δが発生する(図5参照)。そこで、本実施の形態では、この誤差δが生じないように、弁開度実測値補正部20C2において弁開度実測値θpvを補正値αを用いて補正し、補正後の弁開度θpv’と弁開度実値θprとを一致させる。
例えば、図5に示した状態において、弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)θpvが50%、弁体14の前後差圧(差圧検出値)ΔPが300kPaである場合、補正値取得部20C1では補正テーブルTA(図3)から補正値αとして0.1%FSが取得される。これにより、弁開度実測値補正部20C2で補正された弁開度θpv’は、θpv’=θpv−α=50%−0.1%=49.9%となり、弁開度実値θpr=49.9%と一致するものとなる。
弁開度実測値補正部20C2で補正された弁開度θpv’は流量算出部20Eに送られる。流量算出部20Eにおいて、Cv値決定部20E1は、差圧検出部20Bからの差圧検出値ΔPと弁開度実測値補正部20C2からの補正された弁開度θpv’とを入力とし、差圧検出値ΔPと補正された弁開度θpv’との組合せに対応する流量係数Cvを特性テーブルTBから取得し、実流量算出部20E2に送る。
実流量算出部20E2は、Cv値決定部20E1からの流量係数Cvと差圧検出部20Bからの差圧検出値ΔPとを入力とし、この流量係数Cvと差圧ΔPとから管路13内を流れる流体の流量QをQ=A・Cv・(ΔP)1/2として算出し、この算出した流量Qを計測流量Qpvとして弁開度制御部20Aへ送る。
弁開度制御部20Aは、流量算出部20Eからの計測流量Qpvと空調制御装置10からの設定流量Qspとを入力とし、計測流量Qpvが設定流量Qspに一致するようにモータ18へ指令を送る。これにより、弁軸17が回転し、弁体14の開閉量が調節され、計測流量Qpvが設定流量Qspに一致するものとなる。
このように、本実施の形態によれば、補正テーブルTAから求められるその時の弁軸17のねじれ量に対応する補正値αで弁開度実測値θpvを補正することにより、弁体14の実際の弁開度(弁開度実値)θprと弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)θpvとの間に発生する誤差δを無くすようにして、流量の計測精度を高め、高精度な流量制御を実現することができるようになる。
なお、補正テーブルTAに設定する補正値αを開度〔%FS〕ではなく、角度〔゜〕、動作時間〔s〕、動作量〔mm〕、制御信号量〔VやA〕などの他の値として表した場合でも、同様にして弁開度実測値θpvを補正することによって、弁体14の実際の弁開度(弁開度実値)θprと弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)θpvとの間に発生する誤差δを無くすようにすることが可能である。
また、特許文献1,2や特許文献3などに示されているような上下流の圧力センサを配置した流量制御バルブに本発明を適用すれば、専用のセンサや検出用の回路を持つ必要がなくなり、ハードウェアによるコストアップが無く、流量制御の高精度化が実現できる。
〔実施の形態2〕
図2に示した例(実施の形態1)では、補正テーブル記憶部20Dに記憶させる補正テーブルを1つとしているが、図6に実施の形態2として示すように、弁開度の変更方向を考慮し、閉方向変更用の補正テーブル(第1の補正テーブル)TA1(図7A参照)と開方向変更用の補正テーブル(第2の補正テーブル)TA2(図7B参照)の2つの補正テーブルを補正テーブル記憶部20Dに記憶させるようにしてもよい。
図2に示した例(実施の形態1)では、補正テーブル記憶部20Dに記憶させる補正テーブルを1つとしているが、図6に実施の形態2として示すように、弁開度の変更方向を考慮し、閉方向変更用の補正テーブル(第1の補正テーブル)TA1(図7A参照)と開方向変更用の補正テーブル(第2の補正テーブル)TA2(図7B参照)の2つの補正テーブルを補正テーブル記憶部20Dに記憶させるようにしてもよい。
この場合、閉方向変更用の補正テーブルTA1には、弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組み合わせに対応した第1の補正値α1を設定するものとし、この第1の弁開度補正値α1の各々を正の値(プラス値)とする。また、開方向変更用の補正テーブルTA2には、弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組み合わせに対応した第2の補正値α2を設定するものとし、この第2の補正値α2の各々を負の値(マイナス値)とする。
また、補正値取得部20C1において、弁開度の変更方向を判断するようにし、弁開度が減少する方向(閉方向)に変更される場合には、弁開度検出器19によって検出された弁開度θpvと差圧検出部20Bによって検出された前後差圧ΔPとに対応する第1の補正値α1を閉方向変更用の補正テーブル(第1の補正テーブル)TA1から取得するようにする。また、弁開度が増大する方向(開方向)に変更される場合には、弁開度検出器19によって検出された弁開度θpvと差圧検出部20Bによって検出された前後差圧ΔPとに対応する第2の補正値α2を開方向変更用の補正テーブル(第2の補正テーブル)TA2から取得するようにする。そして、取得した第1の補正値α1あるいは第2の補正値α2をその時の弁軸17のねじれ量に対応する補正値αとして弁開度実測値補正部20C2に送るようにする。
なお、閉方向変更用の補正テーブルTA1における第1の補正値α1の各々をプラス値とし、開方向変更用の補正テーブルTA2における第2の補正値α2の各々をマイナス値とするのは、次のような理由による。
図8Aに弁開度を例えば60%から50%へ変更した場合の図5に対応する図を示す。この場合、弁体14の実際の弁開度(弁開度実値)θprと弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)θpvとの間に誤差δが生じ、この誤差δを無くすためには弁開度を増加させる必要がある。このため、第1の補正値α1をプラス値として、弁開度実値θprと補正後の弁開度θpv’とを一致させるようにする。
図8Bに弁開度を例えば40%から50%へ変更した場合の図5に対応する図を示す。この場合、弁体14の実際の開度(弁開度実値)θprと弁軸17の回転位置から検出される弁体14の開度(弁開度実測値)θpvとの間に誤差δが生じ、この誤差δを無くすためには弁開度を減少させる必要がある。このため、第2の補正値α2をマイナス値として、弁開度実値θprと補正後の弁開度θpv’とを一致させるようにする。
なお、実施の形態1(図2に示した例)において、弁開度の変更方向を考慮するものとした場合、弁開度実測値補正部20C2において弁開度の変更方向を判断するようにし、弁開度が減少する方向に変更される場合には、弁開度実測値θpvに補正値αをプラス値として加えるようにし、弁開度が増大する方向に変更される場合には、弁開度実測値θpvに補正値αをマイナス値として加えるようにすればよい。
また、上述した実施の形態では、弁軸17のねじれ量に対応する補正値を弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組合せに対応する値としたが、必ずしも弁体14の弁開度と弁体14の前後差圧との組合せに対応する値としなくてもよい。
例えば、弁軸17のねじれ量は、弁体14の弁開度とねじれ量との関係(図9参照)や弁体14の前後差圧とねじれ量との関係(図10参照)から知ることも可能である。このような関係を利用し、弁体14の弁開度に対応する値として弁軸17のねじれ量に対応する補正値を定めるようにしたり、弁体14の前後差圧に対応する値として弁軸17のねじれ量に対応する補正値を定めるようにしたりしてもよい。
また、上述した実施の形態では、弁軸17のねじれ量に対応する補正値をテーブルから取得する(テーブル方式)ようにしたが、式を定めて計算によって求める(算術方式)ようにしたりしてもよい。例えば、弁開度実測値θpvと差圧検出値ΔPとから弁軸17に発生するトルク値を求め、このトルク値と弁軸17や駆動軸18−1の材質・形状(部材長さ、弾性係数、断面二次極モーメント)からねじれ量を算出し、この算出したねじれ量をその時の弁軸17のねじれ量に対応する補正値としてもよい。また、このねじれ量を算出する際、弁体の14の弁開度の変更方向を判断し、この判断した弁開度の変更方向を算出されるねじれ量に反映するようにしてもよい。下記に一般的なねじれ角の演算式を示す。また、このトルク値から算出されるねじれ量を補正値とした補正テーブルを補正テーブル記憶部20Dに記憶させておくようにしてもよい。
θ=TI/GIp・・・・(2)
θ:ねじれ角、T:トルク、I:部材長さ、G:横弾性係数、Ip:断面二次極モーメント。
θ:ねじれ角、T:トルク、I:部材長さ、G:横弾性係数、Ip:断面二次極モーメント。
また、弁軸17のねじれ量に対応する補正値を一定値として定め、弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)を、弁軸17のねじれ量に対応する補正値として定められた一定値で補正するようにしてもよい。
また、弁体14の弁開度の変更方向および弁軸17のねじれ量に対応する補正値を一定値として定め、弁軸17の回転位置から検出される弁体14の弁開度(弁開度実測値)を、弁体14の弁開度の変更方向および弁軸17のねじれ量に対応する補正値として定められた一定値で補正するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態では、空調制御システムにおける使用例として説明したが、工業分野への応用が可能である。特に、プロセス制御の流量制御システムに適用可能である。また、流体も冷水・温水に限らず、気体など様々な流体に応用が可能である。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
8…流量制御バルブ(回転弁)、8−1…弁本体、8−2…アクチュエータ、13…管路、14…弁体、15…1次側圧力センサ 、16…2次側圧力センサ、17…弁軸、18…モータ、19…弁開度検出器、20…処理部、20A…弁開度制御部、20B…差圧検出部、20C…弁開度補正部、20C1……補正値取得部、20C2…弁開度実測値補正部、20D…補正テーブル記憶部、TA…補正テーブル、TA1…閉方向変更用の補正テーブル(第1の補正テーブル)、TA2…開方向変更用の補正テーブル(第2の補正テーブル)、20F…特性テーブル記憶部、TB…特性テーブル。
Claims (12)
- 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値とし、前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値とし、この弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と
を備えることを特徴とする流量演算装置。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値として取得する弁開度取得ステップと、
前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値として取得する差圧取得ステップと、
前記弁開度取得ステップによって取得された弁開度実測値と前記差圧取得ステップによって取得された差圧検出値との少なくとも一方からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正ステップと、
前記弁開度補正ステップによって補正された弁開度と前記差圧取得ステップによって取得された差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出ステップと
を備えることを特徴とする流量演算方法。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値とし、前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値とし、この弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部によって算出される流体の流量を計測流量とし、この計測流量が設定流量に一致するように前記弁軸の回転量を制御する弁開度制御部と
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 請求項1に記載された流量演算装置において、
前記弁体の弁開度と前記弁体の前後差圧との組み合わせに対応してその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を定めた補正テーブルを記憶する補正テーブル記憶部を備え、
前記弁開度補正部は、
前記補正テーブルから前記弁開度実測値と前記差圧検出値との組み合わせに対応する補正値を取得し、この取得した補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する
ことを特徴とする流量演算装置。 - 請求項1に記載された流量演算装置において、
前記弁開度補正部は、
前記弁開度実測値と前記差圧検出値とから前記弁軸に発生するトルク値を求め、このトルク値を所定の演算式に代入してその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この求めた補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する
ことを特徴とする流量演算装置。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を前記弁軸のねじれ量に対応する補正値として定められた一定値で補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と
を備えることを特徴とする流量演算装置。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値とし、前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値とし、前記弁体の弁開度の変更方向を判断し、前記弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方、および前記判断した弁開度の変更方向からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と
を備えることを特徴とする流量演算装置。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値として取得する弁開度取得ステップと、
前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値として取得する差圧取得ステップと、
前記弁体の弁開度の変更方向を判断する弁開度変更方向判断ステップと、
前記弁開度取得ステップによって取得された弁開度実測値と前記差圧取得ステップによって取得された差圧検出値との少なくとも一方、および前記弁開度変更方向判断ステップによって判断された弁開度の変更方向からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正ステップと、
前記弁開度補正ステップによって補正された弁開度と前記差圧取得ステップによって取得された差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出ステップと
を備えることを特徴とする流量演算方法。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を弁開度実測値とし、前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧を差圧検出値とし、前記弁体の弁開度の変更方向を判断し、前記弁開度実測値と差圧検出値との少なくとも一方、および前記判断した弁開度の変更方向からその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記差圧検出値とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部によって算出される流体の流量を計測流量とし、この計測流量が設定流量に一致するように前記弁軸の回転量を制御する弁開度制御部と
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 請求項7に記載された流量演算装置において、
前記弁体の弁開度と前記弁体の前後差圧と前記弁体の弁開度の変更方向との組み合わせに対応してその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を定めた補正テーブルを記憶する補正テーブル記憶部を備え、
前記弁開度補正部は、
前記補正テーブルから前記弁開度実測値と前記差圧検出値と前記判断した弁開度の変更方向との組み合わせに対応する補正値を取得し、この取得した補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する
ことを特徴とする流量演算装置。 - 請求項7に記載された流量演算装置において、
前記弁開度補正部は、
前記弁開度実測値と前記差圧検出値とから前記弁軸に発生するトルク値を求め、前記弁体の弁開度の変更方向を判断し、前記トルク値、および前記判断した弁開度の変更方向を所定の演算式に代入してその時の前記弁軸のねじれ量に対応する補正値を求め、この求めた補正値を用いて前記弁開度実測値を補正する
ことを特徴とする流量演算装置。 - 流体が流れる流路の開閉量を調節する弁体に結合された弁軸の回転位置から検出される前記弁体の弁開度を、前記弁体の弁開度の変更方向および前記弁軸のねじれ量に対応する補正値として定められた一定値で補正する弁開度補正部と、
前記弁開度補正部によって補正された弁開度と前記弁体の1次側の流体の圧力と2次側の流体の圧力との圧力差として検出される前記弁体の前後差圧とに基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と
を備えることを特徴とする流量演算装置。
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