JP2008267853A - 3次元形状計測装置および3次元形状計測方法ならびに部品実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品2に対して照射されたレーザ光の反射光を受光することにより電子部品2の3次元形状を計測する3次元センサ11において、1対のPSD21A,21Bの受光位置検出結果から走査光が所定の入射方向から誤差Δθだけずれて入射することに起因して、PSD21A,21Bにおいてそれぞれ生じる受光位置の誤差−ΔZx、ΔZxを分離して検出し、PSD21A,21Bからの出力値にそれぞれ誤差−ΔZx、ΔZxの補正分を加味した上で受光位置検出結果として出力する。これにより、走査光の入射方向のずれに起因する計測誤差を排除して、正しい3次元形状データを取得することができる。
【選択図】図5
Description
結果に基づき前記計測対象面の3次元形状データを生成する形状データ生成手段と、前記1対の受光位置検出手段の受光位置検出結果から、前記走査光が前記所定の入射方向からずれて入射することに起因する受光位置の誤差を分離して検出し、検出された前記誤差に基づいて前記受光位置検出結果を補正する補正手段とを備えた。
データを取得する。すなわち、3次元形状データ生成部33は、受光位置検出手段であるPSD21A、21Bの受光位置検出結果に基づき、計測対象面の3次元形状データを生成する形状データ生成手段となっている。受光位置補正部34は、PSD21A、21Bから出力される受光位置検出結果の誤差、すなわち走査光が所定の入射方向からずれて入射することに起因する誤差を補正する補正手段としての機能を有している。
対して走査光が入射する入射方向が正しい方向からずれているような場合においても、PSD21A、21Bは常に補正された正しい出力値、すなわち計測対象点の正しい高さ情報を示す出力値を3次元形状データ生成部33に対して出力する。したがって3次元センサ11による3次元形状計測において、電子部品2の正しい3次元形状データを得ることができる。
2 電子部品
3 基板
4 部品供給部
6 吸着ノズル
7 Xロボット
8 Yロボット
9 搭載ヘッド
10 基板搬送機構
11 3次元センサ(3次元形状計測装置)
13 レーザ光源
16 ポリゴンミラー
17 ポリゴンスキャナモータ
18 第2のミラー
19 fθレンズ
21A、21B PSD
Claims (3)
- 計測対象物に対して照射された光の反射光を受光することにより前記計測対象物の3次元形状を計測する3次元形状計測装置であって、
前記照射される光を発生する光発生手段と、前記光発生手段によって発生された前記光を主走査方向に走査させる走査手段と、前記主走査方向と直交する副走査方向に相対移動する前記計測対象物に対して前記走査された走査光を所定の入射方向から入射させる走査光入射手段と、前記入射方向を挟んで配置され前記走査光の前記計測対象物からの反射光を受光して受光位置を検出する1対の受光位置検出手段と、前記受光位置検出手段の受光位置検出結果に基づき前記計測対象面の3次元形状データを生成する形状データ生成手段と、前記1対の受光位置検出手段の受光位置検出結果から、前記走査光が前記所定の入射方向からずれて入射することに起因する受光位置の誤差を分離して検出し、検出された前記誤差に基づいて前記受光位置検出結果を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする3次元形状計測装置。 - 計測対象物に対して照射された光の反射光を受光することにより前記計測対象物の3次元形状を計測する3次元形状計測方法であって、
光発生手段によって発生された光を主走査方向に走査させ、前記主走査方向と直交する副走査方向に相対移動する前記計測対象物に対して前記走査された走査光を所定の入射方向から入射させる走査光入射工程と、前記入射方向を挟んで配置された1対の受光位置検出手段によって、前記走査光の反射光を受光して受光位置を検出する受光位置検出工程と、前記受光位置検出手段の受光位置検出結果に基づき、前記計測対象物の3次元形状データを生成する形状データ生成工程とを含み、
前記1対の受光位置検出手段の受光位置検出結果から、前記走査光が前記所定の入射方向からずれて入射することに起因する受光位置の誤差を分離して検出し、検出された前記誤差に基づいて前記受光位置検出結果を補正することを特徴とする3次元形状計測方法。 - 部品供給部から搭載ヘッドによって取り出した部品を基板に移送搭載する部品実装装置であって、前記搭載ヘッドを前記部品供給部と前記基板との間で移動させるヘッド移動機構と、前記ヘッド移動機構による移動経路に配設され前記搭載ヘッドに保持された部品の3次元形状を計測することにより前記部品の識別および位置検出を行う3次元形状計測装置とを備え、
前記3次元形状計測装置は、前記部品に対して照射される光を発生する光発生手段と、前記光発生手段によって発生された前記光を主走査方向に走査させる走査手段と、前記主走査方向と直交する副走査方向に相対移動する前記計測対象物に対して前記走査された走査光を所定の入射方向から入射させる走査光入射手段と、前記入射方向を挟んで配置され前記走査光の前記計測対象物からの反射光を受光して受光位置を検出する1対の受光位置検出手段と、前記受光位置検出手段の受光位置検出結果に基づき前記計測対象面の3次元形状データを生成する形状データ生成手段と、前記1対の受光位置検出手段の受光位置検出結果から、前記走査光が前記所定の入射方向からずれて入射することに起因する受光位置の誤差を分離して検出し、検出された前記誤差に基づいて前記受光位置検出結果を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05107055A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Daihatsu Motor Co Ltd | 距離測定システム |
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JP2004235671A (ja) * | 1996-04-23 | 2004-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置 |
-
2007
- 2007-04-17 JP JP2007107932A patent/JP4973294B2/ja not_active Expired - Fee Related
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