JP2008201645A - ガラス組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 mol%で表示して、SiO2:25〜55%、B2O3:20〜45%、Al2O3:15〜25%、CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO:3〜18%、Li2O+Na2O:1〜3%、を含んでなり、かつ50〜350℃における熱膨張係数が50×10-7K-1以下であるガラス組成物である。
【選択図】 図2
Description
低膨張ガラスの熔融には、ソーダライムガラスと比較して、概ね数百℃以上の高い温度が必要であって、具体的には、概ね1600℃程度以上の温度である。高温熔融が必要であるほど、燃料費が上昇するばかりか、熔融炉の維持にもコストがかかり、結果的に製造原価が上昇してしまう。
このため、高得率のバッチでは、攪拌を最適化することのほか、長時間熔融する、あるいは清澄剤を添加することなどが必要とされる。高温でしかも長時間の熔融が必要であれば、製造コストが高くなることは自明である。
以上のことから、従来の低熱膨張硼珪酸ガラスと同様の低い熱膨張率を持ち、かつ、原料をより低温で熔融し得るガラスの開発が望まれていた。
なお、この陽極接合のために、MEMSに用いられるガラスの組成には、易移動性陽イオン、実質的にはLi+またはNa+が適量含まれていることが必要である。
mol%で表示して、
SiO2:25〜55%、
B2O3:20〜45%、
Al2O3:15〜25%、
CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO:3〜18%、
Li2O+Na2O:1〜3%、
を含んでなり、かつ50℃〜350℃における熱膨張係数が50×10-7K-1以下であることを特徴とする。
(SiO2)
SiO2は、ガラス網目形成する必須成分である。ガラスの安定性や、所望の熱膨張係数を得るために、その含有率の下限は25%以上とする。
一方、1600℃程度以下での熔融を可能とし、脱泡や清澄を容易にするために、含有率の上限を55%とする。
シリコンと陽極接合するために、その含有率の下限を45%以上とする。こうすると、室温から350℃までの平均線膨張係数を、概ね40×10-7K-1以下にできる。
B2O3は、ガラス網目を形成する必須成分であり、ガラス形成能を良くするとともに、高温粘性を低下させて熔融性を向上させる成分である。そのために含有率の下限を20%以上とする。一方、化学的耐久性の確保や熱膨張係数を抑えるために、含有率の上限を45%以下とする。シリコンと陽極接合するために、その含有率の上限を30%以下にするとよい。
Al2O3は、ガラス網目の形成と、ガラス網目を修飾する両方の役割を果たす必須成分である。Al2O3は、ガラスの安定性と化学的耐久性を向上させるとともに、熱膨張係数の低下に寄与する。そのために含有率の下限を15%以上とする。一方、融液の粘性を抑え、1600℃程度以下での熔融を可能とするために、含有率の上限を25%以下とし、さらに20%以下とすることが好ましい。
アルカリ土類金属酸化物、すなわち、MgO、CaO、SrO、BaOは、ガラス網目修飾酸化物であり、ガラスの熔融性を向上させる成分である。同様の効果を持つZnOと合わせ、本発明のガラス組成物は、これらのうち1種類以上を、合計で少なくとも3%以上含む。一方、ガラス化を可能とし、熱膨張係数が大きくなるのを防ぐために、その合計を18%以下とする。
また、ZnOは、ガラスの安定性の向上や、熔融性を向上させつつ低熱膨張化を図るに効果が大きいことから、1%以上含有させることが特に好ましい。
シリコンと陽極接合するために、上記アルカリ土類酸化物とZnOとの合計含有率を、13%以下にするとよい。
アルカリ金属酸化物であるLi2OとNa2Oとは、ガラス網目を修飾する成分であり、ガラスの網目を適度に切断し、熔融温度を下げ、融液の粘性を低く抑える効果がある。このため、Li2OとNa2Oとは、合計で少なくとも1%以上を含有させる。
一方、熱膨張係数が大きくなるのを防ぐために、その合計を3%以下にする。なお、Li2OとNa2Oの合計量が1〜3%であることは、陽極接合するのに、必要にして十分である。
mol%で表示して、
SiO2:25〜55%、
B2O3:20〜45%、
Al2O3:15〜25%、
CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO:3〜18%、
Li2O+Na2O:1〜3%、
のみから構成されていてもよい。
表1に示した所定のガラス組成となるように、ガラス原料である酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩などを秤量し、混合してバッチとした。なお、E1〜E24は実施例であり、C1〜C5は、比較例である。
―――――――――――――――――
泡個数 泡品質
―――――――――――――――――
実施例17 0 ○
比較例4 >100 ×
比較例5 >100 ×
―――――――――――――――――
シリコンとガラスとの陽極接合は、次のように実施した。
上述したようにして作製した本発明の実施例19のガラス組成物を、20mm×20mm×厚さ1mmのガラス基板に加工し、その両面を鏡面研磨した。これをシリコンウェハ上に載せ、400℃程度に加熱しつつ、シリコン側を陽極、ガラス側を陰極として1kV程度の直流電圧を数十分印加した。電圧印加終了後、徐々に温度を室温まで下げた。ガラスとシリコンウェハとの接合状態を確認した。
しかも、実施例19では、シリコンとの熱膨張率差が、図1に示すように、500℃で(−0.32×10-4)と、この温度域まで非常に小さいことが分かる。パイレックスでは、(−1.90×10-4)である。したがって、シリコンとの接合面に発生する残留応力も、パイレックスのそれと比較して、小さくすることができる。
Claims (4)
- mol%で表示して、
SiO2:25〜55%、
B2O3:20〜45%、
Al2O3:15〜25%、
CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO:3〜18%、
Li2O+Na2O:1〜3%、
を含んでなり、かつ50℃〜350℃における熱膨張係数が50×10-7K-1以下であるガラス組成物。 - mol%で表示して、
前記SiO2が45〜55%、
前記B2O3が20〜30%、
前記(CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO)が3〜13%、
であり、かつ前記熱膨張係数が40×10-7K-1以下である請求項1に記載のガラス組成物。 - mol%で表示して、
前記SiO2が50〜55%、
前記Al2O3が15〜20%、
前記(CaO+MgO+SrO+BaO+ZnO)が3〜5%、
前記(Li2O+Na2O)が2〜3%、
である請求項2に記載のガラス組成物。 - 50℃〜450℃の温度範囲において、前記ガラス組成物の熱膨張係数と、シリコンのそれとの差の最大値が、±2.7×10-7K-1以内である請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス組成物。
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