JP2008240064A - 構造物の作製方法及び構造物の作製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 エアロゾル発生器は、微粒子の粉体と混在して配置された解砕片と、解砕片と接触せず所定の大きさの微粒子のみ通過させる第1のフィルタと、この第1のフィルタに対してガスが流れる方向の上流側に、第1のフィルタとの間に隙間を設けて設置され、解砕片を通過させない大きさの孔を有する第2のフィルタを有する。
【選択図】 図2
Description
本発明は上述した課題を解決し、エアロゾル発生器内に解砕片を粉体と混在して配置する技術とエアロゾル排出口の上流付近にフィルタを有する技術を併用した場合において、所定の大きさ以上の凝集体を排出する可能性を低減させることでノズルの目詰まりを防ぎ、粒子径が均一な微粒子を排出することで、粒子径が均一で緻密な膜の形成効率が高い構造物の作製方法及び構造物の作製装置を提供することを目的とする。
2 膜形成部
3 エアロゾル発生部
4 エアロゾル搬送管
5 ノズル
6 搬送されたエアロゾル
7 構造物
7a 膜
7b 基板
8 ステージ
9 微粒子の粉体
9a 所定の大きさを有する微粒子
9b〜9h 所定の大きさよりも大きな凝集体
10 解砕片
11 第1のフィルタ
12 第2のフィルタ
16 ガス搬送管
20 真空チャンバー
21 真空ポンプ
30 エアロゾル発生器
31 ガス搬送管
31a ガス気流
32 マスフローコントローラ
33 振動付加手段
Claims (10)
- 微粒子をガス中に分散したエアロゾルを基板へ噴射し、基板上に膜を形成する構造物を作製するエアロゾルデポジション法において、解砕片と、所定の大きさを有する前記微粒子のみを通過させる孔で構成される第1のフィルタと、該第1のフィルタに対して前記ガスが流れる方向の上流側に、前記第1のフィルタとの間に隙間を設けて設置され、前記解砕片を通過させない大きさの孔で構成される第2のフィルタと、を有したエアロゾル発生器内で、前記粒子から成る粉体と前記解砕片を混在させて前記第2のフィルタに対して前記ガスが流れる方向の上流側に設置し、前記粉体へ前記ガスを注入してエアロゾルを発生させ、該エアロゾルを前記第2のフィルタと前記第1のフィルタを介して前記基板が設置された方へ搬送すべく排出することを特徴とする構造物の作製方法。
- 前記微粒子はセラミックから成ることを特徴とする請求項1記載の構造物の作製方法。
- 前記第2のフィルタの孔は前記第1のフィルタの孔よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2記載の構造物の作製方法。
- 前記エアロゾル発生器に、機械的振動を与えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の構造物の作製方法。
- 前記第1のフィルタと前記第2のフィルタとの間の隙間は、前記第2のフィルタが、前記解砕片と衝突した際の衝撃を前記第1のフィルタに与えない程度の幅を有していることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の構造物の作製方法。
- エアロゾル発生器内にて微粒子が、ガス中に分散され発生したエアロゾルを用いて構造物を作製する装置において、前記エアロゾル発生器は、解砕片と、所定の大きさを有する前記微粒子のみを通過させる孔で構成される第1のフィルタと、該第1のフィルタに対して前記ガスが流れる方向の上流側に、前記第1のフィルタとの間に隙間を設けて設置され、前記解砕片を通過させない大きさの孔で構成される第2のフィルタと、からなることを特徴とする構造物の作製装置。
- 前記微粒子はセラミックから成ることを特徴とする請求項6記載の構造物の作製装置。
- 前記第2のフィルタの孔は前記第1のフィルタの孔よりも大きいことを特徴とする請求項6又は7記載の構造物の作製装置。
- 前記エアロゾル発生器に、機械的振動を与える振動手段を有することを特徴とする請求項6から8いずれかに記載の構造物の作製装置。
- 前記第1のフィルタと前記第2のフィルタとの間の隙間は、前記第2のフィルタが、前記解砕片と衝突した際の衝撃を前記第1のフィルタに与えない程度の幅を有していることを特徴とする請求項6から9いずれかに記載の構造物の作製装置。
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