JP2008227211A - 圧電装置の製造方法及び圧電装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細化を図りやすくすることができる圧電装置の製造方法及び圧電装置を提供する。
【解決手段】基板3の一の面に形成された第1電極5と、圧電体材料で構成され、第1電極5に重ねられたPZT等の圧電体膜7と、圧電体膜7を挟んで第1電極5に対向する第2電極11と、を有する圧電装置1の製造方法であって、第1電極5が形成された基板3の一の面に第1絶縁膜を形成し、第1電極5の少なくとも一部を露呈させるように第1絶縁膜を除去する工程と、第1絶縁膜が除去された領域内に圧電体材料を充填し、領域内に圧電体膜7を形成する工程と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】基板3の一の面に形成された第1電極5と、圧電体材料で構成され、第1電極5に重ねられたPZT等の圧電体膜7と、圧電体膜7を挟んで第1電極5に対向する第2電極11と、を有する圧電装置1の製造方法であって、第1電極5が形成された基板3の一の面に第1絶縁膜を形成し、第1電極5の少なくとも一部を露呈させるように第1絶縁膜を除去する工程と、第1絶縁膜が除去された領域内に圧電体材料を充填し、領域内に圧電体膜7を形成する工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電装置の製造方法及び圧電装置に関する。
従来、圧電装置の1つに、走査型顕微鏡のプローブとして、圧電体である酸化亜鉛の薄膜を2つの電極で挟んだ層構造を、シリコンウエハから片持梁状に延びる薄膜弾性体に装着した構成を有するカンチレバーが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このようなカンチレバーでは、例えば、次に述べるような製造方法を採用することができる。
まず、図10(a)に示すように、片持ち梁状に延びる薄膜弾性体101が形成されたシリコンウエハ103に、スパッタリング技術などで金属膜105を成膜する。
次いで、金属膜105を、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術でパターニングして、図10(b)に示すように、電極107を形成する。
まず、図10(a)に示すように、片持ち梁状に延びる薄膜弾性体101が形成されたシリコンウエハ103に、スパッタリング技術などで金属膜105を成膜する。
次いで、金属膜105を、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術でパターニングして、図10(b)に示すように、電極107を形成する。
次いで、図10(c)に示すように、圧電体で構成される膜109を、スパッタリング技術で成膜する。
次いで、図10(d)に示すように、スパッタリング技術などで金属膜111を成膜する。
次いで、図10(e)に示すように、レジストパターン膜113をフォトリソグラフィ技術で形成する。
次いで、図10(f)に示すように、エッチング技術で電極115、及び圧電体膜117をパターニングする。
次いで、図10(d)に示すように、スパッタリング技術などで金属膜111を成膜する。
次いで、図10(e)に示すように、レジストパターン膜113をフォトリソグラフィ技術で形成する。
次いで、図10(f)に示すように、エッチング技術で電極115、及び圧電体膜117をパターニングする。
このような製造方法でカンチレバーを製造することができる。しかしながら、このような製造方法では、圧電体材料が酸化亜鉛などの金属の複合酸化物や、金属の複合窒化物等で構成される場合には、エッチングによる圧電体膜117のパターニングにおいて、圧電体膜117の側面119が、図10(f)に示すように、テーパ状になりやすい。例えば圧電体材料がチタン酸ジルコン酸鉛のような材料の場合、テーパ角は30〜60°程度ついてしまい、膜厚にも依るが数ミクロンのエリアペナルティ(容量として使えない領域)を作り出してしまう。更に、このようなテーパ状になっている部位では、じゅうぶんな圧電効果が得られない。
従って、所望の圧電効果を得るには、テーパ状の領域を加味した大きさに寸法を設定する必要がある。このことは、カンチレバーを含む圧電装置の微細化を妨げる要因の1つとなる。つまり、このような製造方法では、圧電装置の微細化を図ることが困難であるという未解決の課題がある。
本発明は、この未解決の課題に着目してなされたものであり、微細化を図りやすくすることができる圧電装置の製造方法及び圧電装置を提供することを目的とする。
本発明の圧電装置の製造方法は、基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、を有する圧電装置の製造方法であって、前記第1電極が形成された前記基板の前記一の面に第1絶縁膜を形成し、前記第1電極の少なくとも一部を露呈させるように前記第1絶縁膜を除去する工程と、前記第1絶縁膜が除去された領域内に前記圧電体材料を充填し、前記領域内に前記圧電体膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
この製造方法では、第1電極が形成された基板の一の面に第1絶縁膜を形成してから、第1絶縁膜を第1電極の少なくとも一部が露呈するように除去し、第1絶縁膜が除去された領域内に圧電体材料を充填し、この領域内に圧電体膜を形成する。この製造方法によれば、第1絶縁膜が除去された領域内の側壁によって、圧電体膜の側面の形状が規制されるので、圧電体膜の側面の形状を制御しやすくすることができる。従って、圧電体膜の側面の形状がテーパ状になることを低く抑えやすくすることができ、圧電装置の微細化を図りやすくすることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜を形成する工程は、前記第1絶縁膜が除去された前記領域内に前記圧電体材料を充填したあと、前記圧電体材料のうち前記領域外の余剰部分を除去することを含んでいてもよい。
この製造方法では、第1絶縁膜が除去された領域内に圧電体材料を充填したあと、圧電体材料のうちで、第1絶縁膜が除去された領域外の余剰部分を除去するので、圧電体膜を平坦に形成しやすくすることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜を形成する工程は、前記第1絶縁膜が除去された領域内に前記圧電体材料を充填したあと、前記圧電体材料において前記第1電極からの高さが前記第1絶縁膜における前記第1電極からの高さを超える余剰部分を除去することを含んでいてもよい。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜を形成する工程では、前記圧電体材料の前記余剰部分をCMP(Chemical Mechanical Polishing)法により除去してもよい。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体材料が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸鉛、窒化アルミニウム及び酸化亜鉛のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。
この製造方法では、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸鉛、窒化アルミニウム及び酸化亜鉛のうちの少なくとも1つを含む圧電体で圧電体膜を形成することができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記第1絶縁膜を除去する工程の前に、前記第1電極上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜の一部を除去し、前記第1電極の前記少なくとも一部を露呈させる工程と、を含み、前記第1絶縁膜が前記第2絶縁膜の除去された部分を覆って形成されるものであってもよい。
上記の圧電装置の製造方法において、前記第1絶縁膜を除去する工程の前に、前記第1電極上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜の一部を除去し、前記第1電極の前記少なくとも一部を露呈させる工程と、を含み、前記第1絶縁膜が前記第2絶縁膜の除去された部分を覆って形成されるものであり、前記第2絶縁膜がシリコン酸化物を含み、前記第1絶縁膜がシリコン窒化物を含んでいてもよい。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜を形成する工程の後、前記圧電体膜上に導電膜を形成する工程と、前記導電膜を前記第1絶縁膜の一部を覆う形状にパターニングし、前記第2電極を形成する工程と、前記第2電極をマスクとして用い、前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜を除去する工程と、を含み、前記第2電極の周縁部と前記第1電極の間に前記第1絶縁膜が位置するようにしてもよい。
この製造方法では、第1絶縁膜を除去する工程の前に、第1電極上に第2絶縁膜を形成する工程と、第2絶縁膜の一部を除去し、第1電極の少なくとも一部を露呈させる工程と、が含まれる。また、第1絶縁膜は、第2絶縁膜の除去された部分を覆って形成される。そして、第1絶縁膜が除去された領域内に、圧電体膜が形成される。第2電極は、圧電体膜と、第1絶縁膜の一部とを覆って形成される。そして、第2電極をマスクとして、第1絶縁膜及び第2絶縁膜を除去することにより、第2電極と第1電極との間に、第1絶縁膜を残存させることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記第2電極をマスクとして用い、前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜を除去する工程において、前記圧電体膜が除去されない、ことを特徴とする。
本発明の圧電装置は、基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に挟まれ、前記圧電体膜の側面を覆う被覆膜と、を有することを特徴とする。
この圧電装置では、圧電体膜を挟む第1電極と第2電極との間に、圧電体膜の側面を覆う被覆膜を有しているので、圧電体膜を被覆膜で保護することができる。
上記の圧電装置において、前記圧電体膜の側面を覆う被覆膜が、窒化シリコン膜、または酸化アルミニウム膜を含んでいてもよい。
本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態における圧電装置1は、平面図である図1(a)、及び図1(a)中のA−A線での断面図である図1(b)に示すように、基板3と、第1電極5と、配線部6と、圧電体膜7と、保護膜9と、第2電極11とを備えている。
なお、図1(a)では、構成をわかりやすく示すため、配線部6にハッチングを施して図示した。
本実施形態における圧電装置1は、平面図である図1(a)、及び図1(a)中のA−A線での断面図である図1(b)に示すように、基板3と、第1電極5と、配線部6と、圧電体膜7と、保護膜9と、第2電極11とを備えている。
なお、図1(a)では、構成をわかりやすく示すため、配線部6にハッチングを施して図示した。
ここで、上記の各構成について説明する。
基板3は、図1(b)に示すように、SOI(Silicon On Insulator)基板21上に、シリコン酸化膜23を形成した構成を有している。SOI基板21は、シリコン層25と、シリコン層27との間に、シリコン酸化物層29が介在した構成を有している。シリコン酸化膜23は、シリコン層27上に形成されている。シリコン層27は、シリコン酸化膜23とシリコン酸化物層29とによって挟まれている。
基板3は、図1(b)に示すように、SOI(Silicon On Insulator)基板21上に、シリコン酸化膜23を形成した構成を有している。SOI基板21は、シリコン層25と、シリコン層27との間に、シリコン酸化物層29が介在した構成を有している。シリコン酸化膜23は、シリコン層27上に形成されている。シリコン層27は、シリコン酸化膜23とシリコン酸化物層29とによって挟まれている。
基板3は、ベース部31と、腕部33とを有している。腕部33は、シリコン層27がベース部31から、図1(b)で見て左方に向かって延びた構成を有している。つまり腕部33は、シリコン層27がベース部31から突出した部位である。この腕部33は、ベース部31からベース部31の外側に向かって延びた所謂片持梁を構成している。
シリコン酸化膜23は、シリコン層27上でベース部31から腕部33にわたって形成されている。
シリコン酸化膜23は、シリコン層27上でベース部31から腕部33にわたって形成されている。
第1電極5及び配線部6は、シリコン酸化膜23上に形成されている。第1電極5は、シリコン酸化膜23を挟んで腕部33に対向している。配線部6は、第1電極5につながっており、第1電極5からベース部31にわたって形成されている。
これらの第1電極5と配線部6とは、配線部6が第1電極5に連接しているので、一連した1つの構成であるとみなされ得る。しかしながら、本実施形態では、説明の便宜上、第1電極5と配線部6とは、明確に区別されている。この理由により、図1(b)では、第1電極5及び配線部6のそれぞれに、互いに種類が異なるハッチングを施して図示した。
圧電体膜7は、第1電極5上に形成されており、側面が保護膜9によって覆われている。圧電体膜7の材料としては、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸鉛、窒化アルミニウム及び酸化亜鉛のうちの少なくとも1つを含む材料が採用され得る。本実施形態では、圧電体膜7の材料として、チタン酸ジルコン酸鉛(以下、PZTと呼ぶ)が採用されている。
第2電極11は、圧電体膜7上に形成されており、圧電体膜7を挟んで第1電極5に対向している。なお、本実施形態では、第1電極5、配線部6及び第2電極11の材料として、プラチナが採用されている。
保護膜9は、第1電極5と第2電極11とによって挟まれており、圧電体膜7の側面を覆う被覆膜を構成している。この保護膜9は、第1電極5と第2電極11との間で圧電体膜7を、圧電体膜7の側面の外側から保護している。保護膜9としては、絶縁性や耐性が高い材料が好ましく、本実施形態では、シリコン窒化物が採用されている。
圧電体膜7と保護膜9とは、保護膜9が圧電体膜7の側面を囲んだ状態で、第1電極5と第2電極11とによって挟まれている。そして、これらの第1電極5、圧電体膜7及び第2電極11は、平面視で、腕部33に重なっている。なお、上述した配線部6は、圧電体膜7の側面を囲む保護膜9よりも外側に位置している。
上記の構成を有する圧電装置1は、第1電極5と第2電極11との間に電位差が生じると、これら第1電極5及び第2電極11の間に電界が発生し、この電界を受けて圧電体膜7が変形する。また、圧電装置1は、圧電体膜7が外力を受けて変形すると、第1電極5及び第2電極11の間に電界が発生する。この電界により、第1電極5及び第2電極11のそれぞれには、互いに極性が異なる電荷が蓄積される。各第1電極5及び第2電極11に蓄積された電荷を、電気信号として取り出すことができる。
この圧電装置1は、電気的エネルギを機械的エネルギに変換する機械式スイッチや、機械的エネルギを電気的エネルギに変換する振動子などに利用され得る。圧電装置1を機械式スイッチとして利用する場合、第1電極5と第2電極11との間に電気信号を印加することで、圧電体膜7が電気信号に応じて変形する。圧電体膜7の変形によって発生する力が、スイッチの駆動力として利用される。このとき、第1電極5、圧電体膜7及び第2電極11は、電気的エネルギを機械的エネルギに変換するアクチュエータとして機能する。
また、圧電装置1を振動子として利用する場合、例えば、図2に示す発振回路41を構成することが考えられる。この発振回路41は、振動子としての圧電装置1と、抵抗43と、反転増幅器45と、キャパシタ47a及び47bとを備えている。この発振回路41では、圧電装置1と、キャパシタ47a及び47bとが帰還回路49を構成している。
発振回路41では、反転増幅器45からの出力信号Aoの一部が、帰還回路49の入力側に入力信号Riとして入力される。帰還回路49の出力側からは、入力信号Riに対して電気角で180度だけ位相がずれた出力信号Roが出力される。この出力信号Roは、反転増幅器45の入力側に入力信号Aiの一部として入力される。
なお、反転増幅器45の出力信号Aoは、入力信号Aiに対して電気角で180度だけ位相がずれている。そして、出力信号Aoの一部は、帰還回路49を介して出力信号Aoに対して電気角で180度だけ位相がずれた出力信号Roとして反転増幅器45に帰還する。つまり、反転増幅器45からの出力信号Aoの一部は、入力信号Aiに対して電気角で360度だけ位相がずれた出力信号Roとして、反転増幅器45に正帰還される。
発振回路41の動作の中で、圧電装置1は、所定周波数の電気信号に共振して機械的に振動する。そして、圧電装置1が共振している状態で、圧電装置1の共振周波数に応じた電気信号が帰還回路49から出力信号Roとして出力される。このとき、第1電極5、圧電体膜7及び第2電極11は、機械的な振動という機械的エネルギを、振動周波数に応じた電気信号という電気的エネルギに変換する振動子として機能する。
なお、圧電装置1を振動子として利用する場合、腕部33の寸法は、下記の式(1)に基づいて決定され得る。
つまり、腕部33の厚みW及び長さLは、所望する共振周波数fに応じて適宜決定され得る。
上述したアクチュエータや振動子のように、電気と機械との間でエネルギを変換する素子は、トランスデューサと呼ばれている。また、このようなトランスデューサを備えた半導体装置は、MEMS(Micro Electro Mechanical System)デバイスとも呼ばれている。本実施形態の圧電装置1は、このMEMSデバイスの1つである。
ここで、圧電装置1の製造方法について説明する。
まず、図3(a)に示すSOI基板21を準備する。次いで、SOI基板21のシリコン層27に熱酸化を施して、図3(b)に示すように、シリコン層27にシリコン酸化膜23を形成する。
まず、図3(a)に示すSOI基板21を準備する。次いで、SOI基板21のシリコン層27に熱酸化を施して、図3(b)に示すように、シリコン層27にシリコン酸化膜23を形成する。
次いで、スパッタリング技術を活用して、図3(c)に示すように、シリコン酸化膜23上にプラチナで構成される導電膜61を形成する。次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、導電膜61をパターニングして、図4(a)に示すように、第1電極5及び配線部6を形成する。
次いで、CVD(Chemical Vapor Deposition)技術を活用して、図4(b)に示すように、第1電極5及び配線部6をシリコン酸化物63で覆う。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、シリコン酸化物63をパターニングして、図4(c)に示すように、シリコン酸化物63に開口部65を形成する。このとき、開口部65が形成されたシリコン酸化物63によって、枠状の第1の土手67が構成される。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、シリコン酸化物63をパターニングして、図4(c)に示すように、シリコン酸化物63に開口部65を形成する。このとき、開口部65が形成されたシリコン酸化物63によって、枠状の第1の土手67が構成される。
ここで、第1の土手67は、図5に示すように、第1電極5の輪郭68よりも外側から、第1電極5を囲むように形成される。これにより、第1の土手67の枠の内側、すなわち第1の土手67によって囲まれる領域から、第1電極5が露呈する。なお、図5では、第1の土手67によって囲まれる領域、すなわち開口部65の内側の領域にハッチングを施して図示した。本実施形態では、第1の土手67によって囲まれる領域を第1領域69と呼ぶ。開口部65は、第1領域69の輪郭を構成している。そして、第1領域69の輪郭は、第1電極5の輪郭68を囲んでいる。
次いで、CVD技術を活用して、図6(a)に示すように、第1領域69内にシリコン窒化物71を埋め込む。このとき、第1領域69からはみ出したシリコン窒化物71の一部が第1の土手67を覆うように、シリコン窒化物71を埋め込む。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、シリコン窒化物71をパターニングして、図6(b)に示すように、シリコン窒化物71に開口部73を形成する。このとき、開口部73が形成されたシリコン窒化物71によって、枠状の第2の土手75が構成される。この第2の土手75は、第1の土手67よりも高く形成される。
このとき、第2の土手75の面である開口部73は第1電極5の法線と平行であることが好ましい。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、シリコン窒化物71をパターニングして、図6(b)に示すように、シリコン窒化物71に開口部73を形成する。このとき、開口部73が形成されたシリコン窒化物71によって、枠状の第2の土手75が構成される。この第2の土手75は、第1の土手67よりも高く形成される。
このとき、第2の土手75の面である開口部73は第1電極5の法線と平行であることが好ましい。
ここで、第2の土手75は、図7に示すように、第1電極5の輪郭68よりも内側に、開口部73が形成される。これにより、第2の土手75の枠の内側、すなわち第2の土手75によって囲まれる領域から、第1電極5の一部が露呈する。なお、図7では、第2の土手75によって囲まれる領域、すなわち開口部73の内側の領域にハッチングを施して図示した。本実施形態では、第2の土手75によって囲まれる領域を第2領域79と呼ぶ。開口部73は、第2領域79の輪郭を構成している。そして、第2領域79の輪郭は、第1電極5の輪郭68によって囲まれている。つまり、第2領域79の輪郭は、第1電極5の輪郭68よりも内側に位置している。
次いで、スピンコート技術を活用して、図8(a)に示すように、第2領域79内にPZTで構成される圧電体材料81を埋め込む。このとき、圧電体材料81の一部が第2領域79からはみ出し、圧電体材料81が第2の土手75を覆うように、圧電体材料81を埋め込む。このとき、圧電体材料81の一部における第1電極5からの高さが、第2の土手75における第1電極5からの高さを上回った状態である。スピンコート技術で圧電体材料81を埋め込む方法は、所謂ゾルゲル法と呼ばれる。そして、ゾルゲル法で埋め込んだ圧電体材料81に、約300℃〜700℃の温度で熱処理を施す。これにより、圧電体材料81の結晶配向性が高められる。
次いで、CMP技術を活用して、図8(b)に示すように、圧電体材料81及び第2の土手75を、第1の土手67の高さ以下に薄くして、圧電体膜7を形成する。本実施形態では、CMP技術で圧電体材料81及び第2の土手75を第1の土手67の高さ以下に薄くする過程で、第1の土手67を光学的に検出しながら薄くする方法が採用されている。
第1の土手67を構成するシリコン酸化物63と、第2の土手75を構成するシリコン窒化物71とでは、光学的な屈折率が異なる。このことを利用して、第2の土手75と第1の土手67との境界面が検出されたときに、圧電体材料81及び第2の土手75を薄くすることを停止する。つまり、第1の土手67は、CMP技術での研磨のストッパとしての機能を有している。
次いで、スパッタリング技術を活用して、図8(c)に示すように、圧電体膜7、第1の土手67及び第2の土手75上に、プラチナで構成される導電膜83を形成する。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、導電膜83をパターニングして、図9(a)に示すように、第2電極11を形成する。
次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を活用して、導電膜83をパターニングして、図9(a)に示すように、第2電極11を形成する。
このとき、第2電極11は、第2電極11の輪郭が、図7に示す第1領域69の輪郭よりも内側で、且つ第2領域79の輪郭よりも外側に位置するようにパターニングされる。つまり、第2電極11の輪郭は、平面視で、第1領域69の輪郭によって囲まれているとともに、第2領域79の輪郭を囲んでいる。
次いで、第2電極11をマスクとしてエッチング技術で、図9(b)に示すように、第1の土手67及び第2の土手75をエッチングする。このとき、第2電極11をマスクとしているので、第2の土手75の第2電極11が重なっている部位は、エッチングで除去されずに保護膜9として残存する。
そして、エッチング技術を活用して、SOI基板21のシリコン層25及びシリコン酸化物層29の一部を除去することで、図1に示す腕部33を形成し、圧電装置1を完成させる。本実施形態では、腕部33の形成において、シリコン酸化物層29とシリコン層27との境界面を光学的に検出しながらエッチングする方法が採用されている。つまり、シリコン酸化物層29は、エッチングにおけるストッパとしての機能を有している。
なお、本実施形態において、シリコン窒化物71が第1絶縁膜に対応し、第2領域79が第1絶縁膜が除去された領域に対応し、シリコン酸化物63が第2絶縁膜に対応している。
本実施形態の圧電装置1は、第1電極5と第2電極11とに挟まれた圧電体膜7の側面が保護膜9によって覆われている。この保護膜9は、第1電極5と第2電極11とによって挟まれた状態で圧電体膜7の側面を覆っている。つまり、圧電体膜7は、第1電極5、第2電極11及び保護膜9によって囲まれた領域内に格納されている。従って、圧電体膜7の耐性の向上が図られる。
また、本実施形態では、第2の土手75によって囲まれる第2領域79内に、圧電体膜7をゾルゲル法で形成する。ゾルゲル法では、圧電体材料81をスピンコート技術を活用して第2領域79内に埋め込むため、圧電体膜7の側面の形状は、第2の土手75の内側の側壁によって規定される。このため、圧電体膜7の側面の形状を制御しやすくすることができる。従って、圧電体膜7の側面の形状がテーパ状になることを低く抑えやすくすることができ、圧電装置1の微細化を図りやすくすることができる。
特に、第2の土手75の内側の側壁が第1電極5に対して垂直に形成されている場合、圧電体膜7の側面の形状も垂直となるため、十分な圧電効果が得られないテーパ状の領域を減少させることができる。
特に、第2の土手75の内側の側壁が第1電極5に対して垂直に形成されている場合、圧電体膜7の側面の形状も垂直となるため、十分な圧電効果が得られないテーパ状の領域を減少させることができる。
また、本実施形態では、圧電体材料81を第2領域79に埋め込むときに、圧電体材料81が第2領域79からあふれて、圧電体材料81が第2の土手75を覆うように、圧電体材料81を埋め込む。そして、第2領域79内からあふれた圧電体材料81、及び第2領域79内の圧電体材料81、並びに第2の土手75を、CMP技術で第1の土手67の高さ以下に薄くする。これにより、圧電体膜7を平坦に形成しやすくすることができる。
また、本実施形態では、シリコン酸化物63に開口部65を形成することによって第1の土手67を形成し、第1の土手67によって囲まれる第1領域69内にシリコン窒化物71を埋め込む。このとき、シリコン窒化物71は、第1領域69からあふれて、シリコン窒化物71が第1の土手67を覆うように埋め込まれる。そして、シリコン窒化物71に開口部73を形成することによって第2の土手75が形成される。
つまり、第2の土手75は、第1の土手67を覆っている。シリコン酸化物63とシリコン窒化物71とでは、光学的な屈折率が異なるので、圧電体材料81及び第2の土手75をCMP技術で薄くする際に、第1の土手67の高さを光学的に検出しやすくすることが可能となる。これにより、圧電体膜7の厚み精度を向上しやすくすることができ、圧電装置1の一層の微細化を図りやすくすることができる。
なお、本実施形態では、シリコン酸化物63とシリコン窒化物71とを絶縁膜として用いているが、材料はこれに限られたものではない。
なお、本実施形態では、シリコン酸化物63とシリコン窒化物71とを絶縁膜として用いているが、材料はこれに限られたものではない。
また、本実施形態では、第2の土手75を形成する際に、第2領域79の輪郭が第1電極5の輪郭68よりも内側に位置するように第2の土手75を形成する。また、第2電極11を形成する際に、第2電極11の輪郭が、図7に示す第1領域69の輪郭よりも内側で、且つ第2領域79の輪郭よりも外側に位置するように、第2電極11を形成する。そして、第1の土手67及び第2の土手75をエッチングする際に、第1の土手67及び第2の土手75は、第2電極11をマスクとしてエッチングされる。これにより、第2の土手75の第2電極11が重なっている部位を、保護膜9として残存させることが可能となる。保護膜として、窒化シリコンの他に酸化アルミニウム(アルミナ)を用いても良い。
なお、本実施形態では、第1電極5、配線部6及び第2電極11の材料として、プラチナが採用されているが、材料はこれに限定されず、金、銀、銅、アルミニウム、タングステン、モリブデン、イリジウム、窒化チタンなどの種々の材料が採用され得る。第1電極5、配線部6及び第2電極11の材料は、ゾルゲル法で埋め込まれる圧電体材料81の材料に応じて適宜選定され得る。つまり、第1電極5、配線部6及び第2電極11の材料は、圧電体材料81に施す熱処理の温度を考慮して適宜選定され得る。
本実施形態から把握される技術的思想を、以下に記す。
基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、を有する圧電装置の製造方法であって、前記第1電極が形成された前記基板の前記一の面に枠状の土手を、当該枠の内側から前記第1電極の少なくとも一部を露呈させて形成する工程と、前記土手によって囲まれる領域内に前記圧電体材料を埋め込んで、前記領域内に前記圧電体膜を形成する工程と、を有することを特徴とする圧電装置の製造方法。
基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、を有する圧電装置の製造方法であって、前記第1電極が形成された前記基板の前記一の面に枠状の土手を、当該枠の内側から前記第1電極の少なくとも一部を露呈させて形成する工程と、前記土手によって囲まれる領域内に前記圧電体材料を埋め込んで、前記領域内に前記圧電体膜を形成する工程と、を有することを特徴とする圧電装置の製造方法。
この製造方法では、第1電極の少なくとも一部が露呈する枠状の土手によって囲まれる領域内に圧電体材料を埋め込んで、この領域内に圧電体膜を形成する。この製造方法によれば、圧電体膜の側面の形状が土手の内側の側壁によって規制されるので、圧電体膜の側面の形状を制御しやすくすることができる。従って、圧電体膜の側面の形状がテーパ状になることを低く抑えやすくすることができ、圧電装置の微細化を図りやすくすることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜を形成する前記工程では、前記圧電体材料を前記領域内に、該領域内からあふれるまで埋め込んで、前記領域内からあふれた前記圧電体材料を除去し、且つ前記領域内の前記圧電体材料を前記土手の厚み以下に薄くして、前記圧電体膜を形成してもよい。
この製造方法では、土手によって囲まれる領域内に圧電体材料を、この領域内からあふれるまで埋め込んで、この領域内からあふれた圧電体材料を除去し、且つこの領域内の圧電体材料を土手の厚み以下に薄くするので、圧電体膜を平坦に形成しやすくすることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記土手を形成する前記工程では、平面視で該第1電極の輪郭よりも外側から、前記第1電極を囲む第1の土手をシリコン酸化物で形成し、前記第1の土手によって囲まれる第1領域内に、シリコン窒化物で枠状の第2の土手を、当該第2の土手によって囲まれる第2領域内から前記第1電極の少なくとも一部を露呈させて、且つ前記第1の土手よりも高く形成し、前記圧電体膜を形成する前記工程では、前記圧電体材料を前記第2領域内に、該第2領域内からあふれるまで埋め込んで、前記第2領域内からあふれた前記圧電体材料、及び前記第2領域内の前記圧電体材料、並びに前記第2の土手を、前記第1の土手の高さ以下に薄くして、前記第2領域内に前記圧電体膜を形成してもよい。
この製造方法では、土手を形成する工程において、第1領域を規定する第1の土手をシリコン酸化物で形成し、第1領域内に枠状の第2の土手をシリコン窒化物で形成する。このとき、第2の土手は、この第2の土手が規定する第2領域内から第1電極の少なくとも一部を露呈させた状態で、且つ第1の土手よりも高く形成される。また、圧電体膜を形成する工程では、圧電体材料を第2領域内に、第2領域内からあふれるまで埋め込む。そして、第2領域内からあふれた圧電体材料、及び第2領域内の圧電体材料、並びに第2の土手を、CMP法で第1の土手の高さ以下に薄くする。
ここで、第1の土手を構成するシリコン酸化物と、第2の土手を構成するシリコン窒化物とでは、光学的な屈折率が異なる。従って、この製造方法では、第2領域内からあふれた圧電体材料、及び第2領域内の圧電体材料、並びに第2の土手を、CMP法で薄くする際に、第1の土手の高さを光学的に検出しやすくすることが可能となる。これにより、圧電体膜の厚み精度を向上しやすくすることができ、圧電装置の一層の微細化を図りやすくすることができる。
上記の圧電装置の製造方法において、前記圧電体膜に前記第2電極を形成する工程と、前記第1の土手及び前記第2の土手を除去する工程と、を有し、前記土手を形成する前記工程では、平面視で、前記第2領域の輪郭が前記第1電極の輪郭よりも内側に位置するように前記第2の土手を形成し、前記第2電極を形成する前記工程では、平面視で、当該第2電極の輪郭が、前記第1領域の輪郭よりも内側で、前記第2領域の輪郭よりも外側に位置するように前記第2電極を形成し、前記第1の土手及び前記第2の土手を除去する前記工程では、前記第2電極をマスクとして前記第1の土手及び前記第2の土手を除去してもよい。
この製造方法では、第2の土手は、平面視で、第2領域の輪郭が第1電極の輪郭よりも内側に位置する。また、第2電極は、平面視で、第2電極の輪郭が、第1領域の輪郭よりも内側で、第2領域の輪郭よりも外側に位置する。つまり、第2電極は、平面視で、第2の土手の一部と、第2領域とを覆う。第1の土手は、第2電極によって覆われない。そして、第1の土手及び第2の土手を除去する工程では、第2電極をマスクとして第1の土手及び第2の土手が除去される。これにより、第2の土手は、平面視で、第2電極に重なる領域において残存する。従って、この製造方法では、平面視で第2電極に重なる領域において、圧電体膜の側面に、この圧電体膜の側面を覆う膜を形成することができる。
1…圧電装置、3…基板、5…第1電極、7…圧電体膜、9…保護膜、11…第2電極、63…シリコン酸化物、65…開口部、67…第1の土手、69…第1領域、71…シリコン窒化物、73…開口部、75…第2の土手、79…第2領域、81…圧電体材料。
Claims (11)
- 基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、を有する圧電装置の製造方法であって、
前記第1電極が形成された前記基板の前記一の面に第1絶縁膜を形成し、前記第1電極の少なくとも一部を露呈させるように前記第1絶縁膜を除去する工程と、
前記第1絶縁膜が除去された領域内に前記圧電体材料を充填し、前記領域内に前記圧電体膜を形成する工程と、を有することを特徴とする圧電装置の製造方法。 - 前記圧電体膜を形成する工程は、前記第1絶縁膜が除去された前記領域内に前記圧電体材料を充填したあと、前記圧電体材料のうち前記領域外の余剰部分を除去することを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記圧電体膜を形成する工程は、前記第1絶縁膜が除去された領域内に前記圧電体材料を充填したあと、前記圧電体材料において前記第1電極からの高さが前記第1絶縁膜における前記第1電極からの高さを超える余剰部分を除去することを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記圧電体膜を形成する工程では、前記圧電体材料の前記余剰部分をCMP(Chemical Mechanical Polishing)法により除去する、ことを特徴とする請求項2又は3に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記圧電体材料が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸鉛、窒化アルミニウム及び酸化亜鉛のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜を除去する工程の前に、前記第1電極上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜の一部を除去し、前記第1電極の前記少なくとも一部を露呈させる工程と、を含み、前記第1絶縁膜が前記第2絶縁膜の除去された部分を覆って形成されるものである、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜を除去する工程の前に、前記第1電極上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜の一部を除去し、前記第1電極の前記少なくとも一部を露呈させる工程と、を含み、前記第1絶縁膜が前記第2絶縁膜の除去された部分を覆って形成されるものであり、前記第2絶縁膜がシリコン酸化物を含み、前記第1絶縁膜がシリコン窒化物を含む、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記圧電体膜を形成する工程の後、前記圧電体膜上に導電膜を形成する工程と、前記導電膜を前記第1絶縁膜の一部を覆う形状にパターニングし、前記第2電極を形成する工程と、前記第2電極をマスクとして用い、前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜を除去する工程と、を含み、前記第2電極の周縁部と前記第1電極の間に前記第1絶縁膜が位置することを特徴とする請求項6又は7に記載の圧電装置の製造方法。
- 前記第2電極をマスクとして用い、前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜を除去する工程において、前記圧電体膜が除去されない、ことを特徴とする請求項8に記載の圧電装置の製造方法。
- 基板の一の面に形成された第1電極と、圧電体材料で構成され、前記第1電極に重ねられた圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで前記第1電極に対向する第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に挟まれ、前記圧電体膜の側面を覆う被覆膜と、を有することを特徴とする圧電装置。
- 前記圧電体膜の側面を覆う被覆膜が、窒化シリコン膜、または酸化アルミニウム膜を含む、ことを特徴とする請求項10に記載の圧電装置。
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-
2007
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