JP2008241338A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008241338A
JP2008241338A JP2007079339A JP2007079339A JP2008241338A JP 2008241338 A JP2008241338 A JP 2008241338A JP 2007079339 A JP2007079339 A JP 2007079339A JP 2007079339 A JP2007079339 A JP 2007079339A JP 2008241338 A JP2008241338 A JP 2008241338A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
light
moving body
emitting elements
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007079339A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4922033B2 (ja
Inventor
Shinji Osada
真司 長田
Kosuke Sakata
功介 坂田
Shinichi Kageshita
真一 蔭下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tatsumo KK
Original Assignee
Tatsumo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tatsumo KK filed Critical Tatsumo KK
Priority to JP2007079339A priority Critical patent/JP4922033B2/ja
Priority to KR1020080003983A priority patent/KR100929444B1/ko
Priority to US12/025,804 priority patent/US7601945B2/en
Priority to CN2008100861861A priority patent/CN101275859B/zh
Publication of JP2008241338A publication Critical patent/JP2008241338A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4922033B2 publication Critical patent/JP4922033B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00Measuring or testing not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01VGEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V8/00Prospecting or detecting by optical means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】製造作業の煩雑化や構造の複雑化によるコストの上昇を招くことなく、移動体の絶対位置を正確に検出する。
【解決手段】移動体20の移動方向Xに沿ってスケール1を配置し、移動体20に取付21を介して受光素子2を設けた。スケール1には、移動方向Xに沿って複数の孔部11を形成し、各孔部11に発光素子3を配置した。受光素子2は、スケール1の上面に対向し、各孔部11の間隔よりも長い検出範囲で発光素子3の光を受光する。孔部11の絶対位置を予め記憶しておき、発光素子3をスケール1の一端側から順次駆動することで、受光素子2が光を受光した時に駆動中の発光素子3の絶対位置と、受光素子2の検出範囲におけるピーク値の位置と、から移動体20の絶対位置を算出する。
【選択図】図1

Description

この発明は、移動待の位置の絶対値を検出する位置検出装置に関する。
移動体の位置を検出する従来の位置検出装置として、リニアエンコーダやロータリエンコーダ等の光学式エンコーダが知られている。光学式エンコーダは、のスケール上にリソグラフィー等によってスリットや回析溝等のパターンを形成し、移動体に設けた光学センサからパターンに光を照射して反射光を検出し、受光量の変化から位置を検出する。パターンに応じた周期的な受光信号に基づいて移動体の位置を相対的に検出する。移動体の絶対位置を検出するためには、起動時に移動体をイニシャル位置まで移動させ、移動体がイニシャル位置にあることを別のセンサによって検出する所謂原点出しが必要になる。
そこで、絶対位置情報を所定の画素数で表したバーコード等の絶対値目盛をスケール上に所定間隔で形成し、移動体に設けたイメージセンサが読み取った絶対値目盛が表す絶対位置情報に基づいて移動体の絶対位置を検出するようにしたものがある(例えば、特許文献1参照。)。
特開2004−191267号公報
しかしながら、特許文献1に記載された構成では、スケール上に形成すべき絶対位置目盛は、それぞれが互いに異なる絶対位置情報を表すものであるため、1つ1つが微細な形状となり、エッチング等によって精密に形成する必要がある。また、エッチング装置で処理可能なサイズを超える長尺のスケールを単体で形成することができない。短尺のスケールを継ぎ足して使用する場合にも、互いに異なる絶対位置目盛を形成した複数種類のスケールを準備する必要がある。これらのことから、スケールの製造が煩雑でコストが上昇する問題がある。
また、各絶対位置目盛の形状が微細であるため、スケールの汚損、振動の作用、スケールとイメージセンサとの距離等によって誤検出を生じ易い問題がある。
さらに、移動体側に発光部を備える必要があり、給電用の配線等の構造が複雑化する問題がある。
この発明の目的は、スケール上の複数の発光素子から選択的に照射される光を移動体に設けたセンサで受光することで、製造作業の煩雑化や構造の複雑化によるコストの上昇を招くことなく、移動体の絶対位置を正確に検出することができる位置検出装置を提供することにある。
この発明は、所定の移動方向に沿って移動する移動体の絶対位置を検出する位置検出装置であって、スケール、センサ、制御部を備えている。スケールは、移動方向に沿って配置され、複数の発光素子が移動方向に沿って互いの間に間隔を設けて配置されている。センサは、移動体に取り付けられ、移動方向に沿って複数の発光素子の間隔の最大値よりも長い所定の検出範囲内で複数の発光素子の少ないとも1つから照射された光を検出し、検出範囲内における受光位置に応じた受光信号を出力する。制御部は、スケールにおける複数の発光素子のそれぞれの配置位置を記憶する記憶部を有し、複数の発光素子のそれぞれを個別に駆動するとともに前記受光信号が入力される。
制御部は、受光信号が入力された時に、複数の発光素子のうち駆動中の発光素子の配置位置を記憶部から読み出し、読み出した配置位置と受光信号とに基づいて移動体の位置を算出する。受光信号は、所定の検出範囲内における受光位置を特定する。検出範囲内の中心から受光位置までの距離を読み出した配置位置に加算又は減算することで、検出範囲の中心の絶対位置が算出できる。移動体における検出範囲の中心位置は固定されているため、算出結果によって移動体の位置が特定される。
この構成において、制御部は、記憶部にスケールにおける複数の発光素子の配置位置を更新的に記憶するものとしてもよい。スケールにおける複数の発光素子の測定結果を制御部に入力することでスケールの経時的な変形による配置位置の誤差を補正することができ、移動体の絶対位置を正確に算出できる。
また、制御部は、複数の発光素子のうちで隣接する2つの発光素子を駆動した時の受光信号の内容に基づいて記憶部の記憶内容を更新するものとしてもよい。隣接する2つの発光素子の間隔をセンサによって検出し、この検出結果を用いて複数の発光素子の配置位置を補正することができる。
受光信号の出力周期は、移動体が検出範囲の1/2の距離を移動する時間よりも短い時間としてもよい。前回の受光信号の入力時にセンサが受光した光を照射していた発光素子の光の受光位置が今回の受光信号に必ず含まれることになり、移動体の位置が連続的に算出できる。
制御部は、移動体の移動開始前に複数の発光素子のそれぞれを順次駆動し、移動体の移動開始後に複数の発光素子のうちセンサが受光した光を照射している主発光素子と主発光素子に隣接する副発光素子とを駆動するものとしてもよい。複数の発光素子のうち必要最小限の発光素子のみを駆動して移動体の絶対位置を検出することができる。
この発明によれば、受光信号が入力された時に駆動中の発光素子の配置位置と、受光信号の内容と、に基づいて、移動体の絶対位置を算出することができる。製造作業の煩雑化や構造の複雑化によるコストの上昇を招くことなく、移動体の絶対位置を正確に検出することができる。また、スケールの汚損、振動の作用、スケールとイメージセンサとの距離の変動等によって誤検出を生じ難く、移動体側に発光部を備える必要がないために給電用の配線等の構造が複雑化することがない。
図1は、この発明の実施形態に係る位置検出装置した移動機構を示す斜視図である。移動機構30は、ネジ棒31、ガイド軸32、モータ33、フレーム34,35を備え、移動体20を移動方向Xに沿って往復移動させる。
ネジ棒31は、軸方向を移動方向Xに平行にしてフレーム34,35に軸支されており、移動体20のネジ部23に螺合している。ガイド軸32は、ネジ棒31に平行にフレーム34,35に固定されており、移動体20の孔部24を貫通している。モータ33は、フレーム34に固定されており、ネジ棒31に正逆両方向に回転を供給する。
モータ33を駆動してネジ棒31を回転させることにより、移動体20が移動方向Xに沿って移動する。
フレーム34とフレーム35との間に、スケール1が長手方向を移動方向Xに平行にして取り付けられている。スケール1は、一例として、ガラスエポキシ製の基板であり、複数の孔部11を長手方向に沿って一定間隔で備えている。
移動体20には、取付板21が固定されている。取付板21の底面には、受光素子2が取り付けられている。受光素子2は、一例として768画素のC−MOSである。受光素子2には、CCD等のC−MOS以外の撮像素子を用いることもできる。受光素子2は、画素の配列方向を移動方向Xに平行にして配置される。取付板21は、移動体20の側面からスケール1の上方に延出している。受光素子2は、スケール1の上面に対向する。受光素子2はスケール1とともに、この発明の位置検出装置を構成している。
図2(A)は、この発明の実施形態に係る位置検出装置の側面断面図である。図2(B)は、同位置検出装置における受光素子の受光信号を示す図である。スケール1の複数の孔部11のそれぞれには、発光素子3A,3B,3C,3D,・・・が配置されている。発光素子3A〜3Dは、一例として、LEDであり、孔部11の間隔である配置ピッチ36でスケール1の長手方向に配置されている。取付板21の底面に取り付けられた受光素子2は、移動方向Xについて配置ピッチ36よりも長い検出範囲22内で発光素子2の光を受光する。配置ピッチ36にバラツキがある場合、検出範囲22の長さは最長の配置ピッチ36よりも長くされる。
受光素子2は、各画素における受光量に応じた受光信号を出力する。受光素子2は、受光信号として、受光素子2の各画素の受光量に応じたレベルの電圧値を画素の配列順に出力する。検出範囲22に受光素子3B,3Cが位置する場合、受光素子2は、図2(B)に示す波形の受光信号を出力する。
受光素子2は、検出範囲22における移動方向Xの中心位置が、移動体20の移動方向の中心位置に一致するように取付板21に取り付けられる。
なお、孔部11の形状を移動方向Xに平行な側面を有する矩形とすることで、スケール1における孔部11の移動方向Xの誤差によって受光素子2の受光量が変動することを防止できる。
図3は、上記位置検出装置の制御部のブロック図である。制御部5は、CPU51に、メモリ52、LEDドライバ53、A/D変換器54を接続して構成されている。CPU51は、移動機構30の移動制御部40との間でデータの送受信を行う。CPU51は、移動体20の位置の検出結果を移動制御部40に送信する。移動制御部40は、検出結果を目標位置と比較し、モータ33を駆動する。移動制御部40は、モータ33の駆動方向を示す方向データをCPU51に送信する。
メモリ52は、この発明の記憶部である。メモリ52は、スケール1に配置されている複数の発光素子3のそれぞれの配置位置を記憶している。メモリ51は、各発光素子3の配置位置として、各発光素子3のスケール1の原点からの距離の絶対値である絶対位置を記憶している。メモリ51においては、複数の発光素子3のそれぞれには、移動方向Xにおける往動方向に昇順の番号が付されている。また、メモリ52の所定のメモリエリアには、カウンタCが割り当てられている。カウンタCの計数値は、複数の受光素子3の何れかの特定に用いられる。
LEDドライバ53には、複数の発光素子3が接続されている。CPU51は、LEDドライバ53に対して複数の発光素子3のそれぞれに対する駆動データを出力する。LEDドライバ53は、駆動データに基づいて複数の発光素子3のそれぞれを個別に駆動する。
A/D変換器54には、受光素子2が接続されている。A/D変換器54は、受光素子2から出力された受光信号をディジタルデータに変換し、CPU51に入力する。
図4は、制御部の処理手順を示すフローチャートである。CPU51は、電源が投入されると、カウンタCの内容を1にし(S1)、カウンタCの計数値で特定されるC番目の発光素子3を駆動する(S2)。CPU51は、受光素子2の受光信号を読み取り、受光信号が所定の閾値を超えているか否かの判別を行う(S3)。受光信号が閾値を超えていない場合、CPU51は、カウンタCの計数値をインクリメントする(S4)。CPU51は、受光信号か閾値を超えるまでS2〜S4の処理を繰り返し行う。
受光信号が閾値を超えると、CPU51は、駆動中の発光素子3の配置位置をメモリ52から読み出し(S5)、検出範囲22における受光信号のピーク位置を読み取る(S6)。CPU51は、メモリ52から読み出した配置位置と受光信号のピーク値の位置とから、移動体10の中心の絶対位置を算出し(S7)、この結果を現在位置データとして移動制御部40に出力する(S8)。
ステップS6における受光信号のピーク位置の読取は、まず、受光信号の波形の立ち上がり部分及び立ち下がり部分が閾値を切る位置のそれぞれを、前後2つの画素の位置の差をこれらの画素の受光信号の値で比例配分して算出する。次いで、算出した位置の中間値をピーク位置とする。
即ち、受光信号の波形の立ち上がり部分について、閾値を下から上に切る前後の画素番号がn、n+1であり、それぞれの受光信号がy1,y2である場合、受光素子2における画素のピッチをp、閾値をyaとして、波形の立ち上がり部分が閾値を切る位置b1は、b1=p(n+(ya−y1)/(y2−y1))で求まる。波形の立ち下がり部分が閾値を切る位置b2についても同様にして求め、位置b1と位置b2との中点をピーク位置とする。
ピーク位置をこのように算出することで、受光素子2の画素ピッチよりも細かい分解能で移動体10の位置を検出することができる。また、発光素子1への通電劣化等による光量変動の影響を受け難くすることができる。
この後、CPU51は、移動制御部40による移動体20の移動の開始を待機し(S9)、移動体20の移動が開始されると移動制御部40から送信された方向データによって移動体20の移動方向を読み取る(S10)。
移動体20が往動方向へ移動する場合には、CPU51は、カウンタCの計数値で特定されるC番目の発光素子3、及びこれに往動方向に隣接する(C+1)番目の発光素子3を駆動する(S11,S12)。このとき、CPU51は、カウンタCの計数をインクリメントする(S13)。
移動体20が復動方向へ移動する場合には、CPU51は、カウンタCの計数値で特定されるC番目の発光素子3、及びこれに復動方向に隣接する(C−1)番目の発光素子3を駆動する(S11,S14)。このとき、CPU51は、カウンタCの計数をデクリメントする(S15)。
CPU51は、2個の発光素子3を駆動後に、駆動中の発光素子3の配置位置をメモリ52から読み出し(S16)、検出範囲22における受光信号のピーク値の位置を読み取る(S17)。CPU51は、メモリ52から読み出した配置位置と受光信号のピーク値の位置とから、移動体10の中心の絶対位置を算出し(S18)、この結果を現在位置データとして移動制御部40に出力する(S19)。CPU51は、移動体20の移動が終了するまでS9〜S19の処理を繰り返し実行する(S20)。
CPU51は、S7及びS18における中心位置の算出時に、メモリから読み出し卓同中の発光素子3の配置位置に、受光素子2における中心位置からピーク値の位置までの距離を加算又は減算する。特に、S18の処理において受信信号に2つのピーク値が含まれる場合には、これらの中心位置に対応する画素の位置から受光素子2の中心位置までの距離を算出し、この値を2つの発光素子3の配置位置の中心値に加算又は減算する。2つのピーク値の中点を算出することで、受光素子2の解像度よりも高い精度で移動体20の位置を算出できる。
以上の処理により、簡単な構成で移動体20の絶対位置を検出することができる。なお、ステップS9〜S19の繰り返しの周期を、移動体20が配置ピッチ36の1/2の距離の移動に要する時間よりも短くすることで、駆動中の2つの発光素子3のうち移動体20の移動方向側の発光素子3の光を受光素子2で受光し続けることができる。受光素子2で受光した光がどの発光素子3から照射された光であるかを見失うことがなく、移動体20の位置を継続して検出することができる。
また、CPU51による受光信号の読取周期(ステップS9〜S19の繰り返しの周期)における移動体10の移動量が、受光素子2の長さに比較して十分に短く、その変動が十分に小さい場合には、ステップS10において移動制御部40から送信される方向データを読み取ることなく、ピーク位置の移動方向から移動体10の移動方向を知ることができる。
例えば、ステップS6でピーク位置を算出した際に駆動していた発光素子1(主発光素子)とこの発光素子1の両隣の発光素子1(副発光素子)の3個を移動体10の移動開始後に駆動しておく。移動体10が右方向に移動している場合には、受光信号のピーク位置は受光素子2内で左方向に移動し、ピーク位置が受光素子2の左端近傍に達した時に受光素子2の右端近傍に新たなピーク波形が現れる。次に、最初の主発光素子の右隣の発光素子を主発光素子とし、その両隣の発光素子を副発光素子として3個の発光素子を駆動することで、移動体10の位置を継続的に検出することができる。移動体10が左方向に移動している場合にも同様にして移動体10の位置を継続的に検出することができる。
メモリ52に格納する各発光素子3の配置位置は、スケール1の作成後に測定した値を入力することで、スケール1における発光素子3の配置位置の精度を厳格に規定する必要をなくし、製造工程を簡略化できる。また、同一形状のスケール1を複数連結することで長尺のスケールを容易に構成することができる。
制御部5に入力手段を備え、位置検出装置の使用開始後に、発光素子3の配置位置を測定し、この結果を入力手段から入力してメモリ52の内容を更新することで、ステール1の経時的な変形等にも対応することができる。制御部5に入力手段を備えない場合でも、受光素子2によって各発光素子3の間隔を順次測定することで、スケール1の一端部に配置された発光素子3の位置を原点として各発光素子3の絶対位置を測定することができ、この測定結果をメモリ52に更新的に格納することで同様の効果を得ることができる。
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
この発明の実施形態に係る位置検出装置した移動機構を示す斜視図である。 (A)はこの発明の実施形態に係る位置検出装置の側面断面図であり、(B)は同位置検出装置における受光素子の受光信号を示す図である。 上記位置検出装置の制御部のブロック図である。 制御部の処理手順を示すフローチャートである。
符号の説明
1 スケール
2 受光素子
3 発光素子
5 制御部
20 移動体
52 メモリ(記憶部)

Claims (5)

  1. 所定の移動方向に沿って移動する移動体の絶対位置を検出する位置検出装置であって、
    前記移動方向に沿って配置され、複数の発光素子が前記移動方向に沿って互いの間に間隔を設けて配置されたスケールと、
    前記移動体に取り付けられ、前記移動方向に沿って前記間隔の最大値よりも長い所定の検出範囲内で前記複数の発光素子の少なくとも1つの発光素子から照射された光を検出し、前記検出範囲内における受光位置に応じた受光信号を出力するセンサと、
    前記スケールにおける前記複数の発光素子のそれぞれの配置位置を記憶する記憶部を有し、前記複数の発光素子のそれぞれを個別に駆動するとともに、前記センサから前記受光信号が入力される制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記受光信号が入力された時に前記複数の発光素子のうち駆動中の発光素子の配置位置を前記記憶部から読み出し、前記読み出した配置位置と前記受光信号とに基づいて移動体の位置を算出する位置検出装置。
  2. 前記制御部は、前記記憶部に前記スケールにおける前記複数の発光素子の配置位置を更新的に記憶する請求項1に記載の位置検出装置。
  3. 前記制御部は、前記複数の発光素子のうちで隣接する2つの発光素子を駆動した時の前記受光信号の内容に基づいて前記記憶部の記憶内容を更新する請求項2に記載の位置検出装置。
  4. 前記受光信号の出力周期は、前記移動体が前記一定間隔の1/2を移動する時間よりも短い請求項1乃至3の何れかに記載の位置検出装置。
  5. 前記制御部は、前記移動体の移動開始前に前記複数の発光素子のそれぞれを順次駆動し、前記移動体の移動開始後に前記複数の発光素子のうち前記センサが受光した光を照射している主発光素子と前記主発光素子に隣接する副発光素子とを駆動する請求項4に記載の位置検出装置。
JP2007079339A 2007-03-26 2007-03-26 位置検出装置 Active JP4922033B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007079339A JP4922033B2 (ja) 2007-03-26 2007-03-26 位置検出装置
KR1020080003983A KR100929444B1 (ko) 2007-03-26 2008-01-14 위치 검출 장치
US12/025,804 US7601945B2 (en) 2007-03-26 2008-02-05 Position detecting device for detecting the absolute value of a position of a movable member which has a sensor mounted thereon
CN2008100861861A CN101275859B (zh) 2007-03-26 2008-03-18 位置探测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007079339A JP4922033B2 (ja) 2007-03-26 2007-03-26 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008241338A true JP2008241338A (ja) 2008-10-09
JP4922033B2 JP4922033B2 (ja) 2012-04-25

Family

ID=39792614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007079339A Active JP4922033B2 (ja) 2007-03-26 2007-03-26 位置検出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7601945B2 (ja)
JP (1) JP4922033B2 (ja)
KR (1) KR100929444B1 (ja)
CN (1) CN101275859B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013083590A (ja) * 2011-10-12 2013-05-09 Canon Inc エンコーダシステム

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0902547D0 (en) * 2009-02-16 2009-04-01 Renishaw Plc Encoder scale member and method for mounting
CN105444667B (zh) * 2014-07-07 2018-07-06 南京南瑞继保电气有限公司 一种高速开关位置的测量方法和设备
EP3276310B1 (de) * 2016-07-27 2018-09-19 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
KR20210145153A (ko) * 2019-04-01 2021-12-01 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 리소그래피 장치 및 그와 관련된 방법
CN115184365A (zh) * 2022-07-13 2022-10-14 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 一种弯管全域无损腐蚀监测装置与方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6254120A (ja) * 1985-09-03 1987-03-09 Toshiba Corp 変位検出装置
JPS6396502A (ja) * 1986-10-14 1988-04-27 Toshiba Mach Co Ltd 変位測定装置
JPH0247514A (ja) * 1988-07-08 1990-02-16 Parker Hannifin Corp 位置検出方法及び装置
JPH03185312A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアスケール
JP2000230806A (ja) * 1999-02-09 2000-08-22 Sony Corp 位置認識装置、位置認識方法及び仮想画像立体合成装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786803A (en) * 1987-06-01 1988-11-22 Hewlett-Packard Company Single channel encoder with specific scale support structure
JP2004191267A (ja) 2002-12-13 2004-07-08 Kinichi Ogawa 位置検出装置
KR100480081B1 (ko) * 2003-06-18 2005-04-07 엘지전자 주식회사 음향 추적 장치를 구비한 이동 통신 단말기
KR100578657B1 (ko) * 2004-08-24 2006-05-11 엘지전자 주식회사 방위각 검출방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6254120A (ja) * 1985-09-03 1987-03-09 Toshiba Corp 変位検出装置
JPS6396502A (ja) * 1986-10-14 1988-04-27 Toshiba Mach Co Ltd 変位測定装置
JPH0247514A (ja) * 1988-07-08 1990-02-16 Parker Hannifin Corp 位置検出方法及び装置
JPH03185312A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアスケール
JP2000230806A (ja) * 1999-02-09 2000-08-22 Sony Corp 位置認識装置、位置認識方法及び仮想画像立体合成装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013083590A (ja) * 2011-10-12 2013-05-09 Canon Inc エンコーダシステム

Also Published As

Publication number Publication date
US20080237504A1 (en) 2008-10-02
CN101275859A (zh) 2008-10-01
JP4922033B2 (ja) 2012-04-25
KR100929444B1 (ko) 2009-12-03
US7601945B2 (en) 2009-10-13
CN101275859B (zh) 2010-12-08
KR20080087645A (ko) 2008-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4922033B2 (ja) 位置検出装置
CN107000967B (zh) 用于电梯的位置确定系统
JP5659220B2 (ja) ポジションエンコーダ装置
JP5755223B2 (ja) 位置測定エンコーダおよび操作方法
KR101606104B1 (ko) 경사 가능 레이저 광학계들을 위한 그레이드 메커니즘
KR20110088506A (ko) 절대 인코더 셋업 표시
EP2618106B1 (en) Electronic level and leveling rod for electronic level
JP5081559B2 (ja) 測定装置
JP4286677B2 (ja) レーザマーキング装置及びレーザマーキング方法
JP4703059B2 (ja) 光電式エンコーダ
JP2009082942A (ja) レーザ加工装置
US9534936B2 (en) Reference signal generation apparatus and reference signal generation system
JP4916280B2 (ja) 自動キャリブレーション装置、及びキャリブレーション方法
JP2019138897A (ja) 光学式エンコーダおよびその動作方法
JP4474221B2 (ja) 光学式変位計
JP2010148070A (ja) 画像読取装置及びその制御方法
JP6207895B2 (ja) テープフィーダ、テープフィーダ計測装置、およびテープフィーダ制御方法
JP2006030095A (ja) 光学式変位計
JP2005037333A (ja) アブソリュートエンコーダ及び角度検出方法
WO2019176583A1 (ja) 光検出装置、光検出方法及びライダー装置
JP2007127560A (ja) 位置検出装置、スケールおよび位置検出装置の原点復帰方法
JP2007087022A (ja) 光学情報読取装置
JP2014044128A (ja) 座厚測定装置、プログラム、記録媒体、及び方法
JP2020011443A (ja) 記録装置および記録方法
JP4989313B2 (ja) 絶対角度演算装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100208

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20100208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110802

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111003

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120110

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120131

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120203

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4922033

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150210

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250