JP2008205250A - 冷却板および電子装置 - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 128
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 67
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 73
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract
【解決手段】 信号入出力用の端子22を備えた半導体装置20と該半導体装置20が実装されるプリント配線基板40との間に配置される冷却板30であって、内部に冷却液が流れる流路33を有する絶縁材料からなる基体31と、流路33を貫通して基体31の表裏面双方に露出した、上記電子部品の端子22とプリント配線基板40上の配線パターン41とを電気的に接続する導体柱32とを備えた。
【選択図】 図2
Description
信号入出力用の端子を備えた半導体装置と、該半導体装置が実装されるプリント配線基板との間に配置される冷却板であって、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなる基体と、
上記流路を貫通して上記基体の表裏面双方に露出した、上記電子部品の端子と上記プリント配線基板上の配線パターンとを電気的に接続する導体柱とを備えたことを特徴とする。
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなる基体と、上記流路を貫通して上記基体の表裏面双方に露出してなる導体柱とを有する冷却板と、
信号入出力用の端子を備え、該端子が上記導体柱の露出端面に電気接続されてなる半導体装置と、
配線パターンが形成され、該配線パターンが上記導体柱に電気的に接続されてなるプリント配線基板と、
上記冷却板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却液循環経路内の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする。
信号入出力用の柱状端子を備えた半導体装置と、該半導体装置が実装されるプリント配線基板との間に配置される冷却板であって、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなるとともに上記半導体装置の柱状端子が挿通される貫通孔を有することを特徴とする。
信号入出力用の柱状端子を備えた半導体装置と、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなるとともに上記半導体装置の柱状端子が挿通される貫通孔を有する冷却板であって上記半導体装置が配置され上記柱状端子が上記貫通孔を貫通する冷却板と、
配線パターンが形成され上記冷却板に配置されて該配線パターンが上記柱状端子に電気的に接続されてなるプリント配線基板と、
上記冷却板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却液循環経路内の冷却液の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする。
(実施例1)
図3は、本発明の第1の冷却板の一実施例の外観を示す平面図であり、図4は、本発明の第1の冷却板の一実施例の内部を示す切断図である。
(実施例2)
図7は、本発明の第2の冷却板の一実施例の外観を示す平面図であり、図8は、本発明の第2の冷却板の一実施例の内部を示す切断図である。
20,60 半導体装置
21b 裏面
22 端子
30,70 冷却板
30b 裏面
31,75 基体
32 導体柱
32a 電極端子パターン
33、73 流路
34 BGA端子
39a,79a 冷却液入口
39b,79b 冷却液出口
39c,79c 冷却液ガイド
40 プリント配線基板
41 配線パターン
61 柱状端子
76 貫通孔
78 銅箔パターン
81 冷却液循環経路
82 ポンプ
83 放熱部品
83a 放熱部
83b 流路
83c 放熱用フィン
83d ファン
90,90’ 冷却装置
91 電子部品
91a TIM
92,92’ プリント配線基板
93 受熱部
93’ ヒートシンク
93a 金属柱状体
94 放熱部
95 フィン
96 ファン
97 ポンプ
Claims (4)
- 信号入出力用の端子を備えた半導体装置と、該半導体装置が実装されるプリント配線基板との間に配置される冷却板であって、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなる基体と、
前記流路を貫通して前記基体の表裏面双方に露出した、前記電子部品の端子と前記プリント配線基板上の配線パターンとを電気的に接続する導体柱とを備えたことを特徴とする冷却板。 - 内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなる基体と、前記流路を貫通して前記基体の表裏面双方に露出してなる導体柱とを有する冷却板と、
信号入出力用の端子を備え、該端子が前記導体柱の露出端面に電気接続されてなる半導体装置と、
配線パターンが形成され、該配線パターンが前記導体柱に電気的に接続されてなるプリント配線基板と、
前記冷却板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却液循環経路内の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする電子装置。 - 信号入出力用の柱状端子を備えた半導体装置と、該半導体装置が実装されるプリント配線基板との間に配置される冷却板であって、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなるとともに前記半導体装置の柱状端子が挿通される貫通孔を有することを特徴とする冷却板。 - 信号入出力用の柱状端子を備えた半導体装置と、
内部に冷却液が流れる流路を有する絶縁材料からなるとともに前記半導体装置の柱状端子が挿通される貫通孔を有する冷却板であって前記半導体装置が配置され前記柱状端子が前記貫通孔を貫通する冷却板と、
配線パターンが形成され前記冷却板に配置されて該配線パターンが前記柱状端子に電気的に接続されてなるプリント配線基板と、
前記冷却板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却液循環経路内の冷却液の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040514A JP5023735B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | 冷却板および電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040514A JP5023735B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | 冷却板および電子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008205250A true JP2008205250A (ja) | 2008-09-04 |
JP5023735B2 JP5023735B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007040514A Expired - Fee Related JP5023735B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | 冷却板および電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5023735B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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