JP2008238284A - スライダの研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スライダの研磨装置1は、スライダとなるべき素子Sを回転する研磨定盤5に押付けながら保持することのできるラッピングヘッド2と、鉛直方向に延びる第1の嵌合部材12を備えた、ラッピングヘッドを支持する保持機構と、第1の嵌合部材12と嵌合して第1の嵌合部材12との間に内部空間を形成する鉛直方向に延びる第2の嵌合部材13を備えた、保持機構3を支持するベース4と、内部空間を減圧する減圧機構と、を有し、保持機構3は、減圧された内部空間から鉛直方向上向きの力を受け、ベース4に、鉛直方向に可動に支持される。
【選択図】図2
Description
最後の研磨工程はいわゆる表面仕上げ研磨工程であり、タッチラップ研磨工程とも呼ばれている。表面仕上げ研磨工程では、鏡面仕上げされた研磨定盤を用いて媒体対向面がきれいに研磨される。表面仕上げ研磨工程が終了すると、媒体対向面のスクラッチ傷等が除去され、媒体対向面の平滑度が向上する。このとき、スライダの浮上特性にとって重要な、クラウンと呼ばれる凸面形状も同時に形成される。表面仕上げ研磨工程では、研磨量はわずかであり、押付け力も小さいことから、研磨量自体の監視はおこなわれていない。あらかじめ研磨レートを確認しておき、一定の研磨時間が経過すると研磨は終了する。押付け力を与える手段として、素子高さ形成研磨工程と同様、複数の押圧シリンダを用いて素子ごとに最適な押付け力を与える方法(特許文献1参照。)や、より簡便な方法として素子を保持するラッピングヘッドの上に重りを載置する方法が開示されている(特許文献2参照。)。
2 ラッピングヘッド
3 保持機構
4 ベース
5 研磨定盤
6 プッシャ
8 プッシャ支持部
9 シリンダ
10 空気配管
12,12a シリンダ(第1の嵌合部材)
13,13a ピストン(第2の嵌合部材)
14 内部空間
15 空気チューブ
16 フレーム部
18 ガイド部
19a ボールネジ
19b ナット
20 溝
21 突状部
23 距離検出装置
B バー
S 素子
G ゴムシート
LS 研磨面
Claims (11)
- スライダとなるべき素子を回転する研磨定盤に押付けながら保持することのできるラッピングヘッドと、
鉛直方向に延びる第1の嵌合部材を備えた、前記ラッピングヘッドを支持する保持機構と、
前記第1の嵌合部材と嵌合して該第1の嵌合部材との間に内部空間を形成する鉛直方向に延びる第2の嵌合部材を備えた、前記保持機構を支持するベースと、
前記内部空間を減圧する減圧機構と、
を有し、
前記保持機構は、減圧された前記内部空間から鉛直方向上向きの力を受け、前記ベースに、鉛直方向に可動に支持される、
スライダの研磨装置。 - 前記第1の嵌合部材は前記保持機構に備えられたシリンダであり、前記第2の嵌合部材は前記ベースに備えられたピストンである、請求項1に記載のスライダの研磨装置。
- 前記第1の嵌合部材は前記保持機構に備えられたピストンであり、前記第2の嵌合部材は前記ベースに備えられたシリンダである、請求項1に記載のスライダの研磨装置。
- 前記ベースは、前記研磨定盤を支持する固定されたフレーム部と、前記第2の嵌合部材を備え該フレーム部に対して鉛直方向に移動することのできるガイド部と、を有し、
前記フレーム部と前記ガイド部の一方はボールネジを有し、他方は該ボールネジと嵌合するナットを有している、
請求項1から3のいずれか1項に記載のスライダの研磨装置。 - 前記ガイド部は、鉛直方向に延びる第1の係合部を有し、
前記保持機構は、前記第1の係合部に係合して前記ガイド部に対して鉛直方向のみに移動するための第2の係合部を有している、
請求項4に記載のスライダの研磨装置。 - 前記ラッピングヘッドは、
複数の前記素子の各々の取付け位置に対応する位置に設けられ、前記研磨定盤への押付け力が個別に制御可能な複数のプッシャと、
前記プッシャを支持し、前記保持機構に対して少なくとも鉛直方向に不動に取付けられたプッシャ支持部と、
を有している、
請求項1から5のいずれか1項に記載のスライダの研磨装置。 - スライダとなるべき素子を保持することのできるラッピングヘッドと、該ラッピングヘッドを支持する保持機構と、該保持機構を支持するベースと、を有し、前記保持機構は鉛直方向に延びる第1の嵌合部材を備え、前記ベースは鉛直方向に延びる第2の嵌合部材を備え、前記第1の嵌合部材と前記第2の嵌合部材とが嵌合して該第1の嵌合部材と該第2の嵌合部材との間に内部空間が形成された研磨装置を準備するステップと、
スライダとなるべき素子を研磨定盤に対向して前記ラッピングヘッドで保持させる保持ステップと、
前記内部空間を減圧し、減圧された前記内部空間から前記保持機構が鉛直方向上向きの力を受け、前記ベースに鉛直方向に可動に支持された状態で、前記素子を回転する研磨定盤に押付けて、該素子を研磨する研磨ステップと、
を有する、スライダの研磨方法。 - 前記研磨ステップは、複数の前記素子の各々の位置における前記定盤への押付け力を個別に制御しながら、該複数の素子を同時に研磨することを含む、請求項7に記載のスライダの研磨方法。
- 前記プッシャの押付け力を制御することは該プッシャの鉛直方向のストロークを制御することを含む、請求項8に記載のスライダの研磨方法。
- 前記保持ステップと前記研磨ステップの前に、前記素子の読取素子高さを形成する素子高さ形成研磨ステップを有し、
前記研磨ステップは、研磨面に前記素子と隣接して配置された抵抗素子を、該抵抗素子の電気抵抗を監視しながら該素子と同時に研磨することを含む、
請求項7から9のいずれか1項に記載のスライダの研磨方法。 - 前記研磨ステップは、前記抵抗素子の電気抵抗が、該抵抗素子の研磨量と電気抵抗との関係に基づいてあらかじめ設定された目標電気抵抗値に達したところで終了することを含む、請求項7から10のいずれか1項に記載のスライダの研磨方法。
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