JP2008218829A - 磁気抵抗素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気抵抗素子は、磁化の方向が固定された第1の固定層13、第1の非磁性層14、磁化の方向が変化する自由層15、第2の非磁性層16、磁化の方向が固定された第2の固定層17が順に積層された積層体と、第2の非磁性層16上で第2の固定層17の側面に接しかつ第2の固定層17を囲むように設けられ、かつ絶縁体からなる第1の側壁19と、第1の非磁性層14上で自由層15及び第1の側壁19の側面に接しかつ自由層15及び第1の側壁19を囲むように設けられ、かつ絶縁体からなる第2の側壁20とを具備する。
【選択図】 図2
Description
Claims (5)
- 磁化の方向が固定された第1の固定層、第1の非磁性層、磁化の方向が変化する自由層、第2の非磁性層、磁化の方向が固定された第2の固定層が順に積層された積層体と、
前記第2の非磁性層上で前記第2の固定層の側面に接しかつ前記第2の固定層を囲むように設けられ、かつ絶縁体からなる第1の側壁と、
前記第1の非磁性層上で前記自由層及び前記第1の側壁の側面に接しかつ前記自由層及び前記第1の側壁を囲むように設けられ、かつ絶縁体からなる第2の側壁と、
を具備することを特徴とする磁気抵抗素子。 - 前記自由層の面積は、前記第1の非磁性層の面積よりも小さく、
前記第2の固定層の面積は、前記第2の非磁性層の面積よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗素子。 - 前記第1の固定層、前記自由層、及び前記第2の固定層の側面は、膜面に対して垂直であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気抵抗素子。
- 前記第1及び第2の非磁性層は、金属酸化物、或いは常磁性金属からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気抵抗素子。
- 磁化の方向が固定された第1の固定層、第1の非磁性層、磁化の方向が変化する自由層、第2の非磁性層、磁化の方向が固定された第2の固定層を順に積層する工程と、
前記第2の固定層上にハードマスクを形成する工程と、
前記ハードマスクをマスクとして、前記第2の固定層をエッチングする工程と、
前記第2の非磁性層上で前記第2の固定層の側面に、絶縁体からなる第1の側壁を形成する工程と、
前記第1の側壁をマスクとして、前記第2の非磁性層及び前記自由層をエッチングする工程と、
前記第1の非磁性層上で前記自由層及び前記第2の非磁性層の側面に、絶縁体からなる第2の側壁を形成する工程と、
前記第2の側壁をマスクとして、前記第1の非磁性層及び前記第1の固定層をエッチングする工程と、
を具備することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。
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