JP2008218852A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板において、pMOSを形成するためのn型ウェル13へ、チャネルドーピングとして、n型不純物を選択的に注入する(n型不純物注入工程)。その後、n型ウェル13へ、n型不純物注入工程と同一の写真製版用マスクを用いて、フッ素を、十分に閾値を下げるために1×1015/cm2以上の濃度で選択的に注入する。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態1に係る半導体の製造方法の一工程を示す断面図である。なお、図1では、dual-gateのCMOSにおいて、pMOS(p型MISFET)へフッ素注入を行う場合が示されている。
Claims (6)
- p型MISFETを形成するためのn型ウェルを有する半導体基板を用意する工程と、
前記n型ウェルへフッ素を注入するフッ素注入工程と
を備える半導体装置の製造方法であって、
前記フッ素注入工程の前に、前記n型ウェルへn型不純物を注入するn型不純物注入工程
をさらに備え、
前記フッ素注入工程においては、前記n型不純物が注入されない場合に比較して、前記n型不純物により余分に導入される正の固定電荷を相殺するだけフッ素を余分に注入した
半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記n型不純物注入工程においては、n型不純物として5族元素のイオンが注入され、
前記フッ素注入工程においては、フッ素が1×1015/cm2以上の濃度で注入される
半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記n型不純物注入工程と前記フッ素注入工程とでは、同一のマスクが用いられる
半導体装置の製造方法。 - n型MISFETを形成するためのp型ウェルを有する半導体基板を用意する工程と、
前記p型ウェルへn型不純物としての窒素を注入する窒素注入工程と
を備える半導体装置の製造方法であって、
前記窒素注入工程の前に、前記p型ウェルへp型不純物を注入するp型不純物注入工程
をさらに備え、
前記窒素注入工程においては、前記p型不純物が注入されない場合に比較して、前記p型不純物により余分に導入される負の固定電荷を相殺するだけ窒素を余分に注入した
半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記p型不純物注入工程においては、p型不純物として3族元素のイオンが注入され、
前記窒素注入工程においては、窒素が1×1015/cm2以上の濃度で注入される
半導体装置の製造方法。 - 請求項4又は請求項5に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記p型不純物注入工程と前記窒素注入工程とでは、同一のマスクが用いられる
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007056650A JP5153164B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2008218852A true JP2008218852A (ja) | 2008-09-18 |
JP5153164B2 JP5153164B2 (ja) | 2013-02-27 |
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JP2007056650A Expired - Fee Related JP5153164B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5153164B2 (ja) |
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