JP2008258279A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1及び第2の半導体チップが積層された構造の半導体装置の製造方法及び半導体装置に関し、小型化を図りつつ電気的特性の向上を図る手段を提供する。
【解決手段】基板13と、基板13にフェイスダウンで搭載される第1の半導体チップ11と、第1の半導体チップ11の背面に主面12aが接合されることにより第1の半導体チップ11上に積層された第2の半導体チップ12と、第2の半導体チップ12の電極23と第1の半導体チップ11の電極21とを接続するワイヤ15と、この電極21上のワイヤ15に形成された第1の接合用バンプ16とを有し、第1の半導体チップ11が基板13に接合用バンプ16,17によりフリップチップ接合された構成とする。
【選択図】図1
【解決手段】基板13と、基板13にフェイスダウンで搭載される第1の半導体チップ11と、第1の半導体チップ11の背面に主面12aが接合されることにより第1の半導体チップ11上に積層された第2の半導体チップ12と、第2の半導体チップ12の電極23と第1の半導体チップ11の電極21とを接続するワイヤ15と、この電極21上のワイヤ15に形成された第1の接合用バンプ16とを有し、第1の半導体チップ11が基板13に接合用バンプ16,17によりフリップチップ接合された構成とする。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体装置の製造方法及び半導体装置に係り、特に第1及び第2の半導体チップが積層された構造の半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
近年、半導体装置に対する小型化、薄型化、高機能化及び多機能化への要求がますます強まっている。このような要求に対応できる半導体装置として、複数の半導体チップを1つのパッケージにするマルチチップパッケージング技術が知られている。
図11に示す第1従来例に係る半導体装置100Aは、基板113A上に第1及び第2の半導体チップ111,112を平面的に配置した構造とされている。この半導体装置100Aは、第1の半導体チップ111をバンプ116により基板113Aにフリップチップ接合すると共に、第2の半導体チップ112をバンプ117により基板113Aにフリップチップ接合した構造としている。また、各半導体チップ111,112と基板113Aとの間にはアンダーフィルレジン118が配設されている。また、基板113Aの下面には、外部接続端子となるはんだボール119が設けられている。
また、他のマルチチップパッケージとしては、複数の半導体チップを積層した構造が知られている(例えば特許文献1参照)。図12は、この種の半導体装置100Bを示している。
この第2従来例である半導体装置100Bは、基板113B上に第1の半導体チップ111と第2の半導体チップ112を積層した構造とされている。下部に配設された第1の半導体チップ111はバンプ116により基板113Bにフリップチップ接合されており、第1の半導体チップ111の上部に配設された第2の半導体チップ112は、ワイヤ115を用いて基板113Bと接続された構成とされている。
また、ワイヤ115及びバンプ116を保護するため、各半導体チップ111,112を覆うように封止樹脂120が形成されている。尚、基板113Bの下面にも、外部接続端子となるはんだボール119が設けられている。
特開2005−340483号公報
上記した第1及び第2従来例に係る半導体装置100A,100Bによれば、半導体チップを個別にパッケージングする構造に比べ、実装面積や重さを大幅に低減することができる。
しかしながら、図11に示した半導体装置100Aは、基板113A上に第1の半導体チップ111と第2の半導体チップ112を平面的に搭載した構成であるため、基板113Aの長さ(図11に矢印Wで示す)が長くなり、半導体装置100Aの平面視したときの面積が大きくなってしまうという問題点があった。
また、図12に示した半導体装置100Bは、第1及び第2の半導体チップ111,112を積層した構造であるため、図11に示した半導体装置100Aに比べて平面視したときの面積(実装面積)を小さくできる。しかしながら、上部に位置する第2の半導体チップ112は、第1の半導体チップ111上に固定されるためフェイスアップであり、またワイヤ115により基板113Bと接続されている。
このため、ワイヤ115のワイヤループのループ形状が大きくなり、封止樹脂120の高さ(図12に矢印Hで示す)が高くなってしまうという問題点があった。また、ワイヤ115のループ長が長くなるためインピーダンスが増大し、ワイヤ115の電気的特性が劣化してしまうという問題点もある。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、小型化を図りつつ電気的特性の向上を図った半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特は金バンプであり、ワイヤボンディング装置を用いて形成される。
徴とするものである。
徴とするものである。
請求項1記載の発明は、
基板上に第1の半導体チップと第2の半導体チップを積層した構造を有する半導体装置の製造方法において、
前記第2の半導体チップの主面に第1の半導体チップを積層する工程と、
前記第2の半導体チップに形成された第2の電極と、前記第1の半導体チップに形成された第1の電極とをワイヤ接続する工程と、
該第1の電極に接合されたワイヤの上部に接合用バンプを形成する工程と、
前記第1及び第2の半導体チップをフェイスダウンとし、前記接合用バンプにより前記第1の半導体チップと前記基板とをフリップチップ接合する工程とを有することを特徴とするものである。
基板上に第1の半導体チップと第2の半導体チップを積層した構造を有する半導体装置の製造方法において、
前記第2の半導体チップの主面に第1の半導体チップを積層する工程と、
前記第2の半導体チップに形成された第2の電極と、前記第1の半導体チップに形成された第1の電極とをワイヤ接続する工程と、
該第1の電極に接合されたワイヤの上部に接合用バンプを形成する工程と、
前記第1及び第2の半導体チップをフェイスダウンとし、前記接合用バンプにより前記第1の半導体チップと前記基板とをフリップチップ接合する工程とを有することを特徴とするものである。
また、請求項2記載の発明は、
請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記接合用バンプはワイヤボンディング処理を利用して形成されることを特徴とするものである。
請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記接合用バンプはワイヤボンディング処理を利用して形成されることを特徴とするものである。
また、請求項3記載の発明は、
請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法において、
前記接合用バンプを形成する工程を実施した後、該接合用バンプの高さを均一化するレベリング処理を行う工程を設けたことを特徴とするものである。
請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法において、
前記接合用バンプを形成する工程を実施した後、該接合用バンプの高さを均一化するレベリング処理を行う工程を設けたことを特徴とするものである。
また、請求項4記載の発明は、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ワイヤ接続する工程を実施する前に、予め前記第1の電極にベースバンプを形成しておくことを特徴とするものである。
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ワイヤ接続する工程を実施する前に、予め前記第1の電極にベースバンプを形成しておくことを特徴とするものである。
また、請求項5記載の発明に係る半導体装置は、
基板と、
該基板上にフェイスダウンで搭載される第1の半導体チップと、
主面が該第1の半導体チップの背面に接合されることにより、該第1の半導体チップ上に積層された第2の半導体チップと、
前記第2の半導体チップの第2の電極と前記第1の半導体チップの第1の電極とを接続するワイヤと、
前記第1の電極に接続された前記ワイヤ上に形成された接合用バンプとを有し、
前記第1の半導体チップが前記基板に前記接合用バンプによりフリップチップ接合された構成であることを特徴とするものである。
基板と、
該基板上にフェイスダウンで搭載される第1の半導体チップと、
主面が該第1の半導体チップの背面に接合されることにより、該第1の半導体チップ上に積層された第2の半導体チップと、
前記第2の半導体チップの第2の電極と前記第1の半導体チップの第1の電極とを接続するワイヤと、
前記第1の電極に接続された前記ワイヤ上に形成された接合用バンプとを有し、
前記第1の半導体チップが前記基板に前記接合用バンプによりフリップチップ接合された構成であることを特徴とするものである。
また、請求項6記載の発明は、
請求項5記載の半導体装置において、
前記バンプを金バンプとしたことを特徴とするものである。
請求項5記載の半導体装置において、
前記バンプを金バンプとしたことを特徴とするものである。
本発明によれば、第1の半導体チップと第2の半導体チップが積層された構成であるため、半導体装置を平面視したときの面積(実装面積)を小さくすることができる。また、フェイスダウンで積層された第1の半導体チップと第2の半導体チップをワイヤで接続すると共に、第1の半導体チップに形成された第1の電極に接合されたワイヤ上に形成された接合用バンプを用いて第1の半導体チップを基板にフリップチップ接合するため、ワイヤ長を短くできインピーダンスが低減するため、電気的な特性を高めることができる。また、ワイヤループは第1の半導体チップと前記第2の半導体チップの積層された高さ範囲内で形成されるため、半導体装置の低背化を図ることができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
図1は、本発明の一実施例である半導体装置10を示している。この半導体装置10は、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12の二つの半導体チップを積層した構造を有するマルチチップパッケージである。また、半導体装置10は、大略すると第1の半導体チップ11、第2の半導体チップ12、基板13、ワイヤ15、第1の接合用バンプ16、第2の接合用バンプ17、及びアンダーフィルレジン18等により構成されている。
第1及び第2の半導体チップ11,12は、いずれもメモリチップである。この第1の半導体チップ11の回路形成面である主面11aには電極21,22が形成され、また第2の半導体チップ12の主面12aにも電極23が形成されている。この電極23は、主面12aの一側面に並んで配置された構成とされている。そして、第2の半導体チップ12の主面12aが第1の半導体チップ11の背面に接合されることにより、第1の半導体チップ11の上部に第2の半導体チップ12が積層された構成とされている。
この第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12との電気的な接続は、ワイヤ15を用いて行われている。このワイヤ15は、周知のワイヤボンディング装置を用いて配設される。
具体的には、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12は図中左右にずらして積層されており、第2の半導体チップ12に形成された電極23が外部に露出するよう構成されている。ワイヤ15は、この外部に露出した第2の半導体チップ12の電極23(請求項に記載の第2の電極)にファーストボンディングされ、第1の半導体チップ11の電極21(請求項に記載の第1の電極)にセカンドボンディングされた構成とされている。よってワイヤ15は、電極23と接合された部位にネイルヘッドボンディング部15aが形成され、電極21と接合された部位にステッチボンディング部15bが形成される。
このワイヤボンディングの際、ステッチボンディング部15bを直接電極21に形成すると、ワイヤボンディング装置のキャピラリにより電極21が損傷するおそれがある。このため本実施例では、予め電極21の上部に保護用バンプ14を形成している。この保護用バンプ14は金バンプであり、ワイヤボンディング装置を用いて形成される。
第1の接合用バンプ16は、このステッチボンディング部15b上に形成されている。この第1の接合用バンプ16も金バンプであり、ワイヤボンディング装置を用いて形成される。従って、第1の半導体チップ11の電極21には、チップ側から保護用バンプ14、ステッチボンディング部15b、及び第1の接合用バンプ16が順次積層された構成とされている。
一方、第1の半導体チップ11の主面11aにおいて、電極21の配設位置に対して図中左側に位置する電極22には第2の接合用バンプ17が形成されている。この第2の接合用バンプ17の高さ(主面11aからの高さ)は、電極21に形成されている保護用バンプ14、ステッチボンディング部15b、及び第1の接合用バンプ16の全高さ(主面11aからの高さ)と等しくなるよう設定されている。この第1の接合用バンプ16の高さは、例えばワイヤボンディング装置により形成されるバンプの積層数を調整することにより、電極21側の高さと等しくなるよう設定されている。
この第1及び第2の接合用バンプ16,17は基板13に形成された電極(図示せず)に接合され、これにより第1及び第2の半導体チップ11,12は基板13にフリップチップ接合される。この際、第1の半導体チップ11及び第2の半導体チップ12は、いずれも基板13に対してフェイスダウン(主面11a,11bが基板13と対向巣状態)で接合される。
基板13は、例えば多層プリント配線基板である。上記のように、基板13の上面には第1の接合用バンプ16,17がフリップチップ接合される複数の電極(図示せず)が形成されている。また、基板13の下面には、外部接続端子となるはんだボール19が形成されている。この基板13の表面に形成された電極と、はんだボール19は、基板13に内設されている内部配線により電気的に接続されている。
上記した本実施例に係る半導体装置10は、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12が積層された構成とされている。このため、基板13の平面視したときの面積(実装面積)を小さくすることができるため、半導体装置10の小型化を図ることができる。
また、本実施例に係る半導体装置10は、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12とをワイヤ15で接続した構成としている。この際、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12は基板13に対してフェイスダウンとなっており、よってワイヤ15のワイヤループは下に向けて(基板13に向けて)凸となるループ形状となる。
よって、ワイヤ15は第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12とが積層された高さ内にループを形成することとなる。これにより、上部に位置した第2の半導体チップ112より上方に向け凸となるループ形状を形成する従来の半導体装置100B(図12参照)に比べ、本実施例によれば半導体装置10の低背化を図ることができる。
このように、実施例に係る半導体装置10によれば、実装面積を小さくできると共に高さも小さくできるため、従来の半導体装置100A,100bに比べてより小型化を図ることができる。また、ワイヤ15のループ長を短くすることができ、よってワイヤ15のインピーダンスが低減し電気的な特性の向上を図ることもできる。
次に、本発明の一実施例である半導体装置10の製造方法について説明する。
図2は本発明の一実施例である半導体装置10の製造方法を示す工程図であり、図3乃至図10は具体的な製造工程を製造手順に沿って示している。尚、図3乃至図10において、図1に示した構成と対応する構成については同一符号を付して説明する。
図2に示すように、本実施例に係る半導体装置10の製造方法は、第1バンプ形成工程(ステップ10)、積層工程(ステップ12)、ワイヤ接続工程(ステップ14)、第2バンプ形成工程(ステップ16)、レベリング工程(ステップ18)、及びフリップチップ工程(ステップ20)等を有している。以下、各工程について説明する。
図3は、ステップ10の第1バンプ形成工程を説明するための図である。第1の半導体チップ11はその主面11a(回路が形成された面)に電極21及び電極22が形成されている。また、第2の半導体チップ12は、その主面12aの一側部に電極23が形成された構成とされている。
各半導体チップ11,12は、ウエハ状態において周知の半導体製造処理を実施することにより回路形成され、これを各半導体チップ単位にダイシングしたものである。また、第1の半導体チップ11においては、ウエハレベルにおいて、電極21に保護用バンプ14が、また電極22に第2の接合用バンプ17が形成された構成とされている(ステップ10:第1バンプ形成工程)。
保護用バンプ14及び第2の接合用バンプ17は、いずれもワイヤボンディング装置を用いて形成される金バンプである。本実施例では、保護用バンプ14は1個の金バンプが形成された構成とされているのに対し、第2の接合用バンプ17は複数(例えば2個)の金バンプが積層された構成とされている。このため、第2の接合用バンプ17の主面11aからの突出量は、保護用バンプ14に比べて高くなっている。
上記構成とされた第1の半導体チップ11は、第2の半導体チップ12の主面12a上にダイ付け剤(例えば接着剤等)を用いて積層固定される。この際、電極23が第1の半導体チップ11により覆われないよう、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12は図示されるように左右にずらして積層される。図4は、第2の半導体チップ12の上部に第1の半導体チップ11が積層固定された状態を示している(ステップ12:積層工程)。
積層工程が終了すると、続いて電極23と保護用バンプ14との間にワイヤ15を配設するワイヤボンディング処理が実施される(ステップ14:ワイヤ接続工程)。このワイヤボンディング処理は、周知のワイヤボンディングを用いて行われる。
具体的には、先ずキャピラリを用いてワイヤ15を第2の半導体チップ12の電極23にファーストボンディング(ネイルヘッドボンディング)する。続いて、キャピラリをワイヤ15を引き出しつつ保護用バンプ14の上部まで移動させ、この保護用バンプ14上にワイヤ15をセカンドボンディング(ステッチボンディング)する。これにより、ワイヤ15の電極23と接合された部位にはネイルヘッドボンディング部15aが形成され、電極21と接合された部位にはステッチボンディング部15bが形成される。図5は、第2の半導体チップ12と第1の半導体チップ11との間に、ワイヤ15が配設された状態を示している(ステップ14:ワイヤ接続工程)。
ところで、このワイヤボンディングの際、前記のようにステッチボンディング部15bを直接電極21に形成すると、ワイヤボンディング装置のキャピラリにより電極21が損傷するおそれがある。このため本実施例では、ワイヤ接続工程(ステップ14)が実施される前に保護用バンプ14を形成する第1バンプ形成工程(ステップ10)を実施し、予め電極21の上部に保護用バンプ14を形成している。これにより、ワイヤ15のステッチボンディング時に、電極21が損傷することを防止できる。尚、キャピラリにより電極23に対して直接ワイヤボンディングが行われるが、ファーストボンディング(ネイルヘッドボンディング)ではワイヤ15の先端にボールが形成された状態でボンディングされる。このため、このボールが保護機能を発揮し、電極23に対してキャピラリにより直接ネイルヘッドボンディングを行っても、電極23が損傷するようなことはない。
上記のようにワイヤ15が形成されると、続いて第2のバンプ形成工程(ステップ16)が実施される。ここでいう第2のバンプは、第1の接合用バンプ16を指している。この第1の接合用バンプ16は金バンプであり、ワイヤボンディング装置により形成される。この第1の接合用バンプ16は、ステッチボンディング部15bの上部に形成される。図6は、ステッチボンディング部15bの上部に第1の接合用バンプ16が形成された構成を示している。
これにより、電極21の上部には保護用バンプ14と第1の接合用バンプ16の二つの金バンプが積層された構成となる。一方、前記したように、電極22に形成された第2の接合用バンプ17は、二つの金バンプを積層した構造とされている。従って、電極21上に形成された保護用バンプ14及び第1の接合用バンプ16の主面11aからの高さは、第2の接合用バンプ17の主面11aからの高さと略等しくなる。
しかしながら、電極21上においては、保護用バンプ14にステッチボンディング部15bが形成され、その上部に第1の接合用バンプ16が形成された構成であり、第2の接合用バンプ17のように単純に2個の金バンプを積層したものとは若干高さの差が生じる。また、金バンプ自体、その形成精度は低く数μm程度の形成誤差が発生する。
このため本実施例では、第1の接合用バンプ16を形成する第2のバンプ形成工程が終了した後、図7に示すように、レベリングツール25を用いて主面11aに対する第1の接合用バンプ16の高さと第2の接合用バンプ17の高さを等しくするレベリング工程(ステップ18)を実施する。このレベリング工程では、一定の平面度を有する平板状のレベリングツール25を用い、第1の接合用バンプ16及び第2の接合用バンプ17を押圧し、これにより各バンプ16,17の主面11aに対する高さを一定化させる。
上記のレベリング工程が終了すると、続いて第1の半導体チップ11及び第2の半導体チップ12を基板13にフリップチップ接合するフリップチップ工程(ステップ20)を実施する。このフリップチップ工程では、上記のように積層された各半導体チップ11,12を上下反転させ、図8に示すように、第1及び第2の接合用バンプ16,17が基板13と対向するよう、換言すると第1及び第2の接合用バンプ16,17がフェイスダウンとなるよう位置させる。
基板13の各バンプ16,17と対向する位置には電極(図示せず)が形成されており、この各電極にははんだプリコート処理が行われている。積層された第1及び第2の半導体チップ11,12は、図示しない加圧・加熱ツール(フリップチップ装置)を用いて基板13にフェイスダウンの状態で加圧・加熱される。これにより、第1の接合用バンプ16,17が基板13のはんだプリコートされた電極にはんだ接合され、第2の半導体チップ12を積層する第1の半導体チップ11が基板13にフリップチップ接合される。
図9は、第2の半導体チップ12が積層された第1の半導体チップ11が、第1及び第2の接合用バンプ16,17により基板13にフリップチップ接合された状態を示している。この際、前記のようにレベリング処理を行うことにより第1及び第2の接合用バンプ16,17の高さは均一化されているため、基板13とのフリップチップ接合を確実に行うことができる。
上記のフリップチップ工程が終了すると、図10に示すように、第1及び第2の半導体チップ11,12と基板13との間にアンダーフィルレジン18が配設される。そして、基板13の下面に形成された電極にはんだボール19が形成されることにより、図1に示す半導体装置10が製造される。
上記のように本実施例に係る製造方法によれば、周知のワイヤボンディング装置及びフリップチップ装置を利用して小型で電気的特性の良好な半導体装置10を製造することができる。また、レベリング工程を実施することにより、ワイヤ15のステッチボンディング部15b上に第1の接合用バンプ16を形成する構成としても、第1及び第2の接合用バンプ16,17を高い信頼性を持って基板13にフリップチップ接合することが可能となる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
10 半導体装置
11 第1の半導体チップ
11a,12a 主面
12 第2の半導体チップ
13 基板
14 保護用バンプ
15 ワイヤ
16 第1の接合用バンプ
17 第2の接合用バンプ
18 アンダーフィルレジン
21〜23 電極
25 レベリングツール
11 第1の半導体チップ
11a,12a 主面
12 第2の半導体チップ
13 基板
14 保護用バンプ
15 ワイヤ
16 第1の接合用バンプ
17 第2の接合用バンプ
18 アンダーフィルレジン
21〜23 電極
25 レベリングツール
Claims (6)
- 基板上に第1の半導体チップと第2の半導体チップを積層した構造を有する半導体装置の製造方法において、
前記第2の半導体チップの主面に第1の半導体チップを積層する工程と、
前記第2の半導体チップに形成された第2の電極と、前記第1の半導体チップに形成された第1の電極とをワイヤ接続する工程と、
該第1の電極に接合されたワイヤの上部に接合用バンプを形成する工程と、
前記第1及び第2の半導体チップをフェイスダウンとし、前記接合用バンプにより前記第1の半導体チップと前記基板とをフリップチップ接合する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記接合用バンプはワイヤボンディング処理を利用して形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接合用バンプを形成する工程を実施した後、該接合用バンプの高さを均一化するレベリング処理を行う工程を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ワイヤ接続する工程を実施する前に、予め前記第1の電極にベースバンプを形成しておくことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板と、
該基板上にフェイスダウンで搭載される第1の半導体チップと、
主面が該第1の半導体チップの背面に接合されることにより、該第1の半導体チップ上に積層された第2の半導体チップと、
前記第2の半導体チップの第2の電極と前記第1の半導体チップの第1の電極とを接続するワイヤと、
前記第1の電極に接続された前記ワイヤ上に形成された接合用バンプとを有し、
前記第1の半導体チップが前記基板に前記接合用バンプによりフリップチップ接合された構成であることを特徴とする半導体装置。 - 前記接合用バンプは金バンプであることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001320013A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004031563A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004253693A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2005150441A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ積層型半導体装置およびその製造方法 |
-
2007
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001320013A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004031563A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004253693A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2005150441A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ積層型半導体装置およびその製造方法 |
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