JP2008227143A - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008227143A
JP2008227143A JP2007063301A JP2007063301A JP2008227143A JP 2008227143 A JP2008227143 A JP 2008227143A JP 2007063301 A JP2007063301 A JP 2007063301A JP 2007063301 A JP2007063301 A JP 2007063301A JP 2008227143 A JP2008227143 A JP 2008227143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas supply
supply line
gas
heater
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007063301A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008227143A5 (ja
Inventor
Yosuke Kuwata
陽介 桑田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Kokusai Electric Inc
Original Assignee
Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kokusai Electric Inc filed Critical Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority to JP2007063301A priority Critical patent/JP2008227143A/ja
Publication of JP2008227143A publication Critical patent/JP2008227143A/ja
Publication of JP2008227143A5 publication Critical patent/JP2008227143A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

【課題】稼働率の低下を防止しつつドライクリーニング方法を実施する。
【解決手段】CVD装置の処理炉30は、処理室36内に成膜ガスやクリーニングガスを供給するノズル51、56と、ノズル51、56に開閉弁53、58を介して接続され成膜ガスを供給する成膜ガス供給ライン52、57と、ノズル51、56に開閉弁63、67を介して接続されクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ライン62、66と、ノズル51と成膜ガス供給ライン52を加熱するヒータ72とを具備する。排気管40にヒータ71を敷設する。成膜する際にはヒータ72を所定の温度に加熱維持する。ドライクリーニングする際には、ヒータ71、72をエッチング温度以下に制御する。
【選択図】図3

Description

本発明は、基板処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置(以下、ICという。)が作り込まれる基板としての半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に絶縁膜や金属膜および半導体膜を形成するのに利用して有効なものに関する。
ICの製造方法において、ウエハに窒化膜を形成する工程(プロセス)には、密閉された反応室(処理室)内にジクロロシランガスとアンモニアガスとを供給し、ウエハ上に窒化シリコン膜を熱化学反応によってデポジション(堆積)させるCVD装置が、広く使用されている。例えば、特許文献1参照。
特開平11−288927号公報
このようなCVD装置においては、ウエハの表面に対するCVD膜の形成が本来の目的であるが、 実際にはウエハの表面以外、 例えば、処理室や排気管の表面にもCVD膜が堆積してしまう。
この堆積膜の厚さが一定以上に達すると、膜剥離が生じウエハ上での異物発生要因となってしまう。
このため、 処理室や排気管の表面に堆積した堆積膜を除去するクリーニング方法を実施することが必要となる。
そこで、堆積膜が一定以上付着すると、処理室を形成するプロセスチューブや排気管をCVD装置から取外してHF(弗化水素)の水溶液の洗浄槽により除去するウエットクリーニング方法が、従来から実施されている。
しかしながら、ウエットクリーニング方法はメンテナンスがきわめて困難であるために、近年は、 メンテナンスが容易なドライクリーニング方法が採用され始めている。
ドライクリーニング方法を実施するCVD装置としては、ドライクリーニングを実施する専用のガス配管およびノズルを設け、処理室内にクリーニングガスを供給するように構成したものが、考えられる。
しかしながら、クリーニングガスを供給する専用のガス配管およびノズルを設けるCVD装置においては、窒化シリコンの形成処理によって発生した反応副生成物(塩化アンモニウム)がクリーニングガス供給専用のガス配管およびノズルに押し戻されてしまう。
塩化アンモニウムの真空状態における昇華温度は、120℃程度である。
そこで、クリーニング専用のガス配管およびノズルに配管ヒータを敷設して昇華温度以上に加熱することが考えられるが、処理室との接続に使用されるフレキシブル配管は、その形状の性質上、配管ヒータとの接触面積を充分に確保することができないために、加熱が不充分になってしまうことがある。
以上の理由により、クリーニング専用の配管およびノズルに反応副生成物が堆積してしまい、その堆積した反応副生成物が剥がれてパーティクル源となってしまう。
したがって、クリーニング専用の配管およびノズルに対するメンテナンス作業を頻繁に実施しなければならない。結局、CVD装置の稼働率が低下してしまう。
本発明の目的は、 稼働率の低下を防止しつつドライクリーニング方法を実施することができる基板処理装置を提供することにある。
前記した課題を解決するための手段のうち代表的なものは、次の通りである。
(1)基板を処理する処理室と、
前記処理室内に成膜ガスないしクリーニングガスを供給する第一ガス供給ラインと、
該第一ガス供給ラインに第一開閉弁を介して接続され、該第一ガス供給ラインに成膜ガスを供給する成膜ガス供給ラインと、
前記第一ガス供給ラインに第二開閉弁を介して接続され、前記第一ガス供給ラインにクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ラインと、
前記第一ガス供給ラインを加熱するヒータと、
前記成膜ガス供給ラインから前記第一ガス供給ラインに前記第一開閉弁を開き成膜ガスを供給する際には、前記ヒータを所定の温度に加熱維持し、前記クリーニングガス供給ラインから第一ガス供給ラインに前記第二開閉弁を開きクリーニングガスを供給する際には、前記ヒータに電力を供給しないように制御する加熱制御部と、
を備えた基板処理装置。
(2)基板を処理室内に搬入するステップと、
成膜ガス供給ラインを加熱する第一ヒータによって成膜ガスを加熱するステップと、
前記成膜ガス供給ラインに第一開閉弁を介して接続される第一ガス供給ラインへ前記第一開閉弁を開き前記成膜ガス供給ラインから成膜ガスを供給するステップと、
少なくとも前記第一ガス供給ラインへ成膜ガスが供給されている間、第二ヒータによって前記第一ガス供給ラインを加熱するステップと、
前記成膜ガスを前記第一ガス供給ラインから前記処理室内に供給するステップと、
前記成膜ガスとは異なるガス種の成膜ガスを前記処理室内に供給するステップと、
少なくとも前記処理室内へ成膜ガスを供給している間、前記処理室内を排気する排気ラインを第三ヒータによって加熱するステップと、
前記処理室内を加熱し前記基板を処理するステップと、
前記基板を処理室内から搬出するステップと、
前記第二ヒータおよび第三ヒータへの電力の供給を止めるステップと、
前記処理室内を密閉するステップと、
第二開閉弁を介して前記第一ガス供給ラインに接続されるクリーニングガス供給ラインから前記第二開閉弁を開きクリーニングガスを供給するステップと、
を備えた半導体装置の製造方法。
前記(1)(2)によれば、処理室内をクリーニングする際に、クリーニングガスによるガス供給ラインの腐食を防止することができる。
他方、成膜する際に、ガス供給ライン内での成膜ガスの液化を防止するとともに、成膜ガスの反応によって発生する副生成物がガス供給ラインに逆流するのを防止することができる。
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
本実施の形態において、本発明に係る基板処理装置は、ICの製造方法における成膜工程を実施するバッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置(以下、CVD装置という。)として構成されている。
図1および図2に示されているように、CVD装置10は略直方体の箱形状に形成された筐体11を備えている。
筐体11の正面壁の内側にはカセットステージ12が設置されており、カセットステージ12にはウエハ1を収納して搬送するカセット2が構内搬送装置(図示せず)によって供給されるようになっている。
筐体11の内部室のカセットステージ12の後側には、昇降手段としてのカセットエレベータ13が設けられており、カセットエレベータ13には搬送手段としてのカセット移載装置14が取り付けられている。
カセットエレベータ13の後側にはカセット2を保管するカセット棚15が設けられており、カセットステージ12の上方には予備カセット棚16が設けられている。予備カセット棚16の上方にはクリーンユニット17が設けられており、クリーンユニット17はクリーンエアを筐体11の内部に流通させるように構成されている。
筐体11の内部室のカセット棚15の後側には、移載装置エレベータ18が垂直に設置されており、移載装置エレベータ18にはウエハ1を移載するウエハ移載装置19が設置されている。
筐体11内の移載装置エレベータ18の後側には、モータ駆動方式の送りねじ軸装置等によって構築されたボートエレベータ20が設置されており、ボートエレベータ20の昇降台21にはボート23がアーム22や断熱キャップ28およびシールキャップ29を介して支持されている。
ボート23は上下で一対の端板24および25と、両端板24、25間に垂直に配設された複数本の保持部材26とを備えており、各保持部材26には複数条の保持溝27が長手方向に等間隔に配されて互いに同一平面内において開口するようにそれぞれ刻設されている。
そして、ウエハ1は複数条の保持溝27間に外周辺部が挿入されることにより、水平にかつ互いに中心を揃えた状態に整列されてボート23に保持されるようになっている。ボート23とシールキャップ29との間には断熱キャップ28が形成されている。
本実施の形態に係るCVD装置は、図3に示された処理炉30を備えている。
図3に示されているように、処理炉30は加熱機構としてのヒータ31を有する。
ヒータ31は円筒形状であり、支持板としてのヒータベース32に支持されることにより垂直に据え付けられている。
ヒータ31の内側には反応管としてのプロセスチューブ33が、ヒータ31と同心円状に配設されている。プロセスチューブ33は外部反応管としてのアウタチューブ34と、その内側に設けられた内部反応管としてのインナチューブ35とから構成されている。
アウタチューブ34は、例えば石英(SiO2 )または炭化シリコン(SiC)等の耐熱性材料からなり、内径がインナチューブ35の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されており、インナチューブ35と同心円状に設けられている。
インナチューブ35は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナチューブ35の筒中空部には処理室36が形成されており、基板としてのウエハ1をボート23によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。
アウタチューブ34とインナチューブ35との隙間によって筒状空間37が形成されている。
アウタチューブ34の下側にはマニホールド38が、アウタチューブ34と同心円状に配設されている。マニホールド38は例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。
マニホールド38はインナチューブ35とアウタチューブ34とに係合しており、これらを支持するように設けられている。マニホールド38がヒータベース32に支持されることにより、プロセスチューブ33は垂直に据え付けられた状態となっている。
プロセスチューブ33とマニホールド38により反応容器が形成される。
なお、マニホールド38とアウタチューブ34との間には、シール部材としてのOリング39が設けられている。
マニホールド38には処理室36内の雰囲気を排気するラインとしての排気管40が設けられている。排気管40は、インナチューブ35とアウタチューブ34との隙間によって形成された筒状空間37の下端部に配置されており、筒状空間37に連通している。
排気管40のマニホールド38との接続側と反対側である下流側には、圧力検出器としての圧力センサ41および圧力調整装置(可変コンダクタンスバルブ)42を介して真空ポンプ等の真空排気装置43が接続されており、処理室36内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。
圧力調整装置42および圧力センサ41には圧力制御部44が、電気配線Bによって電気的に接続されている。
圧力制御部44は圧力センサ41によって検出された圧力に基づいて圧力調整装置42により、処理室36内の圧力が所望の圧力とさせるべく所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド38の下方には、マニホールド38の下端開口を気密に閉塞する炉口蓋体としてのシールキャップ29が設けられている。シールキャップ29はマニホールド38の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。
シールキャップ29は例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ29の上面には、マニホールド38の下端と当接するシール部材としてのOリング29aが設けられている。
シールキャップ29はプロセスチューブ33の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ20によって垂直方向に昇降されるように構成されており、これによりボート23を処理室36に対し搬入搬出することが可能となっている。
シールキャップ29の処理室36と反対側には、ボートを回転させる回転機構45が設置されている。回転機構45の回転軸46はシールキャップ29を貫通して、ボート23に接続されており、ボート23を回転させることでウエハ1を回転させるように構成されている。
回転機構45およびボートエレベータ20には、駆動制御部47が電気配線Aによって電気的に接続されており、所望の動作をするよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
プロセスチューブ33内には温度検出器としての温度センサ48が設置されている。
ヒータ31と温度センサ48とには温度制御部49が、それぞれ電気配線Dによって電気的に接続されている。
温度制御部49は温度センサ48により検出された温度情報に基づきヒータ31への通電具合を調整することにより、処理室36内の温度を所望の温度分布とさせるべく所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド38には第一ガス供給ラインとしてのノズル51が処理室36内に連通するように接続されており、ノズル51には成膜ガス供給ライン52が第一開閉弁としての成膜ガス用開閉弁53を介して接続されている。
成膜ガス供給ライン52のノズル51との接続側と反対側である上流側には、ガス流量制御器としてのマスフローコントローラ(以下、MFCという。)54を介して、第一成膜ガスとしてのジクロロシラン(SiH2 Cl2 )を供給する成膜ガス供給源(以下、ジクロロシラン供給源という。)55が接続されている。
マニホールド38のノズル(以下、第一ノズルという。)51とは他の部位には、別の第一ガス供給ラインとしてのノズル(以下、第二ノズルという。)56が処理室36内に連通するように接続されており、第二ノズル56には成膜ガス供給ライン57が、別の第一開閉弁としての成膜ガス用開閉弁(以下、第二成膜ガス用開閉弁という。)58を介して接続されている。
成膜ガス供給ライン57の第二ノズル56との接続側と反対側である上流側には、MFC59を介して、別の成膜ガスとしてのアンモニア(NH3 )を供給する成膜ガス供給源(以下、アンモニア供給源という。)60が接続されている。
MFC54、59には成膜ガス流量制御部61が電気配線Cによって電気的に接続されている。
成膜ガス流量制御部61は供給するガスの流量を所望の量とさせるべく所望のタイミングにて、MFC54、59を制御するように構成されている。
便宜上、図2および図3において、第一ノズル51および第二ノズル56は上下方向にずらして図示しているが、実際上は、第一ノズル51および第二ノズル56は周方向にずらされて配置されている。
第一ノズル51にはクリーニングガス供給ライン62が第二開閉弁としてのクリーニングガス用開閉弁63を介して接続されている。
クリーニングガス供給ライン62の第一ノズル51との接続側と反対側である上流側にはMFC64を介して、クリーニングガスとしての弗化窒素(NF3 )を供給するクリーニングガス供給源65が接続されている。
また、第二ノズル56にはクリーニングガス供給ライン62の分岐ライン66が、別の第二開閉弁としてのクリーニングガス用開閉弁67を介して接続されている。
MFC64およびクリーニングガス用開閉弁63、67にはクリーニングガス流量制御部68が電気配線Eによって電気的に接続されている。
クリーニングガス流量制御部68は供給するガス流量を所望量とさせるべくMFC64を制御するように構成されているとともに、クリーニングガス用開閉弁63、67を所望のタイミングにて開閉するように構成されている。
図3に示されているように、排気管40にはジャケットヒータ等からなる第一ヒータ71が敷設されている。
また、第一ノズル51および成膜ガス供給ライン52には、テープヒータ等からなる第二ヒータ72が全長にわたって敷設されている。
これらのヒータ71、72は温度制御部74にそれぞれ電気配線Fによって接続されている。温度制御部74は排気管40と第一ノズル51および成膜ガス供給ライン52との温度を、 所定の温度とさせるべく制御するように構成されている。
圧力制御部44、駆動制御部47、成膜ガス流量制御部61、クリーニングガス流量制御部68、温度制御部74は、操作部および入出力部をも構成しており、CVD装置全体を制御する主制御部75に電気的に接続されている。
圧力制御部44、駆動制御部47、成膜ガス流量制御部61、クリーニングガス流量制御部68、温度制御部74および主制御部75は、コントローラ76として構成されている。
次に、以上の構成に係るCVD装置10を用いて、ウエハ1の上に窒化シリコン膜を形成する方法について説明する。
なお、以下の説明において、CVD装置10を構成する各部の動作はコントローラ76により制御される。
ウエハ1が装填されたカセット2はカセットステージ12にウエハ1が上向きの姿勢で構内搬送装置によって搬入され、カセットステージ12によってウエハ1が水平姿勢となるように90度回転させられる。
さらに、カセット2はカセットエレベータ13の昇降動作、横行動作およびカセット移載装置14の進退動作、回転動作の協働によって、カセットステージ12からカセット棚15または予備カセット棚16に搬送される。カセット棚15にはウエハ移載装置19の搬送対象となるカセット2が収納される移載棚が設定されており、ウエハ1が移載に供されるカセット2はカセットエレベータ13、カセット移載装置14により移載棚に移載される。
カセット2が移載棚に移載されると、ウエハ1は移載棚からボート23へ、ウエハ移載装置19の進退動作、回転動作および移載装置エレベータ18の昇降動作の協働により移載される。複数枚のウエハ1はボート23に互いに平行で中心線が揃った状態にウエハ移載装置19によって装填(ウエハチャージング)される。
所定の枚数のウエハ1がボート23に装填(ウエハチャージ)されると、図3に示されているように、複数枚のウエハ1を保持したボート23は、ボートエレベータ20によって持ち上げられて処理室36に搬入(ボートローディング)される。
この状態で、シールキャップ29はOリング29aを介してマニホールド38の下端をシールした状態となる。
処理室36内が所望の圧力(真空度)となるように真空排気装置43によって真空排気される。この際、処理室36内の圧力は圧力センサ41で測定され、この測定された圧力に基づき、圧力調整装置42がフィードバック制御される。
また、処理室36内が所望の温度となるようにヒータ31によって加熱される。
この際、処理室36内が所望の温度分布となるように温度センサ48が検出した温度情報に基づきヒータ31への通電具合がフィードバック制御される。
続いて、回転機構45によってボート23が回転されることにより、ウエハ1が回転される。
次いで、ジクロロシランガスおよびアンモニアガスが第一ノズル51および第二ノズル56から処理室36内へ供給される。
供給されたジクロロシランガスおよびアンモニアガスは処理室36内を上昇し、インナチューブ35の上端開口から筒状空間37に流出して排気管40から排気される。
処理室36内を通過する際に、ジクロロシランガスおよびアンモニアガスはウエハ1の表面と接触し、この際に、熱CVD反応によってウエハ1の表面上に窒化シリコン膜が堆積(デポジション)される。
このとき、ジクロロシランガスの沸点は8.4℃であるため、液化しないように、温度制御部74は第二ヒータ72を制御することにより、第一ノズル51および成膜ガス供給ライン52の温度を、40℃程度に維持する。
また、温度制御部74は第一ヒータ71を制御することにより、排気管40を150℃程度に維持する。
予め設定された処理時間が経過すると、図示しない不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室36内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室36内の圧力が常圧に復帰される。
その後、ボートエレベータ20によりシールキャップ29が下降されて、マニホールド38の下端が開口されるとともに、処理済ウエハ1がボート23に保持された状態でマニホールド38の下端からプロセスチューブ33の外部に搬出(ボートアンローディング)される。
その後、処理済ウエハ1はボート23より取り出される(ウエハディスチャージ)。
ところで、以上のような成膜ステップの実施に際しては、プロセスチューブ33やマニホールド38や排気管40やシールキャップ29や第一ノズル51および第二ノズル56の表面にもCVD膜が堆積してしまう。
この堆積膜の厚さが一定以上に達すると、膜剥離が生じるために、ウエハ1上での異物発生要因となってしまう。
そこで、本実施の形態に係るICの製造方法においては、堆積膜が剥離する厚さになる前に、ドライクリーニングステップを実施する。
以下に、弗化窒素ガスを処理炉30内に直接供給し、 付着した堆積膜を除去するドライクリーニングステップについて説明する。
堆積膜が付着したプロセスチューブ33において、 処理室36内の温度をヒータ31によって所定の温度(弗化窒素によるドライエッチング温度)まで加熱する。
この後、クリーニングガス用開閉弁63、67を開き、クリーニングガスとしての弗化窒素ガスをクリーニングガス供給ライン62および分岐ライン66を経由して、第一ノズル51および第二ノズル56へ供給し、弗化窒素ガスのエッチング反応によって堆積膜を除去する。
このとき、 温度制御部74は第二ヒータ72をOFFにすることにより、弗化窒素による第一ノズル51および成膜ガス供給ライン52の腐食を防止する。
また、温度制御部74は第一ヒータ71を制御することによって、排気管40の温度を105℃以下に維持する。これにより、排気管40の弗化窒素による腐食を防止することができる。
堆積膜が除去されたら、 直ちに、第一ノズル51および第二ノズル56からのクリーニングガス供給を止め、 処理室36内のシーズニングを行ない、 成膜ステップに移行することができる状態に復帰させる。
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
1) クリーニングガスを使用してドライクリーニングを実施する際に、第一ノズルおよび成膜ガス供給ラインを加熱しないことにより、第一ノズルおよび成膜ガス供給ラインの腐食を防止することができる。
2) 第一ノズルおよび成膜ガス供給ラインの腐食を防止することにより、第一ノズルおよび成膜ガス供給ライン等のCVD装置構成部材の定期的交換の頻度を減少することができるので、メンテナンス性能を向上させることができる。
3) 成膜する際に、第一ノズルおよび成膜ガス供給ラインを第二ヒータによって加熱することにより、成膜ガスの液化を防止することができるので、液化した成膜ガスが第一ノズルおよび成膜ガス供給ラインに付着するのを未然に防止することができるとともに、反応副生成物が逆流するのを防止することができる。
4) 第一ガス供給ラインとしての第一ノズルおよび第二ノズルにクリーニングガス供給ラインを、クリーニングガス用開閉弁(第二開閉弁)を介して接続することにより、第一ノズルおよび第二ノズルをクリーニングガス供給に共用することができるので、第一ノズルおよび第二ノズル等への反応副生成物の堆積を回避することができ、その結果、第一ノズルおよび第二ノズル等の寿命を延ばすことができ、交換頻度を抑制することができ、CVD装置の稼動率を向上させることができる。
5) 第二ヒータを第一ノズルおよびジクロロシランを供給する成膜ガス供給ラインのみに敷設することにより、配管ヒータの部品点数を低減することができるので、イニシャルコストおよびランニングコストを低減することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
成膜処理は窒化シリコン膜を形成する処理に限らず、酸化シリコン膜や他の酸化膜や窒化膜、さらには、金属膜および半導体膜(例えば、ポリシリコン膜)等の他のCVD膜を形成する処理であってもよい。
説明の便宜上、ノズル51、ノズル56と表現しているが、ノズルは金属製のガス配管と石英や金属製のノズルとを構成するようにしてもよい。
CVD装置はバッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置に限らず、横形ホットウオール形減圧CVD装置等の他のCVD装置であってもよい。
さらに、CVD装置に限らず、酸化膜形成装置や拡散装置およびアニール装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
前記実施の形態ではウエハに処理が施される場合について説明したが、処理対象はホトマスクやプリント配線基板、液晶パネル、コンパクトディスクおよび磁気ディスク等であってもよい。
本発明の一実施の形態であるCVD装置を示す正面断面図である。 その側面断面図である。 処理炉を示す縦断面図である。
符号の説明
1…ウエハ(被処理基板)、2…カセット、
10…CVD装置(基板処理装置)、11…筐体、12…カセットステージ、13…カセットエレベータ、14…カセット移載装置、15…カセット棚、16…予備カセット棚、17…クリーンユニット、18…移載装置エレベータ、19…ウエハ移載装置、
20…ボートエレベータ、21…昇降台、22…アーム、22a…Oリング、
23…ボート、24、25…端板、26…保持部材、27…保持溝、28…断熱キャップ、29…シールキャップ、
30…処理炉、31…ヒータ(加熱機構)、32…ヒータベース、33…プロセスチューブ(反応管)、34…アウタチューブ(外部反応管)、35…インナチューブ(内部反応管)、36…処理室、37…筒状空間、38…マニホールド、39…Oリング(シール部材)、
40…排気管、41…圧力センサ(圧力検出器)、42…圧力調整装置、43…真空排気装置、44…圧力制御部、
45…回転機構、46…回転軸、47…駆動制御部、
48…温度センサ(温度検出器)、49…温度制御部、
51…第一ノズル(第一ガス供給ライン)、52…成膜ガス供給ライン、53…成膜ガス用開閉弁(第一開閉弁)、54…MFC、55…ジクロロシラン供給源(成膜ガス供給源、
56…第二ノズル(第一ガス供給ライン)、57…成膜ガス供給ライン、58…成膜ガス用開閉弁(第一開閉弁)、59…MFC、60…アンモニア供給源(成膜ガス供給源)、61…成膜ガス流量制御部、
62…クリーニングガス供給ライン、63…クリーニングガス用開閉弁(第二開閉弁)、64…MFC、65…クリーニングガス供給源、66…分岐ライン、67…クリーニングガス用開閉弁(第二開閉弁)、68…クリーニングガス流量制御部、
71…第一ヒータ、72…第二ヒータ、74…温度制御部、
75…主制御部、76…コントローラ。

Claims (1)

  1. 基板を処理する処理室と、
    前記処理室内に成膜ガスないしクリーニングガスを供給する第一ガス供給ラインと、
    該第一ガス供給ラインに第一開閉弁を介して接続され、該第一ガス供給ラインに成膜ガスを供給する成膜ガス供給ラインと、
    前記第一ガス供給ラインに第二開閉弁を介して接続され、前記第一ガス供給ラインにクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ラインと、
    前記第一ガス供給ラインを加熱するヒータと、
    前記成膜ガス供給ラインから前記第一ガス供給ラインに前記第一開閉弁を開き成膜ガスを供給する際には、前記ヒータを所定の温度に加熱維持し、前記クリーニングガス供給ラインから第一ガス供給ラインに前記第二開閉弁を開きクリーニングガスを供給する際には、前記ヒータに電力を供給しないように制御する加熱制御部と、
    を備えた基板処理装置。
JP2007063301A 2007-03-13 2007-03-13 基板処理装置 Pending JP2008227143A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007063301A JP2008227143A (ja) 2007-03-13 2007-03-13 基板処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007063301A JP2008227143A (ja) 2007-03-13 2007-03-13 基板処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008227143A true JP2008227143A (ja) 2008-09-25
JP2008227143A5 JP2008227143A5 (ja) 2010-04-30

Family

ID=39845412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007063301A Pending JP2008227143A (ja) 2007-03-13 2007-03-13 基板処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008227143A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101175677B1 (ko) * 2009-10-14 2012-08-22 국제엘렉트릭코리아 주식회사 퍼니스형 반도체 설비 및 그 설비를 사용한 기판 처리 방법
TWI618813B (zh) * 2016-03-29 2018-03-21 Hitachi Int Electric Inc Substrate processing apparatus, manufacturing method and program of semiconductor device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000068214A (ja) * 1998-08-26 2000-03-03 Kokusai Electric Co Ltd 基板処理装置
JP2002222805A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2005286005A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体装置の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000068214A (ja) * 1998-08-26 2000-03-03 Kokusai Electric Co Ltd 基板処理装置
JP2002222805A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2005286005A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体装置の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101175677B1 (ko) * 2009-10-14 2012-08-22 국제엘렉트릭코리아 주식회사 퍼니스형 반도체 설비 및 그 설비를 사용한 기판 처리 방법
TWI618813B (zh) * 2016-03-29 2018-03-21 Hitachi Int Electric Inc Substrate processing apparatus, manufacturing method and program of semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5393895B2 (ja) 半導体装置の製造方法及び基板処理装置
JP6285411B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
JP2010153467A (ja) 基板処理装置および半導体装置の製造方法
US20120214317A1 (en) Substrate processing apparatus and method, and semiconductor device manufacturing method
JP2009044023A (ja) 半導体装置の製造方法および基板処理装置
US20170335452A1 (en) Substrate treatment apparatus, reaction tube and semiconductor device manufacturing method
US8025739B2 (en) Method of manufacturing semiconductor device
JP2020017757A (ja) 基板処理装置、反応容器および半導体装置の製造方法
KR20170090967A (ko) 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체
JP2011100820A (ja) 基板処理装置
JP2008227143A (ja) 基板処理装置
JP5438266B2 (ja) 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置
JP6789171B2 (ja) 基板処理装置、処理ガスノズル内のパーティクルコーティング方法及び基板処理方法
US20220178019A1 (en) Method of processing substrate, method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium
JP7317083B2 (ja) 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び基板処理方法
US20080199610A1 (en) Substrate processing apparatus, and substrate processing method
JP5571157B2 (ja) 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置
JP2013058561A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP7440480B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法、およびプログラム
JP2010016033A (ja) 半導体装置の製造方法及び基板処理装置
JP2009289807A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2010245422A (ja) 半導体製造装置
JP2012019081A (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び基板の製造方法
JP2007324478A (ja) 基板処理装置
JP2005285819A (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100311

A621 Written request for application examination

Effective date: 20100311

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20110906

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110908

A521 Written amendment

Effective date: 20111031

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Effective date: 20120124

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02