JP2008251802A - 半導体装置用リードフレームとその製造方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】反りや湾曲等の形状状態に影響されること無く位置決め孔の変形や位置決め精度の低下を招くことが無い半導体装置用リードフレームを提供する。
【解決手段】端子5を有するリードフレーム本体16の両外側方に移送用バー2が設けられ、リードフレーム本体16と移送用バー2との間に、複数のスリット17が所定間隔おきに移送方向Aに沿って配列され、リードフレーム本体16と移送用バー2とは各スリット17間に形成された複数の連結部4で連結されており、移送用バー2に、複数の第一の位置決め孔3aが移送方向Aに沿って配列され、リードフレーム本体16の側縁部に、複数の第二の位置決め孔3bが移送方向Aに沿って配列されている。
【選択図】図1
【解決手段】端子5を有するリードフレーム本体16の両外側方に移送用バー2が設けられ、リードフレーム本体16と移送用バー2との間に、複数のスリット17が所定間隔おきに移送方向Aに沿って配列され、リードフレーム本体16と移送用バー2とは各スリット17間に形成された複数の連結部4で連結されており、移送用バー2に、複数の第一の位置決め孔3aが移送方向Aに沿って配列され、リードフレーム本体16の側縁部に、複数の第二の位置決め孔3bが移送方向Aに沿って配列されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、移送用バーを備えた半導体装置用リードフレームと、このリードフレームの製造方法、および、半導体装置の製造方法に関する。
従来のリードフレーム用位置決め装置としては、エアーブローによってレール上にリードフレームを浮かせて搬送し、位置決めピンを挿入して位置決めを行うものがあった(例えば、下記特許文献1参照)。
図5、6は、前記特許文献1に記載された従来のリードフレーム用位置決め装置とその詳細なステップを示す図である。
図5は、組立と樹脂モールド済みのリードフレームに対する搬送手段と位置決め手段とリード加工(リードトリミング、リードフォーミング)手段とから成るリード加工装置の位置決め手段の要部拡大図である。また、図6は、リード加工装置内におけるリードフレームの位置決め動作を時系列的に示す図である。
図5は、組立と樹脂モールド済みのリードフレームに対する搬送手段と位置決め手段とリード加工(リードトリミング、リードフォーミング)手段とから成るリード加工装置の位置決め手段の要部拡大図である。また、図6は、リード加工装置内におけるリードフレームの位置決め動作を時系列的に示す図である。
図5、6において、102はガイドレール、105は位置決め部材、110はフィードプレート、111はガイドプレート、112はアダプタブロック、113はエアー吹き出し口、114、115は通気路、117はバルブ、121はパンチガイド、122は位置決めピン、123は位置決め孔、151はリードフレーム、151aはステー、152はモールドパッケージ、153は位置決め孔、Xは隙間を各々示している。
リードフレーム151は、フィードプレート110とガイドプレート111との間の隙間Xにステー151aが配置された状態で、フィード部材により所定の位置まで1ピッチづつ送られてくる。また、このとき、エアー吹き出し口113よりステー151aの下面に高圧エアーを吹き付けるエアーブローが行われ、このエアーブローでステー151aがフィードプレート110より浮き上がり、フィードプレート110の上面との接触を無くして抵抗を少なくした状態で搬送される。
リードフレーム151が所定の位置まで搬送されると、位置決め部材105が図示せぬ手段により降下され、図6のステップ1に示すように、位置決めピン122の先端がガイドプレート111の位置決め孔123に差し込まれる。そして、リードフレーム151の位置がずれていた場合には、位置決めピン122の先端部分が位置決め孔153の孔縁に当接し(ステップ2)、リードフレーム151を押し下げながら挿入され(ステップ3)、リードフレーム151を水平方向移動させながら差し込まれる(ステップ4)。また、最終の位置決めされた状態になると、ステー151aがエアーブローの力でガイドプレート111の下面に当接された状態まで上方へ押し戻される(ステップ5)。これにより、位置決め部材105によるリードフレーム151の位置決めが完了する。
これによれば、スムーズな位置決めがなされるため、リードフレーム151のステー151aに配された位置決め孔153を変形させることが無く、位置決め精度を向上させて加工精度を確保出来た。
特開平9−312315号公報
しかしながら、前記従来の構成では、リードフレーム151が反りや湾曲状態である場合には必ずしも充分に対応できず、依然として位置決め孔153の変形や位置決め精度の不足が発生するという課題を有していた。
また、位置決め孔153を用いてリードフレーム151の位置を規正した状態でリードフレーム151を製造した際に、位置決め孔153が変形して、その後の工程に悪影響を及ぼす虞れがある。
本発明は、リードフレームの反りや湾曲等の形状状態に影響されること無く位置決め孔の変形(外観不良)や位置決め精度の低下を招くことが無い半導体装置用リードフレームとその製造方法および半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本第1発明の半導体装置用リードフレームは、端子を有するリードフレーム本体の外側方に移送用バーが設けられ、
リードフレーム本体と移送用バーとの間に、複数のスリットが所定間隔おきに移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体と移送用バーとは各スリット間に形成された連結部で連結されており、
移送用バーに、複数の第一の位置決め孔が移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体の側縁部に、複数の第二の位置決め孔が移送方向に沿って配列されているものである。
リードフレーム本体と移送用バーとの間に、複数のスリットが所定間隔おきに移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体と移送用バーとは各スリット間に形成された連結部で連結されており、
移送用バーに、複数の第一の位置決め孔が移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体の側縁部に、複数の第二の位置決め孔が移送方向に沿って配列されているものである。
これによると、半導体装置用リードフレームを製造する際、第一の位置決め孔を位置規正に利用することによって、第二の位置決め孔の変形を防止することができる。これにより、その後の工程において、連結部を切断して移送用バーを除去し、第二の位置決め孔を位置規正に利用することによって、位置決め精度の低下を防止することができる。
本第2発明は、前記第1発明に記載の半導体装置用リードフレームの製造方法であって、第一の位置決め孔をリードフレーム条材に形成し、
その後、第一の位置決め孔を用いてリードフレーム条材の位置を規正した状態でプレス加工によりスリットと第二の位置決め孔とを形成するものである。
その後、第一の位置決め孔を用いてリードフレーム条材の位置を規正した状態でプレス加工によりスリットと第二の位置決め孔とを形成するものである。
本第3発明は、前記第1発明に記載の半導体装置用リードフレームを備えた半導体装置の製造方法であって、
第一の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第一の位置規正工程と、
第一の位置規正工程後に、連結部を切断して移送用バーを除去する除去工程と、
除去工程後に、第二の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第二の位置規正工程とを有するものである。
第一の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第一の位置規正工程と、
第一の位置規正工程後に、連結部を切断して移送用バーを除去する除去工程と、
除去工程後に、第二の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第二の位置規正工程とを有するものである。
これによると、位置決め孔に変形を生じていない半導体装置用リードフレームを得る事が可能である。また、精度を要する部分の位置精度を損ねることがない半導体装置を得る事が可能である。
以上のように、本発明によると、リードフレーム(条材)の反りや湾曲等の形状状態に影響されること無く位置決め孔の変形(外観不良)や位置決め精度の低下を防止することができる。
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置用リードフレームの上面図である。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置用リードフレームの上面図である。
図1に示すように、移送用バー付属リードフレーム1は、複数の端子5を有するリードフレーム本体16と、リードフレーム本体16の両外側方に設けられた一対の移送用バー2とを有している。端子5は、後の工程で半導体素子やワイヤーと接続されると共に外部端子にも成るものである。
リードフレーム本体16と移送用バー2との間には、複数のスリット17が、所定間隔おきに、リードフレーム1の移送方向A(リードフレーム1の長さ方向)に沿って配列されている。
リードフレーム本体16と移送用バー2とは各スリット17間に形成された複数の連結部4で連結されている。移送用バー2には、複数の第一の位置決め孔3aが移送方向Aに沿って配列されている。また、リードフレーム本体16の側縁部には、複数の第二の位置決め孔3bが移送方向Aに沿って配列されている。
次に、移送用バー付属リードフレーム1の製造方法を説明する。
図2は、移送用バー付属リードフレーム1を製造する際のプレス工程の要部を示す模式図であり、プレス加工装置19には、位置決めピン11とパンチダイ12とリフター13とパンチ14とが設けられている。
図2は、移送用バー付属リードフレーム1を製造する際のプレス工程の要部を示す模式図であり、プレス加工装置19には、位置決めピン11とパンチダイ12とリフター13とパンチ14とが設けられている。
加工前のリードフレーム条材18をプレス加工装置19にセットし、順次搬送しながらプレス加工を加えていく加工方法で、最初に第一の位置決め孔3aが形成され、第一の位置決め孔3aに位置決めピン11を挿入してリードフレーム条材18の位置を規正しながらパンチ14をパンチダイ12に挿入プレスして第二の位置決め孔3bやスリット17および端子5等を順次形成する。これにより、移送用バー付属リードフレーム1が製造される。
このようにして移送用バー付属リードフレーム1を製造した後、後の工程において、連結部4を切断して移送用バー2を除去すれば、前記プレス加工の際に第一の位置決め孔3aに変形が生じていても第二の位置決め孔3bには影響が及ばない。これにより、第二の位置決め孔3bが変形するのを防止することができ、移送用バー2を除去した後のリードフレーム本体16をリードフレームとして用いることで、後の工程での位置決め精度を確保することができる。
(実施の形態2)
図3、図4は、移送用バー付属リードフレーム1を用いた半導体装置の製造方法を説明する為の図である。図3、図4において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
(実施の形態2)
図3、図4は、移送用バー付属リードフレーム1を用いた半導体装置の製造方法を説明する為の図である。図3、図4において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
図3、図4に示すように、半導体装置20は外部端子6aと内部端子6bと基体7と光半導体素子9と導電性ワイヤー10とを有している。
実施の形態1では、移送用バー付属リードフレーム1を製造した後、移送用バー2を除去してリードフレーム本体16をリードフレームとして利用しているが、これに限定されるものでは無い。
実施の形態1では、移送用バー付属リードフレーム1を製造した後、移送用バー2を除去してリードフレーム本体16をリードフレームとして利用しているが、これに限定されるものでは無い。
例えば、移送用バー付属リードフレーム1を製造した後、移送用バー2を除去せず、後の工程において、第一の位置決め孔3aを用いてリードフレーム1の位置を規正する(第一の位置規正工程)。尚、この位置規正は位置決めピン(図示省略)を第一の位置決め孔3aに挿入することにより行われる。その後、高い位置精度を要する工程の直前で、連結部4を切断して移送用バー2を除去する(除去工程)。その後、初めて使用される無傷な状態にある第二の位置決め孔3bを用いてリードフレーム1の位置を規正して加工する(第二の位置規正工程)。尚、この位置規正は位置決めピン(図示省略)を第二の位置決め孔3bに挿入することにより行われる。これにより、高い位置精度を要する部分の位置精度を向上させる事が可能である。
一実施例として、図3に示すように図示しないモールド金型でリードフレーム本体16(移送用バー2を除去した後のリードフレーム)を挟持する際に第二の位置決め孔3bを用いてリードフレーム本体16を位置規正(第二の位置規正工程)して樹脂モールドすれば、図1の端子5にかかる基体7を形成して図1の端子5の基体7の外側を外部端子6aとし、図1の端子5の基体7の内側を内部端子6bとする場合、基体7と外部端子6aと内部端子6bとの位置精度を向上させる事が出来る。
また、別の実施例として、図4に示すように半導体組み立て装置により図示しない第二の位置決め孔3bを用いて位置規正(第二の位置規正工程)して内部端子6bの上に光半導体素子9を載置し該素子9と内部端子6bとを導電性ワイヤー10でワイヤーボンドすれば基体7および内部端子6bと、光半導体素子9および導電性ワイヤー10との位置精度を向上させる事が出来る。
更に、外部端子6aを定寸カットする直前の工程で、初めて使用される無傷な状態にある第二の位置決め孔3bを用いて位置規正すれば、基体7と外部端子6aとの位置精度を向上させる事が出来る。
半導体組み立て技術として有用であり、特にリードフレームを用いる半導体装置に適している。
1 移送用バー付属リードフレーム
2 移送用バー
3a 第一の位置決め孔
3b 第二の位置決め孔
4 連結部
5 端子
16 リードフレーム本体
17 スリット
18 リードフレーム条材
20 半導体装置
A 移送方向
2 移送用バー
3a 第一の位置決め孔
3b 第二の位置決め孔
4 連結部
5 端子
16 リードフレーム本体
17 スリット
18 リードフレーム条材
20 半導体装置
A 移送方向
Claims (3)
- 端子を有するリードフレーム本体の外側方に移送用バーが設けられ、
リードフレーム本体と移送用バーとの間に、複数のスリットが所定間隔おきに移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体と移送用バーとは各スリット間に形成された連結部で連結されており、
移送用バーに、複数の第一の位置決め孔が移送方向に沿って配列され、
リードフレーム本体の側縁部に、複数の第二の位置決め孔が移送方向に沿って配列されていることを特徴とする半導体装置用リードフレーム。 - 前記請求項1に記載の半導体装置用リードフレームの製造方法であって、
第一の位置決め孔をリードフレーム条材に形成し、
その後、第一の位置決め孔を用いてリードフレーム条材の位置を規正した状態でプレス加工によりスリットと第二の位置決め孔とを形成することを特徴とする半導体装置用リードフレームの製造方法。 - 前記請求項1に記載の半導体装置用リードフレームを備えた半導体装置の製造方法であって、
第一の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第一の位置規正工程と、
第一の位置規正工程後に、連結部を切断して移送用バーを除去する除去工程と、
除去工程後に、第二の位置決め孔を用いてリードフレームを位置規正する第二の位置規正工程とを有する事を特徴とする半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007090797A JP2008251802A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 半導体装置用リードフレームとその製造方法および半導体装置の製造方法 |
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JP (1) | JP2008251802A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014216378A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 三菱電機株式会社 | 樹脂バリ打ち抜き加工装置及びタイバー打ち抜き加工装置 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007090797A patent/JP2008251802A/ja active Pending
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