JP2008262676A - ナノパターン化ディスクを製造するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可能な限り小さなパターンがディスクに適用されているより高速作動する装置及び対応する方法を提案するために、また、可能な限りコスト効果的なハードディスクドライブ用ディスク(このディスクはより小さなパターンを有し、これによって高速かつコスト効果的に製造可能である)を提供するために、本発明では、この種のマイクロパターン化及び/又はナノパターン化製品/基板の製造において、マイクロコンタクト印刷法μCP)を用いることを提案する。
【選択図】図1
Description
a)ナノパターン化ディスクを製造するための装置の受入ユニットの上にディスクを配置する段階と、
b)少なくとも一つのダイ(好ましくは、ポリジメチルシロキサン(PDMS)ダイ)に対して相対的にディスクを正確に揃える段階と、
c)ディスクの下面及び/又はディスクの上面にナノパターン化ダイの定義済みのナノパターンを転写する段階とを備える。
2 環状のダイ受入ユニット
3 真空溝
4 ダイホルダー
5u 下方ダイ
5o 上方ダイ
6 検出ユニット
7 ディスク
7u ディスクの下面
7o ディスクの上面
7r 中心穴のエッジ
8 受入ユニット
9 位置決めユニット(z方向)
10 位置決めユニット(x方向)
11 位置決めユニット(y方向)
12 ハウジング開口部
13 位置決めユニット(z方向)
14 位置決めユニット(x方向)
15 位置決めユニット(y方向)
16 真空溝
17 ダイホルダー
18 検出ユニット
19 マーキング
20 中央制御ユニット
21 ダイ受入ユニット
22 ライン
23 ライン
24 ライン
25 ライン
26 ライン
27 ライン
28 ライン
29 ライン
30 隙間領域
Claims (16)
- 上面(7o)及び下面(7u)を有するナノパターン化ディスク(7)、特にハードディスクドライブ用のストレージディスクを製造するための装置であり、
ディスクの上面(7o)及び/又は下面(7u)に定義済みのナノパターンを転写するための少なくとも一つのナノパターン化ダイ(5u、5o)、好ましくはポリジメチルシロキサン(PDMS)ダイを備えることを特徴とする装置。 - 二つの対向して揃えられた、好ましくは互いに平行に揃えられたナノパターン化ダイ(5u、5o)を備え、前記ディスク(7)が、前記ダイ(5u、5o)との間に揃えられて、好ましくは前記ダイ(5u、5o)に平行に、配置可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ダイ(5u、5o)のそれぞれに対応する少なくとも一つのダイ受入ユニット(2、21)を備え、前記ダイのそれぞれに対して、前記ダイ(5u、5o)に対して相対的に前記ディスク(7)を正確に位置決めするための位置決めユニット(9、10、11、13、14、15)が対応していることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の装置。
- 前記ダイ(5u、5o)がダイホルダー(4、17)によってダイ受入ユニット(2、21)に固定可能であり、特に、前記ダイ受入ユニット(2、21)と前記ダイホルダー(4、17)との間に配置された真空溝(3、16)を真空に引くことによって固定可能であることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記位置決めユニット(9、10、11、13、14、15)が、前記ディスクの下面(7u)に関連した前記ダイ(5u)に対して相対的に前記ディスクを正確に位置決めするためのx方向(10)、y方向(11)及びz方向(9)用の個別のディスク位置決めユニット(9、10、11)と、前記ディスク(7)に揃えられた前記ダイ(5u)に対して相対的に前記ディスクの上面(7o)に関連した前記ダイ(5o)を正確に位置決めするためのx方向(14)、y方向(15)及びz方向(13)用の個別のディスク位置決めユニット(13、14,15)とを備えることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 前記ディスク(7)及び前記ダイ(5u、5o)が、中央制御ユニット(20)を介して、互いに位置決め/位置合わせされ、前記中央制御ユニット(20)が、制御ラインによって前記位置決めユニット(9、10、11、13、14、15)及び検出手段(好ましくは光学的検出手段)(6、18)に接続されていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 所定のディスク受入位置に対して所定の動径方法の距離に位置している少なくとも三つ好ましくは四つの検出ユニット(6)が、x方向及びy方向の前記ディスク(7)の正確な位置を、ディスクの位置の情報として検出するために提供されており、前記ディスクの位置の情報がラインを介して前記制御ユニット(20)によって回収可能であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記ディスク(7)を受入ユニット(8)の中心に受け入れることが可能であり、前記受入ユニット(8)が前記ディスク(7)とディスク位置決めユニット(9、10、11)との間に配置されていることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記受入ユニット(8)が前記ディスク(7)の中心に対応可能なマーキング(19)を備えて、上方の前記ダイ(5o)の前記ダイ受入ユニット(21)に取り付けられた検出ユニット(18)が、前記ディスク(7)に対する相対的な上方の前記ダイ(5o)のずれ及び/又は距離をダイの位置の情報として検出し、前記ダイの位置の情報が、ラインを介して制御ユニット(20)によって回収可能であることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 特に請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の装置を用いて、ナノパターン化ディスク(7)、特にハードディスクドライブ用のストレージディスクを製造するための方法であり、
a)ナノパターン化ディスク(7)を製造するための装置の受入ユニット(8)の上にディスク(7)を配置する段階と、
b)少なくとも一つのダイ(5u、5o)、好ましくはポリジメチルシロキサン(PDMS)ダイに対して相対的に前記ディスク(7)を正確に揃える段階と、
c)前記ディスク(7)の下面(7u)及び/又は前記ディスク(7)の上面(7o)にナノパターン化ダイ(5u、5o)の定義済みのナノパターンを転写する段階とを備えた方法。 - 前記ディスク(7)が、二つの対向して揃えられた、好ましくは互いに平行な、ナノパターン化ダイ(5u、5o)の間に、好ましくは前記ダイ(5u、5o)に平行に、揃えられることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記ダイ(5u、5o)に対する前記ディスク(7)の位置合わせが中央制御ユニット(20)によって制御され、前記中央制御ユニット(20)が、前記ディスク(7)及び前記ダイ(5u、5o)の相対的な位置を検出する検出手段(6、18)によって、位置決めユニット(9、10、11、13、14、15)を制御することを特徴とする請求項10または請求項11のいずれかに記載の方法。
- 特に請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の装置のナノパターン化ダイの定義済みのナノパターンを、ディスク(7)、特にハードディスクドライブ用のストレージディスクの上面(7o)及び/又は下面(7u)に転写するための、少なくとも一つのナノパターン化ダイ(5u、5o)好ましくはポリジメチルシロキサン(PDMS)ダイの使用。
- 好ましくは請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の装置によって与えられ、及び/又は、請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の方法によって与えられた定義済みのナノパターンを備えた、特にハードディスクドライブ用のストレージディスクであるディスク(7)。
- 両面に定義済みのナノパターンが提供されており、該両面のナノパターンが好ましくは互いに正確に揃っていることを特徴とする請求項14に記載のディスク(7)。
- 請求項14または請求項15のいずれかに記載のディスク(7)を少なくとも一つ備えたハードディスクドライブ。
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