JP2008263175A - 真空吸着ノズル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 先端に吸着物を真空吸着する吸着面2を有し、この吸着面2に吸引孔3を備えた真空吸着ノズル1であって、基体がセラミックスからなり、側面が導電性付与材を含有するセラミックスからなる層7または導電性付与材からなる層7で被覆されている真空吸着ノズル1である。真空吸着ノズル1が高速で移動して空気との摩擦で帯電しても、層7によって速やかに除電することができ、静電気の反発力により吸着物である電子部品が吹き飛ばされるということがなくなり、電子部品の静電破壊も防止することができる。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明の実施例を説明する。
次に、導電性付与材を含有するセラミックスからなる層7または導電性付与材からなる層7の剥がれの状況と吸着面2の強度とを確認するために、吸着面2の摩耗と吸着面2のコーナー部の欠けの状況とを、実施例1で使用した試料No,2〜9,13〜25,27〜32,35〜40,46の真空吸着ノズル1と同一のものを製作して電子部品装着機14に取り付けて調べた。これらを本発明の実施例の試料No.47〜80とした。
次に、セラミックス製の真空吸着ノズル1について、安定化剤を含むジルコニアおよびアルミナについて導電性付与材の添加量が同一である表1の試料No.16と試料No.3との吸着面2のコーナー部についての欠けの発生の有無を確認することで、強度の評価をした。
次に、図2に示すような、真空吸着ノズル1を電子部品装着機14に取り付けて吸着した電子部品15をCCDカメラ18で撮影したときの、CCDカメラ18が電子部品15とその背景を識別できているかを確認するテストを行なった。
(実施例4)
次に、基体が金属からなり、吸着面2および側面が導電性付与材からなる層7で被覆された真空吸着ノズル1を作製し、電子部品装着機14に取り付けて電子部品15の真空吸着テストを行ない、電子部品15の吹き飛びおよび電子部品15の静電破壊について調べた。
2:吸着面
3:吸引孔
4:円錐部
5:円筒部
6:凸部
7:導電性付与材を含有するセラミックスからなる層または導電性付与材からなる層
10:保持部材
14:電子部品装着機
15:電子部品
50:電子部品装着装置
Claims (8)
- 先端に吸着物を真空吸着する吸着面を有し、該吸着面に吸引孔を備えた真空吸着ノズルであって、基体がセラミックスからなり、側面が導電性付与材を含有するセラミックスからなる層または導電性付与材からなる層で被覆されていることを特徴とする真空吸着ノズル。
- 先端に吸着物を真空吸着する吸着面を有し、該吸着面に吸引孔を備えた真空吸着ノズルであって、基体が金属からなり、吸着面および側面が導電性付与材を含有するセラミックスからなる層または導電性付与材からなる層で被覆されていることを特徴とする真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材を含有するセラミックスからなる層または導電性付与材からなる層は、前記基体のセラミックスから析出した導電性付与材を含有しているものであることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材を含有するセラミックスからなる層または導電性付与材からなる層は、前記基体にコーティングされたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材を含有するセラミックからなる層のセラミックスは安定化剤を含むジルコニアであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材は酸化鉄,酸化コバルト,酸化クロムおよび酸化ニッケルの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材は酸化チタンを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
- 前記導電性付与材は酸化亜鉛を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の真空吸着ノズル。
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