JP2008194980A - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被成型品Wの縁の位置を検出することによって、型Mに対する被成型品Wの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段11と、位置ずれ量検出手段11が検出した位置ずれ量を補正する位置ずれ量補正手段13とを有する。
【選択図】図1
Description
3 ベースフレーム
5 被成形品保持体
7 XYステージ
9 型保持体
11 位置ずれ量検出手段
13 位置ずれ量補正手段
15 検出子
33 カメラ
35 プリズム
51 制御装置
M 型
M1 アライメントマーク
W、W3 被成形品
W1 貫通孔
Claims (10)
- 型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置において、
前記被成型品の縁の位置を検出することによって、前記型に対する前記被成型品の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と;
前記位置ずれ量検出手段が検出した位置ずれ量を補正する位置ずれ量補正手段と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、前記型の位置を検出し、この検出した型の位置と前記検出した前記被成型品の縁の位置とによって、前記位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、前記型と前記被成型品とをお互いに近づけておき、前記位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の転写装置において、
前記被成型品は、中央部に円形の貫通孔が設けられている円板状の記録用ディスクであり、
前記位置ずれ量検出手段は、前記被成型品の貫通孔の縁の少なくとも2点の位置、もしくは、前記被成型品の外周の縁の少なくとも2点の位置を用いて、前記被成型品の中心位置を求め、前記型に対する前記被成型品の位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置において、
前記型を保持し、前記被成型品に接近・離反する方向で前記被成型品に対して相対的に移動位置決め自在な型保持体と;
前記被成型品を保持し、前記型保持体の接近・離反方向に対して交差する方向で前記型保持体に対して相対的に移動位置決め自在な型保持体と;
前記型と前記被成型品とが所定の距離だけ離れているときに前記型と前記被成型品との間に挿入される第1の位置と、前記型と前記被成型品とがお互いに接触することができるような前記型と前記被成型品とから離れた第2の位置との間を移動自在な検出子を備え、この検出子で前記被成型品の縁の位置を検出することによって、前記型に対する前記被成型品の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と;
前記型と前記被成型品とが所定の距離だけ離れているときに前記第1の位置に前記検出子を位置させて前記被成型品の位置ずれ量を検出し、この検出した位置ずれ量を、前記型保持体を相対的に移動することによって補正し、前記型を前記被成型品に接触させて前記転写を行うように制御する制御手段と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項5に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、前記第1の位置に前記検出子を位置させて前記型の位置を検出する手段であり、
前記制御手段は、前記検出した型の位置と前記検出した前記被成型品の縁の位置とによって、前記位置ずれ量を検出して前記補正をする手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項5または請求項6に記載の転写装置において、
前記検出子は薄い板状に形成されており、この厚さ方向が前記型保持体の接近・離反方向になるようにして設けられており、
前記位置ずれ量検出手段は、前記検出子から離れたところに設けられているカメラと、前記検出子に設けられている反射部材とを備えて構成されており、前記反射部材を介し前記カメラを用いて前記位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項7に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、1台のカメラを切り換えることによって、前記被成型品の縁における複数の位置を検出し、前記位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項5または請求項6に記載の転写装置において、
前記検出子は薄い板状に形成されており、この厚さ方向が前記型保持体の接近・離反方向になるようにして設けられており、
前記位置ずれ量検出手段は、前記検出子から離れたところに設けられているカメラと、前記検出子に設けられている光ファイバとを備えて構成されており、前記光ファイバを介し前記カメラで前記位置ずれ量を検出する手段であることを特徴とする転写装置。 - 請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の転写装置を用いてなされることを特徴とする前記被成型品への転写方法。
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