JP2006030095A - 光学式変位計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象物に光を照射するための発光素子と、対象物からの光を受光して受光量に応じた電気信号を出力するイメージセンサーと、イメージセンサーからの電気信号を増幅する増幅器を含む信号処理回路と、信号処理回路から得られた画像信号の波形における山部を検出して対象物までの距離又は対象物の変位を求める計測処理を実行する制御部とを備えた光学式変位計において、画像信号の波形に複数の山部C1,C2が存在するときに、制御部は、画像信号に基づいて発光素子の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくとも一つを調整するフィードバック制御と計測処理とを複数の山部C1,C2のそれぞれについて時分割で実行する。
【選択図】図6
Description
15 イメージセンサー
44 マイクロプロセッサ(制御部)
46 増幅器
Claims (9)
- 対象物に光を照射するための発光素子と、複数の画素構成部のそれぞれが前記対象物からの光を受光して受光量に応じた電気信号を出力するイメージセンサーと、前記イメージセンサーからの電気信号を増幅する増幅器を含む信号処理回路と、前記信号処理回路から得られた画像信号の波形における山部を検出して前記対象物までの距離又は前記対象物の変位を求める計測処理を実行する制御部とを備えた光学式変位計であって、
前記画像信号の波形に複数の山部が存在するときに、前記制御部は、前記画像信号に基づいて前記発光素子の発光量及び前記増幅器の増幅率を含む操作量の少なくとも一つを調整するフィードバック制御と前記計測処理とを前記複数の山部のそれぞれについて時分割で実行することを特徴とする光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御及び前記計測処理を実行する対象の前記山部を一制御サイクルごとに順番に変更することを特徴とする
請求項1記載の光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御及び前記計測処理を行う対象の山部を複数の制御サイクルごとに順番に変更することを特徴とする
請求項1記載の光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御における目標値と操作量との誤差が所定値以下になるまで同一の山部について前記フィードバック制御及び前記計測処理を繰り返した後に、前記フィードバック制御及び前記計測処理を実行する対象の山部を変更することを特徴とする
請求項1記載の光学式変位計。 - 対象物に光を照射するための発光素子と、複数の画素構成部のそれぞれが前記対象物からの光を受光して受光量に応じた電気信号を出力するイメージセンサーと、前記イメージセンサーからの電気信号を増幅する増幅器を含む信号処理回路と、前記信号処理回路から得られた画像信号の波形における山部を検出して前記対象物までの距離又は前記対象物の変位を求める計測処理を実行する制御部とを備えた光学式変位計であって、
前記画像信号の波形に複数の山部が存在するときに、前記制御部は、前記画像信号に基づいて前記発光素子の発光量及び前記増幅器の増幅率を含む操作量の少なくとも一つを調整するフィードバック制御と前記計測処理とを第1の山部と第2の山部について交互に時分割で実行することを特徴とする光学式変位計。 - 前記制御部は、前記第1の山部から求めた前記対象物までの第1の距離と前記第2の山部から求めた前記対象物までの第2の距離とを個別に出力すると共に、前記第1の距離と前記第2の距離との差を出力することを特徴とする
請求項5記載の光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御及び前記計測処理を実行する対象の前記山部を1制御サイクルごとに交互に変更することを特徴とする
請求項5又は6記載の光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御及び前記計測処理を行う対象の山部を複数制御サイクルごとに交互に変更することを特徴とする
請求項5又は6記載の光学式変位計。 - 前記制御部は、前記フィードバック制御における目標値と操作量との誤差が所定値以下になるまで同一の山部について前記フィードバック制御及び前記計測処理を繰り返した後に、前記フィードバック制御及び前記計測処理を実行する対象の山部を変更することを特徴とする
請求項5又は6記載の光学式変位計。
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