JP2008249605A - 結晶粒の極点図測定方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定試料における結晶粒の方位分布測定を行なう結晶粒の方位分布測定方法であって、単色化したX線をX線ビームに形成し、当該形成したX線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、当該所定の角度幅で入射したX線の回折像を、TDI読み出しモードで動作するCCD34により構成した二次元検出器で検出して、その回折方向において積分して極点図を取得し、当該得られた極点図から結晶粒の方位分布測定を行なう。
【選択図】 図1
Description
Schulzによって考案された測定装置が一般的に用いられている。図7にその構成を示す。X線検出器(SC)は所定の回折角2θに固定される。破線で示したSchulzのスリットをSCの前に配置する。通常、ω角をθに固定し、χ角のステップ移動とφスキャンを繰り返しながら強度マップ測定を行う。この測定で得られた強度マップが、極点図である。Schulzスリットは赤道面(入射X線、X線検出器を含み、ω軸に垂直な面。図7の紙面)上に配置され上下方向に少し開口している構造であり、赤道面反射だけを通過させSCで検出させ、赤道面の上下方向に回折したX線を遮る役目で配置される。χステップ移動とφスキャンを繰り返す2軸の強度マップ測定により、配向の状態=方位分布を把握することができる。
2次元検出器の一種であるMWPC(Multi-Wire Proportional Counter)を用い、極点図の測定を高速化した例も、既に知られている。この測定では、デバイリングの強度を検出面積の範囲で計測できるので、一定範囲のχ角方向の強度分布を同時に取り込むことができるので測定時間を大幅に短縮できる。しかし、φ角(またはω角)に関しては相変わらずステップ−バイ−ステップ(step-by-step)であり、そのため、φ角(ω角)のステップを細かく設定するとそれなりの時間を要する。
更に、極点図の測定をさらに高速化した例が、以上の非特許文献2や3により既に知られている。
2. ωスキャン開始と同時にX線シャッタを開く。
3. 一定幅スキャン後、ωスキャンを停止すると同時にX線シャッタを閉じる。
4. TDI動作終了。
Claims (2)
- 測定試料における結晶粒の方位分布測定を行なう結晶粒の方位分布測定方法であって、単色化したX線をX線ビームに形成し、当該形成したX線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、当該所定の角度幅で入射したX線の回折像を、TDI読み出しモードで動作するCCDにより構成した二次元検出器で検出して、その回折方向において積分して極点図を取得し、当該得られた極点図から結晶粒の方位分布測定を行なうことを特徴とする結晶粒の方位分布測定方法。
- X線を発生するX線発生装置と、当該X線発生装置からのX線を単色化して所定のX線ビームに形成し、測定試料の表面に対して入射する光学系と、当該光学系から入射したX線ビームの回折X線を検出する2次元X線検出器とを備えた結晶粒の方位分布測定装置において、前記光学系は前記形成したX線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、更に、前記2次元X線検出器はTDI読み出しモードで動作するCCDにより構成した二次元検出器からなり、もって、当該所定の角度幅で入射したX線の回折像を積分して極点図を取得して結晶粒の方位測定を行なうことを特徴とする結晶粒の方位分布測定装置。
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