JP2008224416A - 計測方法および計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】計測画像のばらつきになどに起因にする誤計測や計測失敗が生じるのを低減して安定した計測を可能にする。
【解決手段】複数の異なるテンプレート画像17a,19a,20aを予め登録し、計測画像21と各テンプレート画像17a,19a,20aとを順次マッチングさせ、複数の異なる判定基準から選択した判定基準、例えば、マッチングスコア値が、閾値を越え、かつ、最も大きい画像を一致画像と判定し、この一致画像に基づいて、計測位置を求めて計測を行うようにしている。
【選択図】図6
【解決手段】複数の異なるテンプレート画像17a,19a,20aを予め登録し、計測画像21と各テンプレート画像17a,19a,20aとを順次マッチングさせ、複数の異なる判定基準から選択した判定基準、例えば、マッチングスコア値が、閾値を越え、かつ、最も大きい画像を一致画像と判定し、この一致画像に基づいて、計測位置を求めて計測を行うようにしている。
【選択図】図6
Description
本発明は、例えば、基板や部品などの計測対象を撮像した計測画像とテンプレート画像とをテンプレートマッチングさせて位置や寸法などの計測を行う計測方法および計測装置に関する。
従来から、計測対象を撮像した画像データに基づいて画像処理を行うことにより計測対象を測定・評価する装置がある(例えば、特許文献1参照)。
計測対象、例えば、液晶パネルのガラス基板を撮像して、その計測画像からガラス基板上のパターンの線幅などの寸法を計測する計測装置においては、予め教示用画像を用いて計測位置の教示が行われる。
教示用画像は、例えば、図16に示すように、基板の一部である計測領域、この例では、特徴的なパターンである円形のパターン28および計測すべきパターンPを含む基板の一部を予め撮像した画像であり、この教示用画像27としては、例えば、パターンの形状やコントラストなどが同等であるものが多数存在する計測対象を撮像した画像を用いるのが好ましい。
この教示用画像27に対して、例えば、図17に示すような円形のパターン28を含む予め登録されているテンプレート画像29を用いて、図18に示すように、テンプレートマッチングを行い、マッチングしたときの位置を基準として、計測すべきパターンPの矢符で示される計測位置を指定するのに必要なパラメータを入力することにより、これらパラメータおよびテンプレート画像29を含む計測レシピが作成されて登録され、教示が終了する。
実際の計測においては、基板の計測領域を撮像し、その計測画像と、予め教示された前記計測レシピのテンプレート画像29とを、テンプレートマッチングし、マッチングしたときの位置を基準として、計測レシピのパラメータに従って計測画像におけるパターンPの計測位置を検出し、その線幅Wを計測する。
特許3765061号公報
しかしながら、実際の計測対象を撮像した計測画像は、例えば、製造プロセスのばらつきなどに起因して基板上に形成される薄膜のパターンの位置、形状、あるいは、コントラストなどが異なる場合がある。例えば、図19の計測画像30に示すように、特徴的なパターン28’の形状が、教示画像27と異なったり、あるいは、図20の計測画像31に示すように、背景のコントラストが、教示用画像27と異なったりする場合がある。このために、図21に示すように、計測画像30とテンプレート画像29とをテンプレートマッチングさせると、マッチング位置にずれが生じ、計測位置がずれて正しく線幅を計測できなかったり、あるいは、図22に示すように、計測画像31とテンプレート画像29とのマッチングに失敗して計測できない場合があるといった課題がある。
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、誤計測や計測失敗が生じるのを低減して安定な計測を行えるようにすることを目的とする。
(1)本発明の計測方法は、計測対象を撮像した計測画像と、予め登録されているテンプレート画像とを、マッチングさせて計測位置を求めて計測を行う方法であって、複数の異なる前記テンプレート画像を予め登録し、前記計測画像と各テンプレート画像とを順次マッチングさせ、複数の異なる判定基準の少なくともいずれか一つの判定基準を用いて、選択されたテンプレート画像を一致画像と判定し、その一致画像に基づいて前記計測位置を求めるものである。
計測対象とは、位置や寸法などを計測する対象をいい、例えば、基板、部品などをいう。
マッチングは、正規化相関法やその他の公知の方法を用いることができる。
テンプレート画像は、計測対象を撮像した画像から切り出されるのが好ましく、この計測対象は、同等のものが多数存在するものから選択されるのが好ましい。
異なるテンプレート画像とは、画像が異なるテンプレートをいい、例えば、パターンやコントラストが異なる計測対象を撮像した画像から切り出されるのが好ましい。
マッチングの順番は、マッチングの成功の確率が多いと想定されるテンプレート画像から行うのが好ましい。
複数の判定基準のいずれかの一つの判定基準を用いて一致画像を判定してもよいし、複数の判定基準あるいは判定結果を組み合わせて一致画像を判定するようにしてもよい。
本発明の計測方法によれば、異なる複数のテンプレート画像を、計測画像に順次テンプレートマッチングさせるので、テンプレートマッチングの成功率および精度が向上するとともに、異なる判定基準を用いて一致画像を判定することができるので、判定の精度が向上し、これによって、例えば、パターンの位置、形状あるいはコントラストが異なるような多様な計測対象に対しても、誤計測や計測の失敗を低減して安定な計測が行える。
(2)本発明の計測方法の一つの実施形態では、前記複数の異なるテンプレート画像には、特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像およびコントラストが異なるテンプレート画像の少なくともいずれか一方のテンプレート画像を含むようにしてもよい。
特徴的なパターンは、計測画像の他の部分とは異なる特別なパターンであるのが好ましい。
特徴的なパターンは、計測画像の他の部分とは異なる特別なパターンであるのが好ましい。
この実施形態によると、画像の特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像やコントラストの異なるテンプレート画像を用いてテンプレートマッチングを行うことができるので、画像の特徴的なパターンの形状やコントラストが異なるために、誤計測や計測に失敗していた計測画像に対しても計測が可能となる。
(3)本発明の計測方法の他の実施形態では、前記複数の異なる判定基準には、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準、および、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含むようにしてもよい。
この実施形態によると、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準を用いることにより、マッチングの順番に拘らず、精度の高い判定が行える一方、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準を用いることにより、必ずしも全てのテンプレート画像とのマッチングを行う必要がなくなり、計測時間を短縮することができる。
(4)本発明の計測方法の好ましい実施形態では、前記複数の異なる判定基準には、前記計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準、および、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含むようにしてもよい。
この実施形態によると、計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準を用いることにより、マッチングの順番に拘らず、精度の高い計測が行える一方、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準を用いることにより、必ずしも全てのテンプレート画像とのマッチングを行って計測を行なう必要がなくなり、計測時間を短縮することができる。
(5)本発明の計測方法の他の実施形態では、前記一致画像の判定に用いる前記複数の異なる判定基準のいずれかを選択可能である。
この実施形態によると、計測対象や要求される計測の精度などに応じて、適切な判定基準を選択して用いることが可能となる。
(6)本発明の計測装置は、計測対象を撮像する撮像部と、予めテンプレート画像が登録される記憶部と、前記計測対象を撮像した前記撮像部からの計測画像と前記テンプレート画像とのマッチングを行うマッチング部と、マッチング結果に基づいて、選択されたテンプレート画像を一致画像と判定して、その一致画像から計測位置を求めて計測を行う計測部とを備え、前記記憶部には、複数の異なる前記テンプレート画像が登録され、前記マッチング部は、前記計測画像と各テンプレート画像とを順次マッチングさせるものであり、前記計測部は、複数の異なる判定基準の少なくともいずれか一つの判定基準を用いて、選択されたテンプレート画像を前記一致画像と判定するものである。
本発明の計測装置によれば、異なる複数のテンプレート画像を、計測画像に順次テンプレートマッチングさせるので、テンプレートマッチングの成功率および精度が向上するとともに、異なる判定基準を用いて一致画像を判定することができるので、判定の精度が向上し、これによって、多様な計測対象に対しても、誤計測や計測の失敗を低減して安定な計測が行える。
(7)本発明の計測装置の他の実施形態では、前記記憶部に登録される複数の異なるテンプレート画像には、特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像およびコントラストが異なるテンプレート画像の少なくともいずれか一方のテンプレート画像を含むようにしてもよい。
この実施形態によると、画像の特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像やコントラストの異なるテンプレート画像を用いてテンプレートマッチングを行うことができるので、画像の特徴的なパターンの形状やコントラストが異なるために、誤計測や計測に失敗していた計測画像に対しても計測が可能となる。
(8)本発明の計測装置の一つの実施形態では、前記複数の異なる判定基準には、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準、および、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含むようにしてもよい。
この実施形態によると、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準を用いることにより、マッチングの順番に拘らず、精度の高い判定が行える一方、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準を用いることにより、必ずしも全てのテンプレート画像とのマッチングを行う必要がなくなり、計測時間を短縮することができる。
(9)本発明の計測装置の他の実施形態では、前記複数の異なる判定基準には、前記計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準、および、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含むようにしてもよい。
この実施形態によると、計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準を用いることにより、マッチングの順番に拘らず、精度の高い計測が行える一方、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準を用いることにより、必ずしも全てのテンプレート画像とのマッチングを行って計測を行なう必要がなくなり、計測時間を短縮することができる。
(10)本発明の計測装置の更に他の実施形態では、前記複数の異なる判定基準のいずれかの判定基準を指定するための入力部を備え、前記計測部は、指定された判定基準を用いて前記一致画像を判定するようにしてもよい。
この実施形態によると、計測対象や要求される計測の精度などに応じて、適切な判定基準を選択して用いることが可能となる。
本発明によれば、異なる複数のテンプレート画像を、計測画像に順次テンプレートマッチングさせるとともに、異なる判定基準を用いて一致画像を判定することができるので、テンプレートマッチングおよび判定の精度が向上し、誤計測や計測の失敗を低減して安定な計測が行える。
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る計測装置の概略構成を示す斜視図である。
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る計測装置の概略構成を示す斜視図である。
この実施形態の計測装置1は、計測対象である基板2の計測領域を撮像して画像を取り込むための画像取り込み装置3と、この画像取り込み装置3に相互に情報伝送可能に接続されて、取り込んだ画像を処理して計測を行なうととともに、各部の制御を行なう制御装置4とを備えており、制御装置4は、画像取り込み装置3を制御する制御プログラムを実行するコンピュータを内蔵している。
画像取り込み装置3は、基台5と、その上に設置された一対のガイドレール6に沿って移動可能なテーブル7と、このテーブル7を跨ぐ形で基台5上の固定位置に架設された門型の架台8と、この架台8内に設けられた図示しないカメラ移動機構と、カメラ移動機構に支持された撮像部としてのカメラ9とを備えている。
矩形板状のテーブル7は、図示しないリニアモータなどの駆動機構によって図のy方向に移動可能である。カメラは、y方向に直交する図のx方向を可動方向とするカメラ移動機構によって、x方向に移動可能である。
基台5上には、テーブル7の移動方向であるy方向に沿って延びるリニアスケール10が設けられる一方、テーブル7には、該テーブル7と一体的に移動する図示しないエンコーダヘッドが設置されており、リニアスケール10とエンコーダヘッドとによって、テーブル7のy方向の移動量を測定するリニアエンコーダが構成される。
各エンコーダヘッドには、投光部と受光部とが備えられ、投光部から出射されてリニアスケール10で変調された反射光を受光部で受けることにより、テーブルの移動量に応じた数のパルス信号を得ることができる。また、各リニアスケール10の1箇所には原点パターンが設けられていることにより、テーブル位置の原点信号を得ることもできる。
架台8に内蔵されるカメラ移動機構は、テーブル7上に載置された基板2を撮像するカメラ9を、x方向に移動させるものである。このカメラ移動機構は、リニアエンコーダを備えており、このリニアエンコーダでカメラ9のx方向の移動量を測定しながら、制御装置4から指令されたx座標にカメラ9を移動させる。
カメラ9は、顕微鏡のように対物レンズを有する構成となっており、2次元CCD撮像素子を備える。対物レンズの交換により撮像倍率を変更できるようになっている。
制御装置4は、キーボードやマウスなどの入力装置とディスプレイなどの出力装置とを備えており、画像取り込み装置3に対してリアルタイムに指令を送ったり、画像取り込み装置3で撮像した画像を観察したり、画像取り込み装置3を制御するプログラムを入力したりできるようになっている。画像取り込み装置3を制御するプログラムは、ネットワークを経由して、外部からダウンロードすることもできる。
図2は、図1の計測装置1の要部の構成を示すブロック図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
制御装置4は、カメラ9からの画像信号が入力される入力部11と、テンプレート画像を含む計測レシピおよび制御プログラムなどが記憶される記憶部12と、入力部11からの計測画像と記憶部12のテンプレート画像とのテンプレートマッチングおよびそれに基づく計測演算などを行うとともに、テーブル7やカメラ移動機構を制御するための演算を行う演算部13と、演算部13の演算結果に基づいて、ディスプレイ等の出力装置14に計測結果などを表示出力するとともに、テーブル7やカメラ9の移動機構15への制御出力を与える出力部16とを備えている。
この実施形態では、計測対象である基板2上の薄膜のパターンの位置、形状あるいはコントラストなどのばらつきに起因して誤計測や計測失敗が生じるのを低減して、安定な計測を行えるようにするために次のように構成している。
すなわち、この実施形態では、予め、複数のテンプレート画像および対応するパラメータを含む複数の計測レシピを計測装置1に登録し、実際の計測画像に対して、各テンプレート画像を順次マッチングさせ、複数の判定基準のいずれかの判定基準を用いて一致画像を判定し、この一致画像に基づいて、計測位置を検出して計測を行うものである。
複数のテンプレート画像としては、同等のものが多数存在すると想定されるとともに、誤計測や計測失敗の虞れが高いと想定される計測対象を予め撮像して得られる画像から切り出したものであるのが好ましい。
この実施形態では、図3(a)に示す従来と同様な教示用画像17から切り出した図3(b)に示すテンプレート画像17a、図4(a)に示す特徴的なパターン18’の形状が異なる計測対象を撮像した画像19から切り出した図4(b)に示すテンプレート画像19a、および、図5(a)に示す背景のコントラストが異なる計測対象を撮像した画像20から切り出した図5(b)に示すテンプレート画像20aの3種類を、テンプレート画像としている。なお、各図(b)のテンプレート画像17a,19a,20aの矢符は、計測位置をそれぞれ示している。
各テンプレート画像17a,19a,20aおよび対応する教示用画像を用いて、従来と同様に、予め計測位置の教示が行われる。
例えば、図3(a),図4(a),図5(a)の各画像を教示用画像として、各テンプレート画像17a,19a,20aをそれぞれテンプレートマッチングし、マッチングしたときの位置を基準として、計測すべきパターンPの計測位置を指定するのに必要なパラメータをそれぞれ入力することにより、これらパラメータおよび各テンプレート画像17a,19a,20aをそれぞれ含む3種類の計測レシピが作成されて登録される。
次に、実際の計測時には、テーブル7上に、計測対象である基板2を載置し、カメラ9の視野内に、基板2の計測領域が収まるように、カメラ移動機構によってカメラ9をx方向に移動させるとともに、テーブル7をy方向に移動させて基板2の計測領域を撮像して計測画像を取り込む。
この実施形態では、取り込んだ計測画像と、予め登録した上述の3種類の各テンプレート画像17a,19a,20aとを順次マッチングし、例えば、次のような判定基準のいずれかの判定基準を用いて一致画像を判定する。
すなわち、第1の判定基準は、テンプレートマッチングのマッチングスコア値の閾値を予め定めておき、各テンプレート画像17a,19a,20aを用いて順番にテンプレートマッチングしたときに、マッチングスコア値が、予め定めた閾値を越え、かつ、マッチングスコア値が、最も大きい画像を一致画像と判定するものである。
図6は、この第1の判定基準を用いた場合の判定処理を説明するための図である。
計測対象である基板2の計測領域を撮像して得られた計測画像21に対して、予め登録している上述の3種類のテンプレート画像17a,19a,20aを、順番にテンプレートマッチングし、マッチングスコア値が、閾値である60を越え、かつ、最も大きい画像を、一致画像と判定するものである。この図6では、特徴部分のパターン18’が楕円状のテンプレート画像19aを、計測画像21にマッチングさせたときの画像が、マッチングスコア値が100であり、閾値である60を越えて最も大きいので、一致画像と判定され、この一致画像に基づいて、計測レシピのパラメータに従って矢符で示される計測位置が検出されて従来と同様に線幅Wの計測が行われる。
図7は、この第1の判定基準を用いた判定処理のフローチャートである。
先ず、予め登録されている3種類の計測レシピの一つの計測レシピから1枚のテンプレート画像を読み出し(ステップn1)、計測画像とテンプレートマッチングし(ステップn2)、全ての計測レシピのテンプレート画像のテンプレートマッチングが終了したか否か判断し(ステップn3)、終了していないときには、ステップn1に戻る。
全ての計測レシピのテンプレート画像とのテンプレートマッチングが終了したときには、マッチングスコア値が、閾値を越え、かつ、最大のものを一致画像として選択し(ステップn4)、その一致画像に対して計測位置を検出して線幅を計測し(ステップn5)、線幅の計測に成功したか否かを判断し(ステップn6)、成功したときには、認識成功とし(ステップn7)、失敗したときには、認識失敗(ステップn8)として、例えば、表示出力する。
本発明の他の実施形態として、この第1の判定基準に代えて、次の第2の判定基準を用いて一致画像を判定してもよい。
第2の判定基準は、テンプレートマッチングする順番およびマッチングスコア値の閾値を予め定めておき、定められた順番でテンプレート画像を用いてテンプレートマッチングしたときに、マッチングスコア値が、最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定するものである。
図8は、この第2の判定基準を用いた判定処理を説明するための図である。
計測画像21に対して、予め登録している3種類のテンプレート画像17a,19a,20aを、予め定めた順番、この例では、テンプレート画像20a,19a,17aの順番でテンプレートマッチングし、最初にマッチングスコア値が、閾値を越えた画像を、一致画像と判定するものである。
この図8では、2番目にマッチングを行ったテンプレート画像19aをマッチングしたときの画像が、マッチングスコア値が100であり、最初に閾値60を越えたので、一致画像と判定され、この一致画像に基づいて、計測レシピのパラメータに従って計測位置が検出されて線幅Wの計測が行われる。
図9は、この第2の判定基準を用いた判定処理のフローチャートである。
先ず、予め登録されている複数の計測レシピから予め定められた順番で、一つの計測レシピの1枚のテンプレート画像を読み出し(ステップn1)、計測画像とテンプレートマッチングし(ステップn2)、マッチングスコア値が閾値を越えたか否か判断し(ステップn3)、越えていないときには、全ての計測レシピのテンプレート画像のテンプレートマッチングが終了したか否か判断し(ステップn)、終了していないときには、ステップn1に戻る。
ステップn3において、マッチングスコア値が、閾値を越えたときには、その画像を一致画像として計測位置を検出して線幅を計測し(ステップn5)、線幅の計測に成功したか否かを判断し(ステップn6)、成功したときには、認識成功とし(ステップn7)、失敗したときには、認識失敗として(ステップn8)、例えば、表示出力する。
この実施形態では、第1,第2のいずれの判定基準を用いるかを、制御装置4のキーボード等の入力装置を操作して設定することができる。
(実施形態2)
上述の実施形態では、計測画像の一箇所を計測する場合について説明したけれども、本発明の他の実施形態として、計測画像の複数個所を計測する場合には、次のようにして一致画像を判定するようにしてもよい。
上述の実施形態では、計測画像の一箇所を計測する場合について説明したけれども、本発明の他の実施形態として、計測画像の複数個所を計測する場合には、次のようにして一致画像を判定するようにしてもよい。
この実施形態では、図10に示すように、計測画像22の三箇所を計測するものであり、第1のパターンP1の線幅W1、第2のパターンP2の線幅W2、および、円形のパターンP3の線幅として直径Dを計測するものである。
この例では、複数のテンプレート画像として、図11(a)に示すように、従来と同様なテンプレート画像23、同図(b)に示す第1のパターンP1のコントラストが異なるテンプレート画像24、および、同図(c)に示す背景のコントラストが異なるテンプレート画像25の3種類を用いる。
各テンプレート画像23,24,25は、それぞれ三箇所の計測位置を検出するためのサーチ範囲などのパラメータと共に、それぞれ計測レシピとして記憶部に予め登録しておく。
実際の計測時には、テーブル7上に、計測対象である基板2を載置し、カメラ9の視野内に、基板2の計測領域が収まるように、カメラ移動機構によってカメラ9をx方向に移動させるとともに、テーブル7をy方向に移動させて基板2の計測領域を撮像して計測画像を取り込む。
この実施形態では、取り込んだ計測画像と、予め登録した3種類の各テンプレート画像とを順次マッチングし、例えば、次のような第3,第4の判定基準のいずれかの判定基準を用いて一致画像を判定する。
すなわち、第3の判定基準は、テンプレートマッチングのマッチングスコア値の閾値を予め定めておき、各テンプレート画像を用いて順番にテンプレートマッチングして各計測箇所を計測したときに、計測に成功した計測箇所の数が最も多い、すなわち、計測に成功した回数が最も多い画像であって、しかも、マッチングスコア値が閾値を越えて最も大きい画像を一致画像と判定するものである。
図12は、この第3の判定基準を用いた判定処理を説明するための図である。
計測画像26に対して、予め登録している3種類のテンプレート画像23,24,25を、予め定めた順番、この例では、テンプレート画像25,24,23の順番で順番にテンプレートマッチングして各計測箇所を計測し、計測に成功した回数が最も多く、しかも、マッチングスコア値が、閾値を越え、かつ、最も大きい画像を、一致画像と判定するものである。この図12では、テンプレート画像23をマッチングしたときの画像が、三箇所の計測に成功し、マッチングスコア値が100であり、閾値である60を越えて最も大きいので、一致画像と判定され、この一致画像に基づく、計測値が最終的な計測値とされる。
図13は、この第3の判定基準を用いた判定処理のフローチャートである。
先ず、予め登録されている複数の計測レシピの一つの計測レシピから1枚のテンプレート画像を読み出し(ステップn1)、計測画像とテンプレートマッチングし(ステップn2)、全ての計測レシピのテンプレート画像のテンプレートマッチングが終了したか否か判断し(ステップn3)、終了していないときには、ステップn1に戻る。
全ての計測レシピのテンプレート画像とのテンプレートマッチングが終了したときには、マッチングスコア値が、閾値を越え、かつ、最大のものを一致画像として選択し(ステップn4)、その一致画像に対して三箇所の計測箇所の計測を行い(ステップn5)、計測に成功したか否かを判断し(ステップn6)、成功したときには、認識成功とし(ステップn7)、失敗したときには、マッチングスコア値が、閾値を越える一致画像が他に無いかを判断し(ステップn8)、有るときには、ステップn4に戻り、無いときには、認識失敗(ステップn9)として、例えば、表示出力する。
また、他の実施形態として、この第3の判定基準に代えて、次の第4の判定基準を用いて一致画像を判定してもよい。
第4の判定基準は、テンプレートマッチングする順番およびマッチングスコア値の閾値を予め定めておき、定められた順番でテンプレート画像を用いてテンプレートマッチングして各計測箇所を計測したときに、計測に成功した計測箇所の数が最も多く、しかも、マッチングスコア値が閾値を越え、かつ、マッチングの順番が最も早い画像を、一致画像と判定するものである。
図14は、この第4の判定基準を用いた判定処理を説明するための図である。
計測画像26に対して、予め登録している3種類のテンプレート画像23,24,25を、予め定めた順番、この例では、テンプレート画像25,24,23の順番でテンプレートマッチングして各計測箇所をそれぞれ計測し、マッチングスコア値が閾値を越え、かつ、マッチング順番が最も早い画像を、一致画像と判定するものである。
この図14では、2番目にテンプレート画像24をマッチングして3箇所の計測に成功し、マッチングスコア値が95で閾値を越えたときの画像が、一致画像と判定される。
図15は、この判定基準を用いた判定処理のフローチャートである。
先ず、予め登録されている複数の計測レシピの一つの計測レシピから1枚のテンプレート画像を読み出し(ステップn1)、計測画像とテンプレートマッチングし(ステップn2)、マッチングスコア値が閾値を越えたか否か判断し(ステップn3)、越えていないときには、全ての計測レシピのテンプレート画像のテンプレートマッチングが終了したか否か判断し(ステップn4)、終了していないときには、ステップn1に戻る。
ステップn3において、マッチングスコア値が閾値を越えているときには、その一致画像に対して三箇所の計測箇所の計測を行い(ステップn5)、計測に成功したか否かを判断し(ステップn6)、失敗したときには、全ての計測レシピのテンプレート画像のテンプレートマッチングが終了したか否か判断し(ステップn4)、終了していないときには、ステップn1に戻る。
ステップn6において、成功したときには、認識成功とする(ステップn7)。
ステップn4において、終了したときには、認識失敗(ステップn8)として、例えば、表示出力する。
ステップn4において、終了したときには、認識失敗(ステップn8)として、例えば、表示出力する。
本発明は、テンプレートマッチングを用いて位置や寸法などを計測する計測装置などに有用である。
1 計測装置
2 基板
3 画像取り込み装置
4 制御装置
9 カメラ
2 基板
3 画像取り込み装置
4 制御装置
9 カメラ
Claims (10)
- 計測対象を撮像した計測画像と、予め登録されているテンプレート画像とを、マッチングさせて計測位置を求めて計測を行う方法であって、
複数の異なる前記テンプレート画像を予め登録し、
前記計測画像と各テンプレート画像とを順次マッチングさせ、複数の異なる判定基準の少なくともいずれか一つの判定基準を用いて、選択されたテンプレート画像を一致画像と判定し、その一致画像に基づいて前記計測位置を求めることを特徴とする計測方法。 - 前記複数の異なるテンプレート画像には、特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像およびコントラストが異なるテンプレート画像の少なくともいずれか一方のテンプレート画像を含む請求項1に記載の計測方法。
- 前記複数の異なる判定基準には、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準、および、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含む請求項1または2に記載の計測方法。
- 前記複数の異なる判定基準には、前記計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準、および、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記一致画像の判定に用いる前記複数の異なる判定基準のいずれかを選択可能である請求項1〜4のいずれか1項に記載の計測方法。
- 計測対象を撮像する撮像部と、予めテンプレート画像が登録される記憶部と、前記計測対象を撮像した前記撮像部からの計測画像と前記テンプレート画像とのマッチングを行うマッチング部と、マッチング結果に基づいて、選択されたテンプレート画像を一致画像と判定して、その一致画像から計測位置を求めて計測を行う計測部とを備え、
前記記憶部には、複数の異なる前記テンプレート画像が登録され、
前記マッチング部は、前記計測画像と各テンプレート画像とを順次マッチングさせるものであり、
前記計測部は、複数の異なる判定基準の少なくともいずれか一つの判定基準を用いて、選択されたテンプレート画像を前記一致画像と判定することを特徴とする計測装置。 - 前記記憶部に登録される複数の異なるテンプレート画像には、特徴的なパターンの形状が異なるテンプレート画像およびコントラストが異なるテンプレート画像の少なくともいずれか一方のテンプレート画像を含む請求項6に記載の計測装置。
- 前記複数の異なる判定基準には、最もマッチングスコア値が大きい画像を一致画像と判定する判定基準、および、マッチングスコア値が最初に閾値を越えた画像を一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含む請求項6または7に記載の計測装置。
- 前記複数の異なる判定基準には、前記計測画像における複数の計測箇所を計測する場合に、計測に成功した回数が最も多くてマッチングスコア値が最も大きい画像を、一致画像と判定する判定基準、および、計測に成功した回数が最も多くてマッチングの順番が早い画像を、一致画像と判定する判定基準の少なくともいずれか一方の判定基準を含む請求項6〜8のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記複数の異なる判定基準のいずれかの判定基準を指定するための入力部を備え、前記計測部は、指定された判定基準を用いて前記一致画像を判定する請求項6〜9のいずれか1項に記載の計測装置。
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