JP2008196983A - 接触式プローブの倣い制御方法及び接触式測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】触針16を一定の測定力Fで測定対象物(ワーク8)に接触させながら、測定対象物(8)の表面に沿って移動させる接触式プローブ(力センサ10)の倣い制御に際して、触針16に目標測定力よりも低い力が加わったことを検知するための接触検知レベルを設け、触針16に加わる力が該接触検知レベルになった時点から、触針16を目標測定力で測定対象物(8)に接触させるための力制御に移行する。前記接触検知レベルから目標測定力まで、力制御の指令値を徐々に増加させることにより、高応答化による衝撃増大やオーバーシュートを防ぐこともできる。
【選択図】図8
Description
(接触検知レベルでの押込み量+接触判定の遅れ時間による押込み量)
≦測定力による押込み量
となるアプローチ速度を選択してやれば、過剰な押込み量が発生せず、測定対象物に接触痕が付かない。
16…触針
30…プローブ
32…駆動アクチュエータ
34…スケール
36…スケール検出器
40…コントローラ
42…駆動アンプ
44…カウンタ
46…A/Dコンバータ
48…ディジタル制御演算部
Claims (3)
- 触針を一定の測定力で測定対象物に接触させながら、測定対象物の表面に沿って移動させる接触式プローブの倣い制御に際して、
触針に目標測定力よりも低い所定の力が加わったことを検知するための接触検知レベルを設け、
触針に加わる力が該接触検知レベルになった時点から、触針を目標測定力で測定対象物に接触させるための力制御に移行することを特徴とする接触式プローブの倣い制御方法。 - 前記接触検知レベルから目標測定力まで、力制御の指令値を徐々に増加させることを特徴とする請求項1に記載の接触式プローブの倣い制御方法。
- 請求項1又は2に記載の方法により倣い制御される接触式プローブを備えたことを特徴とする接触式測定機。
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