JP2008229806A - 磁気軸受装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 主軸の回転数を下げずに、主軸の共振を抑制できる工作機械用主軸装置を提供する。
【解決手段】 工作機械用主軸装置は、ハウジング1に対し支持用軸受装置3,4により支持されて電動モータ5により回転させられる主軸2の先端の工具装着部2aに工具6が装着されるものである。主軸2の工具装着部2aの周囲に、複数の電磁石12a,12b,12c,12dを備えた振動抑制用ラジアル磁気軸受9と、工具装着部2aの径方向の変位を検出するための複数のラジアル変位センサ14a,14b,14c,14dが設けられ、工具装着部2aを所定位置に支持するためにラジアル変位センサ14a〜14dの出力に基づいてラジアル磁気軸受9の電磁石12a〜12dを制御する電磁石制御装置が設けられている。
【選択図】 図1

Description

この発明は、工作機械用主軸装置、さらに詳しくは、先端に工具が装着されて回転させられる主軸を備えた工作機械用主軸装置に関する。
上記のような工作機械用主軸装置では、工具の刃数と主軸の回転周波数の積もしくはその整数倍が、主軸の固有振動数と一致するか、またはその近傍にあるときに、共振(びびり振動)が起こり、加工面が荒れることがある。
このような共振の発生を防止するため、工具の刃数と主軸の回転周波数の積もしくはその整数倍が、主軸の固有振動数と一致しないように、主軸の回転数を下げて加工を行うことが提案されている(たとえば特許文献1参照)。
特開2002−039177号公報
ところが、上記のように主軸の回転数を下げて加工を行うと、加工時間が増加するという問題が生じる。
この発明の目的は、上記の問題を解決し、主軸の回転数を下げずに、主軸の共振を抑制できる工作機械用主軸装置を提供することにある。
この発明による工作機械用主軸装置は、ハウジングに対し支持用軸受手段により支持されて駆動手段により回転させられる主軸の先端の工具装着部に工具が装着される工作機械用主軸装置において、主軸の工具装着部の周囲に、複数の電磁石を備えた振動抑制用ラジアル磁気軸受と、工具装着部の径方向の変位を検出するための複数のラジアル変位センサが設けられ、工具装着部を所定位置に支持するためにラジアル変位センサの出力に基づいてラジアル磁気軸受の電磁石を制御する電磁石制御手段が設けられていることを特徴とするものである。
主軸の工具装着部の周囲に設けられた振動抑制用ラジアル磁気軸受により、工具装着部が所定位置に支持されるため、主軸の回転数を下げなくても、主軸の共振の発生が抑制される。
ラジアル磁気軸受は、たとえば、互いに直交する2つの径方向にそれぞれ1対ずつの電磁石を備えている。しかし、ラジアル磁気軸受は、工具装着部の周囲を円周方向に3等分する位置に配置された3個の電磁石を備えたものであってもよい。
ラジアル変位センサは、たとえば、上記2つの径方向に1対ずつ設けられる。
この発明の工作機械用主軸装置において、たとえば、電磁石制御手段が、ラジアル変位センサの出力から工具装着部の共振周波数を検出する共振周波数検出手段と、検出された共振周波数に対して位相進み制御を行う位相進み制御手段とを備えている。
このようにすれば、主軸の共振の発生をより効果的に抑制することができる。
共振周波数の検出は、たとえば、変位センサの出力をFFT(高速フーリエ変換)を用いて周波数分析することにより行われる。
位相進み制御手段は、たとえば、ソフトウェアによって構成されるディジタル位相進みフィルタである。
この発明の工作機械用主軸装置によれば、上述のように、主軸の回転数を下げずに、主軸の共振の発生を抑制することができる。
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について説明する。
図1は、主軸装置の主要部の機械的構成の1例を示す縦断面図である。図2は、図1の主軸装置の振動抑制装置の部分を拡大して示す横断面図(図1のII−II線の拡大断面図)である。図3は、振動抑制装置の電気的構成の1例を示すブロック図である。
主軸装置は、鉛直円筒状のハウジング(1)の内側で軸心が鉛直な主軸(2)が回転する縦型のものである。以下の説明において、主軸(2)の軸心の方向(上下方向)をZ軸、Z軸と直交するとともに互いに直交する2つの径方向(水平方向)をX軸およびY軸とする。
主軸(2)の上端寄りの部分と下端寄りの部分の2箇所が、軸受装置(3)(4)により、ハウジング(1)に回転支持されている。各軸受装置(3)(4)は、転がり軸受よりなる。この例では、上側の軸受装置(3)は深みぞ玉軸受よりなり、下側の軸受装置(3)は2個のアンギュラ玉軸受が組み合わされたものである。2組の軸受装置(3)(4)は、支持用軸受手段を構成し、主軸(2)を軸方向および径方向に回転支持する。
上下の軸受装置(3)(4)の間の部分に、主軸(2)を回転駆動する駆動手段を構成する内蔵型電動モータ(5)が設けられている。モータ(5)は、ハウジング(1)側のステータ(5a)と、主軸(2)側のロータ(5b)とから構成されている。
下側の軸受装置(4)より下側の主軸(2)の部分は、ハウジング(1)より下方に突出し、工具装着部(2a)となっている。そして、この工具装着部(2a)に、下側から工具(6)が装着される。この例では、エンドミルが装着されている。工具装着部(2a)に装着される工具(6)は、交換可能である。
ハウジング(1)の下端面に、鉛直円筒状の支持部材(7)が固定されている。支持部材(7)は、主軸(2)と同心で、工具装着部(2a)を取り囲んでいる。そして、支持部材(7)の内周面に、振動抑制装置(8)を構成する振動抑制用制御型ラジアル磁気軸受(9)およびラジアル変位センサユニット(10)が、工具装着部(2a)を取り囲むように取り付けられている。
ラジアル磁気軸受(9)は、工具装着部(2a)の外周に設けられたターゲット(11)をX軸方向の両側から挟むように配置された1対の電磁石(ラジアル電磁石)(12a)(12b)と、ターゲット(11)をY軸方向の両側から挟むように配置された1対の電磁石(ラジアル電磁石)(12c)(12d)とを備えている。これらの電磁石は、符号(12)で総称する。
ラジアル変位センサユニット(10)は、1対の電磁石(12a)(12b)のすぐ下方において工具装着部(2a)の外周に設けられたターゲット(13)をX軸方向の両側から挟むように配置された1対のラジアル変位センサ(14a)(14b)と、1対の電磁石(12c)(12d)のすぐ下方において工具装着部(2a)をY軸方向の両側から挟むように配置された1対のラジアル変位センサ(14c)(14d)とを備えている。これらの変位センサは、符号(14)で総称する。
電磁石(12)および変位センサ(14)は、電磁石制御手段を構成する電磁石制御装置(15)に電気的に接続されている。
電磁石制御装置(15)は、ソフトウェアプログラムが可能なディジタル処理手段としてのDSP(ディジタル処理プロセッサ)(16)を備えている。DSP(16)は、機能的に、変位検出部(17)、励磁電流制御部(18)、共振周波数検出手段としての共振周波数検出部(19)および位相進み制御手段としての位相進み制御部(20)を備えている。
変位検出部(17)は、1対の変位センサ(14a)(14b)の出力に基づいて工具装着部(2a)のX軸方向の変位を検出し、他の1対の変位センサ(14c)(14d)の出力に基づいて工具装着部(2a)のY軸方向の変位を検出する。
励磁電流制御部(18)は、工具装着部(2a)のX軸方向およびY軸方向の変位に基づいて、各変位が所定値(通常は0)となるように、各電磁石(12)に供給する励磁電流を制御する。励磁電流は、一定の定常電流と変位により変化する制御電流とを合わせたものである。励磁電流制御部(18)は、たとえばPID制御により、変位に基づいて、各電磁石(12)に対する制御電流を求め、この制御電流と定常電流とを合わせた励磁電流を対応する電磁石(12)に供給する。
このように、ラジアル磁気軸受(9)によって工具装着部(2a)が所定位置(通常は変位が0となる位置)に支持され、主軸(2)の共振の発生が抑制される。
共振周波数検出部(19)は、たとえば、変位センサ(14)の出力をFFTを用いて周波数分析することにより、主軸(2)の共振周波数を検出する。
位相進み制御部(20)は、検出された主軸(2)の共振周波数に対して位相進み制御を行う。位相進み部(20)は、たとえば、ソフトウェアによって構成されるディジタル位相進みフィルタである。
このような位相進み制御を行うことにより、主軸(2)の共振の発生がより効果的に抑制される。
励磁電流制御部(18)は、また、変位検出部(17)により検出された工具装着部(2a)の変位のピーク値が所定のしきい値を越えたかどうかを調べ、しきい値を越えている場合は、制御ゲインを通常値より高めて、磁気軸受(9)の剛性値を通常値より高くする。そして、磁気軸受(9)の剛性値をある程度高くしても変位のピーク値がしきい値を越える場合は、振動が過大であると判断して、警告を発し、好ましくは、加工を停止する。
主軸装置の各部の構成は、上記実施形態のものに限らず、適宜変更可能である。
上記実施形態では、支持用軸受手段が、2組の転がり軸受よりなる接触式のものであるが、支持用軸受手段は、他の形式の接触式のものであってもよいし、たとえば1組のアキシアル磁気軸受と2組のラジアル磁気軸受よりなる非接触式のもの、あるいは他の形式の非接触式のもの、接触式と非接触式を合わせたものなどであってもよい。
図1は、この発明の実施形態を示す工作機械用主軸装置の縦断面図である。 図2は、図1のII−II線の拡大断面図である。 図3は、工作機械用主軸装置の共振抑制装置の電気的構成の1例を示すブロック図である。
符号の説明
(1) ハウジング
(2) 主軸
(2a) 工具装着部
(3)(4) 軸受装置
(5) 電動モータ
(6) 工具
(8) 振動抑制装置
(9) 振動抑制用制御型ラジアル磁気軸受
(12a)(12b)(12c)(12d) ラジアル電磁石
(14a)(14b)(14c)(14d) ラジアル変位センサ
(19) 共振周波数検出部
(20) 位相進み制御部

Claims (2)

  1. ハウジングに対し支持用軸受手段により支持されて駆動手段により回転させられる主軸の先端の工具装着部に工具が装着される工作機械用主軸装置において、
    主軸の工具装着部の周囲に、複数の電磁石を備えた振動抑制用ラジアル磁気軸受と、工具装着部の径方向の変位を検出するための複数のラジアル変位センサが設けられ、工具装着部を所定位置に支持するためにラジアル変位センサの出力に基づいてラジアル磁気軸受の電磁石を制御する電磁石制御手段が設けられていることを特徴とする工作機械用主軸装置。
  2. 電磁石制御手段が、ラジアル変位センサの出力から工具装着部の共振周波数を検出する共振周波数検出手段と、検出された共振周波数に対して位相進み制御を行う位相進み制御手段とを備えていることを特徴とする請求項1の工作機械用主軸装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014184548A (ja) * 2013-02-25 2014-10-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 制振装置
JP2019209399A (ja) * 2018-05-31 2019-12-12 国立大学法人 鹿児島大学 工作機械の主軸システム
JP2019209411A (ja) * 2018-06-01 2019-12-12 国立大学法人 鹿児島大学 主軸装置
JP2020059102A (ja) * 2018-10-12 2020-04-16 コマツNtc株式会社 主軸装置
WO2020162660A1 (ko) * 2019-02-08 2020-08-13 숭실대학교 산학협력단 진동 감쇠 시스템 및 이를 이용한 공작기계 절삭력 추정 방법
KR102145697B1 (ko) * 2019-02-08 2020-08-19 숭실대학교산학협력단 진동 감쇠 시스템 및 이를 이용한 공작기계 절삭력 추정 방법
JP2021058968A (ja) * 2019-10-07 2021-04-15 国立大学法人 鹿児島大学 工作機械の主軸システム

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008229806A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Jtekt Corp 磁気軸受装置
US20090028656A1 (en) * 2007-07-26 2009-01-29 Sawing Systems Inc. Force monitoring and control of router
DE102008054013A1 (de) * 2008-10-30 2010-05-06 Schaeffler Kg Lageranordnung einer vertikal stehenden Antriebsspindel
ITTO20110709A1 (it) * 2011-08-01 2013-02-02 Sicmat Spa Macchina honatrice di potenza/rettificatrice per la finitura di ingranaggi cilindrici con utensili a dentatura esterna
JP5966651B2 (ja) 2012-06-19 2016-08-10 株式会社ジェイテクト 主軸装置
CN103506892B (zh) * 2013-10-29 2015-12-30 东华大学 一种旋转式切削力动态监测装置
EP2899416A1 (de) * 2014-01-22 2015-07-29 Siemens Aktiengesellschaft Elektrische Maschine mit einer Magnetanordnung
US10613629B2 (en) 2015-03-27 2020-04-07 Chad Laurendeau System and method for force feedback interface devices
US10220479B2 (en) * 2016-04-25 2019-03-05 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Machining apparatus
JP6730912B2 (ja) * 2016-10-26 2020-07-29 三菱重工工作機械株式会社 主軸ユニット、及び工作機械
JP6725594B2 (ja) * 2018-06-28 2020-07-22 ファナック株式会社 主軸装置
WO2021006931A1 (en) * 2019-07-11 2021-01-14 Lord Corporation Rotatable shaft bearing with electromagnetically controlled support impedance
CN113894626B (zh) * 2021-11-10 2022-10-14 深圳市鑫国钰精密工具有限公司 一种数控磨床刀具加工支撑装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000141104A (ja) * 1998-11-12 2000-05-23 Yaskawa Electric Corp 工作機械用磁気軸受制御装置とその制御方法
JP2002039177A (ja) * 2000-07-24 2002-02-06 Ntn Corp 非接触軸受スピンドル装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4180946A (en) * 1975-10-02 1980-01-01 Maurice Brunet Tool holding spindle assembly particularly for a grinding machine
FR2606690B1 (fr) 1986-11-13 1994-06-03 Europ Propulsion Broche porte-piece a paliers magnetiques et dispositifs de mise en oeuvre de celle-ci pour machine-outil de tres haute precision
JPH07256503A (ja) 1994-03-17 1995-10-09 Seiko Seiki Co Ltd スピンドル装置
JP3425475B2 (ja) * 1994-07-12 2003-07-14 セイコーインスツルメンツ株式会社 磁気軸受装置
JPH1199433A (ja) 1997-09-26 1999-04-13 Yaskawa Electric Corp 主軸駆動機構
JP2000167739A (ja) 1998-12-07 2000-06-20 Mori Seiki Co Ltd 工作機械
JP2001041240A (ja) 1999-07-29 2001-02-13 Koyo Seiko Co Ltd 磁気軸受の制御装置
JP4287213B2 (ja) * 2002-09-03 2009-07-01 エドワーズ株式会社 振動抑制機能を有する磁気軸受装置、振動推定機能を有する磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載したポンプ装置
DE102005001494A1 (de) 2005-01-12 2006-07-20 Siemens Ag Regelverfahren für eine Magnetlagerung und hiermit korrespondierende Einrichtung
JP2008229806A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Jtekt Corp 磁気軸受装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000141104A (ja) * 1998-11-12 2000-05-23 Yaskawa Electric Corp 工作機械用磁気軸受制御装置とその制御方法
JP2002039177A (ja) * 2000-07-24 2002-02-06 Ntn Corp 非接触軸受スピンドル装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014184548A (ja) * 2013-02-25 2014-10-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 制振装置
JP2019209399A (ja) * 2018-05-31 2019-12-12 国立大学法人 鹿児島大学 工作機械の主軸システム
JP2019209411A (ja) * 2018-06-01 2019-12-12 国立大学法人 鹿児島大学 主軸装置
JP7231148B2 (ja) 2018-06-01 2023-03-01 国立大学法人 鹿児島大学 主軸装置
JP2020059102A (ja) * 2018-10-12 2020-04-16 コマツNtc株式会社 主軸装置
WO2020075701A1 (ja) * 2018-10-12 2020-04-16 コマツNtc株式会社 主軸装置
WO2020162660A1 (ko) * 2019-02-08 2020-08-13 숭실대학교 산학협력단 진동 감쇠 시스템 및 이를 이용한 공작기계 절삭력 추정 방법
KR102145697B1 (ko) * 2019-02-08 2020-08-19 숭실대학교산학협력단 진동 감쇠 시스템 및 이를 이용한 공작기계 절삭력 추정 방법
JP2021058968A (ja) * 2019-10-07 2021-04-15 国立大学法人 鹿児島大学 工作機械の主軸システム

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