JP2008193062A - 積層型チップキャパシタ - Google Patents

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Abstract

【課題】 本発明は積層型チップキャパシタに関する。
【解決手段】本発明は、複数の誘電体層が積層されて形成され、直六面体の形状を有するキャパシタ本体と、上記キャパシタ本体の対向する2つの長側面(longer side faces)のそれぞれに相互交代に配列され、相違する極性を有し相互向い合うよう配置された少なくとも3対の第1外部電極及び第2外部電極と、上記キャパシタ本体内で上記誘電体層により分離されて相互交代に配置され、リードを通して上記第1及び第2外部電極にそれぞれ連結される複数の第1内部電極及び第2内部電極とを含み、上記キャパシタ本体の長さ(L:length)が幅(W:width)の2.5倍以上である積層型チップキャパシタを提供する。
【選択図】図2

Description

本発明は積層型チップキャパシタに関するもので、さらに詳しくは、キャパシタの小型化と等価直列抵抗(ESL;equivalaent series inductance)の低減を同時に具現することの出来る積層型チップキャパシタに関する。
一般的に、積層型チップキャパシタは誘電体層を介して異種極性の内部電極が繰り返して積層された構造を有する。このような積層型チップキャパシタは小型化が可能でありながらも高容量が保障され、回路基板上に容易に実装されるという長所により様々な電子装置の容量性部品として広く使われる。特に、積層型チップキャパシタはMPU(micro−processor unit)用電源回路のような高周波電源回路の安定化のためのディカップリングキャパシタとして多く使われている。MPUのディカップリングキャパシタとして使われるためには、キャパシタのESLが低くなければならない。このような低ESL化の要求はMPUの高速化とこれによる高電力化及び低電圧化の傾向により徐々に増加している。
ディカップリングキャパシタがMPUパッケージに使われる場合、パワーネットワークのインピーダンスを低くするために複数のキャパシタが並列に連結される。ディカップリングキャパシタを実装できる全体の実装面積が限られているため、より低いインピーダンスを具現するためには、さらに小さいサイズのキャパシタをさらに多く並列に連結することになる。ディカップリングキャパシタを小型化しても(即ち、限られた実装面積でより多くのキャパシタを並列に連結させても)、個別キャパシタのESLが増加するとキャパシタの小型化による全体インピーダンスの減少効果は低くなる。従って、ディカップリングキャパシタを小型化するにおいて、各キャパシタのESLを維持させたりさらに低減させることが非常に重要である。
図1a及び図1bは、通常の従来の積層型チップキャパシタの概略斜視図及び側断面図である。
図1a及び図1bを参照すると、積層型チップキャパシタ10は複数の誘電体層が積層されて形成されたキャパシタ本体11を含む。上記各誘電体層上には第1及び第2内部電極12,13が形成されている。上記第1及び第2内部電極12,13は各誘電体層を介して相互対向するよう配置され、キャパシタ本体11の両側の端面に形成された異種極性の第1及び第2外部電極14,15にそれぞれ接続される。通常、外部電極14,15は両側の端面に隣接した上下面及び側面に一部延長された延長部Aを有する。
このような積層型チップキャパシタ10は図1cの等価回路図に示されたとおり、実際に具現しようとするキャパシタンス成分Cの他にも、寄生インダクタンスによる等価直列インダクタンスESLと、誘電体層の抵抗損失及び内部電極層の抵抗損失などによる等価直列抵抗ESRを有する。このような2端子キャパシタはESLが高すぎるため高周波回路の高性能ディカップリング用として使用するには限界がある。
最近は、ディカップリングキャパシタとして8端子キャパシタなどの多端子積層型チップキャパシタが提案されて使われている。例えば、AVX社が譲り受けた特許文献1は、異種極性の内部電極のリードを組み合せた配列(interdigitated arrangement)に配置すると共に(+)外部端子と(−)外部端子を交代に配置することにより、高周波電流により発生する磁束を相互相殺して寄生インダクタンス(ESL)を減少させた8端子積層型チップキャパシタを開示している。一般的に外部電極(端子)の数を増やすほどESLはさらに減少することになるが、現在の外部電極形成工程の能力では、キャパシタ本体の一(長軸)側面に4端子を配置することが一般である。上記AVX構造を採用した1680サイズ8端子キャパシタのESLは60pH程度である。
前述の通り、全体インピーダンスをさらに低くするためには、限られた全体実装面積内でさらに多い数の小型化された多端子キャパシタを並列に連結して使用しなければならない。AVXが提案したキャパシタ構造を1608サイズ(キャパシタの長さが1.6mmで幅が0.8mmである)から1005サイズ(キャパシタの長さが1.0mmで幅が0.5mmである)に小型化すると、外部電極形成の工程能力の限界により一つの長軸側面に3端子のみ配置されることがある。従って、1608サイズが1005サイズに小型化されると、6端子キャパシタの使用が予想される。この場合、1005サイズの6端子キャパシタは1608サイズ8端子キャパシタに比べて端子数が減少し、ESLが75pH程度に上昇する。これによって、並列連結された多数のキャパシタにおいて、全体インダクタンスの減少効果は低くなる。結果として、このようなキャパシタサイズの小型化は外部端子数の減少と個別キャパシタのESL増加の原因として作用する。
米国の特許第5,880,925号
上記の問題点を解決するため、本発明は、全体インダクタンスをより効果的に低減させるよう個別キャパシタの小型化と共にESLのさらなる減少を同時に具現できる積層型チップキャパシタを提供することを目的とする。
本発明は、複数の誘電体層が積層されて形成され、直六面体の形状を有するキャパシタ本体と、上記キャパシタ本体の対向する2つの長側面のそれぞれに相互交代に配列され、相違する極性を有し相互向い合うよう配置された少なくとも3対の第1外部電極及び第2外部電極と、上記キャパシタ本体内で上記誘電体層により分離されて相互交代に配置され、リードを通して上記第1及び第2外部電極にそれぞれ連結される複数の第1内部電極及び第2内部電極とを含み、上記キャパシタ本体の長さ(L:length)が幅(W:width)の2.5倍以上である積層型チップキャパシタを提供する。
上記キャパシタ本体の長さ(L)は幅(W)の2.5倍以上7倍以下であることが出来る。上記キャパシタ本体の長さ(L)は1.1mm以上1.6mm以下であることが出来る。上記キャパシタ本体の幅(W)は0.2mm以上0.5mm以下であることが出来る。
それぞれの長側面には、同数の第1外部電極と第2外部電極が形成されることが出来る。4対の第1及び第2外部電極が上記2つの長側面に形成されて8端子キャパシタを成すことが出来る。
これとは異なって、それぞれの長側面には異なる数の第1外部電極と第2外部電極が形成されることが出来る。3対の第1及び第2外部電極が上記2つの長側面に形成されて6端子キャパシタを成すことが出来る。それぞれの長側面にはさらに多い数の外部電極(例えば、5または6個)が形成されてキャパシタはさらに多い数の端子(例えば、10端子または12端子など)を有することも出来る。
本明細書においては、キャパシタ本体の長軸方向(X方向:図2参照)の長さ、即ち長側面の長さをキャパシタ本体の長さと定義し、キャパシタ本体の短軸方向(Y方向:図2参照)の長さ、即ち端側面の長さをキャパシタ本体の幅と定義する。
本発明によると、キャパシタの小型化と共にESLの減少を同時に満足することになる。これによって、パッケージの決められた実装面積内にさらに多いディカップリングキャパシタを並列に連結することができ、全体インダクタンス(または全体インピーダンス)をさらに低減させることが可能になる。結果として、MPUパッケージの電源回路はさらに効果的に安定化することになる。
以下、図面を参照に本発明を詳しく説明する。
図2は、本発明の実施形態による積層型チップキャパシタの斜視図である。図2を参照すると、本実施形態による積層型チップキャパシタ100は、複数個の誘電体層が積層されて形成されたキャパシタ本体121を含む。このキャパシタ本体121は直六面体の形状を有し、上下面、相互対向する2つの短側面及び相互対向する2つの長側面を有する。キャパシタ本体121の内部には誘電体層を介して相互対向配置される複数の第1及び第2内部電極(図3参照)が配置されている。
相互対向する2つの長側面には第1外部電極131,133,135,137及び第2外部電極132,134,136,138が形成されている。 各長側面には、相違する極性(+及び−極性)の第1及び第2外部電極が相互交代に配列されている。また、2つの長側面には相違する極性の外部電極がペアになって相互向かい合っている。従って、一側面に配置された第1外部電極(例えば、131)は、対向する側面に配置された第2外部電極(例えば、138)からキャパシタ本体121を横切って配置されている。特に、本実施形態では、各側面に同数の第1外部電極(2つ)と第2外部電極(2つ)が形成されており、計4対の第1及び第2外部電極がキャパシタ本体の側面に形成され8端子積層型チップキャパシタを成す。キャパシタ本体内の内部電極はリードを通して対応する極性の外部電極131〜138と連結される(図3参照)。
外部電極131〜138はキャパシタ本体121の長側面と接する上面及び下面に一部が延長されることが出来る。このような外部電極の延長部は外部電極の塗布工程により生じ得るが、特に本体121の下面の一部に形成された外部電極の延長部はキャパシタを回路基板上に実装するとき回路基板上の配線パターンと接触することができる。しかし、このような外部電極の延長部が必ずしも必要とは言えず、外部電極が長側面内でのみ延長されることも出来る。
本発明者等は、キャパシタの小型化時に長側面の長さを短側面の長さに比べてその減少量を少なくしてフォームファクター、即ちキャパシタ本体幅Wに対する長さLの比を特定の範囲に限定すると、キャパシタの小型化を達成しつつも個別キャパシタのESLをさらに低減させることが出来るということが分かった。このようなキャパシタの小型化及びESLの低減の同時達成は、大きく2つの要因に起因するが、最初に、小型化されても外部端子数を減らす必要がなく、二番目に相互相殺する相互インダクタンスを極大化させることが出来るためである。
図2に図示された実施形態では、キャパシタ本体21の長さLが幅Wの2.5倍以上であるものとする。キャパシタ本体121の幅に対する長さの比(L/W)が大きいほど端子数の減少を抑制するには有利であるが、キャパシタを小型化するとき短側面の長さ(即ちキャパシタの幅W)が短くなって異種極性の外部電極間のショートの可能性が増加する。従って、キャパシタ本体の幅に対する長さの比(L/W)は2.5以上7以下であることが好ましい。
また、現在使われている8端子キャパシタの1608サイズキャパシタに比べて小型化されつつも同一端子(8端子)数を具現することが出来るよう、キャパシタ本体の長さLは1.1mm以上1.6mm以下であることが出来る。サイズの小型化と8端子の具現は、キャパシタ幅のさらなる限定によっても達成することが出来る。即ち、キャパシタ本体の幅Wを0.2mm以上0.5mm以下に調節することにより、1608サイズより小さいサイズの8端子キャパシタを具現することが出来る。
このようにキャパシタ本体の幅に対する長さの比(L/W)を2.5以上にすると、各長側面において外部電極を十分な数に維持したり、各長側面に形成される外部電極数の減少を抑制することが出来る。積層型チップキャパシタを1680サイズ(面積=1.28mm)からさらに小さいサイズ(例えば、面積=0.5mmサイズ)に小型化しても長側面の長さを十分確保することができるため各長側面に4つの外部電極を配置することができ、これによって面積0.5mmサイズでも8端子の積層型キャパシタを十分具現することが出来る(L/Wが2である1005サイズと比較)。例えば、1680サイズのキャパシタを1.25×0.4 mmサイズ(L/W=2.5)に小型化する場合、各長側面には4つの外部電極を容易に形成することができ、これによって面積が1/2以下に減った8端子キャパシタを得ることになる。
図2に図示されたとおり、各長側面に異種極性の外部電極が相互隣接して交代に配列されると、隣接した異種極性の外部電極(例えば、131と132)に流れる電流による磁束が相互相殺されて相互インダクタンスの相殺効果を得ることになり、これによってキャパシタのESLは減少することになる。従って、外部電極形成工程及びキャパシタ実装工程が許す限り、同一側面で隣接した異種極性の外部電極間の間隔が狭いほどESL減少の側面で有利である。
後述のとおり、相互インダクタンス相殺の効果は外部端子だけでなくキャパシタ本体の内部でも得ることができ、このような本体の内部での相互インダクタンスの相殺効果は上記の幅に対する長さの比(L/W)と関連する。
図3は、図2の積層型チップキャパシタの内部電極構造及びキャパシタ内部での電流経路(矢印参照)を表す平面図である。キャパシタ本体121の内部には異種極性の内部電極122,123が誘電体層121a,121bを介して相互対向して配置される。このような1セットの対向する2つの内部電極は、キャパシタ本体内で繰り返して積層されている。
図3(a)及び(b)を参照すると、誘電体層121a上に形成された第1極性(例えば、+極性)の第1内部電極122は、リード122aを通して第1外部電極131,133,135,137と電気的に連結される。また、誘電体層121b上に形成された第2極性(−極性)の第2内部電極123は、リード123aを通して第2外部電極132,134,136,138と電気的に連結される。
図3(a)及び(b)に図示されたとおり、本実施形態による内部電極及び外部電極の配置と相互連結関係は、キャパシタ本体内の内部電極に流れる電流によって誘発される磁束を効果的に相殺し、これによってESLをさらに低減させる。図3(a)及び(b)の矢印で図示したとおり、内部電極に流れる電流は、最も短い電流経路を通して流れる傾向により、(+)外部電極から最も隣接した(−)外部電極に向かって流れる。キャパシタ本体の幅Wに対する長さLの比(L/W)を2.5以上に維持した状態では、各長側面での相互交代する(+)及び(−)外部電極の配置と相互向かい合う(+)及び(−)外部電極の配置は、キャパシタ本体内部での電流経路による磁束を効果的に相殺させることに寄与する。
具体的に説明すると、図3に図示されたとおり、電流が(+)外部電極131から(−)外部電極132に向かって内部電極の電流経路が形成され、(+)外部電極133から(−)外部電極132に向かって内部電極の電流経路が形成される。また(+)外部電極137から(−)外部電極138に内部電極の電流経路が形成され、(+)外部電極137から(−)外部電極136に内部電極の電流経路が形成される。また、(+)外部電極133から(−)外部電極134への電流経路及び(+)外部電極135から(−)外部電極136への電流経路も同様に形成される。
従って、第1内部電極の領域A,B,Cと第2内部電極の領域A',B',C'では、相互反対方向に流れる電流による磁束が相互効果的に相殺される。これによって、キャパシタ本体の内部でも相互反対方向の電流による相互インダクタンスの除去または相殺が容易に発生し、これによってキャパシタのESLはさらに低減する。このようなキャパシタ本体の内部での相互インダクタンスの相殺効果は、キャパシタ本体の幅に対する長さの比(L/W)を2.5以上(好ましくは、2.5以上7以下)にすることにより、効果的に発生することになる。即ち、キャパシタ本体の幅Wが長さLに比べて1/2.5以下に短く形成されることにより、上記の領域A,B,C,A',B',C'で磁束相殺の効果が効果的に大きくなる。従って、キャパシタ本体内部での磁束相殺の側面(結局、ESLの側面)では、幅Wが長さLに比べて小さいほど有利であると言える。長さ対幅の比(L/W)が2.5より小さい場合には、キャパシタ本体の内部で十分な磁束相殺の効果を得ることが困難で、これによってESLは十分低減されないかかえって増加することになる。
本実施形態ではそれぞれの内部電極122,123が4つのリードを有しているが、本発明はこれに限定されない。(各内部電極は少なくとも一つのリードを有することが出来る)。例えば、積層型チップキャパシタが8端子キャパシタであっても、各内部電極は一つのリードのみ有することも出来る。この場合、各極性の内部電極はリードの位置によって4つの電極パターンを有することができ、積層方向に相互隣接した内部電極のリードは相互隣接した外部電極に連結されることが出来る。
図4は、従来に使用された積層型チップキャパシタと本発明の実施形態による積層型チップキャパシタとを比較するための斜視図である。
図4(a)乃至(c)に図示した積層型チップキャパシタは、キャパシタ本体の長さ対幅の比(L/W)が異なるよう形成されたものである。図4(a)乃至(c)のキャパシタ本体内には各誘電体層上に異種極性の第1内部電極及び第2内部電極が形成されている。第1及び第2内部電極は各誘電体層を介して対向するよう配列され、それぞれ第1外部電極及び第2外部電極に接続される。第1外部電極への連結のために第1内部電極はキャパシタ本体の長側面に延長されたリードを有する。また、第2外部電極への連結のために第2内部電極はキャパシタ本体の長側面に延長されたリードを有する。
図4(a)は、特に1608サイズの従来の積層型チップキャパシタを表す。従って、図4(a)の積層型チップキャパシタは長さLが1.6mmで、幅Wが0.8mmのキャパシタ本体を有し、このキャパシタ本体の対向する長側面に4対の外部電極が形成されている。各長側面には(+)外部電極と(−)外部電極が隣接して交代に配置され、対向する側面で(+)と(−)外部電極が相互向い合うよう配置されている。
図4(b)は、1005サイズの積層型チップキャパシタの斜視図である。従って、図4(b)の積層型チップキャパシタは長さLが1.0mmで、幅Wが0.5mmのキャパシタ本体を有している。外部電極の塗布工程の難しさにより、1005サイズキャパシタの各長側面には3つまで外部電極を形成することが出来る。従って、図4(b)のキャパシタ本体の対向する長側面には計3対の外部電極が形成されている(6端子キャパシタ)。工程技術の改善を通して1005サイズの8端子キャパシタを製造するとしても、このような1005サイズ8端子キャパシタは配線基板の実装時(外部電極と配線パターン間のソルダリング工程を含む)、異種極性の外部電極間のショートの可能性が高くなる問題が生じる。
1005サイズの積層型チップキャパシタ(図4(b))は、1608サイズの積層型チップキャパシタ(図4(a))に比べて小さい面積を有するため、配線基板(MPUパッケージなど)の同一実装面積においてさらに多い数のキャパシタを配置しこれらを並列に連結することが出来る。しかし、キャパシタ本体の長さの減少(1.6mmから1.0mmに減少)により、1005サイズのキャパシタの長側面に形成される外部電極の数が制限される。ここでは、現在一般に使われる外部電極塗布工程を用いた場合、各長側面に3つずつの外部電極のみ配置可能である。
従って、1608サイズのキャパシタと比較して端子数の減少により1005サイズキャパシタのESLは上昇し、同一実装空間内で並列連結されたキャパシタの数が増加しても全体インダクタンスの減少効果は低くなるか弱化する。
しかし、図4(c)に図示されたとおり、長さ対幅の比(L/W)を2.5以上にした場合、前述のようなキャパシタの小型化によるESLの減少現象が防止される。図4(c)の実施例では、キャパシタ本体の長さLが1.25mmで、幅Wが0.4mmのキャパシタ本体を使用し、上記キャパシタ本体の対向する側面に4対の外部電極が形成されている(8端子キャパシタ)。
本実施例によると、1608サイズのキャパシタに比べてキャパシタ本体の長さLは大きく減少しなかった。従って、1005サイズのキャパシタとは異なってキャパシタ本体の長側面にそれぞれ4つの端子を形成することが出来る。また、本実施例ではキャパシタ本体の幅Wは1608サイズのキャパシタに比べて半分(0.4mm)に縮小された。これによって、図3を参照して説明したとおり、(+)外部電極から隣接した(−)外部電極に向かう反対方向の内部電流(キャパシタ本体内部の電流:図3の矢印参照)が相互近くなり、このような反対方向の内部電流による磁束の相殺効果が極大化され、結果としてESLがさらに低減する。
本発明者等はキャパシタの各サイズによるESLと全体インダクタンス(定められた実装面積内で可能な限り多い数の該当サイズキャパシタを並列に連結した場合に得られる全体インダクタンス)を比較するための実験を実施した。
表1は上記の実験の結果を表したもので、図4(a)乃至4(c)に図示されたような1608サイズ、1005サイズ、及び本実施例のキャパシタそれぞれのESLと、全体インダクタンスを表す。本実験では、上記1608サイズのキャパシタが30個形成できる同一の実装面積に、1608サイズ8端子キャパシタ(比較例)、1005サイズ6端子キャパシタ(他の比較例)及び1.25×0.4サイズ8端子キャパシタ(実施例)を各サイズ別に実装した。ここで、(1608サイズキャパシタが30個実装できる)同一の実装面積内に、1005サイズのキャパシタは60個実装でき、実施例の1.25×0.4サイズキャパシタも同様に60個実装できる。
Figure 2008193062
表1に示されたとおり、1608サイズキャパシタの場合、60pHのESLを有し全体のインダクタンス(30個)は2pHと表れた。1005サイズのキャパシタの場合、75pHのESLを有し、全体のインダクタンスは1.25pHと表れた。本実施例(1.25×0.4サイズ)の場合、ESLは50pHに減少し、全体のインダクタンスも0.83pHと非常に低い値を表した。
上記実験及び表1に示されたとおり、本実施例によると、同一の全体実装面積内で多い数のキャパシタを実装することが出来るだけでなく、個別キャパシタのESLもさらに減少することが確認できる。
以上に説明した実施形態では、8端子積層型チップキャパシタを説明したが、本発明はこれに限られない。図5のキャパシタ200のように、キャパシタ本体221の各長側面には異なる数の第1外部電極と第2外部電極が形成されることが出来る。即ち、一長側面には2つの(+)外部電極231,233と1つの(−)外部電極232が配置され、他の長側面には1つの(+)外部電極235と2つの(−)外部電極234,236が配置されている。3対の(+)及び(−)外部電極が2つの長側面に配置されることにより、6端子キャパシタを成す。また本発明は、図6に図示されたような10端子300にも適用されることが出来る。図6において、図面符号321はキャパシタ本体を表し、図面符号331〜340は外部電極を表す。他にも12端子(各長側面に6つの外部電極が配置される)キャパシタにも本発明が適用されることが出来る。何れの場合もキャパシタの幅に対する長さの比(L/W)は2.5以上で、このようなフォームファクターを使用することにより、キャパシタの小型化と共にESLの低減効果を同時に具現することが可能になる。
本発明は上述の実施形態及び添付の図面により限られない。添付の請求範囲により権利範囲を限定し、請求範囲に記載された本発明の技術的な思想を外れない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能ということは当技術分野の通常の知識を有している者には自明である。
従来の技術による積層型チップキャパシタの斜視図、断面図及び等価回路図である。 従来の技術による積層型チップキャパシタの斜視図、断面図及び等価回路図である。 従来の技術による積層型チップキャパシタの斜視図、断面図及び等価回路図である。 本発明の実施形態による積層型チップキャパシタの斜視図である。 図2の積層型チップキャパシタの内部電極構造及びキャパシタ内に流れる電流経路を概略的に表した平面図である。 従来の技術による積層型チップキャパシタと本発明の実施形態による積層型チップキャパシタを比較するための斜視図である。 本発明の他の実施形態による積層型チップキャパシタの斜視図である。 本発明のさらに他の実施形態による積層型チップキャパシタの斜視図である。
符号の説明
121 キャパシタ本体
121a、121b 誘電体層
122 第1内部電極
123 第2内部電極
122a、123a リード
131、133、135、137 第1外部電極
132、134、136、138 第2外部電極

Claims (8)

  1. 複数の誘電体層が積層されて形成され、直六面体の形状を有するキャパシタ本体と、
    前記キャパシタ本体の対向する2つの長側面のそれぞれに相互交代に配列され、相違する極性を有し相互向い合うよう配置された少なくとも3対の第1外部電極及び第2外部電極と、
    前記キャパシタ本体内で前記誘電体層により分離されて相互交代に配置され、リードを通して前記第1及び第2外部電極にそれぞれ連結される複数の第1内部電極及び第2内部電極とを含み、
    前記キャパシタ本体の長さが幅の2.5倍以上であることを特徴とする積層型チップキャパシタ。
  2. 前記キャパシタ本体の長さは、幅の2.5倍以上7倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の積層型チップキャパシタ。
  3. 前記キャパシタ本体の長さは、1.1mm以上1.6mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の積層型チップキャパシタ。
  4. 前記キャパシタ本体の幅は、0.2mm以上0.5mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の積層型チップキャパシタ。
  5. それぞれの長側面には、同一数の第1外部電極と第2外部電極が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型チップキャパシタ。
  6. 前記2つの長側面には4対の第1及び第2外部電極が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の積層型チップキャパシタ。
  7. それぞれの長側面には異なる数の第1外部電極と第2外部電極が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型チップキャパシタ。
  8. 前記2つの長側面には3対の第1及び第2外部電極が形成されていることを特徴とする請求項7に記載の積層型チップキャパシタ。
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