JP2008244212A - 固体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】入射するレーザ光から変換効率の高い第2次高調波レーザ光を得る固体レーザ装置を提供する。
【解決手段】固体レーザ装置1は、半導体レーザ2から出射するレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質6と、一方の面に前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズ7Aが形成され、他方の面に平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光をこの基本波レーザ光の径よりも小さい平行光にする平凸型レンズ7Bが形成された光学素子7と、平凸型レンズ7Bで基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされた基本波レーザ光を第2次高調波レーザ光を生成する非線形光学素子8と、レーザ媒質6のレーザ光の入射面及び非線形光学素子8の第2次高調波レーザ光の出射面にそれぞれ形成された一対の反射ミラー9A、9Bと、を備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】固体レーザ装置1は、半導体レーザ2から出射するレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質6と、一方の面に前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズ7Aが形成され、他方の面に平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光をこの基本波レーザ光の径よりも小さい平行光にする平凸型レンズ7Bが形成された光学素子7と、平凸型レンズ7Bで基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされた基本波レーザ光を第2次高調波レーザ光を生成する非線形光学素子8と、レーザ媒質6のレーザ光の入射面及び非線形光学素子8の第2次高調波レーザ光の出射面にそれぞれ形成された一対の反射ミラー9A、9Bと、を備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、非線形光学素子に入射したレーザ光を用いて第2次高調波に変換する際の変換効率を向上させた固体レーザ装置に関するものである。
特許文献1には、図6に示すように、固体レーザ装置100は、波長809nmのレーザ光を出射する半導体レーザ101と、このレーザ光を集光する第1のレンズ102と、この第1のレンズ102で集光されたレーザ光でポンピングして波長1064nmの基本波の励起光を生成するNd:YAGレーザ媒質103と、このNd:YAGレーザ媒質103で生成された基本波の励起光を集光する第2レンズ104と、この第2レンズ104により集光された基本波の励起光の変換を行って第2次高調波レーザ光を生成して出射するKTP結晶105と、から構成されていることが記載されている。
更に、固体レーザ装置100は、第1のレンズ102側のNd:YAGレーザ媒質103の端面には、球面加工がなされ、第2次高調波レーザ光を出射するKTP結晶105側の端面にも球面加工されている。
更に、第1レンズ102側のNd:YAGレーザ媒質103の端面及び第2次高調波レーザ光を出射するKTP結晶105側の端面には、高反射コーティング106、107が施されている。
特開平5−90687号公報
更に、第1レンズ102側のNd:YAGレーザ媒質103の端面及び第2次高調波レーザ光を出射するKTP結晶105側の端面には、高反射コーティング106、107が施されている。
しかしながら、第2のレンズ104で集光された基本波の励起光は、KTP結晶105中では、広がるので、KTP結晶105から出射する第2次高調波レーザ光は、パワーが中心部で高く、周辺部で低い分布を有するため、第2次高調波レーザ光への変換効率が悪かった。
そこで、本発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、入射するレーザ光から変換効率の高い第2次高調波のレーザ光を得る固体レーザ装置を提供することを目的とする。
本願発明における第1の発明は、半導体レーザから出射されるレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質と、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する第1の平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記第1の平凸型レンズと光軸を一致させ、前記第1の平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする第2の平凸型レンズとを有する光学素子と、前記第2の平凸型レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、前記レーザ光が入射する前記レーザ媒質の入射面及び前記第2次高調波レーザ光が出射する前記非線形光学素子の出射面に形成されて、前記レーザ媒質、前記光学素子及び前記非線形光学素子と共にレーザ共振器を構成する一対の反射ミラーと、を備えたことを特徴とする固体レーザ装置を提供する。
第2の発明は、半導体レーザから出射されるレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質と、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記平凸型レンズと光軸を一致させ、前記平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする凹レンズとを有する光学素子と、前記凹レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、前記レーザ光が入射する前記レーザ媒質の入射面及び前記第2次高調波レーザ光が出射する前記非線形光学素子の出射面に形成されて、前記レーザ媒質、前記光学素子及び前記非線形光学素子と共にレーザ共振器を構成する一対の反射ミラーと、を備えたことを特徴とする固体レーザ装置を提供する。
第2の発明は、半導体レーザから出射されるレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質と、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記平凸型レンズと光軸を一致させ、前記平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする凹レンズとを有する光学素子と、前記凹レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、前記レーザ光が入射する前記レーザ媒質の入射面及び前記第2次高調波レーザ光が出射する前記非線形光学素子の出射面に形成されて、前記レーザ媒質、前記光学素子及び前記非線形光学素子と共にレーザ共振器を構成する一対の反射ミラーと、を備えたことを特徴とする固体レーザ装置を提供する。
本願発明によれば、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する第1の平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記第1の平凸型レンズと光軸を一致させ、前記第1の平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする第2の平凸型レンズとを有する光学素子と、前記第2の平凸型レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、を有するので、非線形光学素子の長さ方向全体に渡って光密度を高めることができるため、非線形光学素子での第2次高調波レーザ光の変換効率を向上させることができる。
また、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記平凸型レンズと光軸を一致させ、前記平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする凹レンズとを有する光学素子と、前記凹レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子とを有している場合も同様の効果が得られる。
また、少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記平凸型レンズと光軸を一致させ、前記平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする凹レンズとを有する光学素子と、前記凹レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子とを有している場合も同様の効果が得られる。
以下に本発明の実施の形態に係る固体レーザ装置について図1乃至図5を用いて説明する。
図1は、本発明の実施の形態における固体レーザ装置を示す断面図である。
図2は、固体レーザ装置の作製方法を示す断面図である。
図3は、第1変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
図4は、第2変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
図5は、第3変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
図1は、本発明の実施の形態における固体レーザ装置を示す断面図である。
図2は、固体レーザ装置の作製方法を示す断面図である。
図3は、第1変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
図4は、第2変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
図5は、第3変形例の固体レーザ装置を示す断面図である。
まずは、固体レーザ装置1の構成について図1を用いて説明する。
固体レーザ装置1は、波長808nmのレーザ光を出射する半導体レーザ2と、ガラス基板4A上にレーザ光を集光する集光レンズ3が形成された集光レンズ素子4と、レーザ共振器5とから構成されている。
レーザ共振器5は、集光レンズ3で集光されたレーザ光で励起して波長1064nmの基本波レーザ光を生成するレーザ媒質6と、一方の面にレーザ媒質6で生成された基本波レーザ光を集光する平凸型レンズ7Aが形成され、他方の面に平凸型レンズ7Aと光軸を一致させ、平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光を基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にする平凸型レンズ7Bが形成された光学素子7とを備えている。更に、レーザ共振器5は、光学素子7の平凸型レンズ7Bで基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされた基本波レーザ光を波長変換して、この平行光にされた基本波レーザ光と同じ径の第2次高調波レーザ光を生成して出射する非線形光学素子8と、レーザ媒質6の集光レンズ3側の端面及び非線形光学素子8の第2次高調波レーザ光の出射側の端面にそれぞれ形成された一対の反射ミラー9A、9Bとを有している。
そして、集光レンズ素子4は、レーザ共振器5と共に一体化されている。
固体レーザ装置1は、波長808nmのレーザ光を出射する半導体レーザ2と、ガラス基板4A上にレーザ光を集光する集光レンズ3が形成された集光レンズ素子4と、レーザ共振器5とから構成されている。
レーザ共振器5は、集光レンズ3で集光されたレーザ光で励起して波長1064nmの基本波レーザ光を生成するレーザ媒質6と、一方の面にレーザ媒質6で生成された基本波レーザ光を集光する平凸型レンズ7Aが形成され、他方の面に平凸型レンズ7Aと光軸を一致させ、平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光を基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にする平凸型レンズ7Bが形成された光学素子7とを備えている。更に、レーザ共振器5は、光学素子7の平凸型レンズ7Bで基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされた基本波レーザ光を波長変換して、この平行光にされた基本波レーザ光と同じ径の第2次高調波レーザ光を生成して出射する非線形光学素子8と、レーザ媒質6の集光レンズ3側の端面及び非線形光学素子8の第2次高調波レーザ光の出射側の端面にそれぞれ形成された一対の反射ミラー9A、9Bとを有している。
そして、集光レンズ素子4は、レーザ共振器5と共に一体化されている。
平凸型レンズ7Aの凸側は、レーザ媒質6から出射された基本波レーザ光の出射方向に向いている。平凸型レンズ7Bの凸側は、平凸型レンズ7Aの凸側に対向して向い合っている。ここで、平凸型レンズ7Aの焦点距離をf1、平凸型レンズ7Bの焦点距離をf2とするとき、光学素子7の厚さは、平凸型レンズ7Aと平凸型レンズ7Bの配置がf1+f2となるときの長さである。
このとき、第1の平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光を第2の平凸型レンズ7Bでf2/f1に縮小して基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にし、非線形光学素子8に入射するようにしているので、非線形光学素子8内での基本波レーザ光の光密度を非線形光学素子8の長さ方向全体に亘って高めることができる。
上記したレーザ媒質6の材料としては、Nd:YAG、Nd:YVO4、Yb:YAG、セラミックYAGにNd、Yb等の遷移元素をドーピングした透明セラミックを用いることができる。光学素子7の材料としては、ガラス、基本波レーザ光と第2次高調波のレーザ光の波長に対して透明な材料を用いることができる。非線形光学素子8の材料としては、KTiOPO4(KTP)、LiBO6(LBO)、BaB2O4(BBO)、CsB3O5(CBO)、CsLiB6O10(CLBO)等の強誘電体結晶を用いることができる。
このとき、第1の平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光を第2の平凸型レンズ7Bでf2/f1に縮小して基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にし、非線形光学素子8に入射するようにしているので、非線形光学素子8内での基本波レーザ光の光密度を非線形光学素子8の長さ方向全体に亘って高めることができる。
上記したレーザ媒質6の材料としては、Nd:YAG、Nd:YVO4、Yb:YAG、セラミックYAGにNd、Yb等の遷移元素をドーピングした透明セラミックを用いることができる。光学素子7の材料としては、ガラス、基本波レーザ光と第2次高調波のレーザ光の波長に対して透明な材料を用いることができる。非線形光学素子8の材料としては、KTiOPO4(KTP)、LiBO6(LBO)、BaB2O4(BBO)、CsB3O5(CBO)、CsLiB6O10(CLBO)等の強誘電体結晶を用いることができる。
次に、その動作について説明する。
半導体レーザ2から出射した波長808nmのレーザ光は、集光レンズ3に入射し、この集光レンズ3により反射ミラー9Aを介してレーザ媒質6に集光される。レーザ媒質6に入射したレーザ光は、レーザ媒質6を励起して、波長1064nmの基本波レーザ光を発振し、この基本波レーザ光は、光学素子7に入射する。そして、基本波レーザ光は、光学素子7の平凸型レンズ7Aで一旦集光された後、平凸型レンズ7Bに入射して、基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされて非線形光学素子8に入射する。基本波レーザ光よりも小さい径の大きさとしては、基本波レーザ光の波長において回折せずに平行光として成り立つ大きさとする。具体的には、その大きさは、数μmφから10μmφ程度が好ましい。
非線形光学素子8に入射した基本波レーザ光は、そのまま進み、反射ミラー9Bで反射されて反射光となり、この反射光は、反射ミラー9Aの方向に進み、反射ミラー9Aで再び反射される。このように、基本波レーザ光は、一対の反射ミラー9A、9B間で繰り返し反射される。
半導体レーザ2から出射した波長808nmのレーザ光は、集光レンズ3に入射し、この集光レンズ3により反射ミラー9Aを介してレーザ媒質6に集光される。レーザ媒質6に入射したレーザ光は、レーザ媒質6を励起して、波長1064nmの基本波レーザ光を発振し、この基本波レーザ光は、光学素子7に入射する。そして、基本波レーザ光は、光学素子7の平凸型レンズ7Aで一旦集光された後、平凸型レンズ7Bに入射して、基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にされて非線形光学素子8に入射する。基本波レーザ光よりも小さい径の大きさとしては、基本波レーザ光の波長において回折せずに平行光として成り立つ大きさとする。具体的には、その大きさは、数μmφから10μmφ程度が好ましい。
非線形光学素子8に入射した基本波レーザ光は、そのまま進み、反射ミラー9Bで反射されて反射光となり、この反射光は、反射ミラー9Aの方向に進み、反射ミラー9Aで再び反射される。このように、基本波レーザ光は、一対の反射ミラー9A、9B間で繰り返し反射される。
そして、非線形光学素子8に入射した基本波レーザ光よりも小さい径の平行光は、この平行光の径と同じ径の波長532nmの第2次高調波レーザ光を生成し、反射ミラー9Bから出射する。
こうして、半導体レーザ2のレーザ光で励起されたレーザ媒質6から出射する1064nmの基本波レーザ光は、第2次高調波である波長532nmの短波長レーザ光に変換することができる。
こうして、半導体レーザ2のレーザ光で励起されたレーザ媒質6から出射する1064nmの基本波レーザ光は、第2次高調波である波長532nmの短波長レーザ光に変換することができる。
次に、レーザ共振器5を作製する方法について図2を用いて説明する。
(集光レンズ素子及び光学素子の作製工程)
図2(A)に示すように、Ti、Ag、Pb等をどーパンととし、これらのどーパンととガラスの構成元素とのイオン交換を行って、ガラス基板4A上に所定ピッチで集光レンズ3を形成して集光レンズ素子4を作製する。
また、同様の方法で、ガラス基板4A上に集光レンズ3が形成されたピッチと同じピッチで、ガラス基板10の両面にZn拡散を行って第1、第2の平凸型レンズ7A、7Bを形成して光学素子7を作製する。
(集光レンズ素子及び光学素子の作製工程)
図2(A)に示すように、Ti、Ag、Pb等をどーパンととし、これらのどーパンととガラスの構成元素とのイオン交換を行って、ガラス基板4A上に所定ピッチで集光レンズ3を形成して集光レンズ素子4を作製する。
また、同様の方法で、ガラス基板4A上に集光レンズ3が形成されたピッチと同じピッチで、ガラス基板10の両面にZn拡散を行って第1、第2の平凸型レンズ7A、7Bを形成して光学素子7を作製する。
(貼り合わせ工程)
予め用意された非線形光学素子8の表面を加工して、基本波レーザ光の波長に位相整合する結晶軸が表面に出るようにする。
図2(B)に示すように、集光レンズ素子4のガラス基板4A、予め用意したレーザ媒質6及び光学素子7のガラス基板10及び非線形光学素子8のそれぞれの両面を平坦度がλ/8(λ:基本波レーザ光の波長)以下になるまで研磨する。
この後、光学素子7の平凸型レンズ7Aが形成された面側にレーザ媒質6を、平凸型レンズ7Bが形成された面側に非線形光学素子8を加圧又は加熱圧着して貼り合わせて一体化する。
予め用意された非線形光学素子8の表面を加工して、基本波レーザ光の波長に位相整合する結晶軸が表面に出るようにする。
図2(B)に示すように、集光レンズ素子4のガラス基板4A、予め用意したレーザ媒質6及び光学素子7のガラス基板10及び非線形光学素子8のそれぞれの両面を平坦度がλ/8(λ:基本波レーザ光の波長)以下になるまで研磨する。
この後、光学素子7の平凸型レンズ7Aが形成された面側にレーザ媒質6を、平凸型レンズ7Bが形成された面側に非線形光学素子8を加圧又は加熱圧着して貼り合わせて一体化する。
(一対の共振器ミラーの形成工程)
図2(C)に示すように、レーザ媒質6に誘電体多層膜を形成して反射ミラー9Aを形成し、非線形光学素子8に誘電体多層膜を形成して反射ミラー9Bを形成する。
ここで、反射ミラー9Aは、半導体レーザ2のレーザ光に対して無反射で、基本波レーザ光に対して高反射率が得られるようにし、共振器ミラー9Bは、基本波レーザ光に対して高反射率が得られ、第2次高調波レーザ光に対して無反射になるようにする。
図2(C)に示すように、レーザ媒質6に誘電体多層膜を形成して反射ミラー9Aを形成し、非線形光学素子8に誘電体多層膜を形成して反射ミラー9Bを形成する。
ここで、反射ミラー9Aは、半導体レーザ2のレーザ光に対して無反射で、基本波レーザ光に対して高反射率が得られるようにし、共振器ミラー9Bは、基本波レーザ光に対して高反射率が得られ、第2次高調波レーザ光に対して無反射になるようにする。
(集光レンズ素子の取り付け工程)
図2(D)に示すように、反射ミラー9A上に集光レンズ素子4を光学素子7の平凸型レンズ7A、7Bの光軸と集光レンズ3の光軸が一致するように加圧又は加熱圧着して貼り付ける。
図2(D)に示すように、反射ミラー9A上に集光レンズ素子4を光学素子7の平凸型レンズ7A、7Bの光軸と集光レンズ3の光軸が一致するように加圧又は加熱圧着して貼り付ける。
(切断工程)
図2(E)に示す点線部分から集光レンズ3が形成されたと同じピッチで切断することによって、図1に示す固体レーザ装置1が得られる。
図2(E)に示す点線部分から集光レンズ3が形成されたと同じピッチで切断することによって、図1に示す固体レーザ装置1が得られる。
本発明の実施の形態によれば、光学素子7は、一方の面にレーザ媒質6で生成された基本波レーザ光を集光する平凸型レンズ7Aが形成され、他方の面に平凸型レンズ7Aと光軸を一致させ、平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光を基本波レーザ光よりも小さい径の平行光にする平凸型レンズ7Bが形成され、かつその厚さが平凸型レンズ7Aの焦点距離f1と平凸型レンズ7Bの焦点距離f2を加えた長さとなるように、平凸型レンズ7Aと平凸型レンズ7Bは、配置されているので、平凸型レンズ7Aで集光された基本波レーザ光は、平凸型レンズ7Bでf2/f1に縮小され、非線形光学素子8への基本波レーザ光を基本波レーザ光の径よりも小さい平行光で入射させることができるため、非線形光学素子8の長さ方向全体に渡って光密度を高めることができ、非線形光学素子8における第2次高調波光の変換効率を高くすることができる。
次に、実施の形態の第1変形例について図3を用いて説明する。
図3に示すように、第1変形例の固体レーザ装置11は、実施の形態の固体レーザ装置1におけるレーザ媒質6と光学素子7との間及び光学素子7と非線形光学素子8との間にそれぞれ基本波レーザ光を無反射にさせる誘電体膜12、13を形成したものであり、それ以外は同様である。
第1変形例によれば、実施の形態の効果に加え、更にレーザ媒質6と光学素子7との間の屈折率差が大きい場合や光学素子7と非線形光学素子8との間の屈折率差が大きい場合に、基本波レーザ光に対して無反射にさせることができるので、光学的損失を低減することができる。
図3に示すように、第1変形例の固体レーザ装置11は、実施の形態の固体レーザ装置1におけるレーザ媒質6と光学素子7との間及び光学素子7と非線形光学素子8との間にそれぞれ基本波レーザ光を無反射にさせる誘電体膜12、13を形成したものであり、それ以外は同様である。
第1変形例によれば、実施の形態の効果に加え、更にレーザ媒質6と光学素子7との間の屈折率差が大きい場合や光学素子7と非線形光学素子8との間の屈折率差が大きい場合に、基本波レーザ光に対して無反射にさせることができるので、光学的損失を低減することができる。
次に、実施の形態の第2変形例について図4を用いて説明する。
図4に示すように、第2変形例の固体レーザ装置14は、実施の形態の固体レーザ装置1における光学素子7の平凸型レンズ7Bを凹型レンズ15に代えたものであり、それ以外は同様である。
この場合、光学素子7の厚さは、凹型レンズ15の焦点距離をf2とするとき、平凸型レンズ7Aと凹型レンズ15の配置は、f1−f2となる長さである。
第2変形例によっても、実施の形態と同様な効果が得られる。
図4に示すように、第2変形例の固体レーザ装置14は、実施の形態の固体レーザ装置1における光学素子7の平凸型レンズ7Bを凹型レンズ15に代えたものであり、それ以外は同様である。
この場合、光学素子7の厚さは、凹型レンズ15の焦点距離をf2とするとき、平凸型レンズ7Aと凹型レンズ15の配置は、f1−f2となる長さである。
第2変形例によっても、実施の形態と同様な効果が得られる。
次に、実施の形態の第3変形例について図5を用いて説明する。
図5に示すように、第3変形例の固体レーザ装置16は、第2変形例の固体レーザ装置14におけるレーザ媒質6と光学素子7との間及び光学素子7と非線形光学素子8との間のそれぞれに基本波レーザ光に対して無反射となる誘電体膜12、13を形成したものであり、それ以外は同様である。
第3変形例によっても、第1変形例と同様な効果が得られる。
なお、上記した集光レンズ素子4、光学素子7は、切削加工、ガラスモールド加工によっても作製できる。
図5に示すように、第3変形例の固体レーザ装置16は、第2変形例の固体レーザ装置14におけるレーザ媒質6と光学素子7との間及び光学素子7と非線形光学素子8との間のそれぞれに基本波レーザ光に対して無反射となる誘電体膜12、13を形成したものであり、それ以外は同様である。
第3変形例によっても、第1変形例と同様な効果が得られる。
なお、上記した集光レンズ素子4、光学素子7は、切削加工、ガラスモールド加工によっても作製できる。
1、11、14、16…固体レーザ装置、2…半導体レーザ、3…集光レンズ、4…集光レンズ素子、4A、10…ガラス基板、5…レーザ共振器、6…レーザ媒質、7…光学素子、7A、7B…平凸型レンズ、15…凹型レンズ、8…非線形光学素子、9A、9B…反射ミラー、12、13…誘電体膜
Claims (2)
- 半導体レーザから出射されるレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質と、
少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する第1の平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記第1の平凸型レンズと光軸を一致させ、前記第1の平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする第2の平凸型レンズとを有する光学素子と、
前記第2の平凸型レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、
前記レーザ光が入射する前記レーザ媒質の入射面及び前記第2次高調波レーザ光が出射する前記非線形光学素子の出射面に形成されて、前記レーザ媒質、前記光学素子及び前記非線形光学素子と共にレーザ共振器を構成する一対の反射ミラーと、を備えたことを特徴とする固体レーザ装置。 - 半導体レーザから出射されるレーザ光で励起して基本波レーザ光を生成するレーザ媒質と、
少なくとも互いに対向する2面を有する光学材料からなり、前記基本波レーザ光が入射する一方の面に形成される前記基本波レーザ光を集光する平凸型レンズと、他方の面に形成されて前記平凸型レンズと光軸を一致させ、前記平凸型レンズで集光された前記基本波レーザ光を前記基本波レーザ光の径より小さい平行光とする凹レンズとを有する光学素子と、
前記凹レンズで平行光にされた前記基本波レーザ光を波長変換して、前記平行光と同じ径の第2次高調波レーザ光を出射する非線形光学素子と、
前記レーザ光が入射する前記レーザ媒質の入射面及び前記第2次高調波レーザ光が出射する前記非線形光学素子の出射面に形成されて、前記レーザ媒質、前記光学素子及び前記非線形光学素子と共にレーザ共振器を構成する一対の反射ミラーと、を備えたことを特徴とする固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007083793A JP2008244212A (ja) | 2007-03-28 | 2007-03-28 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007083793A JP2008244212A (ja) | 2007-03-28 | 2007-03-28 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008244212A true JP2008244212A (ja) | 2008-10-09 |
Family
ID=39915172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007083793A Pending JP2008244212A (ja) | 2007-03-28 | 2007-03-28 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008244212A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517514A (ja) * | 2011-05-09 | 2014-07-17 | トルンプフ レーザー マーキング システムズ アクチエンゲゼルシャフト | 周波数変換されたレーザビームを形成するためのレーザ共振器 |
-
2007
- 2007-03-28 JP JP2007083793A patent/JP2008244212A/ja active Pending
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JP2014517514A (ja) * | 2011-05-09 | 2014-07-17 | トルンプフ レーザー マーキング システムズ アクチエンゲゼルシャフト | 周波数変換されたレーザビームを形成するためのレーザ共振器 |
CN103959578A (zh) * | 2011-05-09 | 2014-07-30 | 通快激光标记系统公司 | 用于产生经频率转换的激光射束的激光谐振器 |
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